JPH065740B2 - 過電圧保護機能付サイリスタ - Google Patents
過電圧保護機能付サイリスタInfo
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- JPH065740B2 JPH065740B2 JP24515483A JP24515483A JPH065740B2 JP H065740 B2 JPH065740 B2 JP H065740B2 JP 24515483 A JP24515483 A JP 24515483A JP 24515483 A JP24515483 A JP 24515483A JP H065740 B2 JPH065740 B2 JP H065740B2
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- JP
- Japan
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- thyristor
- gate
- pilot
- current
- overvoltage
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- 230000006378 damage Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/70—Bipolar devices
- H01L29/74—Thyristor-type devices, e.g. having four-zone regenerative action
- H01L29/7424—Thyristor-type devices, e.g. having four-zone regenerative action having a built-in localised breakdown/breakover region, e.g. self-protected against destructive spontaneous, e.g. voltage breakover, firing
-
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- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
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- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/70—Bipolar devices
- H01L29/74—Thyristor-type devices, e.g. having four-zone regenerative action
- H01L29/7428—Thyristor-type devices, e.g. having four-zone regenerative action having an amplifying gate structure, e.g. cascade (Darlington) configuration
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- Ceramic Engineering (AREA)
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- Thyristors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は降服電圧をこす過電圧が印加されると安全に電
圧トリガすることができる過電圧保護機能付サイリスタ
に関する。
圧トリガすることができる過電圧保護機能付サイリスタ
に関する。
サイリスタに降服電圧(VBOと略す)をこす過電圧が、
アノード・カソード間に印加されると数10mA以下の
微少な降服電流で破壊してしまう。過電圧印加に伴って
発生する破壊を防止するため、一般には電源電圧の2〜
3倍の降服電圧のサイリスタを使う。しかし、直流送電
用サイリスタバルプなど多数直列して使う装置では、少
数のサイリスタがトリガ失敗すると、場合によってはこ
れらのサイリスタのVBO値の数10倍以上の過電圧が印
加されるため、VBO値に余裕をみる方法で過電圧破壊を
防止することは非常に困難である。過電圧印加に伴う、
この種の破壊からサイリスタを保護するため、サイリス
タの外部にアレスタ等の保護回路を設けサイリスタに直
接に過電圧が印加されないように工夫されているが、保
護装置が大型で高価になる欠点があった。このような事
情から、過電圧が印加されても、破壊しない過電圧保護
機能付サイリスタが強く望まれていた。
アノード・カソード間に印加されると数10mA以下の
微少な降服電流で破壊してしまう。過電圧印加に伴って
発生する破壊を防止するため、一般には電源電圧の2〜
3倍の降服電圧のサイリスタを使う。しかし、直流送電
用サイリスタバルプなど多数直列して使う装置では、少
数のサイリスタがトリガ失敗すると、場合によってはこ
れらのサイリスタのVBO値の数10倍以上の過電圧が印
加されるため、VBO値に余裕をみる方法で過電圧破壊を
防止することは非常に困難である。過電圧印加に伴う、
この種の破壊からサイリスタを保護するため、サイリス
タの外部にアレスタ等の保護回路を設けサイリスタに直
接に過電圧が印加されないように工夫されているが、保
護装置が大型で高価になる欠点があった。このような事
情から、過電圧が印加されても、破壊しない過電圧保護
機能付サイリスタが強く望まれていた。
第1図はこのような問題を解決するために構成された過
電圧保護機能付サイリスタの断面図である。同図におい
て1はPエミッタ層,2はNベース層,3はPベース
層,4はNエミッタ層である。Pエミッタ層1の表面に
はアノード電極5が配置されており、またメインサイリ
スタMTのNエミッタ層4はPベース層3が一部分カソ
ード電極6に接触した、いわゆる短絡エミッタ構造とな
っている。メインサイリスタMTの中央部には補助Nエ
ミッタ層7と補助電極8を設けてパイロットサイリスタ
PTを構成し、前記Nエミッタ層7の内周部にはPベー
ス層3aが露出しており、その表面にはゲート電極9が
設けてある。さらにPベース層3a部分はNベース層2
の方向に突出ておりPベース層3aの下部領域のNベー
ス幅は他のNベース領域のベース幅より狭くなってい
る。
電圧保護機能付サイリスタの断面図である。同図におい
て1はPエミッタ層,2はNベース層,3はPベース
層,4はNエミッタ層である。Pエミッタ層1の表面に
はアノード電極5が配置されており、またメインサイリ
スタMTのNエミッタ層4はPベース層3が一部分カソ
ード電極6に接触した、いわゆる短絡エミッタ構造とな
っている。メインサイリスタMTの中央部には補助Nエ
ミッタ層7と補助電極8を設けてパイロットサイリスタ
PTを構成し、前記Nエミッタ層7の内周部にはPベー
ス層3aが露出しており、その表面にはゲート電極9が
設けてある。さらにPベース層3a部分はNベース層2
の方向に突出ておりPベース層3aの下部領域のNベー
ス幅は他のNベース領域のベース幅より狭くなってい
る。
このような構造の過電圧保護機能付サイリスタのゲート
電極9にゲート電流を流すとパイロットサイリスタPT
がターンオンし、パイロットサイリスタPTのターンオ
ン電流は、メインサイリスタMTのゲート電流として機
能し、メインサイリスタMTはターンオンする。サイリ
スタをターンオンさせるのに最小限必要なゲート電流を
最小トリガゲート電流IGTと呼んでいる。一般の電気ト
リガサイリスタではゲート回路から混入するノイズ電流
によってサイリスタが誤点弧することを防止するため、
IGTの値を数10mA〜数100mAになるようにパイ
ロットサイリスタPTのゲート感度が設定されている。
一方、第1図のサイリスタの順方向に過電圧を印加する
と、パイロットサイリスタPTの内周部の狭いNベース
幅を持った領域で電圧降服が起り、この時に発生する降
服電流がゲート電流として機能し、パイロットサイリス
タPT,メインサイリスタMTは順次ターンオンする。
ところが、従来の過電圧保護機能付サイリスタには次の
ような欠点があった。
電極9にゲート電流を流すとパイロットサイリスタPT
がターンオンし、パイロットサイリスタPTのターンオ
ン電流は、メインサイリスタMTのゲート電流として機
能し、メインサイリスタMTはターンオンする。サイリ
スタをターンオンさせるのに最小限必要なゲート電流を
最小トリガゲート電流IGTと呼んでいる。一般の電気ト
リガサイリスタではゲート回路から混入するノイズ電流
によってサイリスタが誤点弧することを防止するため、
IGTの値を数10mA〜数100mAになるようにパイ
ロットサイリスタPTのゲート感度が設定されている。
一方、第1図のサイリスタの順方向に過電圧を印加する
と、パイロットサイリスタPTの内周部の狭いNベース
幅を持った領域で電圧降服が起り、この時に発生する降
服電流がゲート電流として機能し、パイロットサイリス
タPT,メインサイリスタMTは順次ターンオンする。
ところが、従来の過電圧保護機能付サイリスタには次の
ような欠点があった。
第2図は過電圧によってターンオンした時の臨界オン電
流上昇率(di/dt耐量)とパイロットサイリスタP
Tの最小ゲートトリガ電流IGTの関係を示したものであ
る。同図から明らかなように、IGTが大きくなると、電
圧トリガ時のdi/dt耐量は急激に減少し、IGTの値
が許容降服電流値IAV(max)をこすと、パイロットサ
イリスタPTが電圧トリガされる前に、電圧降服領域が
破壊を起し、di/dt耐量0となる。di/dt耐
量を大きくするには、IAV(max)に比べて、充分に小
さいIGTを選定する必要がある。IAV(max)は一般に
数10mA以下であるため、di/dt耐量を大きくす
るにはIGTの値を数mAにする事が望ましい。しかし、
前述したようにIGTを小さくした設計をすると、ゲート
電極から混入するノイズ電流によってパイロットサイリ
スタが誤動作しやすくなる。このように、従来の方法で
は、ゲート回路から混入するノイズ電流に誤動作するこ
となく高いdi/dt耐量を持った過電圧保護機能付サ
イリスタ実現することが困難であった。
流上昇率(di/dt耐量)とパイロットサイリスタP
Tの最小ゲートトリガ電流IGTの関係を示したものであ
る。同図から明らかなように、IGTが大きくなると、電
圧トリガ時のdi/dt耐量は急激に減少し、IGTの値
が許容降服電流値IAV(max)をこすと、パイロットサ
イリスタPTが電圧トリガされる前に、電圧降服領域が
破壊を起し、di/dt耐量0となる。di/dt耐
量を大きくするには、IAV(max)に比べて、充分に小
さいIGTを選定する必要がある。IAV(max)は一般に
数10mA以下であるため、di/dt耐量を大きくす
るにはIGTの値を数mAにする事が望ましい。しかし、
前述したようにIGTを小さくした設計をすると、ゲート
電極から混入するノイズ電流によってパイロットサイリ
スタが誤動作しやすくなる。このように、従来の方法で
は、ゲート回路から混入するノイズ電流に誤動作するこ
となく高いdi/dt耐量を持った過電圧保護機能付サ
イリスタ実現することが困難であった。
本発明はこのような事情を考慮してなされたもので、そ
の目的とするところは、ゲート回路から混入するノイズ
電流に対して誤動作しにくく、高いdi/dt耐量で電
圧トリガ可能な過電圧保護機能付サイリスタを提供する
ことである。
の目的とするところは、ゲート回路から混入するノイズ
電流に対して誤動作しにくく、高いdi/dt耐量で電
圧トリガ可能な過電圧保護機能付サイリスタを提供する
ことである。
本発明はサイリスタの一部分に他の領域より、降服電圧
の低い領域を設け、この領域を少くなくとも1つ以上の
パイロットサイリスタで囲み、増幅ゲート構造とし、パ
イロットサイリスタのカソード電極にゲートトリガする
ためのゲート電極を設け、第1段目のパイロットサイリ
スタのゲート・トリガ感度を後段のパイロットサイリス
タのゲート・トリガ感度より大きくしたことを特徴とす
る。
の低い領域を設け、この領域を少くなくとも1つ以上の
パイロットサイリスタで囲み、増幅ゲート構造とし、パ
イロットサイリスタのカソード電極にゲートトリガする
ためのゲート電極を設け、第1段目のパイロットサイリ
スタのゲート・トリガ感度を後段のパイロットサイリス
タのゲート・トリガ感度より大きくしたことを特徴とす
る。
本発明によれば過電圧によって発生する降服電流に対し
てゲート・トリガ感度を高く、また、ゲート電流に対し
てはゲート・トリガ感度が低くなるように工夫してある
ため、ゲート回路から混入するノイズ電流に対して、誤
動作しにくく、かつ、高いdi/dt耐量で安全に電圧
トリガする過電圧保護機能付サイリスタが可能となる。
てゲート・トリガ感度を高く、また、ゲート電流に対し
てはゲート・トリガ感度が低くなるように工夫してある
ため、ゲート回路から混入するノイズ電流に対して、誤
動作しにくく、かつ、高いdi/dt耐量で安全に電圧
トリガする過電圧保護機能付サイリスタが可能となる。
以下、図面を参照して本発明の一実施例を説明する。第
3図は本発明の一実施例のサイリスタの断面図である。
Pエミッタ層11,Nベース層12,Pベース層13,
Nエミッタ層14の4層が主サイリスタMTを構成し、
そのPエミッタ層11の表面にアノード電極15,Nエ
ミッタ層14の表面にカソード電極16が配置されてい
る。メインサイリスタMTの中央部には第1のパイロッ
トサイリスタPT1と第2のパイロットサイリスタPT
2が設けてある。第1のパイロットサイリスタPT1の
Nエミッタ層141の直下のPベース層131のPベース幅W
PB1は第2のパイロットサイリスタのPベース層132,メ
インサイリスタMTのPベース層13のPベース幅W
PB2,WPBと比較して狭くなるように構成されている。
第1のパイロットサイリスタPT1の補助カソード電極
161にゲート電極17が設けてありゲート電極17とカ
ソード電極16の間にゲート回路を接続し、ゲート電極
17にゲート電流を流すとサイリスタは通常のゲートト
リガ作用により、ターンオンする。第1のパイロットサ
イリスタPT1のNエミッタ層141の内周部のPベース
層131aが露出しており、Pベース層131aはNベース層1
2の方向に突出しており、Nベース層12とPベース層
131aで構成される接合部J2に湾曲部18が設けて
ある。降服電圧をこす過電圧がアノード電極15とカソ
ード電極16の間に印加されると、この湾曲部18に電
界の集中が起り降服電流が流れる。この降服電流は、第
1のパイロットサイリスタPT1のゲート電流として機
能し、第1のパイロットサイリスタPT1は過電圧の印
加により電圧トリガする。第1のパイロットサイリスタ
PT1のターンオン電流は第2のパイロットサイリスタ
PT2のゲート電流として、さらに第2パイロットサイ
リスタPT2のターンオン電流は、メインサイリスタM
Tのゲート電流として順次機能することにより、最終的
にメインサイリスタMTが過電圧によって安全に電圧ト
リガできる。
3図は本発明の一実施例のサイリスタの断面図である。
Pエミッタ層11,Nベース層12,Pベース層13,
Nエミッタ層14の4層が主サイリスタMTを構成し、
そのPエミッタ層11の表面にアノード電極15,Nエ
ミッタ層14の表面にカソード電極16が配置されてい
る。メインサイリスタMTの中央部には第1のパイロッ
トサイリスタPT1と第2のパイロットサイリスタPT
2が設けてある。第1のパイロットサイリスタPT1の
Nエミッタ層141の直下のPベース層131のPベース幅W
PB1は第2のパイロットサイリスタのPベース層132,メ
インサイリスタMTのPベース層13のPベース幅W
PB2,WPBと比較して狭くなるように構成されている。
第1のパイロットサイリスタPT1の補助カソード電極
161にゲート電極17が設けてありゲート電極17とカ
ソード電極16の間にゲート回路を接続し、ゲート電極
17にゲート電流を流すとサイリスタは通常のゲートト
リガ作用により、ターンオンする。第1のパイロットサ
イリスタPT1のNエミッタ層141の内周部のPベース
層131aが露出しており、Pベース層131aはNベース層1
2の方向に突出しており、Nベース層12とPベース層
131aで構成される接合部J2に湾曲部18が設けて
ある。降服電圧をこす過電圧がアノード電極15とカソ
ード電極16の間に印加されると、この湾曲部18に電
界の集中が起り降服電流が流れる。この降服電流は、第
1のパイロットサイリスタPT1のゲート電流として機
能し、第1のパイロットサイリスタPT1は過電圧の印
加により電圧トリガする。第1のパイロットサイリスタ
PT1のターンオン電流は第2のパイロットサイリスタ
PT2のゲート電流として、さらに第2パイロットサイ
リスタPT2のターンオン電流は、メインサイリスタM
Tのゲート電流として順次機能することにより、最終的
にメインサイリスタMTが過電圧によって安全に電圧ト
リガできる。
本発明では第1のパイロットサイリスタPT1のゲート
トリガ感度を第2のパイロットサイリスタPT2、メイ
ンサイリスタMTのゲート感度より高くしてある。その
結果、第1のパイロットサイリスタPT1はわずかな降
服電流で電圧トリガすることができ、高いdi/dt耐
量を得ることができる。一方、第2のパイロットサイリ
スタPT2のゲート感度は通常のサイリスタと同一レベ
ルに設定されているのでゲート回路から混入するノイズ
電流によって誤動作することはない。
トリガ感度を第2のパイロットサイリスタPT2、メイ
ンサイリスタMTのゲート感度より高くしてある。その
結果、第1のパイロットサイリスタPT1はわずかな降
服電流で電圧トリガすることができ、高いdi/dt耐
量を得ることができる。一方、第2のパイロットサイリ
スタPT2のゲート感度は通常のサイリスタと同一レベ
ルに設定されているのでゲート回路から混入するノイズ
電流によって誤動作することはない。
パイロットサイリスタPT1,PT2のゲート・トリガ
感度は各Nエミッタ層141,142直下のPベース層131,1
32の横方向抵抗RP1,RP2で決定され、RPが大きいほ
どゲート・トリガ感度は大きくできる。例えば、第3図
に示した実施例では、RP1,RP2は、Pベース層131,1
32の層抵抗PSP1,PSP2とNエミッタ層141,142の幾何
学形状で決定される。リング状のNエミッタ層141,142
の内径d1,外径d2とすると、Pベース横方向抵抗R
PはPベース層抵抗PSPとln(d2/d1)に比例する。本発
明の実施例では、PS1=3000Ω/□,PS2=500Ω/□
とし、第1パイロットPT1の寸法をd1=1.5mmφ,d
2=2.0mmφ,第2のパイロットサイリスタの寸法をd1
=3.0mmφ,d2=3.5mmφとしている。この場合のゲ
ート・トリガ感度は最小トリガゲート電流に換算してP
T1が5mA,PT2が60mAとなりPT1のゲート
・トリガ感度はPT2のそれの12倍となっている。
感度は各Nエミッタ層141,142直下のPベース層131,1
32の横方向抵抗RP1,RP2で決定され、RPが大きいほ
どゲート・トリガ感度は大きくできる。例えば、第3図
に示した実施例では、RP1,RP2は、Pベース層131,1
32の層抵抗PSP1,PSP2とNエミッタ層141,142の幾何
学形状で決定される。リング状のNエミッタ層141,142
の内径d1,外径d2とすると、Pベース横方向抵抗R
PはPベース層抵抗PSPとln(d2/d1)に比例する。本発
明の実施例では、PS1=3000Ω/□,PS2=500Ω/□
とし、第1パイロットPT1の寸法をd1=1.5mmφ,d
2=2.0mmφ,第2のパイロットサイリスタの寸法をd1
=3.0mmφ,d2=3.5mmφとしている。この場合のゲ
ート・トリガ感度は最小トリガゲート電流に換算してP
T1が5mA,PT2が60mAとなりPT1のゲート
・トリガ感度はPT2のそれの12倍となっている。
以上の説明から明らかなように、本発明では過電圧が印
加されると高感度の第1パイロットサイリスタPT1が
電圧ターンオンし、ゲート電流に対しては、より感度の
低い第2のパイロットサイリスタがゲート・ターンオン
するように工夫されているから、ゲート回路から混入す
るノイズ電流に対して誤動作しにくく、高いdi/dt
耐量で電圧トリガできる過電圧保護機能付サイリスタを
実現することができる。
加されると高感度の第1パイロットサイリスタPT1が
電圧ターンオンし、ゲート電流に対しては、より感度の
低い第2のパイロットサイリスタがゲート・ターンオン
するように工夫されているから、ゲート回路から混入す
るノイズ電流に対して誤動作しにくく、高いdi/dt
耐量で電圧トリガできる過電圧保護機能付サイリスタを
実現することができる。
第3図の実施例では、第2のパイロットサイリスタPT
2がある場合について、本発明の効果を説明したが、第
2のパイロットサイリスタがなくてもメインサイリスタ
Mのゲート・トリガ感度を第1のパイロットサイリスタ
PT1のゲート・トリガ感度より低くなるように構成し
てあれば第3図の実施例と同様な効果が得られることは
言うまでもない。
2がある場合について、本発明の効果を説明したが、第
2のパイロットサイリスタがなくてもメインサイリスタ
Mのゲート・トリガ感度を第1のパイロットサイリスタ
PT1のゲート・トリガ感度より低くなるように構成し
てあれば第3図の実施例と同様な効果が得られることは
言うまでもない。
又、降服電流を発生する方法が、第3図の実施例と異な
る方法でも本発明の効果がかわるものではない。
る方法でも本発明の効果がかわるものではない。
第1図は従来の過電圧保護機能付サイリスタの断面図、
第2図は本発明一実施例の過電圧保護機能付サイリスタ
の断面図、第3図は本発明の他の実施例を説明するため
の図である。 11…Pエミッタ層、12…Nベース層、13…Pベー
ス層、14…Nエミッタ層、15…アノード電極、16
…カソード電極、MT…メインサイリスタ、PT1…第
1のパイロットサイリスタ、PT2…第2のパイロット
サイリスタ、141…PT1のNエミッタ層、131…1
41直下のPベース層、132…PT2のPベース層、
161…PT1の補助カソード電極、17…ゲート電
極、131a…141の内周部のPベース層、18…湾曲
部。
第2図は本発明一実施例の過電圧保護機能付サイリスタ
の断面図、第3図は本発明の他の実施例を説明するため
の図である。 11…Pエミッタ層、12…Nベース層、13…Pベー
ス層、14…Nエミッタ層、15…アノード電極、16
…カソード電極、MT…メインサイリスタ、PT1…第
1のパイロットサイリスタ、PT2…第2のパイロット
サイリスタ、141…PT1のNエミッタ層、131…1
41直下のPベース層、132…PT2のPベース層、
161…PT1の補助カソード電極、17…ゲート電
極、131a…141の内周部のPベース層、18…湾曲
部。
Claims (1)
- 【請求項1】PNPN4層構造を有するメインサイリス
タ領域内の一部分に、他の領域より低い電圧で電圧降服
を起す領域を設け、この領域の近傍に少なくとも1つ以
上のパイロットサイリスタを設け、各パイロットサイリ
スタのカソード電極の少なくとも1箇所にゲート回路に
接続するためのゲート電極を設け、前記電圧降服を起す
領域で発生する降服電流で最初の過電圧トリガする、第
1のパイロットサイリスタのゲート・トリガ感度を、第
1のパイロットサイリスタのカソード電極の少なくとも
一箇所に設けたゲート電極にゲート回路を接続したとき
の後段のパイロットサイリスタ、又はメインサイリスタ
のゲート・トリガ感度より、大きくなるように設定した
ことを特徴とする過電圧保護機能付サイリスタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24515483A JPH065740B2 (ja) | 1983-12-28 | 1983-12-28 | 過電圧保護機能付サイリスタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24515483A JPH065740B2 (ja) | 1983-12-28 | 1983-12-28 | 過電圧保護機能付サイリスタ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60140761A JPS60140761A (ja) | 1985-07-25 |
JPH065740B2 true JPH065740B2 (ja) | 1994-01-19 |
Family
ID=17129415
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24515483A Expired - Lifetime JPH065740B2 (ja) | 1983-12-28 | 1983-12-28 | 過電圧保護機能付サイリスタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH065740B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61247071A (ja) * | 1985-04-24 | 1986-11-04 | Hitachi Ltd | 過電圧自己保護型半導体装置 |
JP2502793B2 (ja) * | 1990-07-24 | 1996-05-29 | 株式会社日立製作所 | 過電圧自己保護型半導体装置 |
-
1983
- 1983-12-28 JP JP24515483A patent/JPH065740B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS60140761A (ja) | 1985-07-25 |
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