JPH065482A - 有効チップの表示方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ウエハ内において、ＩＣとして使用可能な最
外周のチップの外側に印を付ける。 【構成】 ウエハ１にパターンを形成するときに、使用
可能なチップの最外周の外側に矢印４のパターンを形成
させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、チップ選別のために
用いる有効なチップの表示方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】図２に示す従来ウエハ１をダイシングに
よりウエハ１を切って一つ一つのチップ５にし、トレー
に移し替えるとき、有効なチップがウエハ１の中心から
どの位置まであるのかが解からず、テグ２およびテグ３
の位置から横に何チップ上に何チップと数え位置決めを
行い、チップの移し替えを行っていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の位置決
めでチップ５の移し替えを行うと、テグ２と３からの位
置の数え間違いがあったりし、有効チップ以外のチップ
もトレーに移し替えてしまうという欠点があった。

【０００４】そこでこの発明は、このような欠点を解決
するため、どれが有効なチップであるかどうかを簡単に
見分けることを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
にこの発明は、ウエハ上で有効なチップの最外周の外側
に印を付けることにした。

【０００６】

【作用】上記のようにウエハ上で有効なチップの最外周
の外側に印を付けることにより、有効チップ外のチップ
をトレーに移し替えることなく、有効チップのみをトレ
ーに移し替えることができる。

【０００７】

【実施例】以下にこの発明の実施例を図１を用いて説明
する。ウエハ１を加工する工程において、アルミ配線ま
たは最終パターンを形成させるときに矢印４のような印
のレジストパターンを有効なチップの最外周の外側に形
成させ、エッチングすることによりウエハ上で有効なチ
ップの最外周の外側に矢印や○印、×印のようなパター
ンを残すことができる。

【０００８】なお、２と３はテグであり、５はチップで
ある。

【０００９】

【発明の効果】この発明は上述したように、ウエハ上で
有効なチップの最外周の外側に印を付けることにより、
ウエハ内の有効チップだけを確実にトレーに移し替える
ことができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によりウエハ上で有効なチップの最外周
の外側に矢印をつけたウエハの平面図である。

【図２】従来の仕上りウエハの平面図である。

【符号の説明】

１ ウエハ ２ テグ ３ テグ ４ 矢印 ５ チップ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウエハ上でＩＣとして使用可能な最外周
   のチップの外側に印を付けることを特徴とする有効チッ
   プの表示方法。