JPH0652977U

JPH0652977U - 洗浄装置

Info

Publication number: JPH0652977U
Application number: JP8799192U
Authority: JP
Inventors: 康行水沢
Original assignee: 株式会社北村製作所
Priority date: 1992-12-22
Filing date: 1992-12-22
Publication date: 1994-07-19

Abstract

(57)【要約】【目的】単層の濯ぎ槽で濯ぎ洗浄する洗浄機におい
て、濯ぎ液の汚濁を防止する。【構成】濯ぎ槽６に噴射ノズル５を配置する。粗洗用
純水Ｗ１を一次貯液タンク17に溜め、仕上げ用純水Ｗ２
を二次貯液タンク18に溜める。各貯液タンク17，18と噴
射ノズル５とを給水管19，19Ａで接続する。各貯液タン
ク17，18の分岐パイプ22，22Ａと濯ぎ槽６とを切換弁21
を介して連設する。そして、ポンプ24で洗浄物Ａに粗洗
用純水Ｗ１を噴射し洗浄物Ａに残った洗浄液Ａの祖洗い
濯ぎを行なう。このとき濯ぎ槽６に溜った純水Ｗ１と洗
い流された洗浄液Ａが切換弁21によって一次貯液タンク
17に戻る。この後、切換弁21を切換えて仕上げ用の純水
Ｗ２によって仕上げの濯ぎ洗浄を行なう。このとき濯ぎ
槽６に祖洗い濯ぎ洗浄で残った純水Ｗ１と仕上げ用の純
水Ｗ２が二次貯液タンク17に戻る。【効果】二次貯液タンク18には洗浄物Ａが混入せず
に、仕上げ用の純水Ｗ２を清浄に保てる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、各種精密加工部品、シリコンウェハー、プリント回路基板などの各種被洗浄物を水溶性洗浄液を用いて洗浄する洗浄装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来の洗浄装置として特開昭６１−１８５９３１号公報には洗浄液を収容する洗浄槽とその洗浄液を濯ぐ純水を収容する複数の濯ぎ槽を並設し、搬送装置によって被洗浄物を洗浄槽の洗浄液に浸漬して洗浄した後、各濯ぎ槽の純水に浸漬させて被洗浄物に付着する洗浄液を濯ぎ洗浄する洗浄装置が提案されている。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

前記従来のように、濯ぎ槽の純水に被洗浄物を浸漬させて被洗浄物に付着する洗浄液の濯ぎ洗浄を行な洗浄装置は、前工程の洗浄時に被洗浄物に付着する洗浄液が濯ぎ槽内の純水に混入し、単層型の濯ぎ槽では洗浄液の混入による純水の汚濁によって精密な濯ぎ洗浄が行なえない。このため、従来の洗浄装置は濯ぎ槽を複数槽並設してこの各濯ぎ槽に各々純水を収容して最も純水が汚濁する搬入側の濯ぎ槽で粗洗いし、その後の濯ぎ槽で順次仕上げの濯ぎ洗浄を行なうことによって、洗浄度の低下を防止するようにしている。この場合、濯ぎ槽の数を増やすほど搬出側となる最終的な濯ぎ槽内への洗浄液の汚濁が少なく、濯ぎ洗浄の洗浄度を高めることができるが、濯ぎ槽の数が増加するほど装置全体が大型化し、広い設置スペースを確保する必要があるばかりでなく、各濯ぎ槽へ被洗浄物を搬送するロスタイムによって効率的な洗浄が行なえないという課題があった。

【０００４】そこで本考案は、上記課題に基いて成されたものであり、単層型の濯ぎ槽を用いて装置自体の小型化を図り、かつ最終的な仕上げ用濯ぎ液の汚濁を防止する洗浄装置を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

本考案は、洗浄機の内部に洗浄液を収容する洗浄槽と濯ぎ液を噴射する噴射ノズルを備えた濯ぎ槽とを設けるとともに、前記濯ぎ液を収容する貯液タンクを設け、この貯液タンクと前記噴射ノズル及び前記濯ぎ槽と貯液タンクとを連通接続する循環路を形成し、この循環路に設けたポンプによって濯ぎ液を循環する洗浄装置において、粗洗用濯ぎ液と仕上げ用濯ぎ液を区画して収容する複数の貯液タンクを設け、これら各貯液タンクに前記循環路の復路側に連設する分岐パイルを設け、この分岐パイルと循環路との間に濯ぎ工程に応じて濯ぎ液を専用の貯液タンクに戻す切換弁を設けたものである。

【０００６】

【作用】

本考案は、上記構成により、洗浄工程で被洗浄物に付着する洗浄液を濯ぎ洗浄する際、まず、粗洗用の濯ぎ液を収容する貯液タンクと濯ぎ槽とが連通するように切換弁を切換える。そして、ポンプによって貯液タンク内の濯ぎ液を被洗浄物に向けて高圧噴射すると被洗浄物に残った洗浄液が洗い流され、その洗浄液と濯ぎ液が粗洗濯ぎ液専用の貯液タンクに戻る。被洗浄物の粗洗用が完了した段階で切換弁を仕上げ用の濯ぎ液を収容する貯液タンクと濯ぎ槽とが連通するように切換えた後、ポンプによって仕上げ濯ぎ液専用の貯液タンク内の濯ぎ液を被洗浄物に向けて高圧噴射すると先の粗洗濯ぎで残った洗濯ぎ液と仕上げ用濯ぎ液が仕上濯ぎ液専用の貯液タンクに戻される。このため、仕上濯ぎ液専用の貯液タンク内への洗浄液の混入が少なく、洗浄液の混入による仕上用濯ぎ液の汚濁を抑えることで、最終的に清浄な濯ぎ液によって被洗浄物が濯ぎ洗浄されるため、濯ぎ洗浄時の洗浄度を高めることができる。

【０００７】

【実施例】

以下本考案の実施例を添付図面を参照して説明する。

【０００８】図１乃至図３は本考案の一実施例を示し、洗浄機１の洗浄室２下方に超音波振動子３を底部に取付けた超音波洗浄槽４を設け、この超音波洗浄槽４の斜め上方に噴射ノズル５を備えた濯ぎ槽６を形成している。また、前記洗浄室２と濯ぎ槽６とは前記超音波洗浄槽４の側壁と兼用した隔壁７によって区画され、この隔壁７には遮蔽板８によって開閉される開口部９を形成している。

【０００９】また、前記洗浄室２の内部には昇降台10がガイドレール11に沿って昇降可能に設けられ、この昇降台10にコ字状の取付腕12を介して昇降用シリンダ13を連結するとともに、前記濯ぎ槽６側には前記開口部９を介して超音波洗浄槽４と濯ぎ槽６との間を往復動する往復駆動用シリンダ15が配置されており、これら各シリンダ13，15によって被洗浄物Ａを超音波洗浄槽４と濯ぎ槽６に順次間歇的に搬送する搬送装置を構成する。また、前記往復駆動用シリンダ15のピストンロッド15Ａには前記バスケット14の左右の設けた取手14Ａを支持する平面コ字型の支持杆16 が取付けられている。そして、前記昇降用シリンダ13側ピストンロッド13Ａの伸縮によって前記昇降台10上に載置する被洗浄物Ａのバスケット14を超音波洗浄槽４内の洗浄液Ｗに浸漬させ、この後、バスケット14を引き上げて前記開口部９の高さまで上昇させた状態で停止させる。この状態で往復駆動用シリンダ15側ピストンロッド15Ａを伸長させて前記支持杆16を待機状態で停止するバスケット14の取手14Ａの下側に配置させた後、昇降用シリンダ13のピストンロッド13Ａを縮めて昇降台10を降下させることによって、昇降台10上のバスケット14を支持杆16で支持させ、この支持杆16で支持するバスケット14を前記ピストンロッド15Ａの縮退によって濯ぎ槽６の内部へと移送している。

【００１０】また、前記濯ぎ槽６の下部には粗洗用濯ぎ液となる純水Ｗ１を収容する一次貯液タンク17と仕上げ用濯ぎ液となる純水Ｗ２を収容する二次貯液タンク18とが設けられ、この各貯液タンク17，18には前記噴射ノズル５と連通接続する給水管19 ，19Ａと濯ぎ槽６の底部に設けた排水管20に切換弁21を介して連通接続する分岐パイプ22，22Ａとが設けられ、これら各給水管19，19Ａと各分岐パイプ22，22Ａによって噴射ノズル５，濯ぎ槽６および各貯液タンク17を連通する循環路23を構成する。そして、前記各貯液タンク17，18の給水管19，19Ａにはポンプ26が連設され、かつ、二次側貯液タンク18の分岐パイプ22Ａに瀘過フィルタ25が設けられている。

【００１１】以上のように構成される本考案の作用について説明する。

【００１２】まず、被洗浄物Ａをバスケット14内に収容し、そのバスケット14を搬送ローラ 26上に載せて超音波洗浄槽４の上方で待機する昇降台10上に送り出す。そして、昇降用シリンダ13を作動させ被洗浄物Ａをバスケット14と共に超音波洗浄槽４内の洗浄液Ｗに浸漬させる。この後、超音波振動子３の励振により被洗浄物Ａを超音波洗浄し、被洗浄物Ａの外面付着物を剥離除去する。このようにして洗浄された被洗浄物Ａを前記昇降用シリンダ13によって隔壁７に形成する開口部９の高さまで上昇させて昇降台10を停止する。この後、移送用シリンダ15を作動してピストンロッド15Ａに取付けた支持杆16を待機状態で停止するバスケット14の取手14 Ａの下側まで伸長させて移送用シリンダ15を一旦停止する。そして、昇降用シリンダ13のピストンロッド13Ａを縮めて待機状態で停止する前記昇降台10を降下させてバスケット14の取手14Ａを移送用シリンダ15側の支持杆16で支持させる。この後、移送用シリンダ15のピストンロッド15Ａを縮めて支持杆16で支持されたバスケット14を隔壁７の開口部９を介して濯ぎ槽６の内部に移送する。そして、前記開口部９を遮蔽板８で閉塞し、このように、濯ぎ槽６を完全に区画した状態で超音波洗浄工程で被洗浄物Ａに付着する洗浄液Ｗを濯ぎ洗浄する。この場合、切換弁21によって粗洗用の純水Ｗ１を収容する一次貯液タンク17に接続された分岐パイプ22と濯ぎ槽６の排水管20とが連通状態となっており、一次貯液タンク17の給水管19に連設されたポンプ24の作動によって被洗浄物Ａに向けて高圧噴射される一次貯液タンク17内の純水Ｗ１は排水管20，分岐パイプ22を経由して一次貯液タンク17に環流される。すなわち、噴射ノズル５から噴射される純水Ｗ１によって被洗浄物Ａに付着する洗浄液Ｗを濯ぎ、この純水Ｗ１とともに洗い流された洗浄液Ｗを一次貯液タンク17に戻している。なお、一次貯液タンク17には被洗浄物Ａに付着する洗浄液Ｗが混入するがその洗浄液Ｗの量は純水Ｗ１に対して極めて微量で被洗浄物Ａを粗洗するには十分であり、また、純水Ｗ１の汚濁の程度によって清浄な純水を定期的に交換するものである。そして、被洗浄物Ａの祖洗いが完了した段階で切換弁21を切換えて二次貯液タンク18に接続された分岐パイプ22 Ａと濯ぎ槽６の排水管20とを連通状態させ、二次貯液タンク18の給水管19Ａに連設されたポンプ24の作動によって祖洗いされた被洗浄物Ａに向けて二次貯液タンク18内の仕上げ用の純水Ｗ２を噴射して仕上げの濯ぎ洗浄を行なう。この場合、仕上げの濯ぎ洗浄の前段階で予め被洗浄物Ａに付着する洗浄液Ｗは粗洗用の純水Ｗ１によって洗い流され、被洗浄物Ａへの仕上げ用の純水Ｗ２の噴射によって被洗浄物Ａ残った祖洗い用の純水Ｗ１が仕上げ用の純水Ｗ２とともに濯ぎ槽６の排水管20，分岐パイプ22を通って瀘過フィルタ25で瀘過され、このように瀘過された清浄な純水が二次貯液タンク18に戻される。このため、二次貯液タンク18に洗浄液Ａが混入して仕上げ用の純水Ｗ２が汚濁することはなく、洗浄度を高めることができる。そして、仕上げの濯ぎ洗浄の終了後は、前記遮蔽板８を上昇させて開口部９を開放し、被洗浄物Ａを収容するバスケット14を移送用シリンダ15の作動によって前記昇降台10の待機位置まで搬送した後、昇降用シリンダ13の作動による昇降台10の上昇によって前記バスケット14を昇降台10上に載置する。昇降台 10上のバスケット14は昇降用シリンダ13により洗浄機１の上部側に形成する搬送ローラ26位置まで上昇し、このように昇降台10で搬送されたバスケット14を搬送ローラ26側に移換えて搬送ローラ26によって洗浄機１の外部に搬出する。

【００１３】以上のように、本考案においては、単層の濯ぎ槽６によって被洗浄物Ａを濯ぎ洗浄し、その濯ぎ洗浄時に祖洗い用の純水Ｗ１と仕上げ用の純水Ｗ２とを使い分け、しかも切換弁21によって、その祖洗い用の純水Ｗ１と仕上げ用の純水Ｗ２を各々専用の一次および二次貯液タンク17，18に戻すことによって、祖洗い用の純水Ｗ１を収容する一次貯液タンク17に被洗浄物Ａに付着する洗浄液Ｗが混入されるが、仕上げ用の純水Ｗ１を収容する二次貯液タンク18には、前工程の被洗浄物Ａを祖洗いする際に被洗浄物Ａに残った純水Ｗ１と噴射ノズル５から噴射される仕上げ用の純水Ｗ２が溜り、その各々の純水Ｗ１，Ｗ２は共に成分も同じであり、また、仕上げ用の純水Ｗ２に対しの祖洗い用の純水Ｗ１の量は極めて微量であり、二次貯液タンク18内の純水Ｗ２を常に清浄に保つことができ、このような、清浄な純水Ｗ２によって、精密な濯ぎ洗浄が可能となる。

【００１４】従って、単層の濯ぎ槽６によって装置の小型化し、この小型化にも拘らず洗浄度を高めることができる。

【００１５】以上、本考案の一実施例を詳述したが、本考案は上記実施例に限定されるものでは無く、本考案の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。例えば、濯ぎ槽内に高圧エアブロー方式による乾燥装置を設け、ここで濯ぎ洗浄後の乾燥を行なうように構成してもよく、また、洗浄槽として超音波振動子を備えた超音波洗浄槽を例にして説明したが、例えば洗浄槽内にエゼクターノズルを設け、このエゼクターノズルによって洗浄槽内の洗浄液に乱流を生じさせ、その撹拌作用によって被洗浄物の付着物を除去するように構成してもよく、その洗浄槽の構造や洗浄方法並びにレイアウトなどは適宜設定するばよい。また、貯液タンクは祖洗い用，仕上げ用の二つのタンクを設けた例を示したが、二つ以上配置すればより清浄な純水を貯液タンクに貯めることができる。さらに、搬送装置はシリンダに限らずアクチェータやモータ駆動によるラックとピニオンあるいはリンク機構等各種機構を用いてもよい。

【００１６】

【考案の効果】

本考案は、洗浄機の内部に洗浄液を収容する洗浄槽と濯ぎ液を噴射する噴射ノズルを備えた濯ぎ槽とを設けるとともに、前記濯ぎ液を収容する貯液タンクを設け、この貯液タンクと前記噴射ノズル及び前記濯ぎ槽と貯液タンクとを連通接続する循環路を形成し、この循環路に設けたポンプによって濯ぎ液を循環する洗浄装置において、粗洗用濯ぎ液と仕上げ用濯ぎ液を区画して収容する複数の貯液タンクを設け、これら各貯液タンクに前記循環路の復路側に連設する分岐パイルを設け、この分岐パイルと循環路との間に濯ぎ工程に応じて濯ぎ液を専用の貯液タンクに戻す切換弁を設けたことによって、単層型の濯ぎ槽を用いて装置の小型化を図り、かつ、濯ぎ液の汚濁を防止できる洗浄装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例を示す概略説明図である。

【図２】同洗浄機の断面図である。

【図３】同洗浄機の平面図である。

【符号の説明】

１洗浄機４超音波洗浄槽５噴射ノズル６濯ぎ槽 21 切換弁 22，22Ａ分岐パイプ 23 循環路 24 ポンプＡ被洗浄物Ｗ洗浄液Ｗ１，Ｗ２純水（濯ぎ液）

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】洗浄機の内部に洗浄液を収容する洗浄槽
と濯ぎ液を噴射する噴射ノズルを備えた濯ぎ槽とを設け
るとともに、前記濯ぎ液を収容する貯液タンクを設け、
この貯液タンクと前記噴射ノズル及び前記濯ぎ槽と貯液
タンクとを連通接続する循環路を形成し、この循環路に
設けたポンプによって濯ぎ液を循環する洗浄装置におい
て、粗洗用濯ぎ液と仕上げ用濯ぎ液を区画して収容する
複数の貯液タンクを設け、これら各貯液タンクに前記循
環路の復路側に連設する分岐パイルを設け、この分岐パ
イルと循環路との間に濯ぎ工程に応じて濯ぎ液を専用の
貯液タンクに戻す切換弁を設けたことを特徴とする洗浄
装置。