JPH0651572B2 - 高誘電体粉末の製造方法 - Google Patents
高誘電体粉末の製造方法Info
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- JPH0651572B2 JPH0651572B2 JP60264420A JP26442085A JPH0651572B2 JP H0651572 B2 JPH0651572 B2 JP H0651572B2 JP 60264420 A JP60264420 A JP 60264420A JP 26442085 A JP26442085 A JP 26442085A JP H0651572 B2 JPH0651572 B2 JP H0651572B2
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、高誘電体粉末の製造方法に係り、特にセラミ
ックコンデンサ用材料に好適な、焼結温度が低く、高純
度で均一な微粒子からなる、下記一般式（Ｉ） （ＳｒｘＰｂ１−ｘＴｉＯ３）ｙ （ＰｂＭｇ0.5Ｗ0.5Ｏ３）１−ｙ…（Ｉ） （式中、０≦ｘ＜１，０＜ｙ＜１） で表される高誘電体粉末の製造方法に関するものであ
る。
ックコンデンサ用材料に好適な、焼結温度が低く、高純
度で均一な微粒子からなる、下記一般式（Ｉ） （ＳｒｘＰｂ１−ｘＴｉＯ３）ｙ （ＰｂＭｇ0.5Ｗ0.5Ｏ３）１−ｙ…（Ｉ） （式中、０≦ｘ＜１，０＜ｙ＜１） で表される高誘電体粉末の製造方法に関するものであ
る。
［従来の技術］ 近年、セラミックコンデンサに対しては、より一層小型
かつ高精度であることが要求されてきており、それに伴
いセラミックコンデンサ用原料粉末に対しても組成の均
一化、高純度化、微粉末化が強く望まれてきている。
かつ高精度であることが要求されてきており、それに伴
いセラミックコンデンサ用原料粉末に対しても組成の均
一化、高純度化、微粉末化が強く望まれてきている。
一方、セラミックコンデンサ用に好適な、１０００℃以
下の低温で焼結可能な高誘電体材料として、下記一般式
（II） （ＳｒｘＰｂ１−ｘＴｉＯ３）ａ （ＰｂＭｇ0.5Ｗ0.5Ｏ３）ｂ…（II） （但し、式中ｘ＝０〜０．１０，ａ＝０．３５〜０．
５，ｂ＝０．５〜０．６５，ａ＋ｂ＝１） で示される材料が、ロバート・ジョセフ・ボウチャード
によりモノリシックコンデンサ及びその製造方法として
特開昭５２−２１６２２号に、また、誘電体粉末組成物
として特開昭５２−２１６９９号に、それぞれ開示され
ている。
下の低温で焼結可能な高誘電体材料として、下記一般式
（II） （ＳｒｘＰｂ１−ｘＴｉＯ３）ａ （ＰｂＭｇ0.5Ｗ0.5Ｏ３）ｂ…（II） （但し、式中ｘ＝０〜０．１０，ａ＝０．３５〜０．
５，ｂ＝０．５〜０．６５，ａ＋ｂ＝１） で示される材料が、ロバート・ジョセフ・ボウチャード
によりモノリシックコンデンサ及びその製造方法として
特開昭５２−２１６２２号に、また、誘電体粉末組成物
として特開昭５２−２１６９９号に、それぞれ開示され
ている。
［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、前掲の公報においては、上記一般式（I
I）で示される高誘電体粉末は、各々の成分元素の金属
酸化物や金属炭酸塩を出発原料として、これらを乳鉢や
ボールミル等で混合、粉砕して製造されており、この混
合粉砕工程において生成物に不純物が混入し易いため、
高純度のものが得られないという問題点がある。しか
も、ボールミル等による混合、粉砕では混合や粉砕の程
度に限界があるため、微粒子が得られず、しかも粒径や
組成を均一なものとすることが極めて困難であるという
問題もあった。
I）で示される高誘電体粉末は、各々の成分元素の金属
酸化物や金属炭酸塩を出発原料として、これらを乳鉢や
ボールミル等で混合、粉砕して製造されており、この混
合粉砕工程において生成物に不純物が混入し易いため、
高純度のものが得られないという問題点がある。しか
も、ボールミル等による混合、粉砕では混合や粉砕の程
度に限界があるため、微粒子が得られず、しかも粒径や
組成を均一なものとすることが極めて困難であるという
問題もあった。
［問題点を解決するための手段］ 本発明は上記従来の問題点を解消し、前記一般式（II）
で示される誘電体材料を包含する前記一般式（Ｉ）で示
される高誘電体材料の粉末を、 高純度で 組成の均一性よく 極めて微粒状に 製造する方法を提供することを目的とするものであっ
て、これにより前記一般式（Ｉ）で示される誘電体の誘
電体としての特性向上並びに低温焼結性の改良を図るも
のである。
で示される誘電体材料を包含する前記一般式（Ｉ）で示
される高誘電体材料の粉末を、 高純度で 組成の均一性よく 極めて微粒状に 製造する方法を提供することを目的とするものであっ
て、これにより前記一般式（Ｉ）で示される誘電体の誘
電体としての特性向上並びに低温焼結性の改良を図るも
のである。
本発明の高誘電体粉末の製造方法は、化学組成が一般式
（Ｉ） （ＳｒｘＰｂ１−ｘＴｉＯ３）ｙ （ＰｂＭｇ0.5Ｗ0.5Ｏ３）１−ｙ…（Ｉ） （式中、０≦ｘ＜１，０＜ｙ＜１） で示される高誘電体粉末を製造する方法において、スト
ロンチウムアルコキシド（ただし、上記（Ｉ）式におい
てＸ＝０の場合には不要である。）、鉛アルコキシド、
チタンアルコキシド及びマグネシウムアルコキシドの混
合物をパラタングステン酸アンモニウム水溶液に加え、
アルコキシドの加水分解及びタングステン成分の共沈を
行わせしめ、得られた沈殿物を加熱して上記高誘電体粉
末を得るものである。
（Ｉ） （ＳｒｘＰｂ１−ｘＴｉＯ３）ｙ （ＰｂＭｇ0.5Ｗ0.5Ｏ３）１−ｙ…（Ｉ） （式中、０≦ｘ＜１，０＜ｙ＜１） で示される高誘電体粉末を製造する方法において、スト
ロンチウムアルコキシド（ただし、上記（Ｉ）式におい
てＸ＝０の場合には不要である。）、鉛アルコキシド、
チタンアルコキシド及びマグネシウムアルコキシドの混
合物をパラタングステン酸アンモニウム水溶液に加え、
アルコキシドの加水分解及びタングステン成分の共沈を
行わせしめ、得られた沈殿物を加熱して上記高誘電体粉
末を得るものである。
なお、上記（Ｉ）において誘電体特性として最適なｘ，
ｙの範囲はそれぞれ０≦ｘ＜０．１５，０．３＜ｙ＜
０．５である。
ｙの範囲はそれぞれ０≦ｘ＜０．１５，０．３＜ｙ＜
０．５である。
以下に本発明を詳細に説明する。
本発明においては、まず、前記一般式（Ｉ）で示される
高誘電体材料を構成する金属元素のうち、タングステン
以外の金属のアルコキシド、即ち、鉛アルコキシド、チ
タンアルコキシド、マグネシウムアルコキシド及び場合
によりストロンチウムアルコキシドを、前記一般式
（Ｉ）の組成となるように混合して金属アルコキシド混
合物を調製する。
高誘電体材料を構成する金属元素のうち、タングステン
以外の金属のアルコキシド、即ち、鉛アルコキシド、チ
タンアルコキシド、マグネシウムアルコキシド及び場合
によりストロンチウムアルコキシドを、前記一般式
（Ｉ）の組成となるように混合して金属アルコキシド混
合物を調製する。
なお、本明細書で「金属アルコキシド」とはアルコール
のＯＨ基の水素原子を金属原子で置換した化合物を指
し、本発明で用いる金属アルコキシドは、各々、下記の
ようにして調製するのが好ましい。
のＯＨ基の水素原子を金属原子で置換した化合物を指
し、本発明で用いる金属アルコキシドは、各々、下記の
ようにして調製するのが好ましい。
ストロンチウムアルコキシド及びマグネシムアルコキ
シドは下記反応式 Ｍ＋２ＲＯＨ→Ｍ（ＯＲ）２＋Ｈ２↑ （ＭはＳｒ又はＭｇ、ＲＯＨはアルコール）に従って、
金属とアルコールとの直接反応で得られる。この場合高
純度のアルコキシドを得るには金属原料として高純度の
ストロンチウム又はマグネシウムを使用すれば良い。
シドは下記反応式 Ｍ＋２ＲＯＨ→Ｍ（ＯＲ）２＋Ｈ２↑ （ＭはＳｒ又はＭｇ、ＲＯＨはアルコール）に従って、
金属とアルコールとの直接反応で得られる。この場合高
純度のアルコキシドを得るには金属原料として高純度の
ストロンチウム又はマグネシウムを使用すれば良い。
鉛アルコキシドは本出願人より先に特許出願した特願
昭６０−５２３３２に開示された方法により、容易に高
純度のものを得ることができる。
昭６０−５２３３２に開示された方法により、容易に高
純度のものを得ることができる。
チタンアルコキシドは常法に従って得ることができる
が、市販のものでも要求される純度を十分に満足し得
る。
が、市販のものでも要求される純度を十分に満足し得
る。
このようにして製造される金属アルコキシドとしては、
金属とメタノール、エタノール、イソプロパノール、ブ
タノール、アミルアルコール等の一価のアルコールより
なる金属アルコキシドが、反応性の面から好ましい。
金属とメタノール、エタノール、イソプロパノール、ブ
タノール、アミルアルコール等の一価のアルコールより
なる金属アルコキシドが、反応性の面から好ましい。
なお、本発明においては使用する金属アルコキシドは、
不純物（特にアルカリ金属）含量が０．１モル％以下、
とりわけ０．０５モル％以下のものが好ましい。これは
金属アルコキシド中にアルカリ金属が存在すると、不純
物と金属アルコキシドとで複合アルコキシドが構成さ
れ、目的とする化合物あるいはその前駆体の形成に障害
をもたらすことがあるからである。また、アルカリ金属
の存在によりアルカリ金属アルコキシドが形成される
と、加水分解により、加水分解後の反応系のpHが高い方
に変化し、生成物の組成に変化を与えたり、生成物の沈
殿が生じなくなったりするという問題もおこるおそれが
あるからである。
不純物（特にアルカリ金属）含量が０．１モル％以下、
とりわけ０．０５モル％以下のものが好ましい。これは
金属アルコキシド中にアルカリ金属が存在すると、不純
物と金属アルコキシドとで複合アルコキシドが構成さ
れ、目的とする化合物あるいはその前駆体の形成に障害
をもたらすことがあるからである。また、アルカリ金属
の存在によりアルカリ金属アルコキシドが形成される
と、加水分解により、加水分解後の反応系のpHが高い方
に変化し、生成物の組成に変化を与えたり、生成物の沈
殿が生じなくなったりするという問題もおこるおそれが
あるからである。
本発明においては、これらの金属アルコキシドを混合す
るにあたり、有機溶媒を用い、溶媒中に必要とする金属
アルコキシドを溶解させ、機械的な攪拌、環流による攪
拌、あるいはこれらの併用により十分に混合するのが好
ましい。この場合、有機溶媒としては、ベンゼン、トル
エン、キシレンあるいはイソプロピルアルコール、ブタ
ノール等のアルコールが挙げられる。
るにあたり、有機溶媒を用い、溶媒中に必要とする金属
アルコキシドを溶解させ、機械的な攪拌、環流による攪
拌、あるいはこれらの併用により十分に混合するのが好
ましい。この場合、有機溶媒としては、ベンゼン、トル
エン、キシレンあるいはイソプロピルアルコール、ブタ
ノール等のアルコールが挙げられる。
このように金属アルコキシド溶液を用いて混合させるこ
とにより、後続の加水分解反応が極めて均一に進行する
ようになる。
とにより、後続の加水分解反応が極めて均一に進行する
ようになる。
金属アルコキシドを混合する場合、その混合時温度は、
使用する金属アルコキシドの熱分解温度よりも低ければ
差支えない。有機溶媒中で混合する場合には、取扱いの
便宜上、０〜１００℃の温度とするのが好ましい。
使用する金属アルコキシドの熱分解温度よりも低ければ
差支えない。有機溶媒中で混合する場合には、取扱いの
便宜上、０〜１００℃の温度とするのが好ましい。
このようにして調製した金属アルコキシドの混合物は、
次いでパラタングステン酸アンモニウム水溶液に所望の
組成の生成物が得られるような割合で加え、アルコキシ
ドの加水分解及びタングステン成分の共沈を行わせる。
次いでパラタングステン酸アンモニウム水溶液に所望の
組成の生成物が得られるような割合で加え、アルコキシ
ドの加水分解及びタングステン成分の共沈を行わせる。
このパラタングステン酸アンモニウム水溶液の調製にあ
たっては、パラタングステン酸アンモニウムは水溶性で
はあるが、溶解度の点から７０℃以上の水に溶かすこと
が好ましい。パラタングステン酸アンモニウム水溶液へ
の金属アルコキシド混合物の添加は、金属アルコキシド
の混合を有機溶媒を用いて行った場合には、この混合溶
液をそのままパラタングステン酸アンモニウム水溶液に
滴下すれば良い。これにより金属アルコキシドの加水分
解とタングステン成分の共沈が同時に起こり、非晶質の
水和物の沈殿が得られる。この場合、処理温度は取扱い
の便宜上、０〜１００℃の温度領域とし、攪拌下に行う
のが好ましい。
たっては、パラタングステン酸アンモニウムは水溶性で
はあるが、溶解度の点から７０℃以上の水に溶かすこと
が好ましい。パラタングステン酸アンモニウム水溶液へ
の金属アルコキシド混合物の添加は、金属アルコキシド
の混合を有機溶媒を用いて行った場合には、この混合溶
液をそのままパラタングステン酸アンモニウム水溶液に
滴下すれば良い。これにより金属アルコキシドの加水分
解とタングステン成分の共沈が同時に起こり、非晶質の
水和物の沈殿が得られる。この場合、処理温度は取扱い
の便宜上、０〜１００℃の温度領域とし、攪拌下に行う
のが好ましい。
この加水分解及びタングステン成分の共沈により、生成
する沈殿物を濾過等により分離し、乾燥後、加熱するこ
とにより、前記（Ｉ）式で表される結晶質の目的組成物
が得られる。この時の加熱温度は６００℃以上で生成さ
れた高誘電体粉末の分解温度以下とするのが好ましい。
する沈殿物を濾過等により分離し、乾燥後、加熱するこ
とにより、前記（Ｉ）式で表される結晶質の目的組成物
が得られる。この時の加熱温度は６００℃以上で生成さ
れた高誘電体粉末の分解温度以下とするのが好ましい。
本発明の方法で得られる高誘電粉末の粒径は、電子顕微
鏡観察によると７００℃で２時間加熱処理したもので、
０．０５〜０．０８μｍ程度であり、粒径が極めて均一
であることが認められた。
鏡観察によると７００℃で２時間加熱処理したもので、
０．０５〜０．０８μｍ程度であり、粒径が極めて均一
であることが認められた。
しかも、得られる高誘電体粉末は、従来の金属酸化物又
は金属炭酸塩等の混合粉砕を行う方法により得られる誘
電体粉末に比し、低温焼結が可能で容易に焼結体とする
ことができ、また、誘電率が大きく、しかも低い誘電損
失で、誘電体として優れた電気特性を有するものであ
る。
は金属炭酸塩等の混合粉砕を行う方法により得られる誘
電体粉末に比し、低温焼結が可能で容易に焼結体とする
ことができ、また、誘電率が大きく、しかも低い誘電損
失で、誘電体として優れた電気特性を有するものであ
る。
［作用］ 本発明の方法は、タングステン以外の構成金属元素のア
ルコキシド混合物をパラタングステン酸アンモニウム水
溶液に添加し、アルコキシドの加水分解とタングステン
成分の共沈とを同時に生起させるものであるので、不純
物の混入を避け、高純度でしかも均一組成の高誘電体粉
末を得ることができる。
ルコキシド混合物をパラタングステン酸アンモニウム水
溶液に添加し、アルコキシドの加水分解とタングステン
成分の共沈とを同時に生起させるものであるので、不純
物の混入を避け、高純度でしかも均一組成の高誘電体粉
末を得ることができる。
本発明で得られる高誘電体微粉末は高純度、均一組成の
超微粉末であるため、低温焼結が可能で、誘電体として
極めて優れた特性を有するものとなる。
超微粉末であるため、低温焼結が可能で、誘電体として
極めて優れた特性を有するものとなる。
［実施例］ 以下に実施例及び比較例を挙げて本発明を更に具体的に
説明するが、本発明はその要旨を超えない限り、以下の
実施例に限定されるものではない。
説明するが、本発明はその要旨を超えない限り、以下の
実施例に限定されるものではない。
なお、各例において、誘電体粉末の電気特性は、合成さ
れた粉末を３００kgf／cm2の圧力で直径１６mm、厚さ１
mmの円盤状に加圧成型した後、空気中で９５０℃、１０
００℃、１０５０℃の各温度で１時間焼結し、それぞれ
の焼結体の円盤両面に銀電極を焼付け、２０℃で誘電
率、誘電損失、比抵抗を測定することにより調べた。な
お、誘電率と誘電損失の測定は１ｋHzで行い、デジタル
ＬＣＲメータを用いた。また、電気抵抗は１００ｖ、５
秒間電圧印加後、絶縁抵抗計で測定し、比抵抗を算出し
て示した。
れた粉末を３００kgf／cm2の圧力で直径１６mm、厚さ１
mmの円盤状に加圧成型した後、空気中で９５０℃、１０
００℃、１０５０℃の各温度で１時間焼結し、それぞれ
の焼結体の円盤両面に銀電極を焼付け、２０℃で誘電
率、誘電損失、比抵抗を測定することにより調べた。な
お、誘電率と誘電損失の測定は１ｋHzで行い、デジタル
ＬＣＲメータを用いた。また、電気抵抗は１００ｖ、５
秒間電圧印加後、絶縁抵抗計で測定し、比抵抗を算出し
て示した。
実施例１ （Ｓｒ０．１Ｐｂ０．９ＴｉＯ３）０．５ （ＰｂＭｇ０．５Ｗ０．５Ｏ３）の合成 高純度のＳｒ金属４．３８ｇをイソプロピルアルコール
２００mlと、また、高純度のＭｇ金属６．０８ｇをメタ
ノール３００mlとそれぞれ反応させて、ストロンチウム
イソプロポキシドのイソプロピルアルコール溶液及びマ
グネシウムメトキシドのメタノール溶液を合成した。ま
た、鉛ブトキシドのベンゼン溶液（０．９５mol／）
１０００mlを特願昭６０−５２３３２に開示した方法で
合成した。得られた３種類のアルコキシド溶液と市販の
チタンイソプロポキシド１４２．１ｇとを混合し、金属
アルコキシドの混合溶液を調製した。
２００mlと、また、高純度のＭｇ金属６．０８ｇをメタ
ノール３００mlとそれぞれ反応させて、ストロンチウム
イソプロポキシドのイソプロピルアルコール溶液及びマ
グネシウムメトキシドのメタノール溶液を合成した。ま
た、鉛ブトキシドのベンゼン溶液（０．９５mol／）
１０００mlを特願昭６０−５２３３２に開示した方法で
合成した。得られた３種類のアルコキシド溶液と市販の
チタンイソプロポキシド１４２．１ｇとを混合し、金属
アルコキシドの混合溶液を調製した。
別に、パラタングステン酸アンモニウム６５．２７ｇを
７０℃の水１８００mlに溶解し、パラタングステン酸ア
ンモニウム水溶液を調製し、このパラタングステン酸ア
ンモニウム水溶液に上記金属アルコキシド混合溶液をゆ
っくり攪拌しながら滴下し、沈殿物を得た。得られた沈
殿物を空気中で乾燥した後、７００℃で２時間、加熱
し、目的組成の粉末を得た。
７０℃の水１８００mlに溶解し、パラタングステン酸ア
ンモニウム水溶液を調製し、このパラタングステン酸ア
ンモニウム水溶液に上記金属アルコキシド混合溶液をゆ
っくり攪拌しながら滴下し、沈殿物を得た。得られた沈
殿物を空気中で乾燥した後、７００℃で２時間、加熱
し、目的組成の粉末を得た。
得られた粉末の電気特性の測定結果を第１表に示す。
比較例１ ＰｂＯ、ＴｉＯ２、ＷＯ３の各金属酸化物とＳｒＣ
Ｏ３、ＭｇＣＯ３をボールミルで混合粉砕した後、７０
０℃で５時間仮焼し、更にボールミルで粉砕し、実施例
１と同組成の粉末を調製した。
Ｏ３、ＭｇＣＯ３をボールミルで混合粉砕した後、７０
０℃で５時間仮焼し、更にボールミルで粉砕し、実施例
１と同組成の粉末を調製した。
得られた粉末の電気特性の測定結果を第１表に示す。
実施例２ （ＰｂＴｉＯ３）０．４ （ＰｂＭｇ０．５Ｗ０．５Ｏ３）０．６の合成 原料の混合割合を変えたこと以外は、実施例１と同様に
して目的組成の粉末を得た。
して目的組成の粉末を得た。
得られた粉末の電気特性の測定結果を第１表に示す。
比較例２ ＰｂＯ、ＴｉＯ２、ＷＯ３の各金属酸化物とＭｇＣＯ３
を用いて、比較例１と同様にして、実施例２と同組成の
粉末を調製した。
を用いて、比較例１と同様にして、実施例２と同組成の
粉末を調製した。
得られた粉末の電気特性の測定結果を第１表に示す。
第１表より、本発明によれば低温焼結性に優れ、極めて
優れた電気特性を有する高誘電体粉末が得られることが
明らかである。
優れた電気特性を有する高誘電体粉末が得られることが
明らかである。
［発明の効果］ 以上詳述した通り、本発明の高誘電体粉末の製造方法に
よれば、高純度で極めて均一な組成を有し、しかも均一
粒径の超微粉末からなる高誘電体粉末を容易に製造する
ことができる。
よれば、高純度で極めて均一な組成を有し、しかも均一
粒径の超微粉末からなる高誘電体粉末を容易に製造する
ことができる。
しかして、得られた高誘電体粉末は低温焼結が可能で容
易に焼結体を得ることができ、また誘電体としても極め
て優れた特性を有する。
易に焼結体を得ることができ、また誘電体としても極め
て優れた特性を有する。
Claims (6)
- 【請求項１】化学組成が一般式 （ＰｂＴｉＯ３）ｙ （ＰｂＭｇ0.5Ｗ0.5Ｏ３）１−ｙ （式中、０＜ｙ＜１） で示される高誘電体粉末を製造する方法において、鉛ア
ルコキシド、チタンアルコキシド及びマグネシウムアル
コキシドの混合物をパラタングステン酸アンモニウム水
溶液に加え、アルコキシドの加水分解及びタングステン
成分の共沈を行わしめ、得られた沈殿物を加熱して上記
高誘電体粉末を得ることを特徴とする高誘電体粉末の製
造方法。 - 【請求項２】鉛アルコキシド、チタンアルコキシド及び
マグネシウムアルコキシドの混合は有機溶媒に溶解した
状態で行うことを特徴とする特許請求の範囲第１項に記
載の高誘電体粉末の製造方法。 - 【請求項３】沈殿物の加熱は６００℃以上で高誘電体粉
末の分解温度未満の温度範囲で行うことを特徴とする特
許請求の範囲第１項又は第２項に記載の高誘電体粉末の
製造方法。 - 【請求項４】化学組成が一般式 （ＳｒｘＰｂ１−ｘＴｉＯ３）ｙ （ＰｂＭｇ0.5Ｗ0.5Ｏ３）１−ｙ （式中、０＜ｘ＜１，０＜ｙ＜１） で示される高誘電体粉末を製造する方法において、スト
ロンチウムアルコキシド、鉛アルコキシド、チタンアル
コキシド及びマグネシウムアルコキシドの混合物をパラ
タングステン酸アンモニウム水溶液に加え、アルコキシ
ドの加水分解及びタングステン成分の共沈を行わせし
め、得られた沈殿物を加熱することを特徴とする高誘電
体粉末の製造方法。 - 【請求項５】ストロンチウムアルコキシド、鉛アルコキ
シド、チタンアルコキシド及びマグネシウムアルコキシ
ドの混合は有機溶媒に溶解した状態で行うことを特徴と
する特許請求の範囲第４項に記載の高誘電体粉末の製造
方法。 - 【請求項６】沈殿物の加熱は６００℃以上で高誘電体粉
末の分解温度未満の温度範囲で行うことを特徴とする特
許請求の範囲第４項又は第５項に記載の高誘電体粉末の
製造方法。
Priority Applications (4)
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|---|---|---|---|
| JP60264420A JPH0651572B2 (ja) | 1985-11-25 | 1985-11-25 | 高誘電体粉末の製造方法 |
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| EP86113470A EP0230515B1 (en) | 1985-11-25 | 1986-10-01 | Method for the production of a powder having a high dielectric constant |
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| JP60264420A JPH0651572B2 (ja) | 1985-11-25 | 1985-11-25 | 高誘電体粉末の製造方法 |
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