JPH06511514A - 金属工作物を熱処理する装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 金属工作物を熱処理する装置 技術分野 本発明は、第１の熱処理ステップを実施する少なくとも１つの炉ユニットに工作 物を周期的に供給する供給装置を有し、その炉ユニットは少なくとも１つの他の 熱処理ステップを実施する少なくとも１つの後続の炉ユニットと接続可能である 、金属工作物を熱処理する装置に関するものである。

背景技術 工業的な熱処理装置は、高い装入量を得るためにできる限り連続的あるいは周期 的に駆動される。すなわち連続的に作動するコンベヤベルト炉の他に周期的に作 動するプッシャ一式の炉が知られており、これは特にプッシャーガス浸炭装置に 使用される。従来のプッシャ一式装置は種として矩形状に形成されているので、 閉鎖された循環が形成される。

この種の装置は大きな装入量用に設計されているが、周期的に循環駆動されるた めに種々の装入物間で切り替えを行う際にそれぞれ適合処置を実施しなければな らないという欠点を有する。すなわち部分的に空格子を移動させ、あるいは炉装 置を空駆動してからでないと、異なる性質の部品を加工することができない。

さらに、種々の周期時間で周期的に駆動することを可能にするために、２あるい は３トラツクのプッシャー炉装置が開発された。しかしマルチトラックに設計す ることによって、熱処理の均一性が減少されてしまう。

さらにプッシャー炉装置は、経済的に駆動するためには所定の最少フル運転が必 要となる。というのは完全にフル運転しない場合には空格子を移動しなければな らないからである。

特に装入量が少ない場合に熱処理のより大きな柔軟性を可能にするために、回転 炉床炉が前段および後段に接続されたプッシャーないしスルータイプの炉と組み 合わされた。

浸炭は主として１段階あるいは２段階の回転炉床領域で実施され、加熱と拡散は 主としてプッシャーあるいはスルータイプ類で行われる。

この種の炉装置はＤＥ３４４１３３８Ａ１によって知られるようになった。その 場合に工作物はプッシャー炉内で保護ガスのもとで加熱され、その後中間ドアを 介して接続されている浸炭室へ移送され、浸炭室は周期的に回転可能なリボルビ ング炉として形成されている。個々の装入物は周期的に制御される異なる浸炭時 間に従って中間ドアを介して拡散室へ移送され、拡散室は同様に周期的に駆動さ れるリボルビング炉として形成されている。装入物は拡散室から中間ドアを介し てバランス室へ達し、バランス室はプッシャー炉として形成されている。

この種の装置を用いて個々の装入物の浸炭時間を異なるように制御することがで きるので、異なる工作物を熱処理することができ、あるいはまた種々の表面焼入 れ深さを達成することができる。

しかし、この種の装置を用いるとそれぞれ回転炉床領域にあるそれぞれの装入物 全体をそれぞれ所定の雰囲気のもとで設定された唯一の温度でのみ熱処理するこ とができる。

その他の装入物において設定されている処理パラメータを維持するためには、部 分的に個々の格子箇所を空移動させなければならない。

従って本発明の課題は、可能な限り大きい柔軟性を保証する金属工作物を熱処理 する装置を提供することである。

発明の要約 本発明の装置によればこの課題は、冒頭で挙げた種類の装置において少なくとも 第１の炉ユニットが多数の個別チャンバを有し、その個別チャンバがそれぞれガ ス密のドアを介して閉鎖可能であること、各個別チャンバに供給装置を介して装 入工作物を選択的に直接供給することが可能であること、各個別チャンバの各装 入工作物について温度、滞留時間および雰囲気を個別に制御可能であること、並 びに装入工作物をそれぞれ所望の滞留時間の後にそれぞれ所望の個別チャンバか ら取り出して、後続の炉ユニットへ供給するために移送装置が設けられているこ とによって解決される。

この構造の本質的な利点は、各個別チャンバについてそれぞれ個々の装入物用の 熱処理パラメータを自由に選択できること、すなわちそれぞれ個々の装入物につ いて温度、滞留時間および雰囲気を個別に制御できることにある。この種の構造 は特に比較的小さい熱処理ロットのためのフレキシブルなガス浸炭に効果的に使 用することができる。

各装入物について熱処理パラメータ、すなわち圧力、温度および滞留時間を分離 して制御可能であることによって、高価な部品について熱処理をきわめて大きい 精度で実施することができる。この可能性はさらに、それぞれ個別の装入物につ いてリアルデータを用いて拡散計算を実施できることによってさらに改良される 。

各個別チャンバはガス密のドアを介して閉鎖可能であり、かつ温度と滞留時間を 個別に制御可能であるので、個別チャンバにおいて種々の熱処理方法を同時に実 施することが可能になる。すなわち例えば種々の個別チャンバにおいてガス浸炭 、カルボニトロ化、熟練ないし焼き入れ、ニトロカルボ化などを周期的な駆動の 枠内で実施することができる。すなわち小さい装入物も経済的に加工することが できる。

個別チャンバはそれぞれ個別に運転を止めることができるので、装置がフル駆動 されていない場合でも大きな経済性が保証される。さらに所定の個別チャンバに おいて°保守作業を行うことができ、その他の個別チャンバは駆動することがで きる。

本発明による装置の他の利点は、空格子が不要となり、それによって駆動が著し く変化する場合でも特に経済的な駆動が保証され、かつ摩耗が減少されることに ある。

本発明の好ましい実施例においては、供給装置に保護ガスを供給されるガス密の 装入移送ロックが設けられ、移送装置には保護ガスを供給されるガス密の中間移 送ロックが設けられている。

このようにして各装入物（熱処理の開始前の冷間装入物）の出発点における装入 物移送を急冷ユニットあるいは冷却ロックからの装入物の排出点まで保護ガス雰 囲気のもとで、好ましくは酸化のない保護ガス雰囲気内で実施することができる 。

本発明の好ましい実施例においては、供給装置に装入移送ロックに装入を行う真 空装入ロックが設けられている。

この処置によって、装置をきわめて短い時間で充填することができるという利点 が得られ、それは特に個々の装入物について熱処理パラメータが異なる場合に、 例えば種々の表面焼入れ深さを得るために、効果的に作用する。

本発明の実施例においては、中間移送ロックにも真空装入ロックが設けられてい る。

それによって特別な熱処理のための修理装入物を内部へ移送し、あるいは単に焼 き入れだけを行うべき装入物を内部へ移送することができる。

本発明の他の実施例においては、中間移送ロックと装入移送ロックにそれぞれガ ス密の駆動装置を有する格子移送キャリッジが設けられている。

それによって保護ガスのもとて格子をほとんど摩耗なしで移送することが可能に なる。

駆動装置は本発明の好ましい実施例においては、位置決め可能なドラッグコンベ ヤ駆動装置として形成されている。

本発明の好ましい実施例においては、中間移送ロックは内部絶縁を有する冷たい ロックトンネルとして形成されている。

このようにして中間移送ロックの加熱を省くことができ、変換は保護ガス下で行 われる。

本発明の好ましい実施例においては各個別チャンバの前に装填および排出のため の横押し装置が設けられている。

このようにして個々の装入物をそれぞれ格子移送キャリッジから簡単に個別チャ ンバ内へ移動させることができ、ないしは個別チャンバから他の格子移送キャリ ッジないしは後段に接続されたユニットへ移動させることができる。

本発明の他の好ましい実施例においては、後段に接続された少なくとも１つの炉 ユニットに多数の個別チャンバが設けられており、それらがそれぞれガス密のド アを介して閉鎖可能であって、その場合に各個別チャンバについて温度、滞留時 間および雰囲気を個別に制御することができる。

この処置によって各装入物について最適な中間および最終熱処理を実施すること が可能になる。というのは温度、滞留時間および雰囲気をそれぞれ自由に選択で きるからである。

好ましい実施例においてはさらにそれぞれ中間処理チャンバが設けられており、 それらがガス密のドアを介して後段に接続された最終処理チャンバと接続可能で ある。

中間あるいは最終処理チャンバに選択的に他のユニット、好ましくはオイル、塩 あるいはポリマー急冷用の急冷槽を有する排出ロック、焼入れプレスと繊細な工 作物を硬化させるための後冷却装置を有する個別取り出し装置、高圧のガス急冷 ユニットあるいはガス冷却ロックを接続することができる。

それぞれの場合に装置をモジュラ−構造によって他の個、別チャンバで拡大する ことができ、その場合の他の装置部分、例えば急冷槽、移送ロックなどはそのま ま維持することができる。

装置全体はもちろん他の装置要素、例えば洗浄装置、冷却区間を有する焼き戻し 炉などを補充することができる。

高圧ガス急冷装置が最終処理チャンバと接続された場合には、高圧急冷チャンバ からの冷却ガスは好ましくは中間移送ロック、装入移送ロックおよび／または真 空装入ロックの保護ガス供給に使用される。

個別チャンバからなる炉ユニットのモジュラ−構造によってそれぞれについて熱 処理パラメータ、すなわち温度、滞留時間および雰囲気を自由に選択でき、多数 の異なる装置構成が可能になることは明かである。

なお、上述および後述する特徴は記載のそれぞれの組合せにおいてだけでなく、 他の組合せにおいても、あるいは単独でも本発明の枠を逸脱することなく使用で きることは言うまでもないことである。

本発明の好ましい実施例を図面に示し、以下において詳細に説明する。

図面の簡単な説明 第１図は本発明による装置の第１の実施例を概略図示するものであり、 第２図は本発明の第２の実施例を概略図示するものであり、 第３図は本発明の第３の実施例を概略図示するものである。

第１図は本発明の第１の実施例を湿すものであって、全体が符号１０で示されて いる。

発明を実施する最良の形態 第１の炉ユニット１２は同種の３つの個別チャンバ１３に分割されており、個別 チャンバはそれぞれガス密の装入ドアと排出ドア２１を介して閉鎖可能である。

他の炉ユニット１４にはガス密の入すロドアを有する中間処理チャンバ１５が設 けられており、中間処理チャンバはガス密の入口ドアを介して最終処理チャンバ １６と接続可能である。

第１の炉ユニット１２の各個別チャンバ１３について、並びに中間処理チャンバ １５と最終処理チャンバ１６について熱処理パラメータ、すなわち温度、滞留時 間およびガス雰囲気をそれぞれ個別に制御することができる。

第１の炉ユニット１２に装入するために装入移送ロック１８が設けられており、 その中に装入工作物を有する個別格子を真空装入ロック２３を介して装入するこ とができる。

装入移送ロック１８内で格子移送キャリッジ３０がガス密のドラッグチェーン回 転駆動装置２８を介して移動することができる。駆動するために位置決め制御を 有するサーボモータが使用され、サーボモータは真空装入ロック２３の出口の前 ないしは炉ユニット１２の各個別チャンバ１４の入り口の前で格子移送キャリッ ジ３ｏの位置決めを可能にする。

格子を真空装入ロック２３から装入移送ロック１８内へ排出し、ないしは装入移 送ロック１８がら開放された装入ドアを介して個別チャンバ１３内へ装入し、が っ後に個別チャンバから開放された排出ドアを介して排出するために、それぞれ 横押し装置２６が設けられている。

第１の炉ユニット１２と後段の炉ユニット１４の中間処理チャンバ１５は中間移 送ロック１９を介して接続されている。中間移送ロック１９は加熱されず、かつ 放射保護のための内部絶縁部材を有する。格子を移送するために格子移送キャリ ッジ２９が設けられており、このキャリッジはガス密の格子移送キャリッジ駆動 装置２７を介して中間移送ロック１９の内部で移動することができ、かつ位置決 め可能である。　゛ 装入移送ロック１８も中間移送ロック１９も保護ガスを供給される。装入移送ロ ック２３と装入移送ロック１８を介して個別チャンバ１３にそれぞれに装入工作 物を供給することが可能であって、かつ個別に制御される熱処理（温度、雰囲気 および滞留時間）の後に中間移送ロック１９を介して格子移送キャリッジ２９に よって保護ガスのもとで後続の中間処理チャンバ１４の前へ移送される。ここか らは格子は横押し装置を介して装入ドアが開いている場合に中間処理チャンバ１ ５内へ挿入される。任意に選択可能な温度とガス雰囲気で中間熱処理が行われた 後に、格子は他の横押し装置を介して中間ドアが開放されている場合に最終処理 チャンバ１６内にさらに挿入される。

最終処理チャンバ１６にはガス密の排出ドアを介して、後段に接続された排出ロ ックを有するオイルあるいは塩の急冷用の急冷槽３１が接続されており、焼入れ 浴を出た装入工作物を排出ロックから取り出すことができる。

中間移送ロック１９には他の真空装入ロック２４が接続されており、それを介し て個々の装入工作物を第１の炉ユニット１２を迂回して修理のため、あるいは単 に焼入れのために中間移送ロック１９を介して直接中間処理チャンバ１５へ供給 することができる。

個々の装入工作物は装入キャリッジ３９によって移送区間４３を介して接続通路 ２５まで移動され、そこからそれぞれ横押し駆動装置を介して第１の真空ロック ２３あるいは第２の真空ロック２４内へ移動させることができる。

個々の装入工作物は装入／取り出し昇降テーブル４２を介して貯蔵トラック４１ 内に貯蔵され、かつそこから装入キャリッジ３９内へ移動させることができる。

装入キャリッジ３９を用いて装入工作物を装置の他の要素、低温セル３７ａ、３ ７ｂ、洗浄装置３６あるいは一時貯蔵のための平面貯蔵部４０へ移動させること ができる。

本発明の他の実施例が第２図において全体を符号５０で示されている。

ここでは高温処理のための２つの炉ユニット５２ａ、５２ｂが設けられており、 それらはそれぞれ３つの同一の個別チャンバ５３に分割されており、個別チャン バはガス密の装入ないし排出ドア６１を介して閉鎖することができる。

その場合に温度、ガス雰囲気および装入工作物の滞留時間は各個別チャンバ５３ について自由に構成することができる。

６つの個別チャンバ５３に装入するために、第１図を用いてすでに説明したよう にここでも装入移送ロック５８が設けられており、この装入移送ロックに真空装 入ロック６３を介して装入工作物を有する個別格子を供給することができる。装 入移送ロック５８内には格子移送キャリッジ７０が設けられており、この格子移 送キャリッジはガス密のドラッグチェーン回転駆動装置１１６８を介して真空装 入ロック６３の出口に対向して、あるいは個別チャンバ５３の装入ドア６１に対 向するように任意に位置決めすることができる。装置の個別要素間で格子を移送 するために、従って例えば格子を個別チャンバ内へ挿入し、かつその後で排出す るためにここでも横押し装置６６が設けられている。

装入工作物を次に処理するために２つの他の炉ユニット５４　ａ、　５４　ｂが 設けられており、これらはそれぞれ中間処理チャンバ５５ａないし５５ｂと最終 処理チャンバ５６ａないし５６ｂを有する。ここでもそれぞれ個々のチャンバは ガス密のドア６１を介して閉鎖可能であって、がっ熱処理パラメータである温度 、滞留時間およびガス雰囲気を自由に選択することができる。

中間処理チャンバ５５ａないし５５ｂはガス密の装入ドアを介して中間移送ロッ ク５９と接続されている。加熱されない中間移送ロック５９にはここでも放射保 護としての絶縁部材が設けられており、かつ保護ガス供給に対してガス密に形成 されている。個別チャンバ５３と中間処理チャ：＃＜５５ａないし５５ｂ間で格 子を移動させるために格子移送キャリッジ６９が設けられており、この移送キャ リッジはサーボモータと位置決め制御を有するガス密のドラッグチェーン回転駆 動装置によって所望に移動可能であって、それによって個別チャンバ５３から中 間移送ロック５９内へ格子を押し出し、ないしは雨中間処理チャンバ５５ａ１５ ５ｂのいずれかの中への押し込みが可能になる。装入移送ロック５８と中間移送 ロック５９には完全に保護ガスが供給される。

後段の第１の炉ユニット５４ａの最終処理チャンバ５６ａはスリットスライドド ア７３を介して個別取り出し装置７２と接続されており、個別取り出し装置を介 して繊′細な工作物を遅延なしで焼入れするための後冷却装置を有する焼入れプ レスに引き渡すことができる。この第１の最終処理チャンバ５６ａはさらにガス 密のドアを介して、後段に接続された排出ロックを有するオイルまたは塩浴で急 冷するための、急冷浴槽７１ａと接続されている。

第２の中間処理チャンバ５５ｂはガス密の排出ドアを有し、そのドアを介して装 入工作物を高圧ガス急冷装置７５へ引き渡すことができる。あるいはまた装入工 作物は第２の中間処理チャンバ５５ｂからガス密の中間ドアを介して最終処理チ ャンバ５６ｂへ達し、最終処理チャンバもガス密のドアを介して、後段に接続さ れた排出ロックを有するオイルあるいは塩用の急冷浴槽７１ｂと接続されている 。

個々の装入工作物を装入および取り出すためにここでも装入キャリッジ７９が設 けられており、この装入キャリッジは移送区間８３を介して個々の要素ないしは その接続パイプへ移動することができる。装入キャリッジ７９によって同様に 他の装置要素、例えば２つの平面貯蔵部８０ａ、ｓｏｂ。

冷却区間を有する２つの焼き戻し炉８５ａ、８５ｂ、２つの洗浄装置７５ａ、７ ６ｂおよび装入／取り出し昇降テーブル８１へ達することができる。

本発明の他の実施例が第３図に全体を符号９０で示されている。

同一に構成された全部で４つの炉ユニット９２ａ、９２ｂ、９２ｃ、９２ｄが設 けられており、この炉ユニットはそれぞれ同一の４つの個別チャンバ９３に分割 され、個別チャンバは装入ないし排出ドア１０１を介して閉鎖することができる 。各個別チャンバ９３について熱処理パラメータ、すなわち温度、ガス雰囲気お よび滞留時間を個別に制御することができる。

それぞれ２つの炉ユニット９２ｂないし９２ｃ、９２ｄが中間移送ロック９９の 両側に配置されているので、中間移送ロック９９の両側には全部で８つの個別チ ャンバ９３が対向している。

それぞれ２つの炉ユニット９２　ａ、　９２　ｂないし９２Ｃ１９２ｄに装入す るために、それぞれ装入移送ロック９８ｂないし９８ａが設けられている。

装入工作物を有する格子を装入移送ロック９８ａないし９８ｂへ供給することは 、それぞれ真空装入ロック１０３ａないし１０３ｂを介して行われる。装入移送 ロック９８ａ、９３ｂと中間移送ロック９９はガス密に形成されており、かつ保 護ガスを供給される。中間移送ロック９９は加熱されず、かつ放射保護として絶 縁部材が設けられている。

装入移送ロック９８ａ、９８ｂと中間移送ロック９９の内部で格子を移送するた めに格子移送キャリッジ１１０ａ。

１１０ｂおよび１０９が設けられており、これらはそれぞれガス密の格子移送キ ャリッジ１０８ａ、１０８ｂないし１０７を介して装入移送ロック９８ａ、９８ ｂの内部、ないしは中間移送ロック９９の内部で移動することができ、かつ位置 決め可能である。

装置の個別チャンバ間で格子を移送するためにここでも横押し装置１０６が設け られている。

中間移送ロック９９は後段の炉ユニット９４と接続されており、この炉ユニット には中間処理チャンバ９５並びにそれからガス密のドアを介して分離されている 最終処理チャンバ９６が設けられている。工作物格子は中間処理ロック９９から ガス密の装入ドアが開放した後に横押し装置を介して装入され、中間処理処理ス テップの後に他の熱処理ステップを実施するために最終処理チャンバ内に挿入さ れる。

中間処理チャンバ９５においても最終処理チャンバ９６においても熱処理パラメ ータ、すなわち温度、雰囲気および滞留時間をそれぞれ個々の装入工作物につい て分離して制御することができる。

最終処理チャンバ９６から装入工作物はスリットスライドドア１１３を介して個 別取り出し装置１１２によって取り出して、後冷却装置を有する焼入れプレスに 引き渡し、あるいは排出ガス冷却ロック１１１を介して取り出して、圧力なしで 冷却することができる。

焼入れプロセスの終了後に後冷却装置を出た装入工作物をさらに後処理するため にコンベヤベルト移送装置を有する後処理ユニット１２４が設けられており、こ の後処理ユニットには洗浄ユニット、乾燥ユニット、焼き戻しユニットおよび後 段に接続された空気冷却ユニットが設けられている。

個別取り出しの際に工作物を取扱い、かつ焼入れプレスへ引き渡すために、位置 決め制御を有する積み替えマニピュレータが用いられる。

位置決め制御を有する他のマニピュレータが装入および取り出し領域１２２内で 工作物を取り扱うために設けられている。

工作物を供給ないし取り出すために２つの供給キャリ・ソジ１１９ａ、１１９ｂ が設けられており、これらは移送区間１２３上で移動することができる。供給キ ャリッジ１１９ｂから装入工作物を有する格子が接続通路１２６を介してそれぞ れ真空装入ロック１０３ａないし１０３ｂに達する。

平面貯蔵部１２０および他の洗浄装置１１６などなど装置の他の要素には供給キ ャリッジ１１９ａないし１１９ｂを介して達することができる。

補正書の写しく翻訳文）提出書（特許法第１８４条の８）平成６年７月１１日

Claims (15)

【特許請求の範囲】
1. １．第１の熱処理ステップを実施する少なくとも１つの炉ユニット（１２；５２ ａ、５２ｂ；９２ａから９２ｄ）に工作物を周期的に供給する供給装置を有し、 前記炉ユニットは少なくとも１つの後段の炉ユニット（１４；５４ａ、５４ｂ； ９４）と接続可能である金属工作物を熱処理する装置において、 少なくとも第１の炉ユニット（１２；５２ａ、５２ｂ；９２ａから９２ｄ）に、 それぞれガス密のドア（２１；６１；１０１）を介して閉鎖可能な多数の個別チ ャンバ（１３；５３；９３）が設けられており、 各個別チャンバ（１３；５３；９３）に装入工作物を供給装置を介して選択的に 直接供給可能であって、各個別チャンバ（１３；５３；９３）の各装入工作物に ついて温度、滞留時間および雰囲気が個別に制御可能であって、かつ 装入工作物をそれぞれ所望の滞留時間の後にそれぞれ所望の個別チャンバ（１３ ；５３；９３）から取り出して、後段の炉ユニット（１４；５４ａ、５４ｂ；９ ４）へ供給するために移送装置が設けられていることを特徴とする金属工作物を 熟処理する装置。
2. ２．供給装置に保護ガスを供給されるガス密の装入移送ロック（１８；５８；９ ８ａ、９８ｂ）と保護ガスを供給されるガス密の中間移送ロック（１９；５９； ９９）が設けられていることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の装置。
3. ３．供給装置に装入移送ロック（１８；５８；９８ａ、９８ｂ）に供給を行うた めの真空装入ロック（２３；６３；１０３ａ、１０３ｂ）が設けられていること を特徴とする請求の範囲第２項に記載の装置。
4. ４．中間移送ロック（１９）が真空装入ロック（２４）と接続可能であることを 特徴とする請求の範囲第３項に記載の装置。
5. ５．中間移送ロック（１９；５９；９９）と装入移送ロック（１８；５８；９８ ａ、９８ｂ）にそれぞれガス密の駆動装置（２７、２８；６７、６８；１０７、 １０８ａ、１０８ｂ）を有する格子移送キャリッジ（２９、３０；６９、７０； １０９、１１０ａ、１１０ｂ）が設けられていることを特徴とする請求の範囲第 ３項、第４項あるいは第５項に記載の装置。
6. ６．駆動装置（２７、２８；６７、６８；１０７、１０８ａ、１０８ｂ）が位置 決め可能なドラッグチェーン回転駆動装置として形成されていることを特徴とす る請求の範囲第５項に記載の装置。
7. ７．中間移送ロック（１９、５９、９９）が内部絶縁部材を有する加熱されない ロックトンネルとして形成されていることを特徴とする請求の範囲第２項から第 ６項までのいずれか１項に記載の装置。
8. ８．各個別チャンバ（１３、１５、１６；５３、５５ａ、５５ｂ、５６ａ、５６ ｂ；９３、９５、９６）の前に供給及び排出を行う横押し装置（２６；６６；１ ０６）が設けられていることを特徴とする請求の範囲第１項から第７項までのい ずれか１項に記載の装置。
9. ９．少なくとも１つの後段の炉ユニット（１４；５４ａ、５４ｂ；９４）に多数 の個別チャンバ（１５、１６；５５ａ・・・（が設けられており、各個別チャン バ（１５、１６；５５ａ、５５ｂ、５６ａ、５６ｂ；９５、９６）について温度 、滞留時間および雰囲気を個別に制御可能であることを特徴とする請求の範囲第 １項から第８項までのいずれか１項に記載の装置。
10. １０．中間処理チャンバ（１５；５５ａ、５５ｂ；９５）が設けられており、こ の中間チャンバがガス密のドア（２１；６１；１０１）を介して後段の最終処理 チャンバ（１６；５６ａ、５６ｂ、９６）と接続可能であることを特徴とする請 求の範囲第９項に記載の装置。
11. １１．最終処理チャンバ（１６；５６ａ、５６ｂ、９６）が排出ロックを有する 急冷槽（３１；７１ａ、７１ｂ）と接続可能であることを特徴とする請求の範囲 第１０項に記載の装置。
12. １２．後段の炉ユニット（５４ａ、９４）は個別取り出し装置（５２、１１２） によって焼入れプレスおよび繊細な工作物用の後冷却装置（７４、１１４）と接 続可能であることを特徴とする請求の範囲第９項から第１１項までのいずれか１ 項に記載の装置。
13. １３．後段の炉ユニット（５４ｂ）が高圧ガス急冷装置（７５）と接続可能であ ることを特徴とする請求の範囲第９項から第１２項までのいずれか１項に記載の 装置。
14. １４．高圧ガス急冷装置（７５）の冷却ガスが中間移送ロック（５９）、装入移 送ロック（５８）および／または真空装入ロック（６３）へ供給可能であること を特徴とする請求の範囲第１３項に記載の装置。
15. １５．後段に接続された炉ユニット（９４）がガス冷却ロック（１１１）と接続 可能であることを特徴とする請求の範囲第１項から第１４項までのいずれか１項 に記載の装置。