JPH06509517A - 放電加工用ワイヤー電極の案内装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 放電加工用ワイヤー電極の案内装置 技術分野 本発明は、移動ワイヤー電極を有する放電加工（ＥＤＭ）装置の技術分野に関す る。より特別には、本発明は、動いているワイヤー電極を放電加工機の上方及び 下方のワイヤー案内組立体の間をある角度で案内しこれにより加工物をある角度 で切断し得る電極案内装置に関する。

背景技術 電極用の導電性移動ワイヤーを使用するＥＤＭ装置は、一般に、まずほぼ１９７ ０年代に商業的に入手可能となった。これらの装置は、現在では、種々の導電材 料又は加工物の正確な切断及び成形に普通に使用される。典型的には、ワイヤー 電極は２個の回転スプールに巻かれこれらの間を移動し、更にワイヤーが通過移 動する１対のワイヤー案内又は案内組立体が、切断中の加工物に関して適正な位 置に正確に移動ワイヤー電極を設置し又は案内するために使用される。ワイヤー と加工物とは異なった電位に置かれ、ワイヤーと加工物との間を結ぶ管理された 電気火花が、所望のように加工物を侵食し切断し又は成形させる。

第１のワイヤー案内装置は、直交する２軸に沿って１個の平面内で加工物を動か し得る位置決め用テーブルを使用する。２軸の各に数値制御サーボモーターを設 けることにより、加工物に沿って所望のように直角切断を行予キめにワイヤー電 極に関して加工物を位置決めすることができる。

その後、ワイヤー電極式加工機はテーパー切断を行えるように改造された。始め に、上方のワイヤー案内組立体が軌道に乗せられ、所要のように、例えばポンチ と型との間に隙間を削り出すようにテーパー切断を行う。小角度の切断を行うよ うに作動される上方案内組立体は軌道に乗せられるが、より多くの材料を取り去 る必要のため、切断速度は非常に低下させられた。更に、テーパーは振動してい る案内のオフセットに制限された。

その後、上方ワイヤー案内を軌道に乗せることなしに上方案内を下方案内に関し て動かし、かつワイヤー電極を加工物に関しである角度に置くことで更に急角度 の切断ができるようになった。認められるように、角度切断のこの方法は有効で はあるが、これは歪められたワイヤーの通路により生ずる不正確さのため、より 小さな角度に制限される。この歪みは図Ｉ八に示され、これにおいては上方及び 下方の案内Ｇは互いに食い違い、更に案内の外側の面Ｓが、ワイヤーＷを基準点 Ｒと交差している線の角度βでなくて角度αにおいて動かす。更に、ワイヤーＷ は曲げられ、希望経路を行き過ぎ更なる不正確が生ずる。

ＥＤＭ角度切断に対する解決法は、上方及び下方のワイヤー案内組立体を機械的 に旋回させながら両組立体を加工物と平行な面内で同時に動かし、電極ワイヤー を一般にこれと同一線上で案内組立体に出入させることであった。かかるワイヤ ー案内組立体及び装置の例が米国特許第４６６７０７８号及び米国特許第４７５ １３６２号に示される。認められるように、これら組立体は角度切断を行うが、 案内組立体を旋回させる機械構成要素停ｉ、１非常に複雑で維持が困難でありか つ一般に費用のかかるシステムを作る。

従って、一般に信頼でき低費用でしかも正確なシステムにより、従来の案内装置 と組み合った問題を解決しかつより大角度のＥＤＭ切断ができるワイヤー電極案 内装置に対する要求がある。

発明の開示 従来のＥＤＭワイヤー案内装置と組み合わされた前述の欠点を克服することが本 発明の主要な目的である。

本発明は、案内組立体に出入するワイヤー電極と平行であるように旋回可能な案 内組立体に最終ワイヤー電極案内装置を設けることにより、従来の案内組立体と 組み合わされた欠点を克服する。本発明に従って、案内装置は、上方及び／又は 下方の案内組立体が加工物の平面内で動き得る放電加工機械により使用するよう に順応される。上方及び下方のワイヤー案内組立体が、ワイヤー電極をこの両組 立体間の角度にして互いに動いたとき（ただし、ワイヤー電極は正規のワイヤー 移動直線でワイヤー案内組立体を通って移動する）、本発明によるワイヤー案内 装置は、この正規のワイヤー移動直線に沿ったある点の周りを旋回し、放電加工 機械の案内装置上を移動しこの装置から垂直に出て他方の案内装置に向上力及び 下方の案内装置の旋回点の位置の関数である。

本発明により、案内装置は、ワイヤーの正規の移動直線と一般に同一直線の長手 方向中心線を持った貫通円孔を有する案内部材を備える。円孔は一方の端部にお いて直径が増加しかつ断面が曲線である。案内部材は、円孔の長手方向中心線に 沿った点の周りで旋回運動ができるように旋回可能に支持さ、科る。ワイヤー電 極がワイヤーの正規の移動直線に関しである角度で置かれると、案内部材は旋回 点の周りで旋回させられ円孔の曲線部分をワイヤー電極との接触状態に置く。切 断角度が大きくなると、円孔の曲線部分のより大きな部分がワイヤー電極との接 触状態に置かれる。

切断効率は切断領域のフラッシングにより増大する。これに関連し、ワイヤー案 内装置は、本発明により、適宜の所与の切断角度におけるワイヤー電極の周りの 流れの中に脱イオン水のような流体を吐出する。圧力流体は案内部材の複数の通 路を通ってワイヤー電極を囲んでいる円筒状の流体指向部分に向けられ、この部 分がワイヤー電極を囲みかっこれに沿った流れにおける流体を推進させる。

案内装置の寿命を長くするために、本発明により、円孔は、天然ダイアモンド、 ダイアモンドフィルム、合成ダイアモンド、サファイア、セラミック、カーバイ ド、又は立方窒化ボロンのような対摩耗性材料で形成される。大きな案内装置で は、円孔の曲線の直径の増大する部分を形成している一方の端部に第１の対摩耗 部材が設けられ、円孔の他方の開口に第２の対摩耗部材が設けられる。

本発明は、その１形式においては、案内部材を含んだＥＤＭワイヤー電極案内装 置に向けられる。案内部材を通して円孔が設けられ、この円孔はその両端の第１ の開口と第２の開口及び長手方向中心線を持つ。円孔の直径は第１の開口に向か って増大する。長手方向中心線に沿ったある点の周りで案内部材及び円孔の旋回 運動ができるようにジンバル装置が設けられる。ジンバル装置の旋回運動は、ワ イヤーの正規の運動直線に関しである角度で移動するワイヤー電極により行われ る。

ジンバル装置、各中心線が互いに直交しかつワイヤーの正規の移動直線に直角で 更に旋回点においてワイヤーの正規の直線と交差する第１の回転中心軸及び第２ の回転中心軸の周りの案内部材の回転運動を許す。

ジンバル装置は、その１形式においては、ソケット組立体内に支持される球状の 案内体を持つ。第２の形式においては、ジンバル装置は、案内部材を第２の回転 中心軸周りに回転できるように第１のリング内で旋回可能に支持しながら第１の 回転中心軸周りに回転可能に支持される第１のリングを備える。

流体を指向させて案内部材を通過させ、ワイヤー電極を実質的に取り巻き加工物 に向けて出すフラッシングシステムが設けられる。フラッシング流体は、第２の 開口付近の円筒状流体指向部分への案内部材の通路に強制され、更にワイヤー電 極を実質的に囲みかつ加工物に向いて出される。

図面の簡単な説明 本発明の上述及びその他の特徴及び目的並びにこれらを得る方法は、付属図面を 参照し行われる本発明の実施例の以下の説明から、より明らかとなりかつ本発明 自体がよく理解されるであろう。

図ＩＡは、経験した不正確さを示す従来の案内装置の図式的な断面図である。

図ＩＢは、放電加工装置の図式的な側面図である。

図２は、従来技術の典型的なワイヤー案内組立体及びワイヤー案内装置の断面図 である。

図３は、本発明によるボール及びソケット式案内装置の分解断面図である。

図４は、組み紅てられた状態の図３に示されたワイヤー案内装置の断面図である 。

図５は、案内組立体の先端において支持されかつリング式ジンバルシステムを組 み入れた本発明によるワイヤー案内装置の断面図である。

図６は、図５に示された案内装置の断面図であり、ワイヤー電極により一つの回 転中心軸周りに回転させられる案内部材を示す。

図７は、図５に示された案内装置の平面図であり、ワイヤー案内組立体から分離 されて示される。

図８は、ボール及びソケット式ジンバルシステムを組み込みかつ案内組立体の先 端に支持された本発明によるワイヤー案内装置の断面図である。

図９は、図７に示されたワイヤー案内装置の線９−９に沿って得られた断面図で ある。

図面の各図を通して対応する番号は対応した部分を示す。

ここに説明される例は、本発明の１形式の本発明の好ましい実施例を説明するも のであり、かかる例示はいかなる方法においても開示の範囲又は本発明の範囲を 限定すると解釈すべきでない。

本発明を実施する最良の方式 図１に示されるように、一般に１０で示された放電加工機は、スプール１４に巻 かれたワイヤー電極１２を用いる。スプール１４は回転され、ワイヤー電極１２ はスプール間を移動する。一般に１６で示されたワイヤー案内組立体がアーム１ ８の端部に取り付けられる。ワイヤー電極１２は組立体１６により受け取られこ れに案内される。一般に導電体製の加工物２０はテーブル２２上に保持され、動 いているワイヤー電極１２により切断及びオ又は成形される。アーム１８及び／ 又はテーブル２２は相互に動かされ、従ってワイヤー電極１２は加工物２０を通 って移動しこれを予定の希望方法で切断又は成形する。切断は、加工物２０とワ イヤー電極１２とを異なった電位に置き両者間に火花を生じさせ、加工物２０を 所望の状態に電気的に侵食させることにより達成される。アーム１８は加工物２ ０と同じ平面内で互いに変位させされ、従ってワイヤー電極１２をある角度に置 き、これにより所与の角度で加工物２０を切断する。

バレル２４を有する典型的な組立体１６が図２に示される。バレル２４は上方の 円筒状部分及び案内体２６を受け入れる下方の円錐台部分を持つ。案内体２６は 複数の外側通路２８及びその長手方向中心のワイヤー案内孔３０を備える。案内 体２６の一方の端部３２においては、案内体２６の端部３２の凹所３８内に固定 された焼結金属ニブ３６内にダイアモンドの対摩耗部材３４が取り付けられる。

対摩耗部材３４はワイヤー案内孔３０と連なる円孔を有し、ここを通過するワイ ヤー電極１２を受け入れる。案内体２６の上方には偏心円孔４２を有する電流ピ ックアップ保持部材４０が置かれる。内側接触壁４６を有する電流ピックアップ 装置４４が偏心円孔４２内に受け入れられる。電流ピックアップ装置４４に電圧 が加えられ、この電圧がワイヤー電極１２と電流ピックアップ４４の内側接触壁 ４６との間の物理的接触によりワイヤー電極１２に伝えられる。

電流ピックアップ４４は、電流ピックアップ保持部材４ｏの一方の端部において ねじ穴５０内にねじ結合で受け入れられたナツト部材４８により円孔４２内屋保 持される。ナツト部材４８内に固定された焼結金属ニブ５４内に対声耗性の前方 案内部材５２が取り付けられる。前方案内部材５２は、ワイヤー電極１２を通過 受は入れして、このワイヤー電極をワイヤーの正規移動直線において案内する円 孔を備える。

バレル２４の端部のねじ穴５８に保持用ナツト部材５６がねじ結合で受け入れら れる。保持用ナツト部材５６は、バレル２４内で電流ピックアップ保持部材４０ と案内体２６との両者を保持するように作用する。

バレル２４の他方の端部においては、バレル２４にノズル６０がねじ結合で受け 入れられる。ノズル６０は、ワイヤー電極１２が通過する出口６２を持ち、かつ フラッシング流体を受け入れる。より特別には、脱イオン水のようなフラッシン グ流体が、圧力下でバレル２４のポート６４を通って受け入れられ、電流ピック アップ保持部材４０を廻り案内体２６の外側通路２８を通ってノズル６０内に至 り、ワイヤー電極１２の周りで出口６２から出る。流体が希望のようにのみ移動 できるように、０リング６６が気密に封鎖するように作用する。

図３及び４に、本発明の１実施例が示される。案内体２６は下方のねじ部分６８ を有し、この部分はその上にキャップ７０を受け入れねじ結合するようにされる 。より特別には、キャップ７０はねじ穴７２を有し、ここには、図４に示される ように、下方のねじ部分６８をねじ結合で受け入れる。キャップ７０と案内体２ ６の下方端部とは、−緒にソケット組立体７４を作り、この中にボール状の案内 部材７６を保持する。ソケット組立体７４は、案内体２６の端部に形成された上 側の部分球の部分７８及びキャップ７０内に形成された下側の部分球の部分８ｏ を持つ。以下説明されるように、電流ピックアップ４４から（るワイヤー電極１ ２を、これが最終案内部材に行く前に安定させるために、ニブ５９内に取り付け られ力り貫−円孔６１を有する第２の前方案内部材５７が案内体２６の上方端部 において使用される。

案内部材７６は、ワイヤー電極１２の貫通受は入れをする円孔８２を備える。円 孔８２は、その両端に第１の開口８４及び第２の開口８６を持つ。円孔８２の長 手方向中心線は円孔の実質的中央に置かれる。円孔８２は第１の開口８４に向か って直径が増加し、断面は示されたように曲線である。更に詳細に後述されるよ うに、案内部材７６は、互いに直角でかつワイヤーの正規の移動直線と直角であ り更に旋回点８８においてワイヤーの移動直線と交差する２個の回転中心軸の周 りで旋回できる。

この実施例においては、この旋回点は図３及び４に示された球状の案内部材７６ の中心にある。旋回点８８は、上方及び下方のワイヤー案内組立体１６の特定位 置を与えるワイヤー電極の基準移動直線に関するワイヤー電極１２の角度を決定 する際の適正な基準点として使用される。円孔８２の旋回角度が大きくなると、 円孔８２の曲線部分の接触面積モまた増加することが注意される。好ましくは、 直交する２個の回転中心軸により作られかつその下の第２の開口８６に向かう平 面における円孔の面は、ワイヤーの基準移動直線と平行である。

ワイヤー電極１２がキャップ７４から種々の角度で出られるように、キャップ７ ０内に、下側の部分的な球状部分８ｏから離れると直径が大きくなる円錐台状の 開口９０が設けられる。

図３における、ボール又は球状の外面を有する案内部材７６は単一形式の材料で 作られる。好ましくは、この案内部材７６は、天然ダイアモンド、合成ダイアモ ンド、サファイア、立方窒化ボロン、又はその他の同様な対摩耗性の材料のよう な対摩耗材料で作られる。図４において、案内部材７６もまたボール又は球状の 外形を持つ。しがし、ここでは、対摩耗部材９２．４４ニブの外側の球状シェル ９４内に取り付けられる。対摩耗部材９２は、図３の案内部材７６のものと同じ 材料で作られ、一方、ンエル９４は硬鋼又は炭化タングステンでこれを作ること ができる。

図４に示されるように、案内部材７６はソケット組立体７４内に保持され、かつ 第１及び第２の回転中心軸の周りで自由回転する。ワイヤー電極１２は、ワイヤ ー案内孔３０、案内部材の円孔８２を通って移動し、キャップ７０の円錐台状の 開口９０を通って出る。上方及び下方の案内組立体１６が互いに垂直方向で整列 されたときは、ワイヤー電極１２は案内部材７６を旋回させることなく真っすぐ に通過して移動する。しかし、案内組立体１６が互いにずらされて図４に示され たようにワイヤー電極１２をある角度に置いたときは、ワイヤー電極１２は第２ の開口８６付近で円孔８２に作用して、図示のように案内部材７６を旋回させる 。

案内部材７６の旋回運動は円孔８２のより大きな部分をワイヤー電極１２と接触 させて、ワイヤー電極１２がここを通過して移動する際のその有害な効果を減ら す。案内部材７６とソケット組立体７４との間の摩擦力は最小であり、従って図 ４に示されたように案内部材７６の旋回を生ずるにはワイヤー電極１２の一般的 な張力を要するだけである。

図８に示されたような別の実施例においては、案内部材７６は、ソケット組立体 又は部材９８内に支持された球状又はボール形の外側面９６を持つ。ソケット部 材９８は案内体２６の端部において支持され、案内部材７６の２個の回転中心軸 周りの回転を許す。

図８に示された案内部材７６は、図３及び４に示されたものよりも大きく、更に 第１の開口８４に向かって直径が増大する部分８７に、円孔８２を定める鳩１の 対摩耗部材１０ｏを備える。第１の対摩耗部材１゜Ｏは案内部材７，６内に取り 付けられる。第２の開口８６における円孔８２を定める第２の対摩耗部材１０２ が焼結金属のニブ部分１０４内に取り付けられる。一方、ニブ１０４は案内部材 ７６内に置かれた円筒状の円孔１０６内に取り付けられる。両方の対摩耗部材１ ００及び１０２は、図３に示された対摩耗部材７６のものと同様な対摩耗材料で 作られる。

図３及び４に示された実施例に関して上述されたように、図８に示された案内部 材７６は、円孔８２の長手方向中心軸に沿って置かれた点８８の周りを旋回させ られる。同様に、ワイヤー電極１２がワイヤーの正規の移動直線からある角度に 置かれると、案内部材７６は、第２の開口８６に実質的に近い円孔８２の壁に対 して作用するワイヤー電極１２により点８８の周りを旋回させられる。従って、 ワイヤー電極１２はワイヤーの正規の移動直線において案内体２６のワイヤー案 内孔３０を通って移動し、その後、対摩耗部材１００の曲線部分と接触し、案内 組立体１６間に作られたワイヤー電極１２の角度で案内部材７６を出る。

更に、図８に示された案内装置は、流体を指向させて案内部材７６を通過させ、 ワイヤー電極１２を実質的に囲み加工物２０に向かって出すフラッシング手段又 は組立体を備える。より特別には、複数の通路１０８が、円孔の第１の開口８４ の付近から円孔の第２の開口８６の付近の円筒状の流体指向用部分１１０までの 間を伸びる連通路を提供する。脱イオン水のような流体が圧力下でワイヤー案内 孔３０内に供給され矢印で示されたように通路１０８を通ってワイヤー電極１２ の周りの流体指向用部分１１０を通過して加工物２０に向かう。

本発明の更に別の実施例が図５．６．７及び９に示される。ここでは、ボール及 びソ４ｗト式ジンバル手段ではなく、第１の回転中心軸への周りで回転でき４． ように第２のリング１１４上に旋回可能に支持された第１のリング１１２が設け られる。案内手段７６は、第２の回転中心軸Ｂの周りで回転できるように第１の リング１１２内に旋回可能に支持される。従って、案内手段７６は、先に説明さ れた実施例と実質的に同様な様相で、中心軸Ａ及びＢの周りで旋回運動できるよ うに自在に支持される。より特別には、第２のリング１１４はキャップ１１６に より案内体２６の先端３２において保持され、このキャップはキャップ７０と同 様に案内体２６にねじ結合で保持される。第２のリング１１４は、案内体２６の 先端又は端部３２に置かれた面１１８とキャップ１１６の下端を形成する環状の リング部分１２０との間に挟まれる。キャップ１１６と案内体２６の先端部分と の間に円筒状の空洞部１２２が形成される。

リング１１４内に一般に同心に固定されたリング管路１２４が設けられ、これは 、図７に示されるように複数の窓１２６を経て、或いは必要に応じて上方部分全 体を経て空洞部１２２と連通ずる。

球状の外側面１３０とこれを通る円筒状の第１のオリフィス又は開口１３２とを 有する１対のグロメット１２８により、第１のリング１１２が固定リング１１４ に旋回可能に取り付けられる。球状の外側面１３０は、円筒状開口１３２が固定 リング管路１２４との連通を保った状態で、第１のリング１１２と固定リング１ １４との間の円滑な回転運動を提供する。第１のリング１１２は、グロメット又 は旋回支持部材１２８の円筒状開口１３２と連通ずる第１のリング管路１３４を 持つ。図７及び９に示されるように、第２のグロメット又は旋回支持部材１３６ の対が、案内部材７６と第１のリング１１２との間に設けられる。円筒状又は第 ２のオリフィ１０１３８が第２のグロメット１３６の対を通して設けられる。更 に、」クロメツト１３６はグロメット１２８と同様に球状の外側面１４０を持つ 。グロメット又は旋回支持部材１３６は、円筒状開口１３８が第１のリング管路 １３４との連通を保った状態で、案内部材７６と第１のリング１１２との間の円 滑な回転運動を提供する。第２のリング管路１４２が案内部材７６内に形成され 、かつ第２のグロメット１３６の対の円筒状開口１３８を経て第１のリング管路 １３４と連通する。

更に、第２のリング管路１４２は案内部材７６内の複数の通路又は円錐台状の空 洞部１４４と連通し、従って円筒状の流体指向用部分１１０と連通する。このた め、この実施例においては、矢印で示されるように圧力下の流体が円筒状空洞部 １２２、窓１２６、固定リング管路１２４、グロメット１２８の円筒状間口１３ ２、第１のリング管路１３４、グロメット１３６の円筒状開口１３８、案内部材 ７６内の第２のリング管路１４２を通り、円錐台状空洞部１４４に降り、そして 最後にワイヤー電極１２を実質的に囲みかつ加工物に向かって円筒状の指向用部 分１１０を通って出ることにより、フラッシングが行われる。リング１１２と案 内部材’／６との回転運動を提供する旋回連結は、気密に封鎖され、圧力下の流 体が上述のようにのみ移動することを許す。この実施例においては、対摩耗部材 １００及び１０２は図８に示された実施例と実質的に同じ方法で置かれかつ機能 し、また案内部材７６の旋回運動は図８に示された実施例に関して上述されたも のと同じ方法で起こされる。

本発明は特別な実施例を有するとして説明されたが、更なる実施例が可能である ことが理解されるであろう。従って、本明細書は、その一般原理に従ったいかな る変更、使用、又は順応も含むことを意図し、また本発明に固有でか）特許請求 の範囲内にある本技術において知られ又は通常の実務内にああ本発明からの発展 はこれを含むことを意図する。

「！−２−ＦＴＴ；−４ 五コ、３ Ｆ７酒−８ 補正書の写しく翻訳文）提出書　（特許法第１８４条の８）平成５年ｌＯ月１日

Claims (18)

【特許請求の範囲】
1. １．放電加工機のワイヤー電極案内装置にして、案内部材； 前記部材を貫通し両端の第１の開口と第２の開口及び長手方向中心軸を有する円 孔であって、前記第１の開口に向かって直径の増大する円孔；及び ワイヤーの正規の移動直線に関してある角度で移動するワイヤー電極により前記 長手方向中心軸に沿ったある点の周りの前記案内部材及び円孔の旋回運動を許す ジンバル手段 を備えたワイヤー電極案内装置。
2. ２．前記案内部材が、天然ダイアモンド、ダイアモンドフィルム、合成ダイアモ ンド、セラミック、カーバイド、サファイア又は立方窒化ボロンよりなるグルー プから選定された少なくも一つの対摩耗材料で作られる請求の範囲１のワイヤー 電極案内装置。
3. ３．第１の対摩耗部材が前記直径の増大する部分における前記円孔を定め、かつ 第２の対摩耗部分が前記第２の開口における前記円孔を定める請求の範囲１のワ イヤー電極案内装置。
4. ４．前記第１及び第２の対摩耗部分が、天然ダイアモンド、ダイアモンドフィル ム、合成ダイアモンド、セラミック、カーバイド、サファイア又は立方窒化ボロ ンよりなるグループから選定された少なくも一つの対摩耗材料で作られる請求の 範囲３のワイヤー電極案内装置。
5. ５．各が互いに直角でありかつ前記ワイヤーの正規の移動直線と直角であり更に 各が前記点において前記ワイヤーの正規の移動直線と交差する第１及び第２の回 転中心軸周りの前記案内部材の旋回運動を、前記ジンバル手段が許す請求の範囲 １のワイヤー電極案内装置。
6. ６．前記ジンバル手段がソケット組立体内に支持されたボール状の案内体を有す る請求の範囲５のワイヤー電極案内装置。
7. ７．前記案内手段が、天然ダイアモンド、ダイアモンドフィルム、合成ダイアモ ンド、セラミック、カーバイド、サファイア又は立方窒化ボロンよりなるグルー プから選定された少なくも一つの対摩耗材料で作られる請求の範囲６のワイヤー 電極案内装置。
8. ８．第１の対摩耗部材が前記直径の増大する部分における前記円孔を定め、かつ 第２の対摩耗部分が前記第２の開口における前記円孔を定める請求の範囲６のワ イヤー電極案内装置。
9. ９．流体を、前記案内部材を通って加工物に向けて出すブラッシング手段を更に 備え、指向された流体はワイヤー電極を実質的に取り囲む請求の範囲６のワイヤ ー電極案内装置。
10. １０．前記フラッシング手段が前記第１の開口の付近からワイヤー電極が通過移 動する前記第２の円孔開口の付近の円筒状の流体指向用部分に伸びる複数の通路 を備え、これにより圧力下の流体が前記通路及び前記円筒状流体指向部分を通り ワイヤー電極を実質的に囲み加工物に向くように強制される請求の範囲９のワイ ヤー電極案内装置。
11. １１．前記ジンバル手段が前記第１の回転中心軸周りに回転できるように旋回可 能に支持されな第１のリングを備え、前記案内部材が前記第２の回転中心軸周り に回転できるように前記第１のリング内に旋回可能に支持される請求の範囲５の ワイヤー電極案内装置。
12. １２．前記案内手段が、天然ダイアモンド、ダイアモンドフィルム、合成ダイア モンド、セラミック、カーバイド、サファイア又は立方窒化ボロンよりなるグル ープから選定された少なくも一つの対摩耗材料で作られる請求の範囲１１のワイ ヤー電極案内装置。
13. １３．前記直径の増大する部分における前記円孔を定める第１の対摩耗部材及び 前記第２の開口における前記円孔を定める第２の対摩耗部分を更に備える請求の 範囲１１のワイヤー電極案内装置。
14. １４．流体を、前記案内部材を通って加工物に向けて出すブラッシング手段を更 に備え、指向された流体がワイヤー電極を実質的に取り囲む請求の範囲１１のワ イヤー電極案内装置。
15. １５．前記フラッシング手段が 前記第１のリングの旋回支持部材内の第１のオリフィス開口；前記第１のオリフ ィス開口に連通し前記第１のリングを通る第１のリング管路； 前記案内部材と前記第１のリングとの間で前記旋回支持部材内の第２のオリフィ ス開口であって前記第１のリング管路と連通している前記第２のオリフィス開口 ； 前記第２のオリフィス開口と連通する前記案内部材内の第２のリング管路；及び 前記第２の流体管路と連通しかつワイヤー電極が通過移動する前記第２の円孔開 口付近の円筒状流体指向用部分に伸びている通路を備え、これにより圧力下の流 体が前記第１のオリフィス開口、第１のリング管路、第２のオリフィス開口、第 ２のリング管路、前記通路、及び前記円筒状流体指向部分を通り、ワイヤー電極 を実質的に囲み加工物に向くように強制される請求の範囲１４のワイヤー電極案 内装置。
16. １６．流体を、前記案内部材を通って加工物に向けて出すように指向させるフラ ッシング手段を更に備え、指向された流体がワイヤー電極を実質的に取り囲む請 求の範囲１のワイヤー電極案内装置。
17. １７．前記円孔の直径増大部分が実質的に曲線の断面である請求の範囲１のワイ ヤー電極案内装置。
18. １８．前記直径増大部分が、天然ダイアモンド、ダイアモンドフィルム、合成ダ イアモンド、セラミック、カーバイド、サファイア又は立方窒化ボロンよりなる グループから選定された少なくも一つの対摩耗材料で作られる請求の範囲１７の ワイヤー電極案内装置。