JPH0650769A - モニタリング装置及びその表示方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 温度、ガス流量、圧力等のデータを、自由な
サンプリング周期でサンプリングし、またグラフで表示
することにより瞬間的な数値だけでなく、データの経時
的変化を認識することのできるモニタリング装置及びそ
の表示方法を提供する。 【構成】 サンプリング周期（サンプリングタイム）と
グラフ表示用の線種、線色、データ表示範囲を設定する
サンプリングスケジュール設定手段５と、サンプリング
タイムのカウントを行うタイマー部とシステム時刻を出
力する時計部から成るタイマー４と、サンプリングした
データを表示用データに変換するデータ変換手段２と、
表示用データとグラフ表示用各種パラメータとサンプリ
ング時刻を取り入れてグラフ化して表示部８に表示させ
る表示制御部７を有するモニタリング装置及びその表示
方法である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置におけ
るガス流量、圧力、温度等のデータのモニタリングを行
う半導体製造装置のモニタリング装置に係り、特にデー
タの変化をグラフにより表示することのできるモニタリ
ング装置及びその表示方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造装置のモニタリング装置は、
半導体製造装置の状態を監視する装置であり、オペレー
タはモニタリング装置の表示を見て製造装置の稼働状態
を知り、製造装置の操作を行うことができるものであ
る。例えば、半導体基板上に薄膜を形成するＣＶＤ装置
には、ガスの流量、温度等を一定周期で測定してデータ
を表示するモニタリング装置が備えられている。

【０００３】図８は、ＣＶＤ装置における従来のモニタ
リング装置による表示画面の一例を示すものである。従
来のモニタリング装置によれば、ガス流量及び温度を３
秒周期でデータ収集（サンプリング）して、最新データ
のみを数値で表示するようになっていた。

【０００４】ここで、図８の表示項目を具体的に説明す
ると、主な表示項目としては、ヒータ内の温度（ｂ）、
ガスの流量（ｃ）、ローダーの状況（ｑ）、処理時間
（ｎ）、アラーム（ｏ）、装置とメニューの名称（ｐ）
及び水素燃焼の制御状況（ｍ）等がある。

【０００５】ガス流量（ｃ）のＧＡＳは使用しているガ
スの名称、ＳＥＴは流量設定値、ＡＣＴＵＡＬは流量実
測値である。例えば、ＳｉＨ₄ （シラン）の流量設定値
は2.500SLMで、流量実測値は2.500SLMであることを示し
ている。また、ヒータ内温度（ｂ）のＺＯＮＥはヒータ
ゾーン名称、ＳＥＴは温度設定値、ＡＣＴＵＡＬは温度
実測値である。

【０００６】流量及び温度の実測値はデータ収集手段に
より３秒毎に各ガスの流量とヒータ内の温度をモニタリ
ングし、その最新データをヒータ内温度（ｂ）の温度実
測値（ＡＣＴＵＡＬ）及びガス流量（ｃ）の流量実測値
（ＡＣＴＵＡＬ）として数値で表示するようになってい
た。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のモニタリング装置では、最新データのみを数値で表
示するようになっているため、各データの経時的な変化
の様子が全くわからず、また、サンプリングの周期が固
定されているので、周期を自由に設定して測定すること
ができないという問題点があった。

【０００８】本発明は上記実情に鑑みて為されたもの
で、ガス流量、温度等のデータをグラフで示すことによ
り各データの経時的変化の様子を認識することができ、
また、サンプリングの周期を自由に設定して測定の柔軟
性を持たせることができるモニタリング装置及びその表
示方法を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記従来例の問題点を解
決するための請求項１記載の発明は、モニタリング装置
において、データを収集するデータ収集手段と、前記デ
ータの収集周期及びグラフ表示用のパラメータを設定す
る設定手段と、前記設定されたパラメータを記憶するパ
ラメータテーブルと、システム時刻を出力する時計部
と、前記データの収集周期をカウントするタイマー部
と、前記データ収集手段で収集されたデータが格納され
る第１のテーブルと、前記データの収集周期のカウント
終了時のシステム時刻と共に前記データの収集周期に従
って前記第１のテーブルからデータが取り出されて格納
される第２のテーブルと、前記データ収集手段で収集さ
れたデータを前記第１のテーブルに格納し、前記第１の
テーブルから前記第２のテーブルへ前記データを取り出
して前記システム時刻と共に格納する変換手段と、前記
第２のテーブル内のデータを前記システム時刻と前記パ
ラメータに基づいてグラフ化する表示制御部と、前記グ
ラフの表示を行う表示手段とを有することを特徴として
いる。

【００１０】上記従来例の問題点を解決するための請求
項２記載の発明は、請求項１記載のモニタリング装置の
表示方法において、データの収集周期及びグラフ表示用
のパラメータを設定手段で設定しておき、前記データの
収集周期をタイマー部でカウントし、データ収集手段で
収集され、変換手段を介して格納された第１のテーブル
のデータを前記タイマー部でのカウント終了時に前記変
換手段により取り出して時計部が出力するシステム時刻
と共に第２のテーブルに格納し、前記第２のテーブル内
のデータを前記システム時刻と前記パラメータに基づい
て表示制御部でグラフ化し、表示手段でグラフ表示させ
ることを特徴としている。

【００１１】

【作用】請求項１記載の発明によれば、データの収集周
期とグラフ表示用のパラメータとを設定手段で設定して
パラメータテーブルに記憶させ、データ収集手段で収集
したデータを変換手段で第１のテーブルに格納し、タイ
マー部でデータの収集周期をカウント終了すると時計部
が出力するシステム時刻及び第１のテーブルのデータを
変換手段で第２のテーブルへ格納し、第２のテーブル内
のデータをシステム時刻とパラメータに基づいて表示制
御部でグラフ化し、表示手段でグラフの表示を行うモニ
タリング装置としているので、自由にデータの収集周期
を設定・変更してサンプリングできるため測定の柔軟性
を持たせることができ、またグラフで表示することによ
り、データの瞬間的な数値だけでなくデータの経時的変
化を表すことができるため変化の状態を容易に認識する
ことができる。

【００１２】請求項２記載の発明によれば、データの収
集周期及びグラフ表示用のパラメータを設定手段で設定
しておき、データの収集周期をタイマー部でカウントし
てカウント終了すると、データ収集手段で収集されて変
換手段を介して第１のテーブルに格納されたデータを変
換手段により取り出して時計部が出力するシステム時刻
と共に第２のテーブルに格納し、第２のテーブル内のデ
ータをシステム時刻とパラメータに基づいて表示制御部
でグラフ化し、表示手段でグラフ表示させる請求項１記
載のモニタリング装置の表示方法としているので、自由
にデータの収集周期を設定・変更してサンプリングでき
るため測定の柔軟性を持たせることができ、またグラフ
で表示することにより、データの瞬間的な数値だけでな
くデータの経時的変化を表すことができるため変化の状
態を容易に認識することができる。

【００１３】

【実施例】本発明の一実施例について図面を参照しなが
ら説明する。図１は、本発明の一実施例に係るモニタリ
ング装置の構成ブロック図である。

【００１４】本実施例のモニタリング装置は、ガス流量
や温度等のデータを収集するデータ収集手段１と、収集
したデータ及びグラフに表示させるためのデータを格納
するデータ格納テーブル３と、データ格納テーブル３へ
のデータのから入出力を行うデータ変換手段２と、また
入力されたサンプリングタイム（データ収集周期）をカ
ウントダウン（秒読み）するタイマー４と、サンプリン
グタイム及びグラフ表示用の各種パラメータの設定を行
うサンプリングスケジュール設定手段５と、設定したグ
ラフ表示用のパラメータ等を格納するグラフ表示用パラ
メータテーブル６と、表示手段における表示の制御を行
う表示制御部７と、グラフ表示を行わせる表示手段とし
ての表示部８とから構成されている。

【００１５】更に、各部の構成について具体的に説明す
る。データ変換手段２は、データ格納テーブル３に接続
し、データ格納テーブル３へのデータの入出力の制御を
行うものであり、データ収集手段１から送られたデータ
を変換してデータ格納テーブル３の収集データ格納テー
ブル１１に格納するものである。また、データ変換手段
２は、タイマー４と表示制御部７にも接続しており、タ
イマー４のタイマー部の値がゼロになった時に表示する
データを収集データ格納テーブル１１からグラフ用デー
タ格納テーブル１２に移し、その時刻もグラフ用データ
格納テーブル１２に格納するようになっている。

【００１６】タイマー４は、システム時刻を表示する時
計部と、グラフ表示用パラメータテーブル６に格納され
ているサンプリングタイムを受け取ってその値からカウ
ントダウンを行うタイマー部から構成されている。そし
て、タイマー部の値がゼロになると、その時のシステム
時刻をデータ変換手段２を介して表示用データ格納テー
ブル１２のグラフ用時刻格納エリア１６に格納するよう
になっている。

【００１７】データ格納テーブル３は、図２の説明図に
示すように、データ収集手段１により収集された実測デ
ータを一旦データ変換手段２において変換した後に格納
する収集データ格納テーブル１１と、タイマー４がゼロ
になったときにグラフ表示させるためのデータを収集デ
ータ格納テーブル１１から移して格納する表示用データ
格納テーブル１２とから構成されている。

【００１８】更に、収集データ格納テーブル１１は、温
度データ格納エリア１３、ガスデータ格納エリア１４及
び圧力データ格納エリア１５から構成され、それぞれ温
度、ガス、圧力の収集データを格納するようになってい
る。データ収集手段１では、温度、ガス、圧力の値が変
化すると直ちにその最新データを収集するので、収集デ
ータ格納テーブル１１には、常時、最新のデータが入力
されるようになっている。すなわち、収集データ格納テ
ーブル１１は最新データを保有するものとなっている。

【００１９】また、表示用データ格納テーブル１２は、
タイマー４のタイマー部の値がゼロになった時刻（サン
プリング時刻）を格納するグラフ用時刻格納エリア１６
と、グラフ用温度データ格納エリア１７と、グラフ用ガ
スデータ格納エリア１８及びグラフ用圧力データ格納エ
リア１９とから構成されている。そして、タイマー部の
値がゼロになったときに、収集データ格納テーブル１１
から表示用データ格納テーブル１２にデータが格納さ
れ、そして表示用データ格納テーブル１２からデータが
表示制御部７に送出され、グラフに変換されて表示部８
に表示されるものである。

【００２０】サンプリングスケジュール設定手段５は、
サンプリングタイムとグラフ表示用の各種パラメータを
入力するものであり、パネルよりサンプリングタイム
と、グラフ用線種、線色、データ表示範囲を設定するよ
うになっている。入力されたサンプリングタイムとグラ
フ表示用パラメータは、グラフ表示用パラメータテーブ
ル６に格納記憶されるようになっている。

【００２１】次に、グラフ表示用パラメータテーブル６
の構成を説明する。図３は、グラフ表示用パラメータテ
ーブル６の構成を示す説明図である。グラフ表示用パラ
メータテーブル６は、図３に示すように、グラフの線種
を特定するパラメータを格納するグラフ用線種格納エリ
ア２０と、グラフの線色を特定するパラメータを格納す
るグラフ用線色格納エリア２１と、データ表示範囲を決
定するパラメータを格納するデータ表示範囲格納エリア
２２と、サンプリングタイムを格納するサンプリングタ
イム格納エリア２３とから構成されている。

【００２２】表示制御部７は、表示用データ格納テーブ
ル１２に格納されているデータと、グラフ表示用パラメ
ータテーブル６に格納されている各種パラメータの情報
を受け取って、表示部８において表示するグラフに変換
し、表示部８に送出するものである。つまり、グラフ表
示用パラメータテーブル６の各種パラメータからグラフ
の縦軸横軸等を形成し、表示用データ格納テーブル１２
のデータをグラフにプロットするようにして表示部８に
全体のグラフが描き出されるようになっている。

【００２３】次に、温度、ガス、圧力の収集データの処
理方式について、図４のフローチャート図を使って説明
する。まず、データ収集の処理を終了するか否かを判断
し（１０１）、ＹＥＳであればそのまま終了する。ＮＯ
であれば収集データをでーた収集手段１で受信したか否
かを判断し（１０２）、ＹＥＳであれば受信データをデ
ータ格納テーブル３の対応する格納エリアに格納（１０
３）し、ＮＯであればそのままで、タイマー４のタイマ
ー部がゼロになったかどうかを判断する（１０４）。

【００２４】そして、タイマー部がゼロでない（ＮＯ）
場合は再び処理１０１の前に戻り、タイマー部がゼロで
ある（ＹＥＳ）の場合は、その時のシステム時刻をサン
プリング時刻として表示用データテーブル１２のグラフ
用時刻格納エリア１６に格納し（１０５）、更に収集デ
ータ格納テーブル１１の各データの格納エリアからデー
タを取り出し、表示用データテーブル１２の対応するエ
リアに格納する（１０６）。そして、再び処理１０１の
前に戻る。このようにして収集データの処理が行われ
る。

【００２５】次に、サンプリングスケジュールの設定処
理について、図５及び図６のフローチャート図を使って
説明する。尚、図５はサンプリングスケジュール設定処
理の前半部分の図であり、図６はその後半部分の図であ
り、処理が継続する部分は（Ａ）（Ｂ）で表している。
まず、図５に示すように、処理を終了するか否かを判断
し（２０１）、ＹＥＳであればそのまま終了する。ＮＯ
であればグラフに表示する線種を変更するかどうかを判
断し（２０２）、ＹＥＳであれば変更された線種を線種
格納エリア２０に格納し（２０３）、ＮＯであればその
まま次の処理に移る。次に、グラフに表示する線色を変
更するかどうかを判断し（２０４）、ＹＥＳであれば変
更された線色を線色格納エリア２１に格納し（２０
５）、ＮＯであればそのまま次の処理に移る。

【００２６】更に、図６に示すように、データの表示範
囲を変更するかどうかを判断し（２０６）、ＹＥＳであ
れば変更された表示範囲を表示範囲格納エリア２２に格
納する（２０７）。更に、サンプリングタイムを変更す
るかどうかを判断し（２０８）、ＹＥＳであれば変更さ
れたサンプリングタイムをサンプリングタイム格納エリ
ア２３に格納する（２０９）。

【００２７】そして、サンプリングタイム格納エリア２
３に格納されている時間をタイマー４のタイマー部の値
となるようタイマー部をセットし（２１０）、タイマー
部がゼロかどうかを判断し（２１１）、ＹＥＳであれば
処理２０１の前に戻り、ＮＯであれば２１１処理に戻
る。すなわち、ＮＯであれば、タイマー部がゼロにカウ
ントダウンされるまで２１１処理が繰り返されるように
なっている。このようにしてサンプリングスケジュール
の設定が行われる。

【００２８】次に、本実施例のモニタリング装置のグラ
フ表示の動作について、図１の構成ブロック図を使って
説明する。半導体製造装置において、温度、ガス、圧力
の値が変化すると、変化する度にデータ収集手段１によ
ってデータが収集され、データ変換手段２を介してデー
タ格納テーブル３の収集データ格納テーブル１１に格納
される。具体的には図２に示すように、温度データは温
度データ格納エリア１３に格納され、ガスデータはガス
データ格納エリア１４に格納され、圧力データは圧力デ
ータ格納エリア１５に格納される。

【００２９】また、サンプリングスケジュール設定手段
５よりサンプリングタイム、グラフ用線種、グラフ用線
色、データ表示範囲が変更された場合は、新しく入力さ
れたデータを図３に示したグラフ表示用パラメータテー
ブル６の各パラメータの格納エリアに格納する。

【００３０】そして、グラフ表示用パラメータテーブル
６のサンプリングタイム格納エリア２３に格納されてい
るサンプリングタイムがタイマー４のタイマー部の値と
してセットされ、カウントダウンされるようになってい
る。

【００３１】タイマー４のタイマー部がゼロになると、
その時点でデータ格納テーブル３の収集データ格納テー
ブル１１の各データ格納エリアに格納されている温度、
ガス、圧力のデータを取り出し、データ変換手段２を介
して表示用データ格納テーブル１２の対応するエリアに
格納する。また、タイマー４のタイマー部がゼロとなっ
たときのシステム時刻も表示用データ格納テーブル１２
の表示用時刻格納エリア１６に格納し、サンプリング時
刻とするものである。

【００３２】そして、表示用データ格納テーブル１２か
ら温度、ガス、圧力及び時刻のデータを表示制御部７に
送出され、また、グラフ表示用パラメータテーブル６か
らグラフ用線種、グラフ用線色、データ表示範囲のパラ
メータを表示制御部７が読み取って、受け取ったデータ
を実際に表示させるグラフの形に変換処理して表示部８
に送出し、表示部８においてグラフ表示させるものであ
る。

【００３３】本実施例では、横軸をサンプリング時刻、
縦軸を各データのそれぞれのスケールとしてプロット
し、温度、ガス、圧力のグラフを作成し、表示させてい
る。このようにして本実施例のモニタリング装置のグラ
フ表示が行われるものである。

【００３４】次に、本実施例のモニタリング装置の表示
部８による表示画面の一例を図７の説明図を使って説明
する。本実施例の表示方法の特徴としては、温度、ガス
流量、圧力などのデータについて横軸を時間軸（サンプ
リング時刻）としてグラフにして表示し、データ変化の
様子が直ちに分かるようになっている。横軸（ａ）はデ
ータをサンプリングしたシステム時刻を表し、３本の縦
軸（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）は温度、ガス流量、圧力の各
データのスケールである。そして、サンプリングスケジ
ュール設定手段５を使って、データのサンプリング周期
（サンプリングタイム）、グラフ表示用の線種、線色、
データ表示範囲をサンプリングスケジュール設定手段５
のパネルを参考にしながら自由に設定、変更することが
できるものである。

【００３５】その他の表示項目としては、チューブ番号
及びチューブ名称（ｅ）、装置稼働状況（ｆ）、レシピ
名称（ｇ）、イベント名称（ｈ）、プロセス処理残時間
（ｉ）、イベント処理時間（ｊ）、プロセス中断時間
（ｋ）、サンプリング周期時間（ｌ）等がある。

【００３６】本実施例のモニタリング装置及びその表示
方法によれば、サンプリングスケジュール設定手段５か
らグラフ表示用の各パラメータと温度、ガス流量、圧力
のデータのサンプリング周期（サンプリングタイム）と
を設定し、グラフ表示用パラメータテーブル６に設定さ
れたサンプリングタイムでデータ格納テーブル３の収集
データ格納テーブル１１からデータを表示用データ格納
テーブル１２に取り出して、表示制御部７でグラフ表示
の制御を行い、表示部８にデータをグラフとして表示さ
せることができるので、ＣＶＤ装置内における温度、ガ
ス流量、圧力の経時的変化を容易に視覚的に認識するこ
とができ、更にサンプリングスケジュール設定手段５で
グラフ表示用の各パラメータとデータのサンプリング周
期を自由に変更できるので、測定の柔軟性を得ることが
できる効果がある。

【００３７】

【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、データの
収集周期とグラフ表示用のパラメータとを設定手段で設
定してパラメータテーブルに記憶させ、データ収集手段
で収集したデータを変換手段で第１のテーブルに格納
し、タイマー部でデータの収集周期をカウント終了する
と時計部が出力するシステム時刻及び第１のテーブルの
データを変換手段で第２のテーブルへ格納し、第２のテ
ーブル内のデータをシステム時刻とパラメータに基づい
て表示制御部でグラフ化し、表示手段でグラフの表示を
行うモニタリング装置としているので、自由にデータの
収集周期を設定・変更してサンプリングできるため測定
の柔軟性を持たせることができ、またグラフで表示する
ことにより、データの瞬間的な数値だけでなくデータの
経時的変化を表すことができるため変化の状態を容易に
認識することができる効果がある。

【００３８】請求項２記載の発明によれば、データの収
集周期及びグラフ表示用のパラメータを設定手段で設定
しておき、データの収集周期をタイマー部でカウントし
てカウント終了すると、データ収集手段で収集されて変
換手段を介して第１のテーブルに格納されたデータを変
換手段により取り出して時計部が出力するシステム時刻
と共に第２のテーブルに格納し、第２のテーブル内のデ
ータをシステム時刻とパラメータに基づいて表示制御部
でグラフ化し、表示手段でグラフ表示させる請求項１記
載のモニタリング装置の表示方法としているので、自由
にデータの収集周期を設定・変更してサンプリングでき
るため測定の柔軟性を持たせることができ、またグラフ
で表示することにより、データの瞬間的な数値だけでな
くデータの経時的変化を表すことができるため変化の状
態を容易に認識することができる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係るモニタリング装置の構
成ブロック図である。

【図２】本実施例のデータ格納テーブルの構成を示す説
明図である。

【図３】本実施例のグラフ表示用パラメータテーブルの
構成を示す説明図である。

【図４】本実施例における収集データの処理方式を示す
フローチャート図である。

【図５】本実施例におけるサンプリングスケジュールの
設定処理（前半）を示すフローチャート図である。

【図６】本実施例におけるサンプリングスケジュールの
設定処理（後半）を示すフローチャート図である。

【図７】本実施例のモニタリング装置の表示方法による
表示画面を示す説明図である。

【図８】従来のモニタリング装置の表示方法による表示
画面を示す説明図である。

【符号の説明】

１…データ収集手段、 ２…データ変換手段、 ３…デ
ータ格納テーブル、４…タイマー、 ５…サンプリング
スケジュール設定手段、 ６…グラフ表示用パラメータ
テーブル、 ７…表示制御部、 ８…表示部、 １１…
収集データ格納テーブル、 １２…表示用データ格納テ
ーブル、 １３…温度データ格納エリア、 １４…ガス
データ格納エリア、 １５…圧力データ格納エリア、
１６…グラフ用時刻格納エリア、 １７…グラフ用温度
データ格納エリア、 １８…グラフ用ガスデータ格納エ
リア、 １９…グラフ用圧力データ格納エリア、 ２０
…グラフ用線種格納エリア、 ２１…グラフ用線色格納
エリア、 ２２…データ表示範囲格納エリア、 ２３…
サンプリングタイム格納エリア、 ａ…時刻、ｂ…温
度、 ｃ…ガス流量、 ｄ…圧力、 ｅ…チューブ番号
及びチューブ名称、 ｆ…装置稼働状況、 ｇ…レシピ
名称、 ｈ…イベント名称、 ｉ…プロセス処理残時
間、 ｊ…イベント処理時間、 ｋ…プロセス中断時
間、 ｌ…サンプリング周期時間、 ｍ…水素燃焼の制
御状況、 ｎ…処理時間、 ｏ…アラーム、 ｐ…装置
とメニューの名称、 ｑ…ローダーの状況

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 データを収集するデータ収集手段と、前
   記データの収集周期及びグラフ表示用のパラメータを設
   定する設定手段と、前記設定されたパラメータを記憶す
   るパラメータテーブルと、システム時刻を出力する時計
   部と、前記データの収集周期をカウントするタイマー部
   と、前記データ収集手段で収集されたデータが格納され
   る第１のテーブルと、前記データの収集周期のカウント
   終了時のシステム時刻と共に前記データの収集周期に従
   って前記第１のテーブルからデータが取り出されて格納
   される第２のテーブルと、前記データ収集手段で収集さ
   れたデータを前記第１のテーブルに格納し、前記第１の
   テーブルから前記第２のテーブルへ前記データを取り出
   して前記システム時刻と共に格納する変換手段と、前記
   第２のテーブル内のデータを前記システム時刻と前記パ
   ラメータに基づいてグラフ化する表示制御部と、前記グ
   ラフの表示を行う表示手段とを有することを特徴とする
   モニタリング装置。
2. 【請求項２】 データの収集周期及びグラフ表示用のパ
   ラメータを設定手段で設定しておき、前記データの収集
   周期をタイマー部でカウントし、データ収集手段で収集
   され、変換手段を介して格納された第１のテーブルのデ
   ータを前記タイマー部でのカウント終了時に前記変換手
   段により取り出して時計部が出力するシステム時刻と共
   に第２のテーブルに格納し、前記第２のテーブル内のデ
   ータを前記システム時刻と前記パラメータに基づいて表
   示制御部でグラフ化し、表示手段でグラフ表示させるこ
   とを特徴とする請求項１記載のモニタリング装置の表示
   方法。