JPH06505072A - 乾式運転型の真空ポンプ - Google Patents
乾式運転型の真空ポンプInfo
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- JPH06505072A JPH06505072A JP4503505A JP50350592A JPH06505072A JP H06505072 A JPH06505072 A JP H06505072A JP 4503505 A JP4503505 A JP 4503505A JP 50350592 A JP50350592 A JP 50350592A JP H06505072 A JPH06505072 A JP H06505072A
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- F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
乾式運転型の真空ポンプ
本発明は、乾式運転型の真空ポンプであって、鉛直方向に配置された少なくとも
1つの軸を備えており、軸が、上方に向かって開放しているポット形部材内に位
置している潤滑されるころがり軸受を用いて、上側の軸受シールド内において支
承されている形式のものに関する。
「乾式運転型」の真空ポンプは、排出室が潤滑剤及び/又はシール剤を有してい
ない形式のポンプである。このような真空ポンプの利点は、該真空ポンプが完全
に炭化水素を含まない真空を生ぜしめることができるということにある。しかし
ながら、排出室内において回転するピストンを保持している軸のための軸受にお
ける潤滑は、省くことが不可能である。従って乾式運転型のポンプでは、排出室
に対して軸受室を確実かつ有効に隔離することが必要である。ポンプの片側にお
いて軸は伝動装置ケーシングの中にまで延在しており、この伝動装置ケーシング
内には、回転運動を同期化する伝動装置が配置されている。さらにまた、オイル
を含有する伝動装置室を、隣接した排出室に対してシールすることも確実に保証
されていなくてはならない。
ヨーロッパ特許公開第290662号明細書には、冒頭に述べた形式の乾式運転
型の2軸式真空ポンプが開示されている。この公知の構成では、上側の軸受室を
隣接する排出室から切り離すために、軸の上端部に、上方に向かって開放してい
るポット形部材が設けられており、そしてこのポット形部材が、軸受から流出し
た軸受グリスを捕捉するようになっている。ポット形部材の内部に位置している
ころがり軸受は、回転する外レースを有していて、この外レースはポット形部材
の内壁に支持されている。静止している内レースは、ボンド形部材に突入してい
るケーシング固定の基部に支持されている。この公知の解決策では、汎用の軸受
との比較において、軸自体と軸と共に回転する軸受レースとの間に、別体の構成
部材が設けられているので、正確な軸案内を損なうおそれのある付加的な継ぎ目
箇所が存在している。
ゆえに本発明の課題は、冒頭に述べた形式の真空ポンプを改良して、軸の上端部
の範囲にポット形部材が設けられているにもかかわらず、軸案内に関する上述の
ような欠点を有していない真空ポンプを提供することである。
この課題を解決するために本発明の構成では、軸上端部にころがり軸受の下にお
いて固定されていて上方に向かって開放しているポット形部材に、ケーシングに
固定されていて下方に向かって開放しているポット形部材が配属されており、該
ポット形部材の壁が、上方に向かって開放している軸側のポット形部材に突入し
ていて、膣壁の内側にころがり軸受が、そのケーシング固定の軸受レースで支持
されている。
このような解決策には次のような利点がある。すなわち本発明による真空ポンプ
では、軸は、汎用の軸受におけるように、ころがり軸受の一緒に回転する内レー
スに直に接触しており、つまり、軸案内を損なうような付加的な構成部材もしく
は継ぎ目箇所は存在しない。本発明の別の利点としては、コンパクトな構造形式
が得られることを挙げることができる。それというのは本発明では、軸と共に回
転するポット形部材の内側及び外側を、ギャップシールを形成するために利用す
ることができるからである。本発明の対象では軸方向に互いに並んで位置してい
る(軸方向において相前後して位置しているのではない)2つのギャップシール
のうちの内側に位置しているギャップシールが、回転するポット形部材の内側に
位置していることに基づいて、当該ギャップシールに達する潤滑剤を、ポット形
部材の内部に保持してお(ことが可能である。
本発明のその他の利点及び詳細は、以下において第1図及び第2図に示された実
施例を参照しながら説明する。
第1図は本発明による上側の軸受を備えた2軸式真空ポンプ示す断面図、
第2図は本発明による軸受を拡大して示す断面図である。
第1図に示されているポンプは、2つの軸2.3と3つのロータ対4.5:6.
7;8,9とを備えた3段式の真空ポンプ1である。ロータの軸方向長さは、吸
込み側から圧力側に向かって減じられている。回転ピストンは爪型式(Nort
hey、例えばヨーロッパ特許出願公開第290662号明細書参照)であり、
シールド14〜17及びケーシングリング18〜20によって形成されている排
出室11,12.13内において回転するようになっている。
軸2,3は鉛直方向に配置されている。このことは同様に、ポンプケーシングの
そばに配置されている駆動モータ22に対しても言える。下側の軸受シールド1
7の下において軸2,3には、同じ直径をもつ歯車23.24が設けられており
、これらの歯車23,24は、ローラ対4.5+6.T:8.9の運動を同期化
するために働く。駆動モータ22もまたその下側に歯車25を有している。そし
て駆動結合は、歯車24.25と係合している別の歯車26によって生せしめら
れている。
上側の軸受シールド14と下側の軸受シールド17とには、軸2,3がころがり
軸受27を介して支持されている。上側の軸受シールド14には、水平に配置さ
れた接続フラノン28が設けられており、この接続フランツ28はポンプの入口
を形成している。入口通路31は端面側(開口32)において第1段の排出室1
1に開口している。第1段の端面側に配置された出口開口は、符号33で示され
ており、接続通路34に通じている。シールド15に位置している接続通路34
は、第2段の入口開口35と接続している。軸受シールド16は相応に構成され
ている。最下位(第3)のポンプ段の下には出口36が配置されており、この出
口36は端面側の出口開口37と接続している。
ポンプケーシングとモータとから成っている系の下には、オイルを含有する室4
0が設けられており、この室40は共通の軸パンによって形成されている。この
軸パンからは、図示されていない潤滑剤通路が、オイル潤滑を必要とするポンプ
箇所(軸受、歯車23〜26の係合部、軸ソールリング又はこれに類した箇所)
に向かって延びている。上側の軸端部の範囲における軸受27は、有利にはグリ
スによって潤滑されている。
3段式の2軸式真空ポンプの図示の実施例は水冷式である。そのためにサイトシ
ールド14.17には冷却水通路43.44が設けられている。冷却水入口及び
冷却水出口はそれぞれ符号45.46で示されている。冷却水人口45は通路系
43.44の最下位の箇所に配置されているので、簡単な冷却水排出が可能であ
り、かつ通路系43.44を完全に空にすることが保証されている。
本発明による提案に相応して、上側の軸端部にはそれぞれ、上方に向かって開放
していて一緒に回転するポット形部材51が設けられており、このポット形部材
51の底部52を貫いて軸2.3が軸受室53に突入している。ポット形部材5
1には、ケーシング固定の下方に向かって開放しているポット形部材54が配属
されており、このポット形部材54の壁55は、上方に向かって開放しているポ
ット形部材51内に突入していて、ポット形部材54の蓋56は軸受室53を閉
鎖している。回転するポット形部材51の壁57は、軸受シールド14及び、ケ
ーシング固定の構成部材54の壁55の外側と共に、それぞれギャップシール5
8.59を形成しており(第2図参照)、これらのギャップシール58.59に
ついては後で第2図を参照しながら詳しく説明する。軸受27の軸受レース61
.62は、軸2.3自体と、ケーシング固定の構成部材54の壁55の内側とに
支持されている。下方に向かっては軸受室53はそれぞれ、半径方向軸シールリ
ング63によって閉鎖されている。
第2図に詳しく示された実施例から分かるように、ポット形部材51は管片64
を用いて軸2,3に密に被せ嵌められている(シールリング65)。ポット底部
52の上において軸2,3は、ナツト67が螺合するねじ山66を有してし・る
。このように構成されていることによって、ロータを備えた軸とポット形部材5
1とを緊定することが可能である。ねじ山66の上において軸2.3は、減じら
れた直径を有している。ねじ山66には、半径方向軸シールリング63のための
密に(シールリング68)軸2,3に被せ嵌められているブシュ69と、軸受2
7の回転する内レース61とが接続している。円板71とねじ72とを用いて、
軸受レース61及びブシュ69は軸2,3の上端部に固定されている。軸緊定と
は無関係なこの固定形式に基づいて、ロータの緊定を解離させることなしに、軸
受27と半径方向軸シールリング63とを交換することが可能である。ポット形
部材54はその上側部分(蓋56)で、ねじ60を用いて軸受シールド14に固
定されており、かつ軸受外レース62のポジションを規定している。
ポット形部材51は、半径方向軸シールリング63の故障時に、軸受27から流
出する潤滑剤を捕捉するという課題を担っている。ポット形部材51はその下側
範囲に旋削によるアンダヵット部74を備えており、このアンダカット部は遠心
力に基づいて、潤滑剤のための捕捉ポケットとして働(。排出室4,5の方向に
おいて、軸方向に互いに並んで位置しているギャップシール59.58が続けて
設けられており、両ギャップンール59.58によって確実な切離しが保証され
ている。さらに付加的に、底部52及び管片64の外側は、軸受シールド14内
に押し嵌められたリング75との間に間隙を形成しており、このような間隙によ
って、排出室4.5と軸受レース53との間における所望の切離しが助成されて
いる。
FIG、1
FIG、2
国際調査報告
国際調査報告
Claims (8)
- 1.乾式運転型の真空ポンプ(1)であって、鉛直方向に配置された少なくとも 1つの軸(2,3)を備えており、軸(2,3)が、該軸に固定されていて上方 に向かって開放しているポット形部材(51)内に位置している潤滑されるころ がり軸受(27)を用いて、上側の軸受シールド(14)内において支承されて いる形式のものにおいて、上方に向かって開放しているポット形部材(51)に 、ケーシングに固定されていて下方に向かって開放しているポット形部材(54 )が配属されており、該ポット形部材(54)の壁(55)が、上方に向かって 開放しているポット形部材(51)に突入していて、該壁(55)の内側にころ がり軸受(27)が、そのケーシング固定の軸受レース(62)で支持されてい ることを特徴とする乾式運転型の真空ポンプ。
- 2.軸(2,3)と共に回転するポット形部材(51)の円筒形の壁の内側及び 外側が、隣接した構成部材、つまり、ケーシング固定のポット形部材(54)の 円筒形の壁(55)の外側及び軸受レース(14)と共に、ギャップシール(5 8,59)を形成している、請求項1記載の真空ポンプ。
- 3.軸受室(53)が半径方向軸シールリング(63)を用いてシールされてお り、該半径方向軸シールリング(63)が、軸(2,3)とケーシング固定のポ ット形部材(54)の壁(55)とに支持されている、請求項1又は2記載の真 空ポンプ。
- 4.軸(2,3)の上端部における半径方向軸シールリング(63)のためのブ シュ(63)と軸受(27)とを保持するための手段(71,72)が、軸(2 ,3)とロータとを緊定するための手段(66,67)とは無関係である、請求 項1から3までのいずれか1項記載の真空ポンプ。
- 5.上方に向かって開放しているポット形部材(51)が軸(2,3)に緊定さ れている、請求項4記載の真空ポンプ。
- 6.上方に向かって開放しているポット形部材(51)が下側範囲に、捕捉ポケ ットを形成している旋削によるアンダカット部(74)を備えている、請求項1 から5までのいずれか1項記載の真空ポンプ。
- 7.上方に向かって開放しているポット形部材(51)が、底部(52)に位置 している管片(64)を用いて、密に軸(2,3)に保持されており、底部(5 2)及び/又は管片(64)の外側が、ケーシング固定の構成部材(リング75 )と共に、ギャップシールを形成している、請求項1から6までのいずれか1項 記載の真空ポンプ。
- 8.真空ポンプが、爪型のロータ対を備えた2軸式真空ポンプである、請求項1 から7までのいずれか1項記載の真空ポンプ。
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