JPH063709A - 波長チュウニング型小型分光器 - Google Patents
波長チュウニング型小型分光器Info
- Publication number
- JPH063709A JPH063709A JP18287692A JP18287692A JPH063709A JP H063709 A JPH063709 A JP H063709A JP 18287692 A JP18287692 A JP 18287692A JP 18287692 A JP18287692 A JP 18287692A JP H063709 A JPH063709 A JP H063709A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- waveguide
- slab waveguide
- input
- total reflection
- diffraction grating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
状を著しく小さくすることができる波長チュウニング型
小型分光器を提供する。 【構成】基板の表面上にスラブ導波路が形成されるとと
もにその裏面と前記スラブ導波路の上面とに対をなす電
極が設けられ、そのスラブ導波路の一端面には垂直回折
格子が円弧状をなすように設けられ、そのスラブ導波路
の少なくとも一つの他端面にはスラブ導波路分の光路を
折り返すように少なくとも一つの全反射鏡が設けられ、
またスラブ導波路のもう一つの端面には一つの入力導波
路と複数個の出力導波路がその入射部が円弧状をなすよ
うに設けられ、その一つの入力導波路に入力された波長
の異なる複数の入力光が前記対をなす電極間に印加され
た逆バイアス電圧の値により、前記複数個の出力導波路
に波長に従い選択的に分配される。
Description
において、多重化された光信号を分光する分光器に関す
るものである。
形成された部品として1.48〜1.56μmの光を分
光するものがあった(Appl.Phys.Lett.
58(1991)pp1949〜)。図4は、従来の小
型分光器を表す平面図であって、1はスラブ導波路部、
2はリッジ導波路部、3は垂直回折格子、4は入力光
(λ1 ,λ2 ……λn )、5は出力光である。周波数多
重化された入力光4は、リッジ導波路2に入り、垂直回
折格子3で分光され、それぞれ異なったリッジ導波路2
に集光する。垂直回折格子3はローランド円上にあり、
リッジ導波路部2とスラブ導波路部1の接合部は1/2
ローランド円上にあるから、それぞれの波長の光は、焦
点ずれなしに異なったリッジ導波路2に集光する。
は、スラブ導波路部1の屈折率が固定であるため、分波
角度の微調機能がないという欠点、すなわち波長調節の
機能がないという欠点、また波長差により分波角度差が
比較的小さいため、スラブ導波路部を長くする必要があ
り、素子が長大になるという欠点があった。
器の波長調節がないという欠点、及び素子の大きさが長
大になるという欠点を解消して、スラブ導波路部を少な
くとも一つの全反射鏡によって折り返すことにより、実
質上の光路長は充分確保しながら、素子の形状を著しく
小さくすることができる波長チュウニング型小型分光器
を提供することにある。
に、本発明による波長チュウニング型小型分光器は、基
板の表面上にスラブ導波路が形成されるとともに、該基
板の裏面と前記スラブ導波路の上面とに対をなす電極が
設けられ、該スラブ導波路の一端面には垂直回折格子が
ローランド円の円弧状をなしかつ該垂直回折格子の溝の
方向が前記基板の表面に垂直であるように設けられ、該
スラブ導波路の少なくとも一つの他端面にはスラブ導波
路分の光路を折り返すように少なくとも一つの全反射鏡
が設けられ、かつ該スラブ導波路のもう一つの端面には
一つの入力導波路と複数個の出力導波路がその入射部が
1/2ーロランド円の円弧状をなすように設けられ、前
記一つの入力導波路に入力された波長の異なる複数の入
力光が前記対をなす電極間に印加された逆バイアス電圧
の値により、前記複数個の出力導波路に波長に従い選択
的に分配されて出力光として取り出されるように形成さ
れている。前記垂直回折格子の形状を鋸状にして、入射
光と回折光とが、回折格子の溝の面に対して略正反射の
関係になるように形成し、また、絶縁膜と金属膜からな
る高反射膜を付加して、回折効率を上げることができ
る。
て、10は基板、11はスラブ導波路部、12は垂直回
折格子、13は入力導波路、14は出力導波路、15は
全反射鏡、16はリード線、17はn側電極、18はp
側電極である。スラブ導波路部11の層構造及び高反射
膜は、図面の簡単化のため省略してある。また、前記反
射鏡15は結晶のへき開面を使用してもよい。
れたλ1 ,λ2 ,……λn の光はスラブ導波路部11で
拡がり、全反射鏡15で折り返され、さらに拡がり、垂
直回折格子12で分波され、再び全反射鏡15で折り返
され、各々の波長の光λ1 ,λ2 ,……λn は、それぞ
れ対応する出力導波路14に入射し、出力端面から出力
光として出射する。垂直回折格子12がローランド円上
にあり、スラブ導波路部11と出力導波路14の接合部
が1/2ローランド円上にあるから、各々の波長の光は
焦点ずれなしに分岐集光する。
圧をかけることにより、光の分波角度すなわち波長調節
が可能なメカニズムについて述べる。電気光学効果によ
る屈折率変化は次式で与えられる。 Δn=(1/2)n3 r41E …… ここで、Δnは屈折率変化、nは屈折率、Eは印加され
る電界、r41は電気光学係数でほぼ1.6×10-12 m
/V程度である。アンドープの全体の厚さを0.5μm
=5×10-7mとすると、50V印加した時、E=10
8 V/mとなる。n≒3.3とすると、Δn≒2.9×
10-3となり、1.55μm帯では、波長シフトはΔλ
≒14Å程度となる。
の本数、nは屈折率、λは波長である。スラブ導波路部
11での光路を折り返して光路を充分長くとると、回折
格子の本数Nは大きくなり、Δkは小さくなり、充分周
波数多重伝送方式に使用することができる。また、回折
格子の形状を鋸状にして入射光と回折光とを回折格子の
溝の面に対して略正反射の関係にするとともに高反射膜
を付加することにより、回折効率を85〜95%程度に
することができる。
1はスラブ導波路部、22は垂直回折格子、23は入力
導波路、24は出力導波路、25は全反射鏡、26はリ
ード線である。電極は図示を省略している。全反射鏡2
5によって、スラブ導波路部21の光路を2回折り返す
ことにより、充分光路を長く維持したまま、素子の大き
さを2×2mm2 と小さくすることができる。また、全反
射鏡25は、結晶のへき開面を使用してもよい。
1はスラブ導波路部、32は垂直回折格子、33は入力
導波路、34は出力導波路、35は全反射鏡、36はリ
ード線、37は全反射鏡である。電極は図示を省略して
いる。入力導波路33が全反射鏡37によって2回路折
り返されることにより、入力導波路33の入力端と出力
導波路34の出力端が対向していて、実装上便利になっ
ている。
晶の場合には、InGaAsP/InAlAsあるいは
InGaAsP/InPの多重量子井戸層にし、GaA
s系結晶の場合には、コア層をAlGaAs/GaAs
の多重量子井戸層にすれば、電気光学係数を大きくで
き、波長調節範囲を大きくすることができる。
反射鏡は、実施例ではドライエッチング等のエッチミラ
ー使用例をあげたが、結晶のへき開面を使用しても良い
ことはいうまでもない。なお、複数の出力導波路に受光
器を設けることもできる。
n型InP基板,n型InPクラッド層,アンドープの
InGaAsPコア層,アンドープのInP層,p型I
nPクラッド層,p型InGaAsPコンタクト層から
形成することができる。
n型InP基板,n型InPクラッド層,アンドープの
InGaAs/InAlAsのあるいはInGaAs/
InPの多重量子井戸コア層,アンドープのInP層,
p型InPクラッド層,p型InGaAsPコンタクト
層から形成することができる。
n型GaAs基板、n型AlGaAsクラッド層,アン
ドープのGaAsコア層,p型AlGaAsクラッド
層,p型GaAsコンタクト層から形成することができ
る。
型GaAs基板、n型AlGaAsクラッド層,アンド
ープのGaAs/AlGaAs多重量子井戸層,p型A
lGaAsクラッド層,p型GaAsコンタクト層から
形成することができる。
スラブ導波路部の光路が折り返されていて、実装上の光
路の長さは充分確保しながら、素子の大きさは、例えば
2×2mm2 程度に小型化可能であるという利点、入力フ
ァイバと出力ファイバが対向していて、実装上便利であ
るという利点、さらに波長調節ができる小型分光器であ
るという利点がある。
型分光器の斜視図である。
型分光器の平面図である。
型分光器の平面図である。
Claims (2)
- 【請求項1】 基板の表面上にスラブ導波路が形成され
るとともに、該基板の裏面と前記スラブ導波路の上面と
に対をなす電極が設けられ、該スラブ導波路の一端面に
は垂直回折格子がローランド円の円弧状をなしかつ該垂
直回折格子の溝の方向が前記基板の表面に垂直であるよ
うに設けられ、該スラブ導波路の少なくとも一つの他端
面には該スラブ導波路の光路を折り返すように少なくと
も一つの全反射鏡が設けられ、かつ該スラブ導波路のも
う一つの端面には一つの入力導波路と複数個の出力導波
路がその入射部が1/2ーロランド円の円弧状をなすよ
うに設けられ、前記一つの入力導波路に入力された波長
の異なる複数の入力光が前記対をなす電極間に印加され
た逆バイアス電圧の値により前記複数個の出力導波路に
波長に従い選択的に分配されて出力光として取り出され
るように形成された波長チュウニング型小型分光器。 - 【請求項2】 前記入力導波路が2個の全反射鏡によっ
て折り返され、前記出力光の出射部と前記入力光の入射
部が対向するように形成されたことを特徴とする請求項
1に記載の波長チュウニング型小型分光器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18287692A JP3023942B2 (ja) | 1992-06-18 | 1992-06-18 | 波長チュウニング型小型分光器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18287692A JP3023942B2 (ja) | 1992-06-18 | 1992-06-18 | 波長チュウニング型小型分光器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH063709A true JPH063709A (ja) | 1994-01-14 |
JP3023942B2 JP3023942B2 (ja) | 2000-03-21 |
Family
ID=16125971
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18287692A Expired - Fee Related JP3023942B2 (ja) | 1992-06-18 | 1992-06-18 | 波長チュウニング型小型分光器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3023942B2 (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6608679B1 (en) * | 1998-12-21 | 2003-08-19 | Xerox Corporation | Spectrophotometric analysis of input light |
WO2004049027A1 (ja) * | 2002-11-26 | 2004-06-10 | Fujitsu Limited | 光合分波器 |
JP2007165890A (ja) * | 2005-12-09 | 2007-06-28 | Korea Electronics Telecommun | 波長可変光源素子 |
KR100744548B1 (ko) * | 2005-07-02 | 2007-08-01 | 한국전자통신연구원 | 광증폭기, 빔 조종기 및 오목 회절 격자가 집적된 파장가변 광원 소자 |
WO2022066321A1 (en) * | 2020-09-24 | 2022-03-31 | Apple Inc. | Tunable echelle grating |
US11500154B1 (en) | 2019-10-18 | 2022-11-15 | Apple Inc. | Asymmetric optical power splitting system and method |
US11506535B1 (en) | 2019-09-09 | 2022-11-22 | Apple Inc. | Diffraction grating design |
US11906778B2 (en) | 2020-09-25 | 2024-02-20 | Apple Inc. | Achromatic light splitting device with a high V number and a low V number waveguide |
US11971574B2 (en) | 2021-09-24 | 2024-04-30 | Apple Inc. | Multi-mode devices for multiplexing and de-multiplexing |
-
1992
- 1992-06-18 JP JP18287692A patent/JP3023942B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6608679B1 (en) * | 1998-12-21 | 2003-08-19 | Xerox Corporation | Spectrophotometric analysis of input light |
WO2004049027A1 (ja) * | 2002-11-26 | 2004-06-10 | Fujitsu Limited | 光合分波器 |
US7054526B2 (en) | 2002-11-26 | 2006-05-30 | Fujitsu Limited | Optical multiplexer/demultiplexer |
KR100744548B1 (ko) * | 2005-07-02 | 2007-08-01 | 한국전자통신연구원 | 광증폭기, 빔 조종기 및 오목 회절 격자가 집적된 파장가변 광원 소자 |
JP2007165890A (ja) * | 2005-12-09 | 2007-06-28 | Korea Electronics Telecommun | 波長可変光源素子 |
US11506535B1 (en) | 2019-09-09 | 2022-11-22 | Apple Inc. | Diffraction grating design |
US11500154B1 (en) | 2019-10-18 | 2022-11-15 | Apple Inc. | Asymmetric optical power splitting system and method |
US11886007B2 (en) | 2019-10-18 | 2024-01-30 | Apple Inc. | Asymmetric optical power splitting system and method |
WO2022066321A1 (en) * | 2020-09-24 | 2022-03-31 | Apple Inc. | Tunable echelle grating |
US11561346B2 (en) | 2020-09-24 | 2023-01-24 | Apple Inc. | Tunable echelle grating |
US11906778B2 (en) | 2020-09-25 | 2024-02-20 | Apple Inc. | Achromatic light splitting device with a high V number and a low V number waveguide |
US11971574B2 (en) | 2021-09-24 | 2024-04-30 | Apple Inc. | Multi-mode devices for multiplexing and de-multiplexing |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3023942B2 (ja) | 2000-03-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6910780B2 (en) | Laser and laser signal combiner | |
US5105433A (en) | Interferometric semiconductor laser | |
US20060127006A1 (en) | Tunable demultiplexer and tunable laser with optical deflector | |
US7065108B2 (en) | Method of wavelength tuning in a semiconductor tunable laser | |
JP2007158057A (ja) | 集積レーザ装置 | |
JP3023942B2 (ja) | 波長チュウニング型小型分光器 | |
JP2947142B2 (ja) | 波長可変半導体レーザ | |
JP2986031B2 (ja) | 分光型光スイッチ | |
JP2986032B2 (ja) | 波長チュウニング型小型分光器 | |
JP3023941B2 (ja) | 分光型光スイッチ | |
JPH04138427A (ja) | 光波長フィルタ装置 | |
JP2017168545A (ja) | 光モジュール | |
JP2008543028A (ja) | 光集積装置、光出力方法並びにその製造方法 | |
JP2986029B2 (ja) | 波長分波光検出器 | |
KR100550141B1 (ko) | 가변 광 편향기를 이용한 파장 가변형 외부 공진 레이저다이오드 | |
JPH08334796A (ja) | 光波長変換集積素子 | |
JP2854330B2 (ja) | 波長可変光フィルタ | |
JP2004511914A (ja) | 波長可変単一モードレーザ装置 | |
JP3595677B2 (ja) | 光アイソレータ、分布帰還型レーザ及び光集積素子 | |
US20210367401A1 (en) | Optical functional device and laser device | |
JP3162427B2 (ja) | 集積型波長フィルタ | |
JP3313254B2 (ja) | 半導体発光装置 | |
JPH03195076A (ja) | 外部共振器型波長可変半導体レーザ | |
JPH09186408A (ja) | 分布反射型半導体レーザ | |
JP2770898B2 (ja) | 可変波長半導体レーザ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090121 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090121 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100121 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110121 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110121 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120121 Year of fee payment: 12 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |