JPH0636024B2 - Nmr分光器の試料ホルダー導入装置 - Google Patents

Nmr分光器の試料ホルダー導入装置

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JPH0636024B2
JPH0636024B2 JP63218671A JP21867188A JPH0636024B2 JP H0636024 B2 JPH0636024 B2 JP H0636024B2 JP 63218671 A JP63218671 A JP 63218671A JP 21867188 A JP21867188 A JP 21867188A JP H0636024 B2 JPH0636024 B2 JP H0636024B2
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pipe
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、測定領域を貫通する垂直な一本の案内管
と、試料ホルダーを案内管に出し入れするため前記案内
管の上端に配設されている交換装置と、測定時に案内管
に受け渡す試料ホルダーを案内管の上端からクライオ磁
石の測定領域まで沈め、取り出す時、案内管の上端まで
再び持ち上げるため、加圧ガスを案内管の下端から配量
して導入するガス導入装置とを備え、所定の測定領域に
一様な静磁場を発生する垂直軸を有するクライオ磁石を
具備するNMR分光器の試料ホルダー導入装置に関す
る。
〔従来の技術〕
この種の装置は、例えば米国特許第 45 81 583号明細書
と欧州特許第 01 97 791号明細書により公知である。こ
れ等の一方の装置には交換装置として回転試料保持具を
有するマガジンがあり、この試料保持具の試料ホルダー
の収納部は案内管の端部の上に位置決めされる。また、
他方の装置は、マガジンから試料ホルダーを取り出し、
案内管に受け渡したり、その逆を行うロボットアームを
有する。この装置は、複雑で、試料を順番に検査するの
でなく、個別に検査する必要がある場合、経済的に使用
できない。
試料ホルダーを自動的に導入しない場合には、「空気リ
フト」とも言われる試料をNMR分光器のクライオ磁石
の測定領域に出し入れする装置には、磁石装置が大きい
と、分光器の利用者が磁石装置を設置した部屋の床から
案内管の上端に達することができないと言う難点をがあ
る。それ故、試料を交換する場合、梯子を利用するか、
あるいは磁石装置の傍に踏み台を設けることが必要とな
る。梯子を使用すると手間がかかり、しかも踏み台を設
置すると経費がかかるだけなく、梯子や踏み台の設置は
磁石装置以外の占有場所を必要とする。従って、磁石設
置の設置場所を選定する場合、重大な制約が生じる。更
に、強力な磁場やNMR分光器の敏感な計測装置に反作
用を与える磁石の周囲の時間的な変化は、人にも危険を
与える強力な磁場をできる限り避けるため、防止される
べきである。この点に関して、上に述べた装置でも、一
方でクライオ磁石の上端に配設された試料保持具の装填
と、他方でクライオ磁石の直ぐ周囲で作業するロボット
に問題が生じる。
〔発明の課題〕
それ故、この発明の課題は、NMR分光器の利用者が試
料交換を操作し易い位置から行え、余分な占有場所を必
要としない、冒頭に述べた類のNMR分光器の試料ホル
ダー導入装置を提供することにある。
〔課題を解決する手段〕
上記の課題は、この発明により、冒頭に述べた類のNM
R分光器の試料ホルダー導入装置にあって、 案内管3,43の上端の近くの領域から磁石装置の外の
手の届く個所に通じ、試料ホルダー4,44を出し入れ
するためこの個所に開閉可能な開口を有する傾斜管1
5,55と、管片14,54を案内管3,43かあるい
は傾斜管15,55の方に選択的に向けることのできる
回転スライダ13,53を有する方向切換器11,51
とが前記交換装置に設けてあり、 管片14,54の内径が傾斜管15,55と案内管3,
43の内径に等しく、ガス導入装置6,46が傾斜管1
5,55の閉じた下端にも連結し、 方向切換器11,51の管片14,54を案内管の方に
向けると、案内管3,43から管片14,54の中に持
ち上った試料ホルダー4,44が取り外すために傾斜管
15,55中で沈み、この動作の逆も行うように、前記
ガス導入装置6,46を制御できことによって解決され
ている。
この発明による他の有利な構成は特許請求の範囲の従属
請求項に記載されている。
〔作用と効果〕
従って、この発明による磁石装置では案内管によって磁
石装置の上部まで持ち上げた試料を磁石装置の外側の傾
斜管で沈め、分光器の利用者が簡単に操作できる位置に
持ち込めるように配慮されている。前記位置は分光器の
コンソールの直ぐ近く、つまりこの種の分光器の利用者
の通常の作業位置の直ぐ近くである。その場合、試料搬
送系のこの発明による構成は占有場所をとらず、経費の
かかる複雑な装置を必要としない。これは、試料搬送用
ガスとして空気を使用する時、特に適する。適当な他の
ガスは、例えばボンベから加圧ガスとして取り出せる窒
素である。以下で「圧搾空気」と言う場合、この用語は
加圧された任意の適当なガス媒体に対するものである。
傾斜管の下端での試料ホルダーの出し入れは、傾斜管の
下端に試料ホルダーの収納室を有する傾斜管から分離で
き、片側を閉じた端部片を配設して軽減させることがで
きる。この端部片は当然試料ホルダーの出し入れを容易
にし、試料ホルダーを端部片中に確実に保持するように
形成されている。傾斜管を端部片に固定するには、例え
ば差込継手や、バネ性の保持部材で行われる。
試料ホルダーの動きを制御するには、従来のように圧搾
空気導入装置に三つの動作状態しか必要としない。つま
り、試料を上げる動作状態、試料を下げる動作状態、お
よび試料を浮上保持する動作状態である。その場合、こ
の発明の構成では方向切換器が方向切換器の管片が案内
管または傾斜管の方に向いている時、他の管を機密状態
で遮断する回転スライダを有し、更に、案内管の端部片
の閉じた端部に可撓導管を介して連結し、この導管が試
料ホルダーの長さより少なくとも長い上端からの間隔の
ところで案内管に接続している。切換位置に応じて、試
料ホルダーの上げ下げが案内管と傾斜管中で行われ、同
時に試料ホルダーを各々の管から方向切換器に移し変え
ること、およびこの逆が方向切換器を各管に正しく向け
た時にのみ行えることが保証される。
方向切換器はレバー駆動装置で簡単に手動調整でき、こ
の駆動装置は方向切換器と共に一つの系を形成し、この
系の共通の重心は方向切換器が案内管か、傾斜管の方を
向く動作位置で両方の中間位置より低い。
手動調整に必要なレバー駆動装置は非常に簡単に、しか
も案内管の直ぐ近くに設置できるので、場所とらない。
レバー駆動と方向切換器から成る系の全系の重心が二つ
の動作位置の中間で最も高い位置を占めるように構成す
ると、方向切換器が必ず両方の動作位置の一方を占めよ
うとし、各動作位置で確実に休止位置を占める結果にな
る。
この試料搬送系は必要な経費が妥当な場合、当然利用者
に対し快適にも構成できる。傾斜管が分光器のコンソー
ルのところで終わっていれば、傾斜管に配設された端部
片が旋回可能な他の方向切換器の管片であってもよく、
この管片から上に開放し、ほぼ垂直に配設された試料ホ
ルダーの収納管が出る。上に開放したこの収納管は、例
えばコンソールのテーブルで終わるので、試料ホルダー
を容易に上から収納管に導入できる。この装置は、磁石
から出す試料が貯蔵管の上端から突き出るようにもでき
るので、取り出すのに試料を上手く掴むことができる。
その場合、他の方向切換器を案内管の上端にある方向切
換器と機械的に結合しているので、試料ホルダーを一方
の方向切換器から他方の方切換器に移す時、両方の方向
切換器の管片が必ず傾斜管の方を向くことを保証する。
方向切換器と圧搾空気導入装置を方向切換器のところに
配設した試料ホルダーの位置を検出するセンサの検出信
号に応じて、制御器を用いて自動的に移動させたり、制
御できる可能性も生じる。従って、コンソールから試料
を出し入れする切換器を簡単に操作でき、これに必要な
全ての過程を実行させるのに十分である。
〔実施例〕
以下、図面に示す実施例に基づきこの発明をより詳しく
説明する。
第1図に示す装置では、模式的に示すクライオ磁石2の
中心空間1を案内管3が貫通している。この案内管の中
に試料ホルダー4がある。クライオ磁石2はNMR分光
器の一部で、この分光器を用いて、クライオ磁石2が作
る磁場の一様な領域中に試料ホルダー4によって導入さ
れた試料5を調べることができる。クライオ磁石2のほ
ぼ中心、往々この中心の下に存在する磁場の一様領域に
試料ホルダー4が圧搾空気で導入される。この圧搾空気
は管7により案内管3の下端に接続する装置6によって
案内管3に導入され、試料5を有する試料ホルダー4を
クライオ磁石2の測定領域から再び除去するためにも使
用される。このため、導入した圧搾空気の量は案内管3
の試料ホルダー4を案内管の上端で保持するように上昇
させる。そこには、円筒状のケース12とその中で回転
可能に支承された回転スライダ13から成る方向切換器
11がある。この回転スライダには、第1図に示す回転
スライダ13の位置で案内管3に揃った管片14が挿入
されている。圧搾空気供給装置6は、送風機、圧搾機、
圧搾空気タンク等で、ここでは簡単のため使用する用語
「圧搾空気」はどんな加圧ガスでもよい。事実、窒素が
度々利用され、前記装置6は窒素ボンベで簡単に形成さ
れている。
方向切換器11のケース12には、回転スライダ13の
軸に垂直で、案内管3と同じ面内に傾斜管15が挿入さ
れている。この傾斜管15は方向切換器11から出て、
クライオ磁石2の外側を通り、その端部16が分光器の
利用者に取扱やすい位置にある。傾斜管の端部16には
端部片17が装着され、例えば差込継手で傾斜管の下端
に保持されている。第1図の端部片17にある相手のス
リットに嵌まるピン18である。端部片17の閉じた他
方の端部は可撓導管19を介して案内管3の上端に連結
している。方向切換器11の管片14は回転スライダ1
3を旋回させて傾斜管15の方に向けることができる。
回転スライダ13を旋回させるには、回転スライダに固
定したクランクアーム21と連接棒22から成る簡単な
レバー駆動部が使用される。前記連接棒22はクランク
アーム21の一端にリンク結合し、傾斜管15の下端ま
で達している。そこにはこの連接棒にハンドル23が設
けてある。連接棒2はその下端近くで案内部24の中に
配設されている。回転スライダ13は図示位置からハン
ドル23の連接棒22を上に向けて移動させて管片14
が傾斜管15に揃う点線の位置に来ることが容易に判
る。管片14の端部に取り付けた錘25は最後に述べた
位置で回転スライダ13に矢印26の向きにトルクを与
える。このトルクはクランクアーム21と連接棒22に
よって形成されるレバー駆動部が与える矢印27の方向
の逆向きのトルクより大きい。それ故、方向切換器11
は管片14が傾斜管15に揃う点線の姿勢で安定な姿勢
となる。このような安定な姿勢は、回転スライダ13が
第1図に抜き描きして示す位置を占め、この位置で管片
14が案内管3に揃う時にも同じように生じる。何故な
ら、回転スライダ13の軸上に垂直にある錘25によっ
て生じるトルクが実際上零であるから、クランクアーム
21と連接棒22によって生じるトルクは矢印27の向
きに強いからである。従って、方向切換器11は管片1
4が案内管3か傾斜管15かに揃う二つの安定な位置を
有する。これ等の位置は管片14が方向切換器のケース
12にある切欠28の両端部に当たることによって定ま
る。
回転スライダ13に加わるトルクは回転スライダ13の
旋回軸に対して回転スライダ13、錘25付の管片14
およびクランクアーム21と連接棒22から成るレバー
駆動部によって形成される系の重心点の位置によって決
まるので、この重心は、一方の場合では、回転スライダ
13の旋回軸を通過する垂直面の一方の側に、また他方
の場合では、垂直面に他方の側に来る。重心点は円弧上
のみを移動し、円弧の中心が回転スライダ13の旋回軸
上に来て、最高点が旋回軸の上の垂直方向にあるので、
系の共通重心点は管片14を有する方向切換器が案内管
3が傾斜管15の方を向き、中間位置よりも深い位置に
来る。
第1図に示す回転スライダ13の位置では、圧搾空気の
導入を強めて、試料ホルダーが案内管3に揃う管片4の
上端に達するまで、試料ホルダー4を案内管中で持ち上
げることが容易に理解できる。管片14の端部の開口3
1は、持ち上げた時、試料ホルダー4によって案内管3
から空気を絞りながら放出できるが、管片14の端部か
ら一定間隔にある開口32は試料ホルダー4がこの開口
を通過すると、圧搾空気を漏らすので、試料ホルダーに
上部最終位置で過剰な圧力が加わらないが、他方でこの
上部位置に確実に保持される。この場合、端部片17の
下端の導管19を経由して傾斜管15に導入され圧搾空
気が作用を及ぼさない。何故なら、図示した位置では、
傾斜管15の上端が方向切換器11の回転スライダ13
によって遮断されるからである。連接棒22を操作して
方向切換器11の回転スライダ13を旋回させると、回
転スライダ13中にある管片14の端部は案内管3との
結合が完全に分離する前に、傾斜管15の流入部の領域
に達する。従って、中間区間では試料ホルダー4が一部
案内管3を介して、一部既に傾斜管15を介して導入さ
れている圧搾空気によって管片14中に保持される。管
片14が傾斜管15に揃う破線の位置に回転スライダ1
3が達すると、案内管3に導入され、導管19と端部片
17を経由して傾斜管15に達し、そこから管片14に
達する圧搾空気が試料ホルダー4に加わる。何故なら、
案内管3が上端で回転スライダ13によって遮断される
からである。試料ホルダー4を測定領域に沈めるのと同
じ方法で圧搾空気の導入を少なめると、試料ホルダー傾
斜管15の下端の端部片17まで沈めることができる。
端部片17を緩めた後、試料5を有する試料ホルダー4
がこのため端部片17に設けた収容空間から取り出せ、
別な試料を有する試料ホルダーと交換できる。端部片1
7を装着した後、圧搾空気の導入を強めて、試料ホルダ
ーを再び方向切換器11の管片14の中で持ち上げ、方
向切換器11を旋回させた後、連接棒22を下に引き下
げ、再び前記の方法で試料ホルダーをクライオ磁石2の
測定領域に沈めることができる。
非常に簡単な構成にかかわらず、説明した装置は高い信
頼性を提供する。即ち、端部片17中の試料ホルダーは
管片14が傾斜管15の方を向いている時のみ、方向切
換器11の方に移動できる。何故なら、その外の場合、
第1図から容易に判るように、案内管に通ずる圧搾空気
は開口31,32を経由し案内管3に揃う管片14で漏
れ、他方で回転スライダ13により上端で遮断された傾
斜管15は空気を受け入れることができないらである。
これに反して、方向切換器11が傾斜管15の方に合わ
せてあり、試料ホルダーが案内管3の中にあれば、圧搾
空気の導入を強めた時、試料ホルダー4が可撓性導管1
9の接続部33の下にある限り、このホルダーを持ち上
げることができる。何故なら、試料ホルダー4によって
排除された空気が導管19と上端を開放した傾斜管15
を経由して漏れるからである。しかし、途中で試料ホル
ダー4が前記接続部を通過すると、案内管3に導入され
た圧搾空気も同じ通路で排出し、その時殆ど作用しな
い。何故なら、この接続部の上部の回転スライダ13で
遮断された案内管の部分に、試料ホルダーを方向切換器
11の回転スライダー13から離れるように保持する圧
縮空気のクッションがあるからである。
第2図に示す発明には再びクライオ磁石42がある。こ
の磁石の中心空間41を案内管43が貫通する。この案
内管43は試料を有する試料ホルダー44をクライオ磁
石42で生じる磁場の一様な測定領域に導入するために
使用される。その場合、試料ホルダー44は再び案内管
43中を圧搾空気で移動する。圧搾空気はこのために形
成した装置46から管47を経由して案内管43の下端
に導入される。
この場合、既に説明したようにケース52とこのケース
に旋回可能に支承された回転スライダー53とで形成さ
れ、この回転スライダーを用いて回転スライダ中に固定
された管片54を案内管43または方向切換器51のケ
ース52に流入する傾斜管55のどちらかに揃えること
ができる方向切換器51が案内管43の上端にあるだけ
でなく、再び円筒状ケース62とこのケースに旋回可能
に支承された管片64を有する回転スライダとから成
り、前記管片が傾斜管55または方向切換器61のケー
ス62に合流する収納管65のどちらか一方に向く別な
方向切換器61が傾斜管55の下端に配設されている。
この収納管65はほぼ垂直に設置してあり、例えばクラ
イオ磁石が付属している分光器のコンソールまたは制御
パネルのテーブル66を貫通している。容易に理解でき
ることは、この装置により収納管65に上から挿入され
た試料ホルダーを下部方向切換器61の管片64まで沈
めることができ、方向切換器61,51を調整して傾斜
管55を経由し上部切換器の管片54まで送り、次いで
上部方向切換器51を旋回させた後、案内管43中でク
ライオ磁石41で生じる磁場の一様な領域まで沈めて、
所望の測定ができる。
方向切換器と圧搾空気導入の調整は、第1図で説明した
実施例の場合と同じように、手動で行える。その場合、
傾斜管55の上端と下端に配設された二つの方向切換器
を機械的に連結できる可能性も生じることは説明を要し
ない。同様に、試料交換の全過程、即ち試料ホルダーを
収納管65に装填することから始め、クライオ磁石の測
定領域に試料ホルダーを設置するまで、および、測定の
後、測定領域から試料ホルダーを取り出し、収納管65
に入れる全過程は、制御装置から出力される制御指令に
応じて行われることも簡単に判る。第2図に示す装置
は、そのような自動試料交換を目指したものである。こ
のため、両方の方向切換器51または62の回転スライ
ダー53と63はそれぞれクランクアーム71または7
2を装備している。これ等の端部には、空気シリンダ7
5または76のピストン連接棒73または74が旋回可
能に連結している。空気シリンダ75,76には圧搾空
気が装置64から導管77または78を経由して導入さ
れる。調整弁81,82または83,84は圧搾空気を
空気シリンダ75または76のピストンの前側か後側に
導入するので、方向切換器をどちらの方向に調整するか
を決める。この発明の上記実施例では、案内管43への
圧搾空気の導入とは別に、傾斜管55の端部に配設した
方向切換器61の管片64への圧搾空気の導入も行う。
圧搾空気を供給するユニット46と管片64の間の接続
は可撓導管85を介して行われる。圧搾空気を案内管4
3と管片64に導入することも適当な導管中に配設され
た制御弁86または90によって決定される。制御装置
67は、試料搬送を行う外部制御指令に基づき、試料ホ
ルダー44を収納管65から測定位置に導入したり、試
料ホルダーを測定位置から収納管65に取り入れるため
に必要な圧搾空気の注入と方向切換器の切換過程を実行
し、方向切換器61によって行われるもう一つの過程が
必要な時でも、第1図により上に説明したように、圧搾
空気の注入と切換過程を実行する。その場合、試料ホル
ダー44が収納管65、下部方向切換器61の管片64
および上部方向切換器51の管片54にあることに応答
するセンサ87,88,89によって試料搬送過程を監
視できる。特に試料ホルダーが上記位置の一つにある時
のみ方向切換器の切換が行われることを保証する。セン
サ87〜89は、単純なものでは光センサである。これ
等のセンサは装置の管が透明材料、特に透明合成樹脂製
であると、簡単に装着できる。装置の管に透明合成樹脂
を使用すると、試料の位置や装置の機能を何時でも目で
監視できる利点がある。その場合、方向切換器の部品も
透明合成樹脂で形成できる。
この発明は、図示した実施例に限定するものでなく、こ
の発明の枠を逸脱することなく、実施例から変更するこ
とも可能である。この発明で大切なことは、方向切換器
と、方向がクライオ磁石を貫通する案内管の方向からず
れている管とを使用して、試料ホルダーをそこで終わる
管の端部に装着、またはこの端部から容易に取り出せる
位置に持ち込めることにある。その場合、ある極限内で
可撓性および/または湾曲した管も使用できる。もちろ
ん、試料の配置に関しては、試料を有する試料ホルダー
を頭上に置くことを出来る限り避けるべきである。もち
ろん、空気の導入や方向切換器の切換位置に対して、個
々の管部分を測定領域に向けて、あるいはこの領域から
順に方向切換器を適当に調整して通す必要がある。方向
切換器は、特に簡単で場所を取らない構造で優れている
場合でも、図示した実施例とは別な構造を有していた
り、例えばユニバーサルジョイントを使用し、他の操作
装置を装備してもよいことも分かる。
【図面の簡単な説明】
第1図、この発明により形成された試料搬送系を有する
磁石装置の模式図。 第2図、この発明により形成された試料搬送系を有する
他の磁石装置の模式図。 図中引用符号: 2,41……クライオ磁石、 3,43……案内管、 4,44……試料ホルダー、 6,46……ガス導入装置、 11,51……方向切換器、 13,53……回転スライダ、 14,54……管片、 15,55……傾斜管、 17,64……端部片、 19……可撓導管、 21,22……レバー駆動部、 61……別な方向切換器、 65……収納管、 67……制御器、 87,88,89……センサ。

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】測定領域を貫通する垂直な一本の案内管
    (3,43)と、試料ホルダー(4,44)を案内管
    (3,43)に出し入れするため前記案内管(3,4
    3)の上端に配設されている交換装置と、測定時に案内
    管(3,43)に受け渡す試料ホルダー(4,44)を
    案内管(3,43)の上端からクライオ磁石(2,4
    2)の測定領域まで沈め、取り出す時、案内管(3,4
    3)の上端まで再び持ち上げるため、加圧ガスを案内管
    (3,43)の下端から配量して導入するガス導入装置
    (6,46)とを備え、所定の測定領域に一様な静磁場
    を発生する垂直軸を有するクライオ磁石(2,42)を
    具備するNMR分光器の試料ホルダー導入装置におい
    て、 案内管(3,43)の上端の近くの傾斜から磁石装置の
    外の手の届く個所に通じ、試料ホルダー(4,44)を
    出し入れするためこの個所に開閉可能な開口を有する傾
    斜管(15,55)と、管片(14,54)を案内管
    (3,43)かあるいは傾斜管(15,55)の方に選
    択的に向けることのできる回転スライダ(13,53)
    を有する方向切換器(11,51)とが前記交換装置に
    設けてあり、 管片(14,54)の内径が傾斜管(15,55)と案
    内管(3,43)の内径に等しく、 ガス導入装置(6,46)が傾斜管(15,55)の閉
    じた下端にも連結し、 方向切換器(11,51)の管片(14,54)を案内
    管の方に向けると案内管(3,43)から管片(14,
    54)の中に持ち上がった試料ホルダー(4,44)
    が、取り外すために傾斜管(15,55)中で沈み、こ
    の動作の逆も行うように、前記ガス導入装置(6,4
    6)を制御できることを特徴とする装置。
  2. 【請求項2】試料ホルダー(4)の収納室があり、傾斜
    管から切り離しできる片側を閉じた端部片(17)を傾
    斜管(15)の下端に配設し、この端部片(17)を前
    記開閉可能な開口に装着できることを特徴とする請求項
    1記載の装置。
  3. 【請求項3】管片(14)を案内管(3)かあるいは傾
    斜管(15)の方を向けると、方向切換器(11)の回
    転スライダ(13)が傾斜管(15)かあるいは案内管
    (3)を気密遮断し、案内管(3)を可撓導管(19)
    を介して端部片(17)の閉じた端部に連結し、前記導
    管(19)が試料ホルダー(4)の長さより少なくとも
    長い、案内管(3)の上端から一定間隔のところで案内
    管(3)に接続されていることを特徴とする請求項2記
    載の装置。
  4. 【請求項4】方向切換器(11)はレバー駆動部(2
    1,22)によって手動で調節でき、この駆動部(2
    1,22)は前記方向切換器(11)と共に、方向切換
    器(11が案内管(3)かあるいは傾斜管(15)の方
    を向く両方の動作位置での共通重心が両方の動作位置の
    中間位置より深くなっている系を形成していることを特
    徴とする請求項1〜3の何れか1項記載の装置。
  5. 【請求項5】端部片(17)は傾斜管(15)の下端で
    脱着可能に固定されていることを特徴とする請求項2〜
    4の何れか1項記載の装置。
  6. 【請求項6】端部片(64)は他の方向切換器(61)
    の管片であり、この切換器(61)からほぼ垂直に配設
    され上部が開放している試料ホルダー(44)用の収納
    管(65)が出ていることを特徴とする請求項2〜4の
    何れか1項記載の装置。
  7. 【請求項7】他の方向切換器(61)は案内管(43)
    の上端に配設された方向切換器(51)に機械的に結合
    していることを特徴とする請求項6記載の装置。
  8. 【請求項8】二つの方向切換器(51,61)とガス導
    入装置(46)は試料ホルダーの存在を検出するため、
    これ等の方向切換器(51,61)のところに配設され
    たセンサ(87,88,89)の検出信号に応じて一個
    の制御器(67)により自動的に調整または制御される
    ことを特徴とする請求項1〜7の何れか1項記載の装
    置。
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