JPH06349876A - ワイヤボンデイング方法及び装置 - Google Patents
ワイヤボンデイング方法及び装置Info
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- JPH06349876A JPH06349876A JP5164987A JP16498793A JPH06349876A JP H06349876 A JPH06349876 A JP H06349876A JP 5164987 A JP5164987 A JP 5164987A JP 16498793 A JP16498793 A JP 16498793A JP H06349876 A JPH06349876 A JP H06349876A
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 4
- 230000002950 deficient Effects 0.000 abstract description 5
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- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 2
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- H01L24/78—Apparatus for connecting with wire connectors
-
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
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- H01L21/60—Attaching or detaching leads or other conductive members, to be used for carrying current to or from the device in operation
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Abstract
(57)【要約】
【目的】自動的にツール交換時期を判定することがで
き、作業者が交換時期を監視する必要がなく、作業性の
向上及び不良品の発生を防止する。 【構成】ツールがボンデイング面に接触したことを検出
するツール接触検出器１と、ツール接触検出器１による
検出回数をカウントするカウンタ２と、ツール使用回数
を設定するツール使用回数設定器４と、カウント回数が
設定回数に達したか否かを判定する判定器３とを有す
る。
き、作業者が交換時期を監視する必要がなく、作業性の
向上及び不良品の発生を防止する。 【構成】ツールがボンデイング面に接触したことを検出
するツール接触検出器１と、ツール接触検出器１による
検出回数をカウントするカウンタ２と、ツール使用回数
を設定するツール使用回数設定器４と、カウント回数が
設定回数に達したか否かを判定する判定器３とを有す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はワイヤボンデイング方法
及び装置に係り、特にツール交換方法及び装置に関す
る。
及び装置に係り、特にツール交換方法及び装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、ツールの交換は、ワイヤボンデイ
ングした形状の結果を目視観察により判断していた。ツ
ール交換の目安判定は、ワイヤ切れが多発し始めた、ボ
ンデイングしたボール径が不安定になってきた、ボンデ
イングした接着強度が低下してきた等により行ってい
る。
ングした形状の結果を目視観察により判断していた。ツ
ール交換の目安判定は、ワイヤ切れが多発し始めた、ボ
ンデイングしたボール径が不安定になってきた、ボンデ
イングした接着強度が低下してきた等により行ってい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、目視
による判断であるので、交換時期の把握が困難であり、
不良品が発生するという恐れがあった。
による判断であるので、交換時期の把握が困難であり、
不良品が発生するという恐れがあった。
【０００４】本発明の目的は、自動的にツール交換時期
を判定することができ、作業者が交換時期を監視する必
要がなく、作業性の向上及び不良品の発生を防止するこ
とができるワイヤボンデイング方法及び装置を提供する
ことにある。
を判定することができ、作業者が交換時期を監視する必
要がなく、作業性の向上及び不良品の発生を防止するこ
とができるワイヤボンデイング方法及び装置を提供する
ことにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の方法は、ツールがボンデイング面に接触した
回数をカウントし、このカウント回数が予め設定した設
定回数に達した時期を検出することを特徴とする。
の本発明の方法は、ツールがボンデイング面に接触した
回数をカウントし、このカウント回数が予め設定した設
定回数に達した時期を検出することを特徴とする。
【０００６】上記目的を達成するための本発明の装置
は、ツールがボンデイング面に接触したことを検出する
ツール接触検出器を備えたワイヤボンデイング装置にお
いて、前記ツール接触検出器による検出回数をカウント
するカウンタと、ツール使用回数を設定するツール使用
回数設定器と、カウンタのカウント回数がツール使用回
数設定器の設定回数に達したか否かを判定する判定手段
を有することを特徴とする。
は、ツールがボンデイング面に接触したことを検出する
ツール接触検出器を備えたワイヤボンデイング装置にお
いて、前記ツール接触検出器による検出回数をカウント
するカウンタと、ツール使用回数を設定するツール使用
回数設定器と、カウンタのカウント回数がツール使用回
数設定器の設定回数に達したか否かを判定する判定手段
を有することを特徴とする。
【０００７】
【作用】ツール使用回数を設定し、ツールがボンデイン
グ面に接触した回数をカウントする。そして、カウント
回数が設定回数に達した時をツール交換時期と判定す
る。このように、自動的にツール交換時期を判定するこ
とができるので、作業者が交換時期を監視する必要がな
く、作業性の向上及び不良品の発生を防止することがで
きる。
グ面に接触した回数をカウントする。そして、カウント
回数が設定回数に達した時をツール交換時期と判定す
る。このように、自動的にツール交換時期を判定するこ
とができるので、作業者が交換時期を監視する必要がな
く、作業性の向上及び不良品の発生を防止することがで
きる。
【０００８】
【実施例】まず、本実施例の説明に先立ち、従来のワイ
ヤボンデイング装置について説明する。ボンデイング面
にツールが接触（正しくは、ワイヤの先端に形成された
ボール又はワイヤが接触）した時をツール接触検出器で
検出している。例えば特公昭５７−５８０５４号公報、
特公昭５８−５５６６３号公報に示すように、ツールが
ボンデイング面に接触することにより、接触状態にある
２つの検出端子（検出器）が離れることにより検出す
る。また例えば、ツールがボンデイング面に接触するこ
とにより、ツールが取付けられているツールアームの下
降は停止するが、ツールアームを駆動するリフタアーム
の下降は持続し、ツールアームとリフタアームの間隔は
変化する。そこで、この間隔の変化を無接触で検出器に
よって検出するものが知られている。
ヤボンデイング装置について説明する。ボンデイング面
にツールが接触（正しくは、ワイヤの先端に形成された
ボール又はワイヤが接触）した時をツール接触検出器で
検出している。例えば特公昭５７−５８０５４号公報、
特公昭５８−５５６６３号公報に示すように、ツールが
ボンデイング面に接触することにより、接触状態にある
２つの検出端子（検出器）が離れることにより検出す
る。また例えば、ツールがボンデイング面に接触するこ
とにより、ツールが取付けられているツールアームの下
降は停止するが、ツールアームを駆動するリフタアーム
の下降は持続し、ツールアームとリフタアームの間隔は
変化する。そこで、この間隔の変化を無接触で検出器に
よって検出するものが知られている。
【０００９】以下、本発明の一実施例を図１により説明
する。本実施例は、前記したワイヤボンデイング装置の
ツール接触検出器１の信号を使用するものである。ツー
ル接触検出器１は、カウンタ２に接続され、カウンタ２
はコパレータよりなる判定器３に接続されている。また
判定器３にはツール使用回数設定器４が接続されてい
る。前記判定器３の判定結果は、ワイヤボンデイング装
置の装置駆動部５を制御するコンピュータ等よりなる演
算装置６に送られるようになっている。
する。本実施例は、前記したワイヤボンデイング装置の
ツール接触検出器１の信号を使用するものである。ツー
ル接触検出器１は、カウンタ２に接続され、カウンタ２
はコパレータよりなる判定器３に接続されている。また
判定器３にはツール使用回数設定器４が接続されてい
る。前記判定器３の判定結果は、ワイヤボンデイング装
置の装置駆動部５を制御するコンピュータ等よりなる演
算装置６に送られるようになっている。
【００１０】次に作用について説明する。ツール使用回
数設定器４には、予めカウントアップしたい回数、ワイ
ヤボンデイング装置のツールの寿命は一般に３０万回で
あるので、この回数を設定しておく。そこで、ボンデイ
ング装置によってボンデイングを行うと、ツールがボン
デイング面に接触する毎にツール接触検出器１からツー
ル接触信号１ａがカウンタ２に出力し、ボンデイング回
数はカウンタ２に記憶させれる。判定器３は、カウンタ
２のカウント回数とツール使用回数設定器４の設定回数
とを比較する。カウンタ２のカウント回数がツール使用
回数設定器４の設定回数に達していない場合には、判定
器３からは信号が出力しなく、演算装置６からの駆動信
号６ａによって通常のボンデイングを続行する。カウン
タ２のカウント回数がツール使用回数設定器４の設定回
数に達した場合には、判定器３はカウントアップ信号３
ａを演算装置６に出力する。これにより、演算装置６
は、装置駆動部５の稼働を停止及び警報７を出す信号６
ｂを出力し、ボンデイング装置の稼働が停止すると共
に、警報７で作業者に知らせる。
数設定器４には、予めカウントアップしたい回数、ワイ
ヤボンデイング装置のツールの寿命は一般に３０万回で
あるので、この回数を設定しておく。そこで、ボンデイ
ング装置によってボンデイングを行うと、ツールがボン
デイング面に接触する毎にツール接触検出器１からツー
ル接触信号１ａがカウンタ２に出力し、ボンデイング回
数はカウンタ２に記憶させれる。判定器３は、カウンタ
２のカウント回数とツール使用回数設定器４の設定回数
とを比較する。カウンタ２のカウント回数がツール使用
回数設定器４の設定回数に達していない場合には、判定
器３からは信号が出力しなく、演算装置６からの駆動信
号６ａによって通常のボンデイングを続行する。カウン
タ２のカウント回数がツール使用回数設定器４の設定回
数に達した場合には、判定器３はカウントアップ信号３
ａを演算装置６に出力する。これにより、演算装置６
は、装置駆動部５の稼働を停止及び警報７を出す信号６
ｂを出力し、ボンデイング装置の稼働が停止すると共
に、警報７で作業者に知らせる。
【００１１】
【発明の効果】本発明によれば、ツール使用回数を設定
し、ツールがボンデイング面に接触した回数をカウント
し、カウント回数が設定回数に達した時をツール交換時
期と判定するので、自動的にツール交換時期を判定する
ことができ、作業者が交換時期を監視する必要がなく、
作業性の向上及び不良品の発生を防止することができ
る。
し、ツールがボンデイング面に接触した回数をカウント
し、カウント回数が設定回数に達した時をツール交換時
期と判定するので、自動的にツール交換時期を判定する
ことができ、作業者が交換時期を監視する必要がなく、
作業性の向上及び不良品の発生を防止することができ
る。
【図１】本発明の一実施例を示す概略構成説明図であ
る。
る。
１ ツール接触検出器 ２ カウンタ ３ 判定器 ４ ツール使用回数設定器 ６ 演算装置
Claims (2)
- 【請求項１】 ツールがボンデイング面に接触した回数
をカウントし、このカウント回数が予め設定した設定回
数に達した時期を検出することを特徴とするワイヤボン
デイング方法。 - 【請求項２】 ツールがボンデイング面に接触したこと
を検出するツール接触検出器を備えたワイヤボンデイン
グ装置において、前記ツール接触検出器による検出回数
をカウントするカウンタと、ツール使用回数を設定する
ツール使用回数設定器と、カウンタのカウント回数がツ
ール使用回数設定器の設定回数に達したか否かを判定す
る判定手段を有することを特徴とするワイヤボンデイン
グ装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5164987A JPH06349876A (ja) | 1993-06-11 | 1993-06-11 | ワイヤボンデイング方法及び装置 |
| KR1019940011901A KR0139382B1 (ko) | 1993-06-11 | 1994-05-30 | 와이어본딩방법 및 장치 |
| US08/250,922 US5494206A (en) | 1993-06-11 | 1994-05-31 | Wire bonding method and apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5164987A JPH06349876A (ja) | 1993-06-11 | 1993-06-11 | ワイヤボンデイング方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06349876A true JPH06349876A (ja) | 1994-12-22 |
Family
ID=15803687
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5164987A Pending JPH06349876A (ja) | 1993-06-11 | 1993-06-11 | ワイヤボンデイング方法及び装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5494206A (ja) |
| JP (1) | JPH06349876A (ja) |
| KR (1) | KR0139382B1 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20130098635A (ko) * | 2012-02-28 | 2013-09-05 | 삼성전자주식회사 | 반도체 와이어 본드 공정의 캐필러리 교체시스템 |
| KR20220157618A (ko) * | 2021-05-21 | 2022-11-29 | 엘지전자 주식회사 | 식기세척기 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3909301A (en) * | 1974-01-21 | 1975-09-30 | Gould Inc | Positive displacement bonding |
| JPS5758054A (en) * | 1981-07-27 | 1982-04-07 | Hitachi Ltd | Terminal sealing of suction pipe |
| JPS5855663A (ja) * | 1981-09-30 | 1983-04-02 | 株式会社日立製作所 | ル−ムエアコン |
| US4572421A (en) * | 1983-09-19 | 1986-02-25 | Storage Technology Partners | Apparatus for feeding wire to a wire bonding mechanism |
| US4759073A (en) * | 1985-11-15 | 1988-07-19 | Kulicke & Soffa Industries, Inc. | Bonding apparatus with means and method for automatic calibration using pattern recognition |
| JPS63194343A (ja) * | 1987-02-09 | 1988-08-11 | Toshiba Corp | ワイヤボンディング装置の制御方法 |
| JPH0787196B2 (ja) * | 1987-12-23 | 1995-09-20 | 株式会社新川 | ボンデイング方法 |
| JPH02215139A (ja) * | 1989-02-16 | 1990-08-28 | Seiko Epson Corp | 半導体装置の製造方法 |
-
1993
- 1993-06-11 JP JP5164987A patent/JPH06349876A/ja active Pending
-
1994
- 1994-05-30 KR KR1019940011901A patent/KR0139382B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1994-05-31 US US08/250,922 patent/US5494206A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR0139382B1 (ko) | 1998-07-15 |
| KR950001964A (ko) | 1995-01-04 |
| US5494206A (en) | 1996-02-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20000228 |