JPH0634940U - 耐酸素透過性配管用チューブ - Google Patents

耐酸素透過性配管用チューブ

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JPH0634940U
JPH0634940U JP7720892U JP7720892U JPH0634940U JP H0634940 U JPH0634940 U JP H0634940U JP 7720892 U JP7720892 U JP 7720892U JP 7720892 U JP7720892 U JP 7720892U JP H0634940 U JPH0634940 U JP H0634940U
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JP
Japan
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tube
oxygen
piping
fluororesin
permeation
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Pending
Application number
JP7720892U
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English (en)
Inventor
康夫 富永
裕 下田
肇 竹内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nichias Corp
Original Assignee
Nichias Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 ふっ素樹脂の特性をそのまま活かし、しかも
大気中の酸素の透過を抑止できる配管用チューブを提供
する。 【構成】 ふっ素樹脂１に、ポリふっ化ビニリデン、ポ
リ塩化ビニリデン等の酸素透過度の小さい樹脂の外皮２
を形成する。 【効果】 上記構成によれば、ふっ素樹脂の特性をその
まま活かし、しかも外皮２によって大気中の酸素の透過
を抑止できる。この配管用チューブは、半導体製造プロ
セスでの超純水輸送ラインの配管チューブとして極めて
有用である。

Description

【考案の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本考案は、半導体製造プロセス等での超純水輸送ラインに使用される耐酸素透 過性配管用チューブに関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造プロセスでは大量の超純水が使用され、この超純水輸送ラインには 、耐薬品性、耐溶出性、耐熱性等にすぐれた物性を備えたふっ素樹脂が多用され ている。 通常、超純水輸送ラインにおいては、脱気工程が組み込まれており、脱気塔で 脱気した超純水をユースポイントに送り、使用している。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】
ふっ素樹脂チューブは、汎用樹脂チューブに比べ、気体透過係数は小さいが、 酸素の選択透過性が大きい。したがって脱気塔からユースポイントまでの間の輸 送ラインに使用されているふっ素樹脂チューブ壁を透過した大気中の酸素が超純 水中に溶解し、溶存酸素となり、シリコンウエハの洗浄工程でシリコンウエハ表 面を酸化させ、これが製品の歩留り低下を招く原因となっている。
【０００４】
【考案の目的】
本考案は、ふっ素樹脂の特性をそのまま活かし、しかも大気中の酸素の透過を 抑止できる配管用チューブを提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本考案は、ふっ素樹脂チューブに、酸素透過度の小さい樹脂による外皮を形成 した構成を要旨としている。 ふっ素樹脂としては、ＰＴＦＥ（四弗化エチレン樹脂）、ＦＥＰ（四弗化エチ レン−六ふっ化プロピレン共重合体樹脂）、ＰＦＡ（四弗化エチレン−パーフル オロアルキルビニルエーテル共重合体樹脂）が使用される。 酸素透過度の小さい樹脂としては、例えば、ポリふっ化ビニリデン、ポリ塩化 ビニリデン、ポリふっ化ビニル、ポリエチレンテレフタレート、ポリ三ふっ化塩 化エチレン、ハイドロクロライドゴム、ポリアミド、ポリアセタールが挙げられ る。そのなかでも特に酸素透過度の小さいポリふっ化ビニリデン、ポリ塩化ビニ リデンの使用が好ましい。 酸素透過度の樹脂による外皮は、フィルムにして巻装するか、あるいはチュー ブにして嵌挿するか、またはコーティングすることにより形成される。 さらに、前記外皮に、熱収縮樹脂チューブを嵌挿して熱で固定密着してもよい 。熱収縮樹脂外皮としては、ＦＥＰの使用が好ましいが、それに限定されるもの ではない。
【０００６】
【作用】
上記構成によれば、ふっ素樹脂の特性はそのまま保持され、しかも酸素透過度 の小さい樹脂の外皮により、ふっ素樹脂チューブ内への酸素の透過は抑止される 。
【０００７】
【実施例】
図１および図２に、本考案の実施例を示す。 図１は、ふっ素樹脂チューブ１に、酸素透過度の小さい樹脂に外皮２を設けた 構成を示している。 図２は、前記外皮２に、更に熱収縮チューブ３を嵌挿し、熱で固定密着した構 成を示している。 次に、具体的実施例ならびに比較例を下記に述べる。
【０００８】 実施例１ 内径１６mm、外径１９mmのＰＦＡチューブに、ポリふっ化ビニリデンフィルム （厚さ２５μｍ）を螺旋状に巻き、熱融着して外皮付き二重チューブを作製した 。
【０００９】 実施例２ 内径１６mm、外径１９mmのＰＦＡチューブに、ポリ塩化ビニリデンフィルム（ 厚さ１２μｍ）を螺旋状に巻き、熱融着して外皮付き二重チューブを作製した。
【００１０】 実施例３ 内径１６mm、外径１９mmのＰＦＡチューブに、ポリ塩化ビニリデンフィルム（ 厚さ１２μｍ）を螺旋状に巻き、更にその外側にＦＥＰ製熱収縮チューブをかぶ せ、熱で固定密着させ、三重チューブを作製した。
【００１１】 比較例 内径１６mm、外径１９mmのＰＦＡチューブを比較として用いた。
【００１２】 上記各実施例および比較例のチューブに対し、酸素透過テストを下記測定方法 で行った結果を表１に示す。 測定方法：前記チューブ１０ｍに１リットル／分で超純水（１８ＭΩ・cm以上 ）を１０日間流したとき、そのチューブに通した前後の溶存酸素量の差から酸素 透過速度を算出した。
【００１３】
【表１】
【００１４】 表１に示すように、ポリふっ化ビニリデン、ポリ塩化ビニリデン等のように、 酸素透過度の低い樹脂の外皮をふっ素樹脂チューブの外側に設けることにより、 透過酸素量を３／１００〜１６／１００とすることができた。したがって、半導 体製造プロセス、特にユースポイント付近での超純水（あるいは薬液）配管用チ ューブとして有用である。
【００１５】
【考案の効果】
以上に述べたように、本考案によれば、ふっ素樹脂の特性をそのまま保持し、 しかも大気中の酸素の透過を抑止し得る配管用チューブが得られる。したがって 、半導体製造プロセスでの超純水輸送ラインの配管チューブとして極めて有用で あり、シリコンウエハ製品の歩留り向上に大きく貢献することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本考案の一実施例を示す耐酸素透過性配管用チ
ューブの斜視図である。
【図２】他の実施例を示す配管用チューブの斜視図であ
る。
【符号の説明】
１ ふっ素樹脂チューブ ２ 外皮 ３ 熱収縮チューブ

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ふっ素樹脂チューブに、酸素透過度の小
    さい樹脂による外皮が形成されていることを特徴とする
    耐酸素透過性配管用チューブ。
  2. 【請求項２】 前記外皮の外側に、熱収縮樹脂チューブ
    がかぶされている請求項１に記載の耐酸素透過性配管用
    チューブ。
JP7720892U 1992-10-12 1992-10-12 耐酸素透過性配管用チューブ Pending JPH0634940U (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010234576A (ja) * 2009-03-30 2010-10-21 Kurita Water Ind Ltd 多層管

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JPS534406B1 (ja) * 1971-04-06 1978-02-17
JPS6114286B2 (ja) * 1980-12-08 1986-04-18 Oyodo Komatsu
JPH04133732A (ja) * 1990-09-26 1992-05-07 Nitto Denko Corp 複層チューブ
JPH04140585A (ja) * 1990-10-01 1992-05-14 Tokai Rubber Ind Ltd 燃料配管用樹脂ホース

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