JPH0634709Y2 - 集積回路の検査装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この考案は、集積回路の検査装置
にかかわり、さらに詳しくは、薄形集積回路に好適な検
査装置に関している。

【０００２】

【従来の技術】集積回路の製造装置には、多数の集積回
路をひとつづつ検査するために、ＩＣハンドラと呼ばれ
る検査装置が組み込まれている。この検査装置は集積回
路を自動的に順次に検査ステーションに送り込み、検査
結果にしたがって集積回路を分類することができるよう
になっている。

【０００３】この検査装置は、従来、図１に示すような
厚形の集積回路、いわゆるＤＩＰタイプの集積回路が主
流であり、検査装置もこのタイプの集積回路に適当する
ように構成されている。

【０００４】近年、集積回路は、図２および図３に示す
ように、底面および頂面が平行板状でかつリードが平板
に平行に突出している薄形のもの、いわゆるＦＰＰタイ
プの集積回路が開発されている。この集積回路は、狭い
空間に多くを実装することができるため急速に普及しつ
つあり、主流となるすう勢にある。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】この薄形の集積回路
は、細いリード線が密集して本体側面から突出している
ため、従来のＩＣハンドラと同様な構成をもつＩＣハン
ドラで検査をおこなうと、リードが損傷しやすい。

【０００６】従来の検査装置は、ローダを上方に、アン
ローダを下方に、中間に検査ステーションを配置し、こ
れらのユニットを約35度程度の傾斜を有するシュートに
よって接続した構造となっている。が、薄形の集積回路
はリードが本体の側面から突出しているため、シュート
によって自重滑降させたときに、リード同志が引っ掛か
って、リードが変形したり、絡みあったりするばかり
か、リードが搬送路を構成する部材にぶつかって損傷す
る。

【０００７】本考案は、薄形の集積回路を損傷させるこ
となしに、検査をおこなうことができる、検査装置を提
供するものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本考案の集積回路検査装
置は、未検査の集積回路を搬送するレーンとこの集積回
路を加熱するヒータとを具備する予熱部と、集積回路を
搬送するひとつの搬送レーンと集積回路の検査をおこな
うステーションと検査結果が不良と判断された集積回路
を排除する機構とを具備する検査部と、検査済良品集積
回路を搬送するひとつの搬送レーンをもつ搬出部と、予
熱部に未検査集積回路を送り込むローダ部と、検査済良
品集積回路を搬出部から送り出すアンローダ部とを具備
している。

【０００９】予熱部の搬送レーンと搬出部の搬送レーン
とはたがいに平行にかつ搬送方向を逆にして配置され、
検査部は予熱部の搬送終了位置と搬出部の搬送開始位置
とを接続するように配置され、ローダ部とアンローダ部
とは予熱部の搬送レーンと搬出部の搬送レーンとの間に
位置しかつ予熱部の搬送開始位置と搬出部の搬送終了位
置とにそれぞれ隣接して配置されている。

【００１０】

【作用】予熱部、検査部および搬出部の搬送レーンにお
ける集積回路の移動が、たとえば、集積回路をベルト部
材に載せ、ベルト部材を動かすことによって、集積回路
の水平移動をおこなえる。また、装置全体は、ローダ部
およびアンローダ部が予熱部、検査部および搬出部によ
って形成されるスペースに配置されているため、占有面
積の小さなものとなり、しかも、搬送レーンの各々が外
側に位置するので、各々の搬送レーンの点検や保守を容
易におこなえる。

【００１１】集積回路の検査は、集積回路をローダ部に
よって予熱部の搬送レーンに送り込み、予熱部において
搬送しつつ予熱して検査部の搬送レーンに送られる。検
査部において、集積回路は搬送されつつひとつづつ検査
される。検査をとおった集積回路は、搬出部の搬送レー
ンに送られ、このレーンの搬送終了位置においてアンロ
ーダ部によってこの装置の外部に送り出される。また、
検査をとおらなかった集積回路は、検査部にある排除機
構によって、この装置の外部に排出される。これらの検
査に際して、予熱部、検査部および搬出部における搬送
レーンが前述のように水平に配置することができるの
で、集積回路のリードを損傷させることなく検査をおこ
なえる。

【００１２】

【実施例】本考案の薄形集積回路の検査用搬送装置の実
施例は、図４および図５とともに説明する。

【００１３】この集積回路検査装置は、図４に示すよう
に、未検査の集積回路を搬送するレーン１ａ〜１ｅとこ
の集積回路加熱するヒータとを具備する予熱部１と、集
積回路を搬送するひとつの搬送レーンと集積回路の検査
をおこなうステーションと検査結果が不良と判断された
集積回路を排除する機構６とを具備する検査部４と、検
査済良品集積回路を搬送するひとつの搬送レーンをもつ
搬出部３と、予熱部１に未検査集積回路を送り込むロー
ダ部７と、検査済良品集積回路を搬出部３からこの装置
の外部に送り出すアンローダ部８とを具備している。

【００１４】予熱部１および搬出部３は各々の搬送レー
ンを水平面内に位置させてたがいに平行にかつ搬送方向
を逆にして配置され、検査部４は予熱部１の搬送終了位
置と搬出部３の搬送開始位置とを接続するように配置さ
れ、そしてローダ部７およびアンローダ部８は予熱部１
の搬送レーンと搬出部３の搬送レーンとの間に位置しか
つ予熱部１の搬送開始位置と搬出部の搬送終了位置とに
それぞれ隣接して配置されている。詳しく説明する。

【００１５】予熱部１は搬送レーン１ａ〜１ｅを具備し
ている。搬送レーンの各々はこれにおける集積回路２の
移動によって形成される搬送路が水平になるように配置
されている。搬送レーン自体は、たとえば多数の突起を
もつベルト部材およびベルト部材の両側に配置されたガ
イド部材を具備するものからなっていて、集積回路２の
リードをガイドに、集積回路２の本体あるいはパッケー
ジをベルト部材の突起のあいだに位置させてベルト部材
に載せ、ベルト部材を直線移動させることによって、リ
ードをガイド上を滑らせながら、集積回路２のパッケー
ジをベルト部材によって移動させて、集積回路２を搬送
するものからなっている。ヒータが、搬送レーン１ａ〜
１ｅの各々にそって配置され、搬送されている集積回路
２を検査温度に予熱するようにしている。

【００１６】検査部４は、搬送レーンが予熱部１の搬送
レーン１ａ〜１ｅの搬送終了位置に、これらの搬送レー
ンにたいして直角に位置し、しかも、集積回路２の移動
によって形成される搬送路が予熱部１の搬送レーン１ａ
〜１ｅのそれと同一平面にあるように配置されている。
搬送レーン自体は、予熱部１の搬送レーンと同様な機構
によって集積回路２を搬送するものからなっている。
が、搬送レーンは、前述のように、ひとつのみからなっ
ていて、集積回路２が予熱部１の搬送レーン１ａ〜１ｅ
からベルト部材に載せられると、ベルト部材が間欠移動
して、矢印ｃの方向に集積回路２を搬送するようにして
いる。検査ステーション５は、検査用ソケットをもつも
ので、検査部４の搬送レーンの途中に配置されていて、
ソケットおよび集積回路２をソケットに差し込みかつ抜
き出す吸盤を含む機構を具備している。検査部４の搬送
レーンは、この検査ステーションにおける検査時間に関
連する時間間隔をおいて、集積回路２を間欠移動させて
いる。排除機構６は、検査不良品を排出するためのもの
で、検査部４の搬送レーン４の搬送終了位置付近に配置
されている。排除機構自体は、検査ステーション５から
の信号によって吸盤を検査部４にある不良の集積回路２
に移動させ、吸着したあと、所定の場所に集積回路２を
排出するものからなっている。不良集積回路２の排除
は、集積回路２が停止するごとになされている。

【００１７】搬出部３は、検査結果が良品の薄形集積回
路２を搬送するためのもので、ひとつの搬送レーンを具
備している。この搬送レーンは、検査部４の搬送レーン
の搬送終了位置から、予熱部１における搬送レーン１ａ
〜１ｅと平行にかつ検査部４の搬送レーンと直角に位置
するとともに、集積回路２の移動によって形成される搬
送路が搬送レーンのそれと同一平面にあるように配置さ
れている。搬送レーン自体は、予熱部１の搬送レーン１
ａ〜１ｅと同様な機構を具備していて、検査部４の搬送
レーンにおける間欠送りに連動して、集積回路２を搬送
している。吸盤を含む装填機構が搬送レーンの搬送開始
位置に配置され、吸盤が検査部４の間欠送りに同期して
検査部４における良品の集積回路２をひとつずつベルト
部材に搭載するようにしている。

【００１８】ローダ部７は集積回路２をパレット９から
予熱部１の搬送レーン１ａ〜１ｅの各々に運び、また、
アンローダ部８は搬出部３の搬送レーンからパレット９
に検査済の集積回路２を搭載するようにしている。パレ
ット９は、図５に示すように、集積回路２を容れるビッ
トを横に５個、縦に８個、合計４０個を隣接して格子状
に配置したものからなっている。ローダ部７およびアン
ローダ部８は、予熱部１と搬出部３との間に形成されて
いるスペースに配置されている。が、ローダ部７は、予
熱部１の搬送レーン１ａ〜１ｅにおける搬送開始位置
に、アンローダ部８は搬出部３の搬出レーン３の搬送終
了位置にそれぞれ隣接して配置されている。

【００１９】ローダ部７は、集積回路２を吸着する吸盤
を含む装填機構とパレット９を支持しかつこれを間欠移
動させる送り機構とを具備している。装填機構は、５個
の吸盤にパレット９における横一列の集積回路２を同時
に吸着させ、パレット９から予熱部１の搬送レーン１ａ
〜１ｅに移動させ、搬送レーン１ａ〜１ｅに置いたあ
と、パレット上に復帰させるものからなっている。送り
機構は、集積回路２がパレット９から予熱部１の搬送レ
ーン１ａ〜１ｅに送り出されるごとに、搬入レーン１ａ
〜１ｅの送り方向と同じ方向にパレット９を間欠移動さ
せて、つぎの横一列の集積回路２を搬送レーン１ａ〜１
ｅの搬送開始位置に関連する位置に移動させ、そして、
パレット９が空になると、パレットを参照符号９´で示
すように退避させ、それから、アンローダ部８に移動さ
せるようにしている。なお、パレット９にたいするこれ
らの移動は、たとえば、二組のつめ部材によってパレッ
ト９を押すことによってなされている。

【００２０】アンローダ部８は、ローダ部７と同様な集
積回路２を吸着する吸盤を含む装填機構とパレット９を
支持しかつ間欠移動させる送り機構とを具備している。
が、装填機構は、ひとつの吸盤が搬出部３における搬送
レーンの搬送終了位置にある集積回路２をひとつずつパ
レット９に搬送するようになっている。送り機構は、集
積回路２がパレット９の横一列に並んでいる５個のピッ
トに装填されるごとに、搬出部３の搬送レーンの送り方
向と同じ方向にパレット９を間欠移動させて、つぎの横
一列のピットが搬出部３の搬送終了位置に一致させるよ
うにさせているが、パレット９を他の機器に搬送する機
構は具備していない。

【００２１】検査は未検査の集積回路２に搭載したパレ
ット９をローダ部９に装填することによって開始され
る。装填されると、ローダ部７はパレット９を間欠移動
させ、パレット９における最初の横一列のピットが予熱
部１における搬送レーン１ａ〜１ｅの搬送開始位置に一
致するまでパレット９を移動させ、それから、装填機構
を作動させ、パレット９における最前列のピットにある
集積回路２を吸盤によって吸着して、予熱部１に送り込
む。集積回路２が搬送レーン１ａ〜１ｅの各々に送り込
まれると、予熱部１は、搬送レーン１ａ〜１ｅによって
矢印ａの方向に集積回路２を搬送するとともに、ヒータ
によって集積回路２を予熱し、検査部４の搬送レーンを
構成するベルト部材に送り込む。検査部４において、送
り込まれた５個の集積回路２は搬送レーンによって矢印
ｃの方向に同時に間欠送りされ、検査ステーション５に
停止するごとに、吸盤によって検査ソケットに挿入かつ
検査され、検査後に検査部４のベルト部材にもどされ
る。検査結果が不良である集積回路２は、搬送レーンに
よって検査部４の搬送終了位置付近まで搬送されたとき
に、排除機構６の吸盤によって吸着され、搬送レーンの
外に除去される。が、検査結果が良品である集積回路２
は、検査部４の搬送終了位置において、ここにある機構
によって、ひとつずつ搬出部３の搬送レーンに送り込ま
れたあと、搬送レーンによって矢印ｂの方向に搬送され
る。搬送終了位置に到達すると、アンローダ部８におけ
る装填機構の吸盤が、集積回路をひとつづつパレット９
における送り方向の最初にあるピット列にあるピットに
順次に搭載し、この列がいっぱいになると、パレットを
間欠移動させて、つぎのピット列を搬出部３の搬送レー
ンの搬送終了位置に一致させ、これらをパレットのピッ
トのすべてが集積回路２によって満たされるまでくり返
す。

【００２２】このようにして、ローダ部７にあるパレッ
ト９に搭載された集積回路２のすべてが予熱部１に送り
出されると、空パレットは参照符号９´で示すように退
避させられ、未検査の集積回路を満載したあらたなパレ
ットがローダ部７に装填され、ふたたび集積回路が予熱
部１に送り出される。また、アンローダ部８におけるパ
レット９がいっぱいになると、退避している空パレット
が矢印ｄで示すようにアンローダ部９に送り込まれ、検
査をとおった集積回路がこのパレットにひきつづいて搭
載される。

【００２３】この検査装置では、以上のように、予熱部
１、検査部４および搬出部３における搬送レーンが水平
に配置され、集積回路２が水平に搬送されているため、
リードが変形したり、絡みあったり、搬送路を構成する
部材にぶつかったりすることなしに、つまり、集積回路
２を損傷させることなしに、検査をおこなえる。また、
予熱部１、検査部４および搬出部３が、たがいに直角に
配置され、長方形の三辺に位置しているとともに、ロー
ダ部７およびアンローダ部８がこれらのレーンの内側に
形成されるスペースに配置されているので、占有面積が
小さく、しかも、搬送レーンの各々は、装置の外側に配
置されているので、搬送中に集積回路２がつまっても、
これを簡単に除去することができて、メインテナンスも
簡単におこなえる。

【００２４】

【考案の効果】本考案によれば、集積回路を搬送するレ
ーンが水平に配置することができるので、リードを損傷
することなく、集積回路を搬送することができるばかり
か、占有面積が小さいので、コンパクトな検査装置を得
られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】厚形の集積回路の一例を示す説明図である。

【図２】薄形の集積回路の一例を示す説明図である。

【図３】他の薄形の集積回路を示す説明図である。

【図４】本考案の集積回路検査装置の一実施例の平面図
である。

【図５】薄形集積回路を収容するパレットの構成を示す
斜視図である。

【符号の説明】

１…予熱部、１ａ〜１ｅ…搬送レーン、２…薄形集積回
路、３…搬送レーン、４…検査部、５…検査ステーショ
ン、６…排除機構、７…ローダ部、８…アンローダ部、
９，９´…パレット。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 未検査の集積回路を搬送するレーンとこ
   の集積回路を加熱するヒータとを具備する予熱部と、集
   積回路を搬送するひとつの搬送レーンと集積回路の検査
   をおこなうステーションと検査結果が不良と判断された
   集積回路を排除する機構とを具備する検査部と、検査済
   良品集積回路を搬送するひとつの搬送レーンをもつ搬出
   部と、予熱部に未検査集積回路を送り込むローダ部と、
   検査済良品集積回路を搬出部から送り出すアンローダ部
   とを具備し、予熱部の搬送レーンと搬出部の搬送レーン
   とがたがいに平行にかつ搬送方向を逆にして配置され、
   検査部が予熱部の搬送終了位置と搬出部の搬送開始位置
   とを接続するように配置され、ローダ部とアンローダ部
   とが予熱部の搬送レーンと搬出部の搬送レーンとの間に
   位置しかつ予熱部の搬送開始位置と搬出部の搬送終了位
   置とにそれぞれ隣接して配置されていることを特徴とす
   る集積回路の検査装置。