JPH06335163A - 高周波電源 - Google Patents
高周波電源Info
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- JPH06335163A JPH06335163A JP5117165A JP11716593A JPH06335163A JP H06335163 A JPH06335163 A JP H06335163A JP 5117165 A JP5117165 A JP 5117165A JP 11716593 A JP11716593 A JP 11716593A JP H06335163 A JPH06335163 A JP H06335163A
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- frequency power
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 負荷変動が原因の速い立上がりの過電流に対
しては、保護回路が働かないようにした高周波電源を実
現する。 【構成】 第３の設定信号源１７の設定値Ｐは、基準信
号源７によって制御される高周波出力値Ｐ０よりも低い
値に設定される。そのため、通常運転時にはカプラ５か
らの信号値は第３の設定信号源１７からの設定値信号よ
りも高いので、第３の比較器１６はトランジスタＴ３を
オンにし、第２の比較器１０の出力を短絡し、リレー１
３を動作させない状態とする。この状態で、時刻Ｔ１に
負荷変動により急激に速い立上がりの過電流が流れ、そ
の電流値が第１と第２の設定値Ｉ１，Ｉ２を越える。こ
の時、第２の比較器１０からはリレー１３を動作させる
出力が発生するが、高周波出力が設定値Ｐより高いの
で、前記したようにリレー１３は動作せず、高周波出力
の負荷への供給が停止されることはない。
しては、保護回路が働かないようにした高周波電源を実
現する。 【構成】 第３の設定信号源１７の設定値Ｐは、基準信
号源７によって制御される高周波出力値Ｐ０よりも低い
値に設定される。そのため、通常運転時にはカプラ５か
らの信号値は第３の設定信号源１７からの設定値信号よ
りも高いので、第３の比較器１６はトランジスタＴ３を
オンにし、第２の比較器１０の出力を短絡し、リレー１
３を動作させない状態とする。この状態で、時刻Ｔ１に
負荷変動により急激に速い立上がりの過電流が流れ、そ
の電流値が第１と第２の設定値Ｉ１，Ｉ２を越える。こ
の時、第２の比較器１０からはリレー１３を動作させる
出力が発生するが、高周波出力が設定値Ｐより高いの
で、前記したようにリレー１３は動作せず、高周波出力
の負荷への供給が停止されることはない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、異常な高周波電力の発
生を防止するようにした高周波スパッタリング装置やエ
ッチング装置などに用いられる高周波電源に関し、特
に、過電流の保護回路を備えた高周波電源に関する。
生を防止するようにした高周波スパッタリング装置やエ
ッチング装置などに用いられる高周波電源に関し、特
に、過電流の保護回路を備えた高周波電源に関する。
【０００２】
【従来の技術】図１は従来の高周波電源を示している。
図中１はクリスタル発振器などの高周波発振器であり、
高周波発振器１からの高周波は、自動的に増幅度が変え
られる可変増幅器２に供給されて増幅される。可変増幅
器２の出力は、パワー増幅器３に供給され、パワー増幅
器３の出力が端子４に供給されて高周波出力となる。
図中１はクリスタル発振器などの高周波発振器であり、
高周波発振器１からの高周波は、自動的に増幅度が変え
られる可変増幅器２に供給されて増幅される。可変増幅
器２の出力は、パワー増幅器３に供給され、パワー増幅
器３の出力が端子４に供給されて高周波出力となる。
【０００３】パワー増幅器３の出力はカプラ５に供給さ
れており、カプラ５からの高周波出力に応じた信号は、
差動増幅器６に供給される。差動増幅器６には基準信号
源７からの基準信号も供給されている。差動増幅器６は
高周波出力に応じた信号と基準信号源７からの基準信号
との比較を行い、その差信号を可変増幅器２に供給す
る。可変増幅器２は、差動増幅器５からの信号に応じて
その増幅度が変えられる。このような構成の動作を次に
説明する。
れており、カプラ５からの高周波出力に応じた信号は、
差動増幅器６に供給される。差動増幅器６には基準信号
源７からの基準信号も供給されている。差動増幅器６は
高周波出力に応じた信号と基準信号源７からの基準信号
との比較を行い、その差信号を可変増幅器２に供給す
る。可変増幅器２は、差動増幅器５からの信号に応じて
その増幅度が変えられる。このような構成の動作を次に
説明する。
【０００４】高周波発信器１からの高周波はまず可変増
幅器２において増幅され、更に、パワー増幅器３を介し
て、端子４に高周波出力として供給される。パワー増幅
器３の出力はカプラ５によって取り出され、差動増幅器
６に供給される。差動増幅器６では、高周波出力と基準
信号源７からの基準電圧信号との比較を行う。差動増幅
器６の出力信号は可変増幅器２に供給され、可変増幅器
２の増幅度を差動増幅器６の出力が０となるように変化
させる。この結果、基準信号源７からの基準電圧信号を
所望とする高周波出力に対応したものに設定することに
より、端子４からは所望の高周波電力が安定して得られ
ることになる。
幅器２において増幅され、更に、パワー増幅器３を介し
て、端子４に高周波出力として供給される。パワー増幅
器３の出力はカプラ５によって取り出され、差動増幅器
６に供給される。差動増幅器６では、高周波出力と基準
信号源７からの基準電圧信号との比較を行う。差動増幅
器６の出力信号は可変増幅器２に供給され、可変増幅器
２の増幅度を差動増幅器６の出力が０となるように変化
させる。この結果、基準信号源７からの基準電圧信号を
所望とする高周波出力に対応したものに設定することに
より、端子４からは所望の高周波電力が安定して得られ
ることになる。
【０００５】さて、上記した電源回路においては、高周
波出力の負荷の変動等により、パワー増幅器３に過電流
が流れる場合があり、そのため保護回路が必要となる。
図２はこの保護回路を備えた電源を示しており、図１に
示した電源と同一部分には同一番号を付してある。
波出力の負荷の変動等により、パワー増幅器３に過電流
が流れる場合があり、そのため保護回路が必要となる。
図２はこの保護回路を備えた電源を示しており、図１に
示した電源と同一部分には同一番号を付してある。
【０００６】図２において、８はスイッチング電源であ
り、電源８はパワー増幅器３に電力の供給を行ってい
る。スイッチング電源８からパワー増幅器３へ供給され
る電流と比例した信号がスイッチング電源８から第１と
第２の比較器９，１０に供給される。比較器９は供給さ
れる電流信号が第１の設定信号源１１からの信号以上の
とき、トランジスタＴ１をオンする。比較器１０は供給
される電流信号が第２の設定信号源１２からの信号以上
のとき、トランジスタＴ２をオンし、リレー１３を動作
させる。リレー１３はスイッチング電源８とパワー増幅
器３との間のスイッチ１４と基準信号源７と差動増幅器
６との間のスイッチ１５のオンオフを行う。このような
構成の動作を図３のタイミング図を参照して次に説明す
る。なお、図３（ａ）はスイッチング電源８からパワー
増幅器３への電流値、図３（ｂ）は高周波出力である。
り、電源８はパワー増幅器３に電力の供給を行ってい
る。スイッチング電源８からパワー増幅器３へ供給され
る電流と比例した信号がスイッチング電源８から第１と
第２の比較器９，１０に供給される。比較器９は供給さ
れる電流信号が第１の設定信号源１１からの信号以上の
とき、トランジスタＴ１をオンする。比較器１０は供給
される電流信号が第２の設定信号源１２からの信号以上
のとき、トランジスタＴ２をオンし、リレー１３を動作
させる。リレー１３はスイッチング電源８とパワー増幅
器３との間のスイッチ１４と基準信号源７と差動増幅器
６との間のスイッチ１５のオンオフを行う。このような
構成の動作を図３のタイミング図を参照して次に説明す
る。なお、図３（ａ）はスイッチング電源８からパワー
増幅器３への電流値、図３（ｂ）は高周波出力である。
【０００７】まず、高周波電力が供給される負荷の変動
により、スイッチング電源８からパワー増幅器３に供給
される電流値が増え、電流値が第１の設定信号源１１に
よる第１の設定値Ｉ１を越えると、第１の比較器９から
の信号によりトランジスタＴ １がオンされる。すなわ
ち、図３（ａ）において、負荷変動により電流が増大
し、時刻Ｔ１でその電流値がＩ１を越える。この段階で
トランジタＴ１はオンとなり、差動増幅器６に入力され
るカプラ５出力信号を引き込み、差動増幅器６は、パワ
ー増幅器３の電流値がＩ１に維持されるように可変増幅
器２を制御する。なお、このような制御は、フィードバ
ックループ系の応答遅れにより時間遅れが生じ、実際に
は時刻Ｔ２から高周波出力が減少し、時刻Ｔ３において
電流値がＩ１となり、高周波出力も一定出力となる。
により、スイッチング電源８からパワー増幅器３に供給
される電流値が増え、電流値が第１の設定信号源１１に
よる第１の設定値Ｉ１を越えると、第１の比較器９から
の信号によりトランジスタＴ １がオンされる。すなわ
ち、図３（ａ）において、負荷変動により電流が増大
し、時刻Ｔ１でその電流値がＩ１を越える。この段階で
トランジタＴ１はオンとなり、差動増幅器６に入力され
るカプラ５出力信号を引き込み、差動増幅器６は、パワ
ー増幅器３の電流値がＩ１に維持されるように可変増幅
器２を制御する。なお、このような制御は、フィードバ
ックループ系の応答遅れにより時間遅れが生じ、実際に
は時刻Ｔ２から高周波出力が減少し、時刻Ｔ３において
電流値がＩ１となり、高周波出力も一定出力となる。
【０００８】次に、負荷変動により電流が減少し、時刻
Ｔ４でその電流値が第１の設定値Ｉ １より低くなると、
トランジスタＴ１はオフとなり、差動増幅器６は基準信
号源７からの基準信号値に基づいて高周波出力の制御を
行う。その後再び電流が増大し、時刻Ｔ５で第１の設定
値を越えると、高周波出力の制御は基準信号源７からの
信号に代え、第１の設定値が一定となるように行われ
る。そのため、高周波出力は徐々に減少するが、それに
も拘らず電流が増大し、時刻Ｔ６で第２の設定値Ｉ２を
越えると、第２の比較器１０によりトランジスタＴ２が
オンし、それにともない、リレー１３が動作する。この
結果スイッチ１４，１５はオフされ、高周波電力の負荷
への供給は停止される。なお、このような第２の設定値
Ｉ２を越えるような過電流の発生の原因は、主としてパ
ワー増幅器３の故障などによるものである。
Ｔ４でその電流値が第１の設定値Ｉ １より低くなると、
トランジスタＴ１はオフとなり、差動増幅器６は基準信
号源７からの基準信号値に基づいて高周波出力の制御を
行う。その後再び電流が増大し、時刻Ｔ５で第１の設定
値を越えると、高周波出力の制御は基準信号源７からの
信号に代え、第１の設定値が一定となるように行われ
る。そのため、高周波出力は徐々に減少するが、それに
も拘らず電流が増大し、時刻Ｔ６で第２の設定値Ｉ２を
越えると、第２の比較器１０によりトランジスタＴ２が
オンし、それにともない、リレー１３が動作する。この
結果スイッチ１４，１５はオフされ、高周波電力の負荷
への供給は停止される。なお、このような第２の設定値
Ｉ２を越えるような過電流の発生の原因は、主としてパ
ワー増幅器３の故障などによるものである。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上記した構成により、
過電流が発生した場合には、２段階の保護回路が動作す
る。ところで、負荷変動により急激に過電流が流れる場
合がある。図４はこのような場合を示したタイミング図
であり、図４（ａ）は電流変化を、図４（ｂ）は高周波
出力の変化を示している。時刻Ｔ７において負荷変動に
よりフィードバック系の応答遅れ時間よりも速い立上が
りの過電流が流れると、第１の比較器９を用いた制御が
正常に動作せず、第２の設定値Ｉ２にまで電流値が増大
し、直ちに第２の比較器１０の出力に基づいてリレー１
３が動作し、高周波出力の負荷への供給が停止してしま
う。
過電流が発生した場合には、２段階の保護回路が動作す
る。ところで、負荷変動により急激に過電流が流れる場
合がある。図４はこのような場合を示したタイミング図
であり、図４（ａ）は電流変化を、図４（ｂ）は高周波
出力の変化を示している。時刻Ｔ７において負荷変動に
よりフィードバック系の応答遅れ時間よりも速い立上が
りの過電流が流れると、第１の比較器９を用いた制御が
正常に動作せず、第２の設定値Ｉ２にまで電流値が増大
し、直ちに第２の比較器１０の出力に基づいてリレー１
３が動作し、高周波出力の負荷への供給が停止してしま
う。
【００１０】この速い立上がりの過電流の原因は、パワ
ー増幅器３の故障などではなく、負荷の変動によるもの
で、この負荷変動により高周波出力の供給が頻繁に停止
すると、第２の比較器１０を用いた保護回路は自動復帰
の機能がないので、その都度、オペレータが電源の再起
動などの操作を行わねばならず、操作上好ましくない。
ー増幅器３の故障などではなく、負荷の変動によるもの
で、この負荷変動により高周波出力の供給が頻繁に停止
すると、第２の比較器１０を用いた保護回路は自動復帰
の機能がないので、その都度、オペレータが電源の再起
動などの操作を行わねばならず、操作上好ましくない。
【００１１】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、その目的は、負荷変動が原因の速い立上がりの
過電流に対しては、保護回路が働かないようにした高周
波電源を実現するにある。
もので、その目的は、負荷変動が原因の速い立上がりの
過電流に対しては、保護回路が働かないようにした高周
波電源を実現するにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明に基づく高周波電
源は、発振器と，発振器からの高周波を増幅する可変増
幅器と、可変増幅器からの高周波電力を増幅するパワー
増幅器と、負荷に供給される高周波電力に比例した信号
が供給される差動増幅器とを有しており、差動増幅器に
おいて高周波電力信号と基準信号とを比較し、その比較
信号に応じて可変増幅器の増幅度を変化させるフィード
バックループと、高周波電力を増幅する増幅器に流れる
電流と第１の設定値とを比較する第１の比較器と、高周
波電力を増幅する増幅器に流れる電流と第２の設定値と
を比較する第２の比較器とを備えており、増幅器に流れ
る電流が第１の設定値を越えた場合に前記高周波出力を
減少させ該電流が第１の設定値に維持されるように構成
すると共に、該電流が第２の設定値を越えた場合には強
制的に高周波電力の負荷への供給を停止するように構成
した高周波電源において、高周波電力を監視する手段を
設け、該高周波電力が特定の値を越えている期間、前記
第２の比較器における強制的な高周波電力の負荷への供
給を停止させる動作を一時的に解除するための手段を設
けたことを特徴としている。
源は、発振器と，発振器からの高周波を増幅する可変増
幅器と、可変増幅器からの高周波電力を増幅するパワー
増幅器と、負荷に供給される高周波電力に比例した信号
が供給される差動増幅器とを有しており、差動増幅器に
おいて高周波電力信号と基準信号とを比較し、その比較
信号に応じて可変増幅器の増幅度を変化させるフィード
バックループと、高周波電力を増幅する増幅器に流れる
電流と第１の設定値とを比較する第１の比較器と、高周
波電力を増幅する増幅器に流れる電流と第２の設定値と
を比較する第２の比較器とを備えており、増幅器に流れ
る電流が第１の設定値を越えた場合に前記高周波出力を
減少させ該電流が第１の設定値に維持されるように構成
すると共に、該電流が第２の設定値を越えた場合には強
制的に高周波電力の負荷への供給を停止するように構成
した高周波電源において、高周波電力を監視する手段を
設け、該高周波電力が特定の値を越えている期間、前記
第２の比較器における強制的な高周波電力の負荷への供
給を停止させる動作を一時的に解除するための手段を設
けたことを特徴としている。
【００１３】
【作用】本発明に基づく高周波電源は、高周波電力を増
幅する増幅器に流れる電流が所定の値を越えた場合には
強制的に高周波電力の負荷への供給を停止するように構
成すると共に、高周波電力を監視する手段を設け、該高
周波電力が特定の値を越えている期間、強制的な高周波
電力の負荷への供給を停止させる動作を一時的に解除す
る。
幅する増幅器に流れる電流が所定の値を越えた場合には
強制的に高周波電力の負荷への供給を停止するように構
成すると共に、高周波電力を監視する手段を設け、該高
周波電力が特定の値を越えている期間、強制的な高周波
電力の負荷への供給を停止させる動作を一時的に解除す
る。
【００１４】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。図５は本発明の一実施例を示しており、図
２の従来装置と同一番号は同一構成要素を示す。この実
施例では、カプラ５からの高周波出力に比例した信号
は、第３の比較器１６に供給され、第３の設定信号源１
７からの設定値と比較される。Ｔ３はトランジスタであ
り、第３の比較器１６の出力によりオンオフされる。ト
ランジスタＴ３がオンの状態で、第２の比較器１０の出
力は短絡され、従ってトランジスタＴ２はオフになり第
２の比較器１０の出力に無関係にリレー１３は動作しな
い。このような構成の動作を図６のタイミング図を参照
して説明する。なお、図６（ａ）は電流値変化を、図６
（ｂ）は高周波出力の変化を示している。
に説明する。図５は本発明の一実施例を示しており、図
２の従来装置と同一番号は同一構成要素を示す。この実
施例では、カプラ５からの高周波出力に比例した信号
は、第３の比較器１６に供給され、第３の設定信号源１
７からの設定値と比較される。Ｔ３はトランジスタであ
り、第３の比較器１６の出力によりオンオフされる。ト
ランジスタＴ３がオンの状態で、第２の比較器１０の出
力は短絡され、従ってトランジスタＴ２はオフになり第
２の比較器１０の出力に無関係にリレー１３は動作しな
い。このような構成の動作を図６のタイミング図を参照
して説明する。なお、図６（ａ）は電流値変化を、図６
（ｂ）は高周波出力の変化を示している。
【００１５】まず、第３の設定信号源１７の設定値Ｐ
は、基準信号源７によって制御される高周波出力値Ｐ０
よりも低い値に設定される。そのため、通常運転時には
カプラ５からの信号値は第３の設定信号源１７からの設
定値信号よりも高いので、第３の比較器１６はトランジ
スタＴ３をオンにし、第２の比較器１０の出力を短絡
し、リレー１３を動作させない状態とする。この状態
で、時刻Ｔ１に負荷変動により急激に速い立上がりの過
電流が流れ、その電流値が第１と第２の設定値Ｉ１，Ｉ
２を越える。この時、第２の比較器１０からはリレー１
３を動作させる出力が発生するが、高周波出力が設定値
Ｐより高いので、前記したようにリレー１３は動作せ
ず、高周波出力の負荷への供給が停止されることはな
い。
は、基準信号源７によって制御される高周波出力値Ｐ０
よりも低い値に設定される。そのため、通常運転時には
カプラ５からの信号値は第３の設定信号源１７からの設
定値信号よりも高いので、第３の比較器１６はトランジ
スタＴ３をオンにし、第２の比較器１０の出力を短絡
し、リレー１３を動作させない状態とする。この状態
で、時刻Ｔ１に負荷変動により急激に速い立上がりの過
電流が流れ、その電流値が第１と第２の設定値Ｉ１，Ｉ
２を越える。この時、第２の比較器１０からはリレー１
３を動作させる出力が発生するが、高周波出力が設定値
Ｐより高いので、前記したようにリレー１３は動作せ
ず、高周波出力の負荷への供給が停止されることはな
い。
【００１６】この後、第１の設定値Ｉ１を電流が越えて
いるので、一定の時間遅れの後に時刻Ｔ２で第１の比較
器９による保護動作が行われ、高周波出力が減少し、電
流値が一定となる制御が行われる。
いるので、一定の時間遅れの後に時刻Ｔ２で第１の比較
器９による保護動作が行われ、高周波出力が減少し、電
流値が一定となる制御が行われる。
【００１７】時刻Ｔ３で負荷変動により電流値が第１の
設定値Ｉ１より低くなると、通常の高周波出力を一定と
するフィードバックループが動作する。時刻Ｔ４で電流
が増大し、時刻Ｔ５で第１の設定値Ｉ１を越え、電流値
を一定とする制御が行われるが、この時の過電流が負荷
変動によらない場合、電流値は更に増大し、高周波出力
も減少して時刻Ｔ６で設定値Ｐより低くなる。この結
果、第３の比較器１６の出力によりトランジスタＴ３は
オフとなり、第２の比較器１０に基づくリレー１３の制
御が正常状態に復帰する。そして、時刻Ｔ７で第２の設
定値Ｉ２を越えると、リレー１３が動作し、スイッチ１
４，１５がオフとなり、高周波の負荷への供給は停止さ
れる。
設定値Ｉ１より低くなると、通常の高周波出力を一定と
するフィードバックループが動作する。時刻Ｔ４で電流
が増大し、時刻Ｔ５で第１の設定値Ｉ１を越え、電流値
を一定とする制御が行われるが、この時の過電流が負荷
変動によらない場合、電流値は更に増大し、高周波出力
も減少して時刻Ｔ６で設定値Ｐより低くなる。この結
果、第３の比較器１６の出力によりトランジスタＴ３は
オフとなり、第２の比較器１０に基づくリレー１３の制
御が正常状態に復帰する。そして、時刻Ｔ７で第２の設
定値Ｉ２を越えると、リレー１３が動作し、スイッチ１
４，１５がオフとなり、高周波の負荷への供給は停止さ
れる。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に基づく高
周波電源は、高周波電力を増幅する増幅器に流れる電流
が所定の値を越えた場合には強制的に高周波電力の負荷
への供給を停止するように構成すると共に、高周波電力
を監視する手段を設け、該高周波電力が特定の値を越え
ている期間、強制的な高周波電力の負荷への供給を停止
させる動作を一時的に解除するように構成したので、負
荷変動が原因の立上がりの速い電流の変化に対してはそ
の都度高周波出力の供給が停止することはなく、パワー
増幅器の故障などのような場合のみ、高周波出力の供給
を停止するようにしたので、操作性の優れた高周波電源
を提供することができる。
周波電源は、高周波電力を増幅する増幅器に流れる電流
が所定の値を越えた場合には強制的に高周波電力の負荷
への供給を停止するように構成すると共に、高周波電力
を監視する手段を設け、該高周波電力が特定の値を越え
ている期間、強制的な高周波電力の負荷への供給を停止
させる動作を一時的に解除するように構成したので、負
荷変動が原因の立上がりの速い電流の変化に対してはそ
の都度高周波出力の供給が停止することはなく、パワー
増幅器の故障などのような場合のみ、高周波出力の供給
を停止するようにしたので、操作性の優れた高周波電源
を提供することができる。
【図１】入射高周波電力を一定とする従来の高周波電源
の概略を示す図である。
の概略を示す図である。
【図２】過電流の保護回路を備えた従来の高周波電源を
示す図である。
示す図である。
【図３】図２の保護回路の動作を説明するためのタイミ
ング図である。
ング図である。
【図４】図２の保護回路の動作を説明するためのタイミ
ング図である。
ング図である。
【図５】本発明に基づく高周波電源の一実施例を示す図
である。
である。
【図６】図４の電源の動作を説明するためのタイミング
図である。
図である。
１ 高周波発振器 ２ 可変増幅器 ３ パワー増幅器 ４ 端子 ５ カプラ ６ 差動増幅器 ７ 基準信号源 ８ スイッチング電源 ９，１０，１６ 比較器 １１，１２，１７ 設定信号源 １３ リレー Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３ トランジスタ
フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｃ２３Ｆ 4/00 Ａ 8414−4Ｋ Ｈ０１Ｌ 21/203 Ｓ 8122−4Ｍ
Claims (1)
- 【請求項１】 発振器と，発振器からの高周波を増幅す
る可変増幅器と、可変増幅器からの高周波電力を増幅す
るパワー増幅器と、負荷に供給される高周波電力に比例
した信号が供給される差動増幅器とを有しており、差動
増幅器において高周波電力信号と基準信号とを比較し、
その比較信号に応じて可変増幅器の増幅度を変化させる
フィードバックループと、高周波電力を増幅する増幅器
に流れる電流と第１の設定値とを比較する第１の比較器
と、高周波電力を増幅する増幅器に流れる電流と第２の
設定値とを比較する第２の比較器とを備えており、増幅
器に流れる電流が第１の設定値を越えた場合に前記高周
波出力を減少させ該電流が第１の設定値に維持されるよ
うに構成すると共に、該電流が第２の設定値を越えた場
合には強制的に高周波電力の負荷への供給を停止するよ
うに構成した高周波電源において、高周波電力を監視す
る手段を設け、該高周波電力が特定の値を越えている期
間、前記第２の比較器における強制的な高周波電力の負
荷への供給を停止させる動作を一時的に解除するための
手段を設けた高周波電源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5117165A JPH06335163A (ja) | 1993-05-19 | 1993-05-19 | 高周波電源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5117165A JPH06335163A (ja) | 1993-05-19 | 1993-05-19 | 高周波電源 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06335163A true JPH06335163A (ja) | 1994-12-02 |
Family
ID=14705063
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5117165A Withdrawn JPH06335163A (ja) | 1993-05-19 | 1993-05-19 | 高周波電源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06335163A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5859757A (en) * | 1996-10-08 | 1999-01-12 | Sharp Kabushiki Kaisha | Output driving circuit for use in DC stabilized power supply circuit |
-
1993
- 1993-05-19 JP JP5117165A patent/JPH06335163A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5859757A (en) * | 1996-10-08 | 1999-01-12 | Sharp Kabushiki Kaisha | Output driving circuit for use in DC stabilized power supply circuit |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000801 |