JPH06333905A - 洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 停電等により電源が遮断された場合であって
も室内の安全性を確保できる洗浄装置を提供すること。 【構成】 薬液槽２１を備えた洗浄槽２の下側に、電源
遮断の際に開放して薬液槽２１内から薬液２ａを排出さ
せる排出用バルブを備えた排出機構４を設ける。さら
に、電源遮断の際に開放して薬液槽２１内に水を供給す
る供給用バルブを備えた水供給機構５を設けた洗浄装置
１である。また、薬液２ａが排出された後に供給されて
薬液槽２１からあふれ出る水を受けるための外周槽を薬
液槽２１の外側に備えたり、供給される水を一旦受けて
薬液槽２１の内面に沿って供給する水受け槽を薬液槽２
１の上端外周部に備えた洗浄装置１でもある。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ウエハ等の被洗浄物を
薬液に浸漬してダスト等を除去するための洗浄装置に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体の製造工程におけるウエハ等の洗
浄では、硫酸や塩酸、フッ酸、硝酸、アンモニア等から
成る洗浄用の薬液に被洗浄物を浸漬してナトリウムや重
金属等の除去を行う洗浄装置が用いられている。洗浄装
置は、主に、洗浄用の薬液を入れるための洗浄槽と、洗
浄槽の上方を覆うドラフトチャンバと、洗浄槽の下側か
ら薬液を排出するための排出機構とから構成されてい
る。

【０００３】また、洗浄槽の上方を覆うドラフトチャン
バには排気口が設けられており、薬液から発生する蒸気
をファンの作動により吸い込んで、排気ダクトへ逃がす
ようにしている。これにより、薬液から発生した蒸気が
ドラフトチャンバから外部に漏れて室内（クリーンルー
ム等）の環境を悪化させたり、作業者に悪影響を与えた
りしないようにしている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、停電等
により電源が遮断されてしまった場合には、排気ダクト
と連通するファンが作動しなくなり排気口から薬液の蒸
気を吸い込むことができなくなってしまう。この状態の
まま放置してしまうと、洗浄槽内の薬液から発生する蒸
気がドラフトチャンバ内に充満し、やがて外部に漏れ出
してクリーンルーム等の室内の環境を悪化させることに
なる。これにより、室内に居る作業者へ悪影響を与えた
り、また、停電が解除された後に作業者が室内に入って
洗浄装置の復旧作業を行う場合の妨げとなる。また、洗
浄装置による１日の作業が終了し、洗浄槽内に薬液が残
った状態で電源を切ってしまった場合には、残った薬液
による洗浄槽の浸食等を招いたり、緊急時（地震等）に
より薬液が洗浄槽から溢れ出したりする危険性がある。
このため、作業の終了の際には薬液を排出しておき、し
かも次に作業を始めるまでの間に洗浄槽の内側に残って
いた薬液による悪影響を防ぐため、作業者がハンドシャ
ワーを用いて洗浄槽内を洗ったり、または、洗浄槽に水
を入れたりして内側に残っている薬液を洗い流す必要が
ある。このような作業を怠ると、停電の際と同様に室内
の環境を悪化させる原因となる。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、このような課
題を解決するために成された洗浄装置である。すなわ
ち、この洗浄装置は、洗浄用の薬液を入れる薬液槽を備
えた洗浄槽の下側に、電源遮断の際に開放して薬液槽内
から薬液を排出させる排出用バルブを備えた排出機構を
設けたものである。さらに、電源遮断の際に開放して薬
液槽内に水を供給するための供給用バルブを備えた水供
給機構を設けた洗浄半導体装置でもある。また、薬液が
排出された後に水供給機構から供給されて薬液槽からあ
ふれ出る水を受けるための外周槽を薬液槽の外側に備え
た洗浄槽を用いたり、また、水供給機構から供給される
水を一旦受けて、薬液槽の内面に沿ってその水を供給す
るための水受け槽を薬液槽の上端外周部に備えた洗浄槽
を用いる洗浄装置でもある。

【０００６】

【作用】薬液を入れる薬液槽を備えた洗浄槽の下側に、
電源遮断の際に開放する排出用バルブを備えた排出機構
を設けているため、停電等で電源が供給されなくなった
場合であっても排出用バルブが開放して薬液槽内の薬液
を排出することができるようになる。しかも、電源遮断
の際に開放する供給バルブを備えた水供給機構により、
薬液が排出される薬液槽内へ水を供給して、薬液槽の内
面に残る薬液を完全に洗い流すことができる。

【０００７】また、洗浄槽として、薬液槽の外側に外周
槽を備えることにより、薬液が排出した後の薬液槽内に
水を供給して内面を洗い流し、薬液槽からあふれ出る水
を受けることができる。また、洗浄槽として、薬液槽の
上端外周部に水受け槽を備えることで、水供給機構から
供給する水をこの水受け槽にて一旦受けた後に、薬液槽
の内面に沿って水を供給できるため、薬液槽の内面に残
っている薬液を十分に洗い流すことができるようにな
る。

【０００８】

【実施例】以下に、本発明の洗浄装置の実施例を図に基
づいて説明する。図１は、本発明の洗浄装置を説明する
概略斜視図である。すなわち、この洗浄装置１は、主と
して洗浄用の薬液２ａを入れる薬液槽２１を備えた洗浄
槽２と、洗浄槽２の上方を覆うドラフトチャンバ３と、
洗浄槽２の下側に設けられた排出機構４とから構成され
るものである。また、洗浄槽２の上方から水を供給する
ための水供給機構５を備えた洗浄装置１でもある。

【０００９】洗浄槽２の上方を覆うドラフトチャンバ３
には、排気ダクト３１と連通する排気口３２が設けられ
ており、図示しないファンの作動により薬液２ａから発
生する蒸気を吸い込んで排気できるようになっている。
また、ドラフトチャンバ３の正面には図示しない扉が設
けられており、洗浄作業中に薬液２ａが外に飛び跳ねな
いようになっている。

【００１０】次に、図２の模式図に基づいて本発明の洗
浄装置１の具体的な構成を説明する。なお、以下の説明
において使用する符号であって図中にないものは、図１
に示す符号と同一な箇所を示すものとする。すなわち、
この洗浄装置１の洗浄槽２としては、薬液槽２１の外側
に外周槽２２を備えたものが用いられており、しかも、
薬液槽２１の下側と外周槽２２の下側にそれぞれ排出機
構４が設けられている。薬液槽２１に設けられた排出機
構４は、通常の電源のＯＮ、ＯＦＦにより開閉できるノ
ーマリクローズバルブ（以下、ＮＣバルブとする）から
成るバルブ４ｂと、停電等により電源が遮断された際に
開状態となるノーマリオープンバルブ（以下、ＮＯバル
ブとする）から成る排出用バルブ４ａとから構成されて
いる。一方の外周槽２２も同様に、ＮＣバルブから成る
バルブ４ｄと、ＮＯバルブから成る排出用バルブ４ｃと
から構成されている。

【００１１】また、洗浄槽２の上方に設けられた水供給
機構５は、通常の電源のＯＮ、ＯＦＦにより開閉できる
ＮＣバルブから成るバルブ５ｂと、電源遮断の際に開状
態となるＮＯバルブから成る供給用バルブ５ａとから構
成されている。なお、ＮＯバルブから成る各バルブ４
ａ、４ｃ、５ａは、電源が供給されている間はのみ閉状
態となるものや、あるいは蓄電池等の無停電電源により
開閉できるものを用いればよい。

【００１２】次に、このような洗浄装置１の動作を電源
の供給状態に基づいて説明する。先ず、電源が正常に供
給されている場合には、排出機構４の排出用バルブ４
ａ、４ｃが閉じた状態となっており、他のバルブ４ｂ、
４ｄにより開閉するようになっている。すなわち、薬液
槽２１内にてウエハ等の被洗浄物（図示せず）の洗浄作
業を行う場合にはバルブ４ｂを閉じて薬液２ａを蓄積で
きるようにする。この際、外周槽２２に設けられた排出
機構４のバルブ４ｄは開放しておき、薬液槽２１から外
周槽２２へあふれ出た薬液２ａを排出できるようにして
おいてもよい。

【００１３】次に、このような洗浄作業中に停電等が発
生して通常の電源が遮断された場合、排気口３２からの
吸い込みが停止し、さらに排出機構４のバルブ４ｂ、４
ｄの開閉動作もできなくなり閉状態のままになってしま
う。この時点で、薬液槽２１に設けられたＮＯバルブか
ら成る排出機構４の排出用バルブ４ａが開放（または、
無停電電源にからの電源供給により開放）し、薬液槽２
１内の薬液２ａを排出できるようになる。排出機構４の
排出バルブ４ａを開放して薬液２ａを薬液槽２１内から
排出することにより、クリーンルーム内の一応の安全性
を確保できることになる。

【００１４】この状態からさらに安全性を高めるため
に、以下の動作を行う。先ず、排出用バルブ４ａを無停
電電源により作動するタイマー等を用いて一定時間開放
し薬液槽２１内の薬液２ａが全て排出させた後に閉じる
ようにする。そして、排出用バルブ４ａが閉じた後に、
水供給機構５の供給用バルブ５ａを無停電電源により開
放し、薬液槽２１内に水を供給する。

【００１５】これにより、薬液槽２１内に水が蓄積さ
れ、やがて薬液槽２１からあふれ出て外側に設けられた
外周槽２２へ入るようになる。また、外周槽２２に溜ま
った水は、外周槽２２に設けられたＮＯバルブから成る
排出機構４の排出用バルブ４ｃを開状態にするか、ある
いは無停電電源により開放するかにより排出される。こ
のように、水を薬液槽２１からあふれさせることで、薬
液槽２１の内面に残っていた薬液２ａを洗い流すことが
でき、しかも、あふれ出た水を外周槽２２から排出する
こともできる。

【００１６】次に、本発明の洗浄装置１の他の例を図３
の模式図に基づいて説明する。すなわち、この洗浄装置
１は、洗浄槽２として薬液槽２１の上端外周部に水受け
槽２３を備えたものである。通常の電源が供給されてい
る場合には、薬液槽２１に設けられた排出機構４の排出
用バルブ４ａを閉じておき、他のバルブ４ｂの開閉によ
り薬液槽２１内の薬液の蓄積や排出を行うことで所定の
洗浄作業を行うようにする。

【００１７】この洗浄作業中に停電等が発生して電源が
遮断された場合には、ＮＯバルブから成る排出機構４の
排出用バルブ４ａが開状態となるか、無停電電源により
開放して薬液槽２１内の薬液を排出できるようになる。
さらに、この時点でＮＯバルブから成る水供給機構５の
供給バルブ５ａを開状態にするか、無停電電源により開
放して水を薬液槽２１の上端外周部に設けられた水受け
槽２３内に流し込む。

【００１８】これにより、薬液槽２１内の薬液が排出機
構４から排出されるとともに、水受け槽２３で一旦受け
た水が薬液槽２１の内面に沿って供給されるようにな
る。薬液槽２１の内面に沿って流れる水は、内面に残っ
た薬液２ａを徐々に洗い流していき排出機構４から排出
される。これをタイマー等を用いて一定時間行うこと
で、薬液槽２１内に薬液２ａを残すことなくきれいに排
出することができる。

【００１９】いずれの実施例においても、洗浄装置１に
供給される電源が停電により遮断された場合について説
明したが、例えば、作業者が洗浄作業の終了により電源
を自ら切った場合であっても、上記と同様に薬液２ａの
排出と水の供給を行うようにしてもよい。すなわち、作
業者が洗浄作業を終了した時点で薬液２ａの排出を行わ
なかったり、排出を行っても薬液槽２１の内面を洗い流
さなかったりした場合には、緊急時における安全性の低
下や、翌日等、次に作業を行うまでの間に残った薬液２
ａによる不都合が生じてしまう。このような問題をなく
すために、作業者が自ら電源を切った場合にも自動的に
薬液２ａの排出と水の供給を行うことで、電源を切った
後に薬液２ａが薬液槽２１内に残ることを防止すること
ができ、クリーンルーム等の室内の安全性を確保できる
ようになる。

【００２０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の洗浄装置
を用いれば次のような効果がある。すなわち、停電等に
より電源が遮断された場合であっても、排出機構に備え
られた排出バルブの開放により薬液槽内の薬液を排出す
ることができる。しかも、水供給機構から水を供給して
薬液槽内から外周槽にあふれ出させたり、水受け槽から
薬液槽の内面に沿って水を供給することで、薬液槽の内
面に残る薬液を洗い流して排出することができるため薬
液槽内に薬液が残らなくなる。これにより、ドラフトチ
ャンバ内に薬液から発生する蒸気が充満することがなく
なるため、クリーンルーム等の室内の安全な環境を維持
できるようになる。また、洗浄装置による作業が終了し
た後に、作業者が自ら電源を切った場合にも薬液の排出
と水の供給を行えば、作業者の不注意で薬液を残してし
まうことがなくなり、次に洗浄装置を使用する際の室内
における安全性を確保できるようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の洗浄装置を説明する概略斜視図であ
る。

【図２】本発明の洗浄装置を説明する模式図である。

【図３】他の例を説明する模式図である。

【符号の説明】

１ 洗浄装置 ２ 洗浄槽 ２ａ 薬液 ３ ドラフトチャンバ ４ 排出機構 ５ 水供給機構 ２１ 薬液槽 ２２ 外周槽 ２３ 水受け槽 ３１ 排気ダクト ３２ 排気口

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 洗浄用の薬液を入れる薬液槽を備えた洗
   浄槽と、 前記洗浄槽の下側に設けられ、電源遮断の際に開放して
   前記薬液槽内から前記薬液を排出させる排出用バルブを
   備えた排出機構とから成ることを特徴とする洗浄装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の洗浄装置において、前記
   電源遮断の際に開放して前記薬液槽内に水を供給するた
   めの供給用バルブを備えた水供給機構が設けられている
   ことを特徴とする洗浄装置。
3. 【請求項３】 前記洗浄槽は、前記薬液が排出された後
   に前記水供給機構から供給されて前記薬液槽からあふれ
   出る水を受けるための外周槽を該薬液槽の外側に備えて
   いることを特徴とする請求項１記載の洗浄装置。
4. 【請求項４】 前記洗浄槽は、前記水供給機構から供給
   される水を一旦受けて、前記薬液槽の内面に沿って該水
   を供給するための水受け槽を該薬液槽の上端外周部に備
   えていることを特徴とする請求項１記載の洗浄装置。