JPH06331924A

JPH06331924A - 光学式偏向装置及びその調整方法

Info

Publication number: JPH06331924A
Application number: JP12018593A
Authority: JP
Inventors: Fumihiro Tawa; 文博田和; Shinya Hasegawa; 信也長谷川; Mamoru Hokari; 守穂刈
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1993-05-21
Filing date: 1993-05-21
Publication date: 1994-12-02

Abstract

(57)【要約】【目的】本発明は、光学式偏向装置及びその調整方法
に関し、光ビームの偏光方向の傾きを解消でき、かつ、
調整を容易とすることを目的とする。【構成】半導体レーザ１２から出射された光ビーム
は、コリメートレンズ１３を介してプリズムミラー１４
に入射される。プリズムミラー１４は、反射面をホログ
ラムディスク１１の回転軸１７に平行とし、入射ビーム
の偏光方向と入射面とを垂直又は平行とし、上記入射ビ
ームをホログラムディスク１１の回転軸１７方向に反射
する。プリズムミラー１５は、プリズムミラー１４から
の入射ビームとホログラムディスク１１の回転軸１７を
含む平面上で、ホログラムディスク１１に向けて上記入
射ビームを反射する。ホログラムディスク１１は、プリ
ズムミラー１５から入射されたビームを偏向して出射す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は光学式偏向装置及びその
調整方法に係り、特に、ホログラムディスクを用いた光
学式偏向装置及びその調整方法に関する。

【０００２】光学式偏向装置では、装置の薄型化するた
めに、ミラー等による光路の折り曲げが行われるが、こ
の光路の折り曲げの際に、偏光方向の傾き及びビーム形
状の傾きを生じると、光学式偏向装置の特性の劣化が起
きる。このため、光学式偏向装置では、偏光方向の傾き
及びビーム形状の傾きを小さくすることが必要とされて
いる。また、光学式偏向装置では、光学系の調整によ
る、偏向素子への入射角と入射位置の調整を容易とする
ことが必要とされている。

【０００３】

【従来の技術】図９は、従来の光学式偏向装置における
光学系の説明図を示す。図９は、ホログラムディスクに
よりレーザビームを偏向する光学式偏向装置の光学系で
ある。図９に示すように、装置を薄型化するために、光
源から出射された光ビームのビーム光路Ｌ₁₁を、ミラー
５３により折り曲げて、光路Ｌ₁₂としている。

【０００４】光ビームは、この光路Ｌ₁₂に沿って、ホロ
グラムディスク５１の斜め下の側面方向から、ホログラ
ムディスク５１に、所定の入射角θで、所定の入射位置
Ｐ₅₁に入射される。ホログラムディスク５１の中心から
入射位置Ｐ₅₁までの距離をｒとする。ホログラムディス
ク５１に入射された光ビームは、回転軸５２を軸として
回転するホログラムディスク５１により偏向されて出射
される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】図９に示すように、従
来の光学系では、１枚のミラー５３により、ホログラム
ディスク５１への入射角θ、及び入射位置Ｐ₅₁の距離ｒ
を調整している。この場合、ミラー５３の入射点Ｐ₅₃で
の法線Ｖ₅₃及び入射ビームの光路Ｌ₁₁を含む入射面と入
射ビームの偏光方向ｄ₁₁とが、垂直又は平行とならない
ため、反射された光ビームの偏光方向ｄ₁₂が傾く。同様
に、反射されたビームのビーム形状ｓ₁₂も、元のビーム
形状ｓ₁₁に対して傾きを生じる。

【０００６】上記のように、従来の光学系では、光ビー
ムの偏光方向が傾いて、ホログラムディスク５１の格子
方向に対して偏光方向が傾くことにより、回折効率の低
下を招き、また、ビーム形状の傾きにより、結像位置の
ビーム径を増大させるという問題がある。

【０００７】また、従来の１枚のミラーによる光学系で
は、入射角と、入射位置を独立に調整できないため、調
整に多大の時間を要するという問題がある。

【０００８】本発明は、上記の点に鑑みてなされたもの
で、光ビームの偏光方向の傾きを解消でき、かつ、調整
が容易な光学式偏向装置及びその調整方法を提供するこ
とを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、光源
から出射された光ビームを偏向素子に斜めに入射して、
上記光ビームを偏向する光学式偏向装置において、反射
面を偏向素子の回転軸に平行とし、光源から出射されて
入射される入射ビームを上記偏向素子の回転軸方向に反
射する第１の反射手段と、上記第１の反射手段からの入
射ビームと上記偏向素子の回転軸を含む平面上で、上記
偏向素子に向けて上記入射ビームを反射する第２の反射
手段とを有する構成とする。

【００１０】請求項５の発明は、光源から出射された光
ビームを偏向素子に斜めに入射して、上記光ビームを偏
向する光学式偏向装置の調整方法において、所定の入射
角及び入射位置で偏向素子に入射する光ビームを所定位
置に配置したレンズにより収束させたときの結像位置
を、基準位置として２次元位置検知手段により求め、上
記偏向素子への実際の入射ビームの上記レンズによる結
像位置を２次元位置検知手段により検知して、上記実際
の入射ビームによる結像位置と上記基準位置との差をな
くすように、上記実際の入射ビームの入射角を調整す
る。

【００１１】

【作用】請求項１の発明では、第１の反射手段及び第２
の反射手段において、入射ビームの偏光方向と入射面と
を垂直又は平行とした状態を保ったまま、偏向素子への
入射角と入射位置を所定値に調整することができる。こ
のため、光源の光ビームの偏光方向に対する、偏向素子
に入射する光ビームの偏光方向の傾きが生じないように
することが可能である。

【００１２】また、入射角を第２の反射手段により調整
した後、第１の反射手段により、入射角を変えずに、入
射位置のみを調整することができる。このため、容易に
入射角と入射位置を調整することが可能である。

【００１３】請求項５の発明では、２次元位置検知手段
を用いて、実際の入射ビームのレンズによる結像位置を
基準位置に合わせることで、入射角を所定値に調整する
ことができる。このため、容易に入射角の調整をするこ
とが可能である。

【００１４】また、レンズを用いてビームを結像させて
いるため、収束光以外のビームでも、容易に精度良く入
射角と入射位置を調整することが可能である。

【００１５】

【実施例】図１は本発明の一実施例の構成図を示す。図
１は、ホログラムディスク１１によりレーザビームを偏
向する光学式偏向装置である。本実施例では、ビーム光
路を折り曲げるために、２枚のプリズムミラー１４，１
５を設けている。半導体レーザ１２から出射された光ビ
ームは、コリメートレンズ１３により平行光とされて、
プリズムミラー１４に入射される。

【００１６】光ビームは、プリズムミラー１４，１５に
より、光路を折り曲げられる。光路を折り曲げられた光
ビームは、ホログラムディスク１１の下側の側面方向か
ら、ホログラムディスク１１に所定の入射角及び入射位
置で入射される。

【００１７】ホログラムディスク１１に入射された光ビ
ームは、回転軸１７を軸として回転するホログラムディ
スク１１により偏向されて出射される。

【００１８】図２は、図１の実施例における光学系の説
明図を示す。なお、図２では、プリズムミラー１４，１
５は、反射面のみの略図で記載している。また、ホログ
ラムディスク１１も、細部を省略して記載している。

【００１９】半導体レーザ１２から出射された光ビーム
のビーム光路Ｌ₁は、プリズムミラー１４により折り曲
げられて、光路Ｌ₂となる。このビーム光路Ｌ₂は、プ
リズムミラー１５により折り曲げられて、光路Ｌ₃とな
る。

【００２０】光ビームは、この光路Ｌ₃に沿って、ホロ
グラムディスク１１に、所定の入射角θで、所定の入射
位置Ｐ₁₁に入射される。なお、ホログラムディスク１１
の中心から入射位置Ｐ₁₁までの距離をｒとする。ホログ
ラムディスク１１に入射された光ビームは、回転軸１７
を軸として回転するホログラムディスク１１により偏向
されて出射される。

【００２１】図３は、入射光のずれによる出射光のずれ
の説明図を示す。ホログラムディスク１１は、モータ１
６により、回転軸１７を軸として回転されて、ホログラ
ム面１１ａに入射された入射光を偏向する。

【００２２】本実施例では、正しい入射角θを４５°と
し、正しい入射位置の距離ｒを３０ｍｍとした場合で説
明する。図３の破線で示すように、入射光の入射角θ、
入射位置の距離ｒにずれが無い場合は、出射光は、破線
で示す正規の方向に出射される。これに対して、図３の
実線で示すように、入射光の入射角θ、入射位置の距離
ｒにずれが有る場合は、出射光は、正規の方向とずれた
実線で示す方向に出射される。光学式偏向装置では、上
記の入射角θ、及び入射位置の距離ｒが正しい値になる
ように調整する。

【００２３】図２に示すように、本実施例では、２枚の
プリズムミラー１４，１５により、ホログラムディスク
１１への入射角θ、及び入射位置Ｐ₁₁の距離ｒを調整す
る。プリズムミラー１５が入射角θの調整用で、プリズ
ムミラー１４が入射位置調整用である。

【００２４】入射位置調整用プリズムミラー１４は、反
射面がホログラムディスク１１の回転軸１７と平行で、
かつ、入射された光ビームを、ホログラムディスク１１
の回転軸１７の方向に反射するように配置している。

【００２５】また、入射角調整用プリズムミラー１５
は、プリズムミラー１４からの入射ビームとホログラム
ディスク１１の回転軸１７を含む平面上に、光ビームを
反射するように配置している。

【００２６】この場合、プリズムミラー１４の入射点Ｐ
₁₄での法線Ｖ₁₄及び入射ビームの光路Ｌ₁を含む入射面
と入射ビームの偏光方向ｄ₁とを、垂直又は平行に設定
することができる。図２の例では、上記入射面と入射ビ
ームの偏光方向ｄ₁とを、垂直に設定している。なお、
この場合、ホログラムディスク１１の干渉縞に対して偏
光方向ｄ₃が平行なＳ偏向となる。

【００２７】入射位置の距離ｒの調整の際には、上記入
射面と入射ビームの偏光方向ｄ₁との垂直又は水平状態
を保ったままで、プリズムミラー１４を、図２中、
Ｉ₁，Ｉ ₂方向に動かして、入射位置の距離ｒを調整す
ることができる。このため、入射ビームの偏光方向ｄ₁
に対する、プリズムミラー１４で反射された光ビームの
偏光方向ｄ₂の傾きが生じないようにすることができ
る。また、プリズムミラー１４で反射されたビームのビ
ーム形状ｓ₂も、入射ビームのビーム形状ｓ₁に対して
傾きを生じないようにすることができる。

【００２８】同様に、プリズムミラー１５の入射点Ｐ₁₅
での法線Ｖ₁₅及び入射ビームの光路Ｌ₂を含む入射面と
入射ビームの偏光方向ｄ₂とを、垂直又は平行に設定す
ることができる。図２の例では、上記入射面と入射ビー
ムの偏光方向ｄ₂とを、平行に設定している。

【００２９】入射角θの調整の際には、上記入射面と入
射ビームの偏光方向ｄ₂との垂直又は水平状態を保った
ままで、プリズムミラー１５を、図２中、Ａ₁，Ａ₂方
向に動かして、入射角θを調整することができる。この
ため、入射ビームの偏光方向ｄ₂に対する、プリズムミ
ラー１５で反射されたビームの偏光方向ｄ₃の傾きを生
じないようにすることができる。また、プリズムミラー
１５で反射された光ビームのビーム形状ｓ₃も、入射ビ
ームのビーム形状ｓ₂に対して傾きを生じないようにす
ることができる。

【００３０】また、入射角θと入射位置の距離ｒの調整
の際には、初めに、プリズムミラー１５により入射角θ
を調整した後、プリズムミラー１４により入射位置の距
離ｒを調整する。この後、必要があれば、再度、プリズ
ムミラー１４，１５により、入射角θと入射位置の距離
ｒを、更に精密に調整する。

【００３１】本実施例では、入射角θをプリズムミラー
１５により調整した後、プリズムミラー１４により、入
射角θを変えずに、入射位置の距離ｒのみを調整するこ
とができる。このため、プリズムミラー１４，１５を１
〜２回調整するだけで、容易に入射角θと入射位置の距
離ｒを調整することができる。

【００３２】図４は、本発明の一実施例の調整方法の説
明図を示す。図４に示す調整方法では、入射角θ、入射
位置の距離ｒの調整のために、He-Ne （ヘリウムネオ
ン）レーザ２１、ハーフミラー２２、レンズ２３、角度
及び位置調整用テレビカメラ２４、スリットディスク２
５を用いる。

【００３３】次に、レンズ２３を用いて入射角θのずれ
を検出する方法について説明する。図５は、レンズ２３
に対する入射角βに対する結像位置のずれの説明図を示
す。レンズ２３には、レンズの収差を考慮して、十分に
薄いレンズを使う。このレンズ２３では、レンズ２３に
入射する近軸光線Ｂｎ₁の入射角βに対して、近軸近傍
では、下記式の関係がある。

【００３４】Ｙ＝ｆ・ｔａｎβ −− ここで、ｆはレンズ２３の焦点距離、Ｙはレンズ２３の
光軸からの結像位置ずれを示す。この式より、レンズ２
３に対する入射角βを、レンズ２３の光軸からの位置ず
れＹとして測定できる。図５に示すように、β＝０の光
軸に沿った近軸光線Ｂｎ₀は、光軸上の焦点位置に結像
し、Ｙ＝０となる。

【００３５】上記のように、結像位置ずれＹが、レンズ
２３への入射位置によらず、入射角βのみに依存する性
質を利用して、ホログラムディスク１１への入射角θの
ずれを検出する。

【００３６】ホログラムディスク１１への入射ビームの
入射角θのずれを検出するためには、入射角θが基準値
の４５°であるときに、レンズ２３の入射角βがほぼ０
となるように、レンズ２３及び調整用の光学系を配置す
る。この状態で、入射角θが基準値の４５°である光ビ
ームのレンズ２３による結像位置を、基準結像位置とし
て記録する。

【００３７】この後、ホログラムディスク１１への実際
の入射ビームをレンズ２３に入射させたときの結像位置
と、上記の基準結像位置との差を結像位置ずれＹとして
検出する。入射角θの調整では、プリズムミラー１５を
調整して、上記の結像位置ずれＹを０として、入射角θ
を基準値の４５°に調整する。

【００３８】次に、図４に示す調整方法について詳細に
説明する。図４に示す方法では、後述するように、先
ず、He-Ne レーザ２１とハーフミラー２２により、半導
体レーザ１２からの、入射角θ及び入射位置の距離ｒが
基準値である入射ビームと等価なビームを生成して、レ
ンズ２３の光軸上に入射させ、前記の基準結像位置を求
める。この後、実際に、半導体レーザ１２からの光ビー
ムをハーフミラー２２を介してレンズ２３に入射させて
結像位置を求め、前記基準結像位置との差を、入射角θ
のずれに対応する結像位置ずれＹとして検出する。

【００３９】なお、入射角θ、入射位置の距離ｒの調整
時には、ホログラムディスク１１の代わりに、基準の入
射位置に光を透過させるスリット２５ａを設けたスリッ
トディスク２５を用いる。

【００４０】初めに、He-Ne レーザ２１、ハーフミラー
２２、レンズ２３、テレビカメラ２４の位置を調整し
て、基準結像位置に相当するモニタ画面上の基準スポッ
ト位置を求める。この際は、半導体レーザ１２は、止め
ておく。

【００４１】先ず、入射角θが基準の４５°で、入射位
置の距離ｒが基準のｒ＝３０ｍｍであるときの、半導体
レーザ１２からのスリットディスク２５への入射ビーム
の基準光路Ｌ_R3に、半導体レーザ１２と反対側から参照
用の光ビームを入射するHe-Ne レーザ２１の光路Ｌ_R4を
一致させる。

【００４２】このためには、例えば、調整用のスリット
ディスク２５のスリット２５ａの位置、即ち基準の入射
位置に、４５°直角プリズムを置き、この４５°直角プ
リズムによるHe-Ne レーザ２１の反射光の光路が、入射
光の光路Ｌ_R4と一致するように、He-Ne レーザ２１の上
下、左右の位置を調整する。

【００４３】次に、He-Ne レーザ２１の光路Ｌ_R4が変わ
らないように、ハーフミラー２２を光路Ｌ_R4中に入れ
る。この際、ハーフミラー２２の反射面２２ａが、光路
Ｌ_R4と直交するようにする。ハーフミラー２２は、２個
の４５°直角プリズムを合わせた構造であり、２個の４
５°直角プリズムの合わせ面を、ビームスプリッター２
２ｂとしている。

【００４４】He-Ne レーザ２１から出射されたレーザビ
ームは、光路Ｌ_R4に沿ってハーフミラー２２に入射され
て、反射面２２ａで反射される。反射面２２ａで反射さ
れた反射光は、ビームスプリッター２２ｂで分離され
て、光路Ｌ_R4と直角方向に出射される。

【００４５】次に、このビームスプリッター２２ｂで分
離されたビームの光路Ｌ_R5が、レンズ２３の光軸と一致
するように、レンズ２３の位置を調整する。また、レン
ズ２３の焦点位置がテレビカメラ２４の焦点位置に一致
するように、レンズ２３の位置とテレビカメラ２４の位
置を調整する。

【００４６】上記のようにして、He-Ne レーザ２１、ハ
ーフミラー２２、レンズ２３、及びテレビカメラ２４の
位置を調整した後に、He-Ne レーザ２１から参照用の光
ビームを出射して、テレビカメラ２４により撮像する。
テレビカメラ２４により撮像された画像は、図６に示す
ように、モニタ画面上に基準スポット３１として映し出
される。このモニタ画面上の基準スポット３１の位置
を、基準スポット位置として記録する。基準スポット位
置の記録が終わった時点で、He-Ne レーザ２１を止め
る。

【００４７】次に、半導体レーザ１２からの光ビームの
光路調整を行う。半導体レーザ１２を発振させて、光ビ
ームｂ₁をプリズムミラー１４に入射する。プリズムミ
ラー１４で反射された光ビームｂ₂は、プリズムミラー
１５で反射されて、光ビームｂ₃としてスリットディス
ク２５に入射される。

【００４８】スリットディスク２５のスリット２５ａを
透過した光ビームｂ₄は、ハーフミラー２２のビームス
プリッター２２ｂで分離されて、ビームｂ₅としてレン
ズ２３に入射される。ビームｂ₅は、レンズ２３により
収束されて、テレビカメラ２４の焦点上に結像する。

【００４９】テレビカメラ２４により撮像された画像
は、図６に示すように、モニタ画面上に、半導体レーザ
１２によるスポット３２として映し出される。このモニ
タ画面上の、半導体レーザ１２によるスポット位置を確
認する。前記式に示したように、入射角θのずれに対
応して、基準スポット位置とのずれが生じる。

【００５０】入射角θの調整では、半導体レーザ１２に
よるスポット位置が基準スポット位置に一致するよう
に、図４中、Ａ₁，Ａ₂方向にプリズムミラー１５の角
度を調整する。半導体レーザ１２によるスポット位置が
基準スポット位置に一致したとき、入射角θは基準の４
５°になる。

【００５１】入射位置の距離ｒの調整では、スリットデ
ィスク２５のスリット２５ａを透過する光ビームの強度
が、入射位置の距離ｒにより変化し、入射位置の距離ｒ
が基準のｒ＝３０ｍｍのときに光ビームの強度が最大に
なることを利用する。即ち、モニタ画面上の半導体レー
ザ１２によるスポットの明るさが最大になるように、図
４中、Ｉ₁，Ｉ₂方向にプリズムミラー１４の角度を調
整する。

【００５２】上記のプリズムミラー１４，１５の調整
を、必要な精度に応じて、１〜２回繰り返して行う。上
記の調整後、スリットディスク２５を、ホログラムディ
スク１１に置き換えて、入射角θと入射位置の距離ｒ
を、モニタ画面上で再度確認する。なお、この際には、
入射ビームｂ₃のうち、ホログラムディスク１１を透過
した成分を用いて確認を行う。

【００５３】また、プリズムミラー１４、１５の調整用
に、ミラー駆動ネジを設けて、ミラー駆動ネジを回すこ
とで、プリズムミラー１４，１５を調整するようにして
もよい。

【００５４】上記のように、本実施例の調整方法では、
モニタ画面上で、半導体レーザ１２のスポット位置を、
基準スポット位置に合わせるだけで、容易に入射角θの
調整をできる。入射位置の距離ｒの調整は、モニタ画面
上のスポットの強度を最大にするだけで、容易に行え
る。また、レンズ２３を用いてビームを結像させている
ため、収束光以外のビームでも、容易に精度良く入射角
と入射位置を調整することができる。

【００５５】また、入射角θをプリズムミラー１４によ
り調整した後、プリズムミラー１５により、入射角θを
変えずに、入射位置の距離ｒのみを調整することができ
るため、プリズムミラー１４，１５を１〜２回調整する
だけで、容易に入射角θと入射位置の距離ｒを調整する
ことができる。

【００５６】また、半導体レーザでは、７８０nm帯のも
のが多く、人間の目視では、視感度が低く調整が困難で
あるのに対して、本実施例では、７８０nm帯の光に対す
る感度が十分あるテレビカメラを用いることができるた
め、７８０nm帯の半導体レーザの場合でも、容易に調整
ができる。

【００５７】図７は、本発明の一実施例の別の調整方法
の説明図を示す。図７において、図４と同一構成部分に
は、同一符号を付し、適宜説明を省略する。図７の調整
方法では、入射位置の距離ｒの調整には、位置調整用テ
レビカメラ２６を用い、スリットディスク２５は用いな
いで、ホログラムディスク１１のままで調整を行う。

【００５８】He-Ne レーザ２１、ハーフミラー２２、レ
ンズ２３、角度調整用テレビカメラ２４ａの位置調整、
及び、基準スポット位置の記録は、図４の場合と全く同
様にして行う。

【００５９】入射角θの調整では、スリットディスク２
５を用いず、ホログラムディスク１１を用いる。プリズ
ムミラー１５からのビームのうち、ホログラムディスク
１１を透過した成分をハーフミラー２２のビームスプリ
ッター２２ｂで分離して、レンズ２３に入射させる。

【００６０】これにより、図４の方法と同様に、半導体
レーザ１２によるスポット位置を、基準スポット位置に
一致させるように、プリズムミラー１５を調整して入射
角θの調整を行うことができる。

【００６１】入射位置の距離ｒの調整では、先ず、He-N
e レーザ２１をホログラムディスク１１に照射したとき
のスポット位置をテレビカメラ２６で撮像して、図８に
示すように、基準スポット４１の位置として求める。

【００６２】次に、He-Ne レーザ２１を止めて、半導体
レーザ１２による光ビームをホログラムディスク１１に
入射して、スポット４２の位置をモニタ画面上で確認す
る。基準スポット位置と半導体レーザ１２によるスポッ
ト位置のずれが無くなるように、プリズムミラー１４を
調整して、入射位置の距離ｒを調整する。

【００６３】なお、上記実施例では、スポット位置を検
出するのにテレビカメラを用いているが、他の２次元位
置検知器、例えば、フォトダイオードアレイ等を用いる
ことも可能である。

【００６４】また、上記実施例は、偏向素子にホログラ
ムディスクを用いた場合であるが、偏向素子にポリゴン
ミラーを用いた場合でも、本発明を適用できることはい
うまでもない。

【００６５】

【発明の効果】上述の如く、請求項１の発明によれば、
第１の反射手段及び第２の反射手段において、入射ビー
ムの偏光方向と入射面とを垂直又は平行としたまま、偏
向素子への入射角と入射位置を所定値に調整することが
できるため、光源の光ビームの偏光方向に対する、偏向
素子に入射する光ビームの偏光方向の傾きを解消するこ
とができ、また、入射角を第２の反射手段により調整し
た後、第１の反射手段により、入射角を変えずに入射位
置のみを調整できるため、容易に入射角と入射位置を調
整することができる等の特長を有する。

【００６６】請求項５の発明によれば、２次元位置検知
手段を用いて、実際の入射ビームのレンズによる結像位
置を基準位置に合わせることで、入射角を所定値に調整
することができるため、容易に入射角の調整をすること
ができ、また、レンズを用いてビームを結像させている
ため、収束光以外のビームでも、容易に精度良く入射角
と入射位置を調整することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の構成図である。

【図２】図１の実施例における光学系の説明図である。

【図３】入射光のずれによる出射光のずれの説明図であ
る。

【図４】本発明の一実施例の調整方法の説明図である。

【図５】入射角に対する結像位置のずれの説明図であ
る。

【図６】角度及び位置調整用テレビカメラによる画像の
説明図である。

【図７】本発明の一実施例の別の調整方法の説明図であ
る。

【図８】位置調整用テレビカメラによる画像の説明図で
ある。

【図９】従来の光学式偏向装置における光学系の説明図
である。

【符号の説明】

１１ホログラムディスク１２半導体レーザ１３コリメートレンズ１４，１５プリズムミラー１６モータ１７回転軸２１ He-Ne レーザ２２ハーフミラー２２ａ反射面２２ｂビームスプリッター２３レンズ２４角度及び位置調整用テレビカメラ２４ａ角度調整用テレビカメラ２５スリットディスク２５ａスリット２６位置調整用テレビカメラ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】光源（１２）から出射された光ビームを
偏向素子（１１）に斜めに入射して、上記光ビームを偏
向する光学式偏向装置において、反射面を偏向素子（１１）の回転軸（１７）に平行と
し、光源（１２）から出射されて入射される入射ビーム
を上記偏向素子（１１）の回転軸１７方向に反射する第
１の反射手段（１４）と、上記第１の反射手段（１４）からの入射ビームと上記偏
向素子（１１）の回転軸（１７）を含む平面上で、上記
偏向素子（１１）に向けて上記入射ビームを反射する第
２の反射手段（１５）と、を有する構成としたことを特徴とする光学式偏向装置。
【請求項２】前記第１の反射手段（１４）は、光源
（１２）から出射されて入射される入射ビームの偏光方
向と入射面とを垂直又は平行としたことを特徴とする請
求項１記載の光学式偏向装置。
【請求項３】前記第１の反射手段（１４）及び第２の
反射手段（１５）は、位置調整用のネジを有することを
特徴とする請求項１記載の光学式偏向装置。
【請求項４】前記偏向素子（１１）は、ホログラムを
形成したホログラムディスクであることを特徴とする請
求項１記載の光学式偏向装置。
【請求項５】光源（１２）から出射された光ビームを
偏向素子（１１）に斜めに入射して、上記光ビームを偏
向する光学式偏向装置の調整方法において、所定の入射角及び入射位置で偏向素子（１１）に入射す
る光ビームを所定位置に配置したレンズ（２３）により
収束させたときの結像位置を、基準位置として２次元位
置検知手段（２４）により求め、上記偏向素子（１１）への実際の入射ビームの上記レン
ズ（２３）による結像位置を２次元位置検知手段（２
４）により検知して、上記実際の入射ビームによる結像
位置と上記基準位置との差をなくすように、上記実際の
入射ビームの入射角を調整することを特徴とする光学式
偏向装置の調整方法。
【請求項６】所定の入射角及び入射位置で偏向素子
（１１）に入射する光ビームと逆方向から参照光ビーム
を出射して、上記参照光ビームを上記参照光ビームと直
交するハーフミラー（２２ａ）で反射させた後ビームス
プリッター（２２ｂ）で分離し、上記ビームスプリッタ
ー（２２ｂ）で分離した上記参照光ビームを前記レンズ
（２３）に入射して前記基準位置を求め、上記偏向素子（１１）への実際の入射ビームを上記ビー
ムスプリッター（２２ｂ）で分離したビームを上記レン
ズ（２３）に入射して、上記実際の入射ビームによる結
像位置を検知し、実際の入射ビームの入射角を調整する
ことを特徴とする請求項５記載の光学式偏向装置の調整
方法。
【請求項７】前記偏向素子（１１）の所定の入射位置
にスリット（２５ａ）を設置して、スリット（２５ａ）
を透過した光ビームの強度を検知することにより光ビー
ムの入射位置を調整することを特徴とする請求項５又は
請求項６記載の光学式偏向装置の調整方法。
【請求項８】前記偏向素子（１１）は、ホログラムを
形成したホログラムディスクであることを特徴とする請
求項５記載の光学式偏向装置の調整方法。
【請求項９】前記２次元位置検知手段（２４）は、テ
レビカメラであることを特徴とする請求項５記載の光学
式偏向装置の調整方法。
【請求項１０】前記参照ビームは、ヘリウムネオンレ
ーザ（２１）で生成することを特徴とする請求項６記載
の光学式偏向装置の調整方法。