JPH063280A - 光デイスク検査装置 - Google Patents

光デイスク検査装置

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JPH063280A
JPH063280A JP18756092A JP18756092A JPH063280A JP H063280 A JPH063280 A JP H063280A JP 18756092 A JP18756092 A JP 18756092A JP 18756092 A JP18756092 A JP 18756092A JP H063280 A JPH063280 A JP H063280A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】光デイスク検査装置において、簡易な構成で光
デイスクの検査工程を自動化するものである。 【構成】光デイスク検査機11で装填された光デイスク
2を光学的に検査し、その検査結果として光デイスク2
が良品(A品)か、不良品(C品)又は傷のみの光デイ
スク2(B品)かを出力すると共に、傷のみの光デイス
ク2(B品)のデイスク検査情報OPT及び良品か不良
品かの判断を教師データとして学習を繰り返したニユー
ラルネツトワーク12に、傷のみの光デイスク2につい
て光デイスク検査機11の光学的なデイスク検査情報O
PTを入力して、傷のみの光デイスク2(B品)が良品
(OK)か又は不良品(NG)かを判断させるようにし
たことにより、簡易な構成で光デイスクの検査工程を自
動化し得る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【目次】以下の順序で本発明を説明する。 産業上の利用分野 従来の技術(図4) 発明が解決しようとする課題(図4) 課題を解決するための手段(図1〜図3) 作用(図1〜図3) 実施例(図1〜図3) 発明の効果
【0002】
【産業上の利用分野】本発明は光デイスク検査装置に関
し、例えばコンパクトデイスク製造時にデイスク表面の
欠陥を検査するものに適用し得る。
【0003】
【従来の技術】従来、コンパクトデイスクを製造する際
には、出来上がつたコンパクトデイスクが商品として出
荷可能か否かを判断する必要があり、このため光デイス
ク表面欠陥検査機(以下光デイスク検査機と呼ぶ)が用
いられている。この光デイスク検査機は、コンパクトデ
イスクの表面をレーザービームでスキヤンして、主に光
デイスク表面の傷や偏光欠陥に注目することにより、光
デイスクを検査するようになされている。
【0004】図4に示すように、光デイスク検査機1を
用いた検査工程においては、被検査対象のコンパクトデ
イスク2が光デイスク検査機1に装填され、この結果光
デイスク検査機1がこのコンパクトデイスク2につい
て、傷や偏光欠陥等の有無を検査し、この検査結果によ
りコンパクトデイスク2をA品、B品又はC品に分類す
る。
【0005】A品とはコンパクトデイスク2に傷や偏光
欠陥が無い場合であり良品として出荷工程3に廻され、
逆にC品とはコンパクトデイスク2に偏光欠陥が存在す
る場合であり、不良品として除外される。またB品とは
コンパクトデイスク2に傷のみが存在する場合であり目
視検査工程4に廻される。
【0006】目視検査工程4ではコンパクトデイスク2
の表面を人間が目視検査し、傷の程度によつて良品であ
るか不良品であるかを判断する。この結果良品と判断さ
れたコンパクトデイスク2はA品と同様に出荷工程3に
廻され、不良品と判断されたコンパクトデイスク2はC
品と同様に除外される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】ところが上述の検査工
程においては、光デイスク検査機1によつてB品と判断
されたコンパクトデイスク2を目視検査工程4で目視検
査するため、経験と熟練を有する人間が必要であること
に加えて、人間が判断する分検査時間が長くなつてしま
う問題があつた。
【0008】この問題を解決するため光デイスク検査機
1自体で、傷のみでB品として分類されたコンパクトデ
イスク2が良品であるか不良品であるかを判断すれば良
いと考えられるが、この判断のためには多くのパラメー
タを設定又は調整する必要があり、実現が困難であつ
た。
【0009】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、簡易な構成で光デイスクの検査工程を自動化し得る
光デイスク検査装置を提案しようとするものである。
【0010】
【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め第1の発明においては、装填された光デイスク2を光
学的に検査し、その検査結果として光デイスク2が良品
(A品)か、不良品(C品)か又は傷のみの光デイスク
2(B品)かを出力する光デイスク検査機11と、その
光デイスク検査機11によつて検出された傷のみの光デ
イスク2(B品)について、光デイスク検査機11の光
学的なデイスク検査情報OPTが入力され、傷のみの光
デイスク2(B品)のデイスク検査情報OPT及び良品
か不良品かの判断(NG/OK)を教師データとして繰
り返された学習に基づいて、傷のみの光デイスク2(B
品)が良品(OK)か又は不良品(NG)かを判断する
ニユーラルネツトワーク12とを設けるようにした。
【0011】また第2の発明において、光デイスク検査
機11は、レーザー光源20から射出されたレーザービ
ームLで光デイスク2の表面上を走査し、その光デイス
ク2で反射された0次光L0のP波成分、S波成分及び
光デイスク2で反射された1次光L1に基づいて、デイ
スク検査情報OPTを発生するようにした。
【0012】
【作用】光デイスク検査機11で装填された光デイスク
2を光学的に検査し、その検査結果として光デイスク2
が良品(A品)か、不良品(C品)か又は傷のみの光デ
イスク2(B品)かを出力すると共に、傷のみの光デイ
スク2(B品)のデイスク検査情報OPT及び良品か不
良品かの判断を教師データとして学習を繰り返したニユ
ーラルネツトワーク12に、傷のみの光デイスク2(B
品)について光デイスク検査機11の光学的なデイスク
検査情報OPTを入力して、傷のみの光デイスク2(B
品)が良品(OK)か又は不良品(NG)かを判断する
ようにしたことにより、簡易な構成で光デイスク2の検
査工程を自動化し得る。
【0013】
【実施例】以下図面について、本発明の一実施例を詳述
する。
【0014】図4との対応部分に同一符号を付した図1
において、10は全体として本発明による光デイスク検
査装置を示し、被検査対象のコンパクトデイスク2が光
デイスク検査機11に装填され、この結果光デイスク検
査機11がこのコンパクトデイスク2について、傷や偏
光欠陥等の有無を検査する。
【0015】この実施例の場合も従来と同様に光デイス
ク検査機11は、検査結果に応じてコンパクトデイスク
2をA品、B品又はC品に分類し、A品は良品として出
荷工程3に廻し、逆にC品は不良品として除外する。な
おこの実施例の場合B品は、ニユーラルネツトワーク1
2において再度検査される。
【0016】このニユーラルネツトワーク12は、図2
に示すように、光デイスク検査機11がB品として分類
したコンパクトデイスク2について、光学的なデイスク
検査情報OPTと目視検査工程4による目視検査結果と
しての良品か不良品か判断情報OK/NGとが教育デー
タとして入力され、この教育データについての学習を繰
り返す。
【0017】この後このニユーラルネツトワーク12
は、光デイスク検査機11がB品として分類したコンパ
クトデイスク2について、光学的なデイスク検査情報O
PTに基づいて熟練した人間による目視確認と同様の判
断を自動的に実行し、B品として分類されたコンパクト
デイスク2が良品として出荷可能か又は不良品として出
荷が不可能かを判断する。
【0018】ここでこの実施例の場合、光デイスク検査
機11は図3に示すように構成されており、レーザー光
源20から射出されたレーザービームLが第1の偏光ビ
ームスプリツタ(PBS)21で反射されて直線偏光の
レーザー光になる。続いてこのレーザー光は1/4波長
板22を通過して円偏光のレーザー光となり、これが対
物レンズ23で集光されてコンパクトデイスク2を照射
する。この結果コンパクトデイスク2で反射する反射光
は、正反射する0次光ビームL0とピツトにより反射す
る1次光ビームL1に分かれる。
【0019】このうち0次光ビームL0は対物レンズ2
3に戻り集光レンズ24で集光されて、第2の偏光ビー
ムスプリツタ25でP波成分及びS波成分に分光され、
それぞれ第1及び第2の0次光フオトダイオード26及
び27に入射するようになされ、1次光ビームL1は対
物レンズ23の周辺に配置された1次光フオトダイオー
ド28に集光する。
【0020】第1及び第2の0次光フオトダイオード2
6及び27の受光出力PA及びPBは、それぞれ第1の
加算回路29及び減算回路30に入力され、この結果得
られる第1の加算信号PA+PBが特徴抽出処理計算回
路31、第2の加算回路32、第1及び第2の割り算回
路33及び34に入力され、また減算回路30から得ら
れる減算信号PA−PBが第2の割り算回路34に入力
される。
【0021】また1次光フオトダイオード28の受光出
力P1は、特徴抽出処理計算回路31、第2の加算回路
32及び第1の割り算回路33に入力される。第2の加
算回路32は第1の加算回路29の第1の加算信号PA
+PB及び1次光フオトダイオード28の受光出力P1
を加算し、この結果得られる第2の加算信号PA+PB
+P1が特徴抽出処理計算回路31に入力される。
【0022】第1の割り算回路33は、1次光フオトダ
イオード28の受光出力P1を第1の加算信号PA+P
Bで割り、この結果得られる割り算信号P1/PA+P
Bが特徴抽出処理計算回路31に入力され、また第2の
割り算回路34は、減算信号PA−PBを第1の加算信
号PA+PBで割り、この結果得られる割り算信号PA
−PB/PA+PBが特徴抽出処理計算回路31に入力
される。
【0023】この特徴抽出処理回路31は、入力される
0次光の受光出力でなる第1の加算信号PA+PBや1
次光の受光出力P1、第2の加算信号PA+PB+P
1、第1及び第2の割り算信号P1/PA+PB及びP
A−PB/PA+PBに基づいて、コンパクトデイスク
2の欠陥を判断するようになされている。
【0024】特徴抽出処理計算回路31は、コンパクト
デイスク2上に傷、異物、コールドスラツジ、汚れ、黒
点、ピンホール等が存在するため、1周当たりの0次光
の受光出力でなる第1の加算信号PA+PBが、連続し
て所定個以上のポイントでしきい値を越えた場合、反射
率が落ちるためしきい値に応じてB品又はC品と分類し
これを出力する。
【0025】また特徴抽出処理計算回路31は、コンパ
クトデイスク2上に転写不良によるピツト落ちやオイル
によるピツト潰れ等が存在し、1周当たりの1次光の受
光出力P1が所定のしきい値を越えた場合、ピツト不良
としてしきい値に応じてB品又はC品と分類しこれを出
力する。
【0026】さらに特徴抽出処理計算回路31は、コン
パクトデイスク2上にコールド、ウエルド、剥離ムラが
存在し、0次光のP波とS波の各受光出力PA、PBの
差/和の絶対値が所定のしきい値を越えた場合、偏光欠
陥としてC品と分類しこれを出力する。
【0027】またこの実施例の場合特徴抽出処理計算回
路31は、このように分類結果としてコンパクトデイス
ク2がA品か、B品か又はC品かを出力することに加え
て、分類結果がB品の場合には、0次光の受光出力でな
る第1の加算信号PA+PBや1次光の受光出力P1、
第2の加算信号PA+PB+P1、第1及び第2の割り
算信号P1/PA+PB及びPA−PB/PA+PBを
光学的なデイスク検査情報OPTとしニユーラルネツト
ワーク12に送出するようになされている。
【0028】以上の構成において、この光デイスク検査
装置10でコンパクトデイスク2を検査する場合の工程
としては、被検査対象のコンパクトデイスク2を光デイ
スク検査機11に装填するのみで良い。このようにすれ
ば光デイスク検査機11の検査結果に応じて、A品のコ
ンパクトデイスク2は良品として出荷工程3に廻され、
逆にC品は不良品として除外される。
【0029】またB品はニユーラルネツトワーク12に
おいて学習結果に基づいて、同時に入力される光学的な
デイスク検査情報OPTを用いて良品か不良品かが判断
され、良品の場合には出荷工程に廻され、不良品の場合
には除外される。
【0030】このようにしてこの光デイスク検査装置1
0の場合、人手による目視検査工程等を経ることなく自
動的にコンパクトデイスク2を検査し、良品として出荷
工程に廻すか、不良品として除外するかを判断し得るよ
うになされており、検査時間を格段的に短縮化し得ると
共に、検査のために熟練した人間が不要になることによ
り、使い勝手を格段的に向上することができる。
【0031】以上の構成によれば、光デイスク検査機1
1で装填されたコンパクトデイスク2を光学的に検査
し、その検査結果としてコンパクトデイスク2が良品
か、不良品か又は傷のみのコンパクトデイスク2かを出
力すると共に、傷のみのコンパクトデイスク2のデイス
ク検査情報OPT及び良品か不良品かの判断OK/NG
を教師データとして学習を繰り返したニユーラルネツト
ワーク12に、傷のみのコンパクトデイスク2について
光デイスク検査機11の光学的なデイスク検査情報OP
Tを入力して、傷のみのコンパクトデイスク2が良品か
又は不良品かを判断するようにしたことにより、簡易な
構成でコンパクトデイスク2の検査工程を自動化し得る
光デイスク検査装置10を実現できる。
【0032】なお上述の実施例においては、本発明をコ
ンパクトデイスクの製造工程において、コンパクトデイ
スクを検査するものに適用したが、これに限らず、ビデ
オレーザーデイスクや光磁気デイスク等他の光デイスク
を検査する場合の光デイスク検査装置に広く適用して好
適なものである。
【0033】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、光デイス
ク検査機で装填された光デイスクを光学的に検査し、そ
の検査結果として光デイスクが良品か、不良品か又は傷
のみの光デイスクかを出力すると共に、傷のみの光デイ
スクのデイスク検査情報及び良品か不良品かの判断を教
師データとして学習を繰り返したニユーラルネツトワー
クに、傷のみの光デイスクについて光デイスク検査機の
光学的なデイスク検査情報を入力して、傷のみの光デイ
スクが良品か又は不良品かを判断させるようにしたこと
により、簡易な構成で光デイスクの検査工程を自動化し
得る光デイスク検査装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による光デイスク検査装置の一実施例を
示すブロツク図である。
【図2】図1の光デイスク検査装置におけるニユーラル
ネツトワークの学習の説明に供するブロツク図である。
【図3】図1の光デイスク検査装置における光デイスク
検査機の構成を示すブロツク図である。
【図4】従来の光デイスク検査機による検査工程を示す
ブロツク図である。
【符号の説明】
1、11……光デイスク検査機、2……コンパクトデイ
スク、3……出荷工程、4……目視検査工程、12……
ニユーラルネツトワーク、20……レーザー光源、2
1、25……PBS、22……1/4波長板、23、2
4……レンズ、26、27、28……フオトダイオー
ド、29、32……加算回路、30……減算回路、31
……特徴抽出処理計算回路、33、34……割り算回
路。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】装填された光デイスクを光学的に検査し、
    当該検査結果として上記光デイスクが良品か、不良品か
    又は傷のみの光デイスクかを出力する光デイスク検査機
    と、 当該光デイスク検査機によつて検出された上記傷のみの
    光デイスクについて、上記光デイスク検査機の光学的な
    デイスク検査情報が入力され、上記傷のみの光デイスク
    の上記デイスク検査情報及び良品か不良品かの判断を教
    師データとして繰り返された学習に基づいて、上記傷の
    みの光デイスクが良品か又は不良品かを判断するニユー
    ラルネツトワークとを具えることを特徴とする光デイス
    ク検査装置。
  2. 【請求項2】上記光デイスク検査機は、レーザー光源か
    ら射出されたレーザービームで上記光デイスクの表面上
    を走査し、当該光デイスクで反射された0次光のP波成
    分、S波成分及び上記光デイスクで反射された1次光に
    基づいて、上記デイスク検査情報を発生するようにした
    ことを特徴とする請求項1に記載の光デイスク検査装
    置。
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