JPH0632674Y2 - フォトレジスト塗布装置 - Google Patents
フォトレジスト塗布装置Info
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- JPH0632674Y2 JPH0632674Y2 JP2766389U JP2766389U JPH0632674Y2 JP H0632674 Y2 JPH0632674 Y2 JP H0632674Y2 JP 2766389 U JP2766389 U JP 2766389U JP 2766389 U JP2766389 U JP 2766389U JP H0632674 Y2 JPH0632674 Y2 JP H0632674Y2
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- Expired - Lifetime
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- Coating Apparatus (AREA)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2766389U JPH0632674Y2 (ja) | 1989-03-10 | 1989-03-10 | フォトレジスト塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2766389U JPH0632674Y2 (ja) | 1989-03-10 | 1989-03-10 | フォトレジスト塗布装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02118926U JPH02118926U (US06368395-20020409-C00050.png) | 1990-09-25 |
JPH0632674Y2 true JPH0632674Y2 (ja) | 1994-08-24 |
Family
ID=31250348
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2766389U Expired - Lifetime JPH0632674Y2 (ja) | 1989-03-10 | 1989-03-10 | フォトレジスト塗布装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0632674Y2 (US06368395-20020409-C00050.png) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001168011A (ja) * | 1999-12-09 | 2001-06-22 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 薄膜形成装置 |
JP2002231609A (ja) * | 2001-02-02 | 2002-08-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薬液塗布装置及び薬液塗布方法 |
JP2005246228A (ja) * | 2004-03-03 | 2005-09-15 | Dainippon Printing Co Ltd | スピンコータ装置及びスピンコート方法 |
-
1989
- 1989-03-10 JP JP2766389U patent/JPH0632674Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH02118926U (US06368395-20020409-C00050.png) | 1990-09-25 |
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