JPH06324747A - 流量制御方法 - Google Patents
流量制御方法Info
- Publication number
- JPH06324747A JPH06324747A JP11278893A JP11278893A JPH06324747A JP H06324747 A JPH06324747 A JP H06324747A JP 11278893 A JP11278893 A JP 11278893A JP 11278893 A JP11278893 A JP 11278893A JP H06324747 A JPH06324747 A JP H06324747A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow rate
- pressure
- control valve
- flow
- fluid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Feeding And Controlling Fuel (AREA)
- Flow Control (AREA)
- Control Of Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 供給流体の圧力（Ｐ０）を圧力制御弁４で
（Ｐ１）に圧力制御し、次に流量制御弁７で流量制御す
る流体制御系において、上記圧力制御弁４の２次側圧力
（Ｐ１）を流量制御弁７の２次側圧力（Ｐ３）に調整圧
力（Ｐ）を加えた圧力（Ｐ１＝Ｐ３＋Ｐ）に制御する。 【効果】 流量制御弁７の流量制御範囲が拡大する。
（Ｐ１）に圧力制御し、次に流量制御弁７で流量制御す
る流体制御系において、上記圧力制御弁４の２次側圧力
（Ｐ１）を流量制御弁７の２次側圧力（Ｐ３）に調整圧
力（Ｐ）を加えた圧力（Ｐ１＝Ｐ３＋Ｐ）に制御する。 【効果】 流量制御弁７の流量制御範囲が拡大する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、バーナへの流体供給な
どに適した広範囲の流量制御方法に関する。
どに適した広範囲の流量制御方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、例えばバーナノズル等に所定流量
の流体を供給する流体制御系として、図２に示すよう
に、供給流体の圧力を所定値に調整する圧力制御弁１１
と、該圧力制御弁１１を通過した流体の流量を調整する
流量制御弁１２と、流量制御弁１２に供給される流体の
流量を測定する容量式流量計１３と、該容量式流量計１
３の測定結果に基づいて上記流量制御弁１２の弁開度を
調節する流量調節計１４とを備えたものが知られてい
る。
の流体を供給する流体制御系として、図２に示すよう
に、供給流体の圧力を所定値に調整する圧力制御弁１１
と、該圧力制御弁１１を通過した流体の流量を調整する
流量制御弁１２と、流量制御弁１２に供給される流体の
流量を測定する容量式流量計１３と、該容量式流量計１
３の測定結果に基づいて上記流量制御弁１２の弁開度を
調節する流量調節計１４とを備えたものが知られてい
る。
【０００３】この流体制御系では、図示しない供給源よ
り供給された流体（圧力ＰＯ）は、圧力制御弁１１で一
定の圧力（Ｐ１）に調整され、次に容量式流量計１３の
測定値をもとに流量調節計１４で流量制御弁１２の弁開
度を調節して、流量が目的の値に制御される。なお、上
記圧力制御弁１１の２次側圧力（Ｐ１）は最大流量時に
おける流量制御弁１２の必要２次側圧力（Ｐ３）に基づ
き設定される。すなわち、上記圧力制御弁１１の２次側
圧力（Ｐ１）は、上記必要２次側圧力（Ｐ３）に配管，
弁等の圧損等を考慮した調整圧力（Ｐ）を加えた圧力に
制御される。
り供給された流体（圧力ＰＯ）は、圧力制御弁１１で一
定の圧力（Ｐ１）に調整され、次に容量式流量計１３の
測定値をもとに流量調節計１４で流量制御弁１２の弁開
度を調節して、流量が目的の値に制御される。なお、上
記圧力制御弁１１の２次側圧力（Ｐ１）は最大流量時に
おける流量制御弁１２の必要２次側圧力（Ｐ３）に基づ
き設定される。すなわち、上記圧力制御弁１１の２次側
圧力（Ｐ１）は、上記必要２次側圧力（Ｐ３）に配管，
弁等の圧損等を考慮した調整圧力（Ｐ）を加えた圧力に
制御される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記流
体制御系のように、圧力制御弁１１の２次側圧力（Ｐ
１）を一定値とする方式では、流量制御弁１２での圧損
（△Ｐ）が制御流量によって変化する。すなわち、小流
量のとき差圧（△Ｐ）は大きく、大流量のとき差圧（△
Ｐ）が小さくなる。ところが、流量制御弁１２で正確に
流量制御し得る適正開度範囲は限られており、その適正
流量制御範囲は流量係数比で１０〜３０が一般的であ
る。また、それ以上の広範囲な流量制御を正確に行うに
は非常な困難を伴なう。
体制御系のように、圧力制御弁１１の２次側圧力（Ｐ
１）を一定値とする方式では、流量制御弁１２での圧損
（△Ｐ）が制御流量によって変化する。すなわち、小流
量のとき差圧（△Ｐ）は大きく、大流量のとき差圧（△
Ｐ）が小さくなる。ところが、流量制御弁１２で正確に
流量制御し得る適正開度範囲は限られており、その適正
流量制御範囲は流量係数比で１０〜３０が一般的であ
る。また、それ以上の広範囲な流量制御を正確に行うに
は非常な困難を伴なう。
【０００５】なお、上記流量係数比とは、最大流量時の
流量係数に対する最小流量時の流量係数の比率をいう。
また、流量係数は、例えば取り扱う流体が液体の場合、
流量制御弁を通過する液体流量Ｑと差圧△Ｐをもとに次
に示す数１にしたがって計算することができる。さら
に、弁径に対して流量係数と弁開度との関係が、例えば
グローブ弁の場合、図３に示す特性表として一般に与え
られており、流量係数（Ｃｖ）の値から上記特性表をも
とに各弁径に対応した弁開度を求めることができる。
流量係数に対する最小流量時の流量係数の比率をいう。
また、流量係数は、例えば取り扱う流体が液体の場合、
流量制御弁を通過する液体流量Ｑと差圧△Ｐをもとに次
に示す数１にしたがって計算することができる。さら
に、弁径に対して流量係数と弁開度との関係が、例えば
グローブ弁の場合、図３に示す特性表として一般に与え
られており、流量係数（Ｃｖ）の値から上記特性表をも
とに各弁径に対応した弁開度を求めることができる。
【０００６】
【数１】
【０００７】一方、上述の流量係数比（Ｃｖ比）が適正
範囲をはずれた場合の流量制御方法として、大流量用と
小流量用の少なくとも２種類の流量制御弁を設け、流量
に応じてこれらの流量制御弁を使い分けることも考えら
れるが、複数の流量制御弁を必要とするうえ、それらを
切り換えるための制御が複雑になるという欠点がある。
範囲をはずれた場合の流量制御方法として、大流量用と
小流量用の少なくとも２種類の流量制御弁を設け、流量
に応じてこれらの流量制御弁を使い分けることも考えら
れるが、複数の流量制御弁を必要とするうえ、それらを
切り換えるための制御が複雑になるという欠点がある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明は上記問
題点を解決するためになされたもので、供給流体を圧力
制御弁で圧力制御し、次に流量制御弁で流量制御する流
体制御系において、上記圧力制御弁の２次側圧力を上記
流量制御弁の２次側圧力に調整圧力を加えた圧力に制御
するものである。
題点を解決するためになされたもので、供給流体を圧力
制御弁で圧力制御し、次に流量制御弁で流量制御する流
体制御系において、上記圧力制御弁の２次側圧力を上記
流量制御弁の２次側圧力に調整圧力を加えた圧力に制御
するものである。
【０００９】
【実施例】以下、添付図面を参照して本発明の実施例に
ついて説明する。図１は本発明の制御方法を実施する流
体制御系を示し、図示しない流体供給源１から供給先で
あるノズル２に伸びる配管３には圧力制御弁である差圧
制御弁４と容積式流量計６と流量制御弁７が順次接続さ
れ、流量制御弁１２の２次側圧力（Ｐ３）がローディン
グ配管５を通じて差圧制御弁４にフィードバックされる
とともに、容積式流量計６の測定結果に基づいて流量調
節計８により流量制御弁７の弁開度が調節されるように
なっている。
ついて説明する。図１は本発明の制御方法を実施する流
体制御系を示し、図示しない流体供給源１から供給先で
あるノズル２に伸びる配管３には圧力制御弁である差圧
制御弁４と容積式流量計６と流量制御弁７が順次接続さ
れ、流量制御弁１２の２次側圧力（Ｐ３）がローディン
グ配管５を通じて差圧制御弁４にフィードバックされる
とともに、容積式流量計６の測定結果に基づいて流量調
節計８により流量制御弁７の弁開度が調節されるように
なっている。
【００１０】上記構成を備えた流体制御系では、流体供
給源１より配管３を通じて所定圧力（Ｐ０）の流体が差
圧制御弁４に供給され、この差圧制御弁４の開度はロー
ディング配管５を介して、流量制御弁１２の２次側圧力
（Ｐ３）に基づき調整され、差圧制御弁４の２次側圧力
（Ｐ１）が調整される。すなわち、差圧制御弁４の２次
側圧力（Ｐ１）を流量制御弁１２の２次側圧力（Ｐ３）
に調整圧力（Ｐ）を加えた圧力（Ｐ１＝Ｐ３＋Ｐ）とな
るように調整する。容積式流量計７は差圧制御弁４を通
過した流体の流量を測定し、その測定結果を流量調節計
８に出力する。また、流量調節計８は、容積式流量計６
を通過した流体の流量を目的の流量に調整すべく、流量
制御弁７の開度を調節する。このとき、流量制御弁７の
１次側圧力（Ｐ２≒Ｐ）と２次側圧力（Ｐ３）の差圧
は、流量制御弁７の開度（制御流量）に関係なく一定の
圧力に保持される。
給源１より配管３を通じて所定圧力（Ｐ０）の流体が差
圧制御弁４に供給され、この差圧制御弁４の開度はロー
ディング配管５を介して、流量制御弁１２の２次側圧力
（Ｐ３）に基づき調整され、差圧制御弁４の２次側圧力
（Ｐ１）が調整される。すなわち、差圧制御弁４の２次
側圧力（Ｐ１）を流量制御弁１２の２次側圧力（Ｐ３）
に調整圧力（Ｐ）を加えた圧力（Ｐ１＝Ｐ３＋Ｐ）とな
るように調整する。容積式流量計７は差圧制御弁４を通
過した流体の流量を測定し、その測定結果を流量調節計
８に出力する。また、流量調節計８は、容積式流量計６
を通過した流体の流量を目的の流量に調整すべく、流量
制御弁７の開度を調節する。このとき、流量制御弁７の
１次側圧力（Ｐ２≒Ｐ）と２次側圧力（Ｐ３）の差圧
は、流量制御弁７の開度（制御流量）に関係なく一定の
圧力に保持される。
【００１１】次に、従来の流体制御系（図２参照）の制
御例を示し、これと本発明による流体制御系の制御例を
比較する。ここで、容積式流量計６の圧力損失は最大流
量時０．０２ＭＰａと仮定する。まず、従来の流体制御
系において流体供給源からＰ０＝０．６８６ＭＰａの液
体を供給し、これをＰ３＝０．３９２ＭＰａ、流量１０
ｍ3／ｈと、Ｐ３＝０．００４ＭＰａ、流量１．０ｍ3／
ｈに調整してノズルに供給する場合の流量、圧力、Ｃｖ
値、流量比をそれぞれ表１に示す。なお、表１及び後述
する表２における圧力（Ｐ０，〜，Ｐ３）の単位はＭＰ
ａである。
御例を示し、これと本発明による流体制御系の制御例を
比較する。ここで、容積式流量計６の圧力損失は最大流
量時０．０２ＭＰａと仮定する。まず、従来の流体制御
系において流体供給源からＰ０＝０．６８６ＭＰａの液
体を供給し、これをＰ３＝０．３９２ＭＰａ、流量１０
ｍ3／ｈと、Ｐ３＝０．００４ＭＰａ、流量１．０ｍ3／
ｈに調整してノズルに供給する場合の流量、圧力、Ｃｖ
値、流量比をそれぞれ表１に示す。なお、表１及び後述
する表２における圧力（Ｐ０，〜，Ｐ３）の単位はＭＰ
ａである。
【００１２】
【表１】 （従来の流量制御例） 流量(m3/h) P0 P1 P2 P3 Ｃｖ 流量比 10 0.686 0.49 0.47 0.392 13.08 10:1 1 0.686 0.49 0.49 0.004 0.52 (1/10)
【００１３】次に、本発明の制御方法にかかる流体制御
系において、流体供給源から圧力（Ｐ０）＝０．６８６
ＭＰａの流体を供給し、調整圧力（Ｐ）を１ＭＰａとし
て、同一Ｃｖ値（０．５２〜１３．０８）の範囲で制御
し得る流量、圧力、Ｃｖ値、流量比を表２に示す。な
お、上記調整圧力（Ｐ）は１ＭＰａに限るものでない。
系において、流体供給源から圧力（Ｐ０）＝０．６８６
ＭＰａの流体を供給し、調整圧力（Ｐ）を１ＭＰａとし
て、同一Ｃｖ値（０．５２〜１３．０８）の範囲で制御
し得る流量、圧力、Ｃｖ値、流量比を表２に示す。な
お、上記調整圧力（Ｐ）は１ＭＰａに限るものでない。
【００１４】
【表２】
【００１５】上記表１と表２を比較すると明らかなよう
に、本発明の流量制御方法によれば、同一Ｃｖ値の範囲
で制御し得る流量範囲は０．４４２〜１０ｍ3／ｈ、流
量比で１／２３（＝０．４４２／１０．０）であり、従
来の制御範囲（流量制御範囲：１〜１０ｍ3／ｈ、流量
比：１／１０）に比べて一段と広くなっている。つま
り、本発明に係る流量の制御方法によれば、同一流量制
御弁でも従来の制御方法に比べて広範囲の流量制御が可
能なことが理解できる。また、同一流量でのＣｖ値は、
従来のものに比べて高くなっている。すなわち、同一流
量制御弁でも従来の制御方法に比べて弁開度が大きく、
制御性の良い開度で使用することにより、精度の高い制
御が行える。
に、本発明の流量制御方法によれば、同一Ｃｖ値の範囲
で制御し得る流量範囲は０．４４２〜１０ｍ3／ｈ、流
量比で１／２３（＝０．４４２／１０．０）であり、従
来の制御範囲（流量制御範囲：１〜１０ｍ3／ｈ、流量
比：１／１０）に比べて一段と広くなっている。つま
り、本発明に係る流量の制御方法によれば、同一流量制
御弁でも従来の制御方法に比べて広範囲の流量制御が可
能なことが理解できる。また、同一流量でのＣｖ値は、
従来のものに比べて高くなっている。すなわち、同一流
量制御弁でも従来の制御方法に比べて弁開度が大きく、
制御性の良い開度で使用することにより、精度の高い制
御が行える。
【００１６】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
かかる流量制御方法では、圧力制御弁の２次側圧力を流
量制御弁の２次側圧力値に基づき制御するので、同一流
量制御弁を使用しても従来の流体制御方法に比べて制御
可能な流量範囲が一段と拡大する。したがって、正確に
流量制御し得る流量係数比が小さい弁でも、広範囲の流
量制御が可能となる。
かかる流量制御方法では、圧力制御弁の２次側圧力を流
量制御弁の２次側圧力値に基づき制御するので、同一流
量制御弁を使用しても従来の流体制御方法に比べて制御
可能な流量範囲が一段と拡大する。したがって、正確に
流量制御し得る流量係数比が小さい弁でも、広範囲の流
量制御が可能となる。
【図１】 本発明に係る流体制御方法を実施する流体制
御系の配管図である。
御系の配管図である。
【図２】 従来の流量制御方法を実施する流体制御系の
配管図である。
配管図である。
【図３】 流量制御弁のＣｖ値と弁開度との関係図であ
る。
る。
１…流体供給源、２…ノズル、４…圧力制御弁、５…ロ
ーディング配管、６…容積式流量計、７…流量制御弁、
８…流量調節計。
ーディング配管、６…容積式流量計、７…流量制御弁、
８…流量調節計。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成５年６月１８日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００９】
【実施例】以下、添付図面を参照して本発明の実施例に
ついて説明する。図１は本発明の制御方法を実施する流
体制御系を示し、図示しない流体供給源１から供給先で
あるノズル２に伸びる配管３には差圧制御弁である圧力
制御弁４と容積式流量計６と流量制御弁７が順次接続さ
れ、流量制御弁７の２次側圧力（Ｐ３）がローディング
配管５を通じて圧力制御弁４にフィードバックされると
ともに、容積式流量計６の測定結果に基づいて流量調節
計８により流量制御弁７の弁開度が調節されるようにな
っている。
ついて説明する。図１は本発明の制御方法を実施する流
体制御系を示し、図示しない流体供給源１から供給先で
あるノズル２に伸びる配管３には差圧制御弁である圧力
制御弁４と容積式流量計６と流量制御弁７が順次接続さ
れ、流量制御弁７の２次側圧力（Ｐ３）がローディング
配管５を通じて圧力制御弁４にフィードバックされると
ともに、容積式流量計６の測定結果に基づいて流量調節
計８により流量制御弁７の弁開度が調節されるようにな
っている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１０】上記構成を備えた流体制御系では、流体供
給源１より配管３を通じて所定圧力（Ｐ０）の流体が圧
力制御弁４に供給され、この圧力制御弁４の開度はロー
ディング配管５を介して、流量制御弁７の２次側圧力
（Ｐ３）に基づき調整され、圧力制御弁４の２次側圧力
（Ｐ１）が調整される。すなわち、圧力制御弁４の２次
側圧力（Ｐ１）を流量制御弁７の２次側圧力（Ｐ３）に
調整圧力（Ｐ）を加えた圧力（Ｐ１＝Ｐ３＋Ｐ）となる
ように調整する。容積式流量計６は圧力制御弁４を通過
した流体の流量を測定し、その測定結果を流量調節計８
に出力する。また、流量調節計８は、容積式流量計６を
通過した流体の流量を目的の流量に調整すべく、流量制
御弁７の開度を調節する。このとき、流量制御弁７の１
次側圧力（Ｐ２≒Ｐ）と２次側圧力（Ｐ３）の差圧は、
流量制御弁７の開度（制御流量）に関係なく一定の圧力
に保持される。
給源１より配管３を通じて所定圧力（Ｐ０）の流体が圧
力制御弁４に供給され、この圧力制御弁４の開度はロー
ディング配管５を介して、流量制御弁７の２次側圧力
（Ｐ３）に基づき調整され、圧力制御弁４の２次側圧力
（Ｐ１）が調整される。すなわち、圧力制御弁４の２次
側圧力（Ｐ１）を流量制御弁７の２次側圧力（Ｐ３）に
調整圧力（Ｐ）を加えた圧力（Ｐ１＝Ｐ３＋Ｐ）となる
ように調整する。容積式流量計６は圧力制御弁４を通過
した流体の流量を測定し、その測定結果を流量調節計８
に出力する。また、流量調節計８は、容積式流量計６を
通過した流体の流量を目的の流量に調整すべく、流量制
御弁７の開度を調節する。このとき、流量制御弁７の１
次側圧力（Ｐ２≒Ｐ）と２次側圧力（Ｐ３）の差圧は、
流量制御弁７の開度（制御流量）に関係なく一定の圧力
に保持される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２】
Claims (1)
- 【請求項１】 供給流体を圧力制御弁で圧力制御し、次
に流量制御弁で流量制御する流体制御系において、上記
圧力制御弁の２次側圧力を上記流量制御弁の２次側圧力
に調整圧力を加えた圧力に制御することを特徴とする流
量制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11278893A JPH06324747A (ja) | 1993-05-14 | 1993-05-14 | 流量制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11278893A JPH06324747A (ja) | 1993-05-14 | 1993-05-14 | 流量制御方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06324747A true JPH06324747A (ja) | 1994-11-25 |
Family
ID=14595533
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11278893A Pending JPH06324747A (ja) | 1993-05-14 | 1993-05-14 | 流量制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06324747A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7069944B2 (en) * | 2003-02-24 | 2006-07-04 | Smc Corporation | Flow rate control device |
| KR101415969B1 (ko) * | 2012-04-06 | 2014-07-04 | 한국기계연구원 | 보일러 온수용 가스제어 압전식 밸브 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53129788A (en) * | 1977-04-18 | 1978-11-13 | Ebara Corp | Control method for controlling flow rate or pressure by operating two or more valves |
| JPS60225212A (ja) * | 1984-04-24 | 1985-11-09 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | ２段式減圧弁装置 |
| JPS61156414A (ja) * | 1984-12-24 | 1986-07-16 | ブロンクホルスト・ハイ‐テク・ベー・ブイ | 流体の流れの量を制御する装置 |
| JPH01219912A (ja) * | 1988-02-29 | 1989-09-01 | Toshiba Corp | 圧力制御装置 |
-
1993
- 1993-05-14 JP JP11278893A patent/JPH06324747A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53129788A (en) * | 1977-04-18 | 1978-11-13 | Ebara Corp | Control method for controlling flow rate or pressure by operating two or more valves |
| JPS60225212A (ja) * | 1984-04-24 | 1985-11-09 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | ２段式減圧弁装置 |
| JPS61156414A (ja) * | 1984-12-24 | 1986-07-16 | ブロンクホルスト・ハイ‐テク・ベー・ブイ | 流体の流れの量を制御する装置 |
| JPH01219912A (ja) * | 1988-02-29 | 1989-09-01 | Toshiba Corp | 圧力制御装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7069944B2 (en) * | 2003-02-24 | 2006-07-04 | Smc Corporation | Flow rate control device |
| KR101415969B1 (ko) * | 2012-04-06 | 2014-07-04 | 한국기계연구원 | 보일러 온수용 가스제어 압전식 밸브 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3830670B2 (ja) | 半導体製造装置 | |
| JP2837112B2 (ja) | 音速ノズルを用いた質量流量制御方法および装置 | |
| EP1096351A1 (en) | Parallel bypass type fluid feeding device, and method and device for controlling fluid variable type pressure system flow rate used for the device | |
| US20050150552A1 (en) | Device, method, and system for controlling fluid flow | |
| JP2005115501A (ja) | チャンバの内圧制御装置及び内圧被制御式チャンバ | |
| JPH05501492A (ja) | 現場に設置される制御ユニット | |
| US4798531A (en) | Process and apparatus for the control of the air and fuel supply to a plurality of burners | |
| US2702561A (en) | Pressure regulating apparatus for cutting and welding torches and the like | |
| US4752211A (en) | Flow proportioning system | |
| JP4256684B2 (ja) | ガスの安定供給方法 | |
| US6017395A (en) | Gas pressure regulation in vapor deposition | |
| JPH06324747A (ja) | 流量制御方法 | |
| JPH0132525B2 (ja) | ||
| JP3312396B2 (ja) | コンバインドサイクル発電所の送ガス圧力制御方法 | |
| JPH0697090B2 (ja) | 熱量調節装置に於ける品質制御方法 | |
| CN117612920B (zh) | 反应气体切换系统及等离子体处理装置 | |
| JPS62226316A (ja) | 流量制御装置 | |
| JPH04283313A (ja) | 空燃比比例制御方法 | |
| JPH02176909A (ja) | 流量調節弁の制御方法 | |
| JPS6091419A (ja) | 流量制御方法 | |
| JPS6190701A (ja) | 多重効用缶制御装置 | |
| JP2000202260A (ja) | 液体の気化装置を含む流体混合装置 | |
| JPH04349195A (ja) | 真空装置 | |
| JPS59177618A (ja) | 圧力制御方法 | |
| JP2020105577A (ja) | 流体供給装置 |