JPH06323827A - 基板検出装置 - Google Patents
基板検出装置Info
- Publication number
- JPH06323827A JPH06323827A JP13537593A JP13537593A JPH06323827A JP H06323827 A JPH06323827 A JP H06323827A JP 13537593 A JP13537593 A JP 13537593A JP 13537593 A JP13537593 A JP 13537593A JP H06323827 A JPH06323827 A JP H06323827A
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- JP
- Japan
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- substrate
- light
- board
- glass substrate
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- Pending
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】光反射型基板検出器により基板検出する基板検
出装置に於いて、位置合わせ作業を簡単にする。 【構成】基板７を基板受載部８に乗置した状態で、光反
射型基板検出器５，６により基板からの反射光で基板検
出をする基板検出装置に於いて、基板と基板受載部面１
０との間に間隙を形成し、基板上面からの反射光と基板
受載部面からの反射光とで光軸をずらし、光反射型基板
検出器は基板表面で反射された検出光のみを受光可能と
し、基板受載部上の基板有無を検出する。
出装置に於いて、位置合わせ作業を簡単にする。 【構成】基板７を基板受載部８に乗置した状態で、光反
射型基板検出器５，６により基板からの反射光で基板検
出をする基板検出装置に於いて、基板と基板受載部面１
０との間に間隙を形成し、基板上面からの反射光と基板
受載部面からの反射光とで光軸をずらし、光反射型基板
検出器は基板表面で反射された検出光のみを受光可能と
し、基板受載部上の基板有無を検出する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は液晶表示器等に使用され
るガラス基板の検出、特に搬送装置に保持された状態で
の検出を行うガラス基板検出装置に関するものである。
るガラス基板の検出、特に搬送装置に保持された状態で
の検出を行うガラス基板検出装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示器の製造装置に於いて、ガラス
基板の検出は処理工程間の受渡し等でガラス基板を確実
に且円滑に搬送する為、必要不可欠である。
基板の検出は処理工程間の受渡し等でガラス基板を確実
に且円滑に搬送する為、必要不可欠である。
【０００３】従来のガラス基板検出装置について図３に
より説明する。
より説明する。
【０００４】図中、１は基板搬送アームであり、２は該
基板搬送アーム１の先端に設けられた基板受載部であ
る。該基板受載部２の先端には欠切部３が形成されてい
る。
基板搬送アーム１の先端に設けられた基板受載部であ
る。該基板受載部２の先端には欠切部３が形成されてい
る。
【０００５】前記基板搬送アーム１の搬送経路の適宜位
置に、基板検出箇所が設けられ、該基板検出箇所には基
板検出器４が設けられ、該基板検出器４は投光部５、受
光部６からなる光反射型検出器である。
置に、基板検出箇所が設けられ、該基板検出箇所には基
板検出器４が設けられ、該基板検出器４は投光部５、受
光部６からなる光反射型検出器である。
【０００６】前記欠切部３は前記基板搬送アーム１が基
板検出箇所にある時、前記投光部５からの検出光が透過
する様になっている。
板検出箇所にある時、前記投光部５からの検出光が透過
する様になっている。
【０００７】前記基板受載部２にガラス基板７がある場
合は、前記投光部５から投光された検出光はガラス基板
７の上面で反射され、反射光は前記受光部６に入光しガ
ラス基板７の存在が検出される。
合は、前記投光部５から投光された検出光はガラス基板
７の上面で反射され、反射光は前記受光部６に入光しガ
ラス基板７の存在が検出される。
【０００８】次に、前記基板受載部２にガラス基板７が
ない場合、前記投光部５からの検出光は前記欠切部３を
透過し、前記受光部６には入光しない。従って、ガラス
基板７がないと判断される。
ない場合、前記投光部５からの検出光は前記欠切部３を
透過し、前記受光部６には入光しない。従って、ガラス
基板７がないと判断される。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来例では、
投光部５からの検出光がガラス基板７で反射されて前記
受光部６に入光する様に、該受光部６と前記投光部５と
を位置合わせする必要があると共に前記投光部５からの
検出光が前記欠切部３を通過する様前記投光部５と前記
基板搬送アーム１との位置合わせも行わなければならな
い。この為、調整が煩雑となると共に時間が掛かり作業
性が悪いという問題があった。
投光部５からの検出光がガラス基板７で反射されて前記
受光部６に入光する様に、該受光部６と前記投光部５と
を位置合わせする必要があると共に前記投光部５からの
検出光が前記欠切部３を通過する様前記投光部５と前記
基板搬送アーム１との位置合わせも行わなければならな
い。この為、調整が煩雑となると共に時間が掛かり作業
性が悪いという問題があった。
【００１０】本発明は斯かる実情に鑑み、位置合わせ作
業の簡単なガラス基板検出装置を提供しようとするもの
である。
業の簡単なガラス基板検出装置を提供しようとするもの
である。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、基板を基板受
載部に乗置した状態で、光反射型基板検出器により基板
検出する基板検出装置に於いて、基板と基板受載部面と
の間に間隙を形成し、基板上面からの反射光で基板を検
出する様構成したことを特徴とするものである。
載部に乗置した状態で、光反射型基板検出器により基板
検出する基板検出装置に於いて、基板と基板受載部面と
の間に間隙を形成し、基板上面からの反射光で基板を検
出する様構成したことを特徴とするものである。
【００１２】
【作用】基板上面で反射された検出光と基板受載部面で
反射された検出光とでは光軸がずれ、光反射型基板検出
器は基板表面で反射された検出光のみを受光し、基板受
載部上の基板有無を検出する。
反射された検出光とでは光軸がずれ、光反射型基板検出
器は基板表面で反射された検出光のみを受光し、基板受
載部上の基板有無を検出する。
【００１３】
【実施例】以下、図面を参照しつつ本発明の一実施例を
説明する。
説明する。
【００１４】基板搬送アーム１の先端の基板受載部８を
以下の如く形成する。
以下の如く形成する。
【００１５】基板受載部８の両縁、前記基板搬送アーム
１の長手方向に枠部９を形成し、両枠部９の間は両枠部
９の上面より一段低くなった傾斜面１０となっており、
該傾斜面１０は図２で示される様に、基板搬送アーム１
の長手方向に対して直交する方向に傾斜している。
１の長手方向に枠部９を形成し、両枠部９の間は両枠部
９の上面より一段低くなった傾斜面１０となっており、
該傾斜面１０は図２で示される様に、基板搬送アーム１
の長手方向に対して直交する方向に傾斜している。
【００１６】以下、ガラス基板７の検出について説明す
る。
る。
【００１７】基板受載部８の枠部９上にガラス基板７が
載置されている場合は、前記投光部５からの検出光はガ
ラス基板７の表面で反射され、前記受光部６で受光さ
れ、基板の存在が検出される。
載置されている場合は、前記投光部５からの検出光はガ
ラス基板７の表面で反射され、前記受光部６で受光さ
れ、基板の存在が検出される。
【００１８】次に、前記基板受載部８上にガラス基板７
が載置されていない場合は、前記投光部５からの検出光
は前記傾斜面１０で反射される。該傾斜面１０は前記し
た様に、枠部９の上面より一段低くなっているので、ガ
ラス基板７の表面と前記傾斜面１０とは反射位置がずれ
る。この為、ガラス基板７での反射光と傾斜面１０での
反射光とで光軸のずれが生じ、傾斜面１０で反射された
検出光は前記受光部６に入光せず、ガラス基板７がない
と判断される。又、前記傾斜面１０は基板受載部８に載
置されたガラス基板７の表面に対して傾斜しているの
で、ガラス基板７で反射された検出光の光軸と、前記傾
斜面１０で反射された検出光のずれは更に大きくなり、
誤検出が防止される。
が載置されていない場合は、前記投光部５からの検出光
は前記傾斜面１０で反射される。該傾斜面１０は前記し
た様に、枠部９の上面より一段低くなっているので、ガ
ラス基板７の表面と前記傾斜面１０とは反射位置がずれ
る。この為、ガラス基板７での反射光と傾斜面１０での
反射光とで光軸のずれが生じ、傾斜面１０で反射された
検出光は前記受光部６に入光せず、ガラス基板７がない
と判断される。又、前記傾斜面１０は基板受載部８に載
置されたガラス基板７の表面に対して傾斜しているの
で、ガラス基板７で反射された検出光の光軸と、前記傾
斜面１０で反射された検出光のずれは更に大きくなり、
誤検出が防止される。
【００１９】而して、ガラス基板７で反射された検出光
と傾斜面１０で反射された検出光とは傾斜面１０の全面
に於いて光軸が異なるので、傾斜面１０で反射された検
出光が受光部６で受光されることはない。従って、投光
部５と受光部６との位置合わせは基板受載部８の位置、
姿勢に関係なくガラス基板７での任意な位置で調整すれ
ばよいので、調整作業が著しく簡単になる。
と傾斜面１０で反射された検出光とは傾斜面１０の全面
に於いて光軸が異なるので、傾斜面１０で反射された検
出光が受光部６で受光されることはない。従って、投光
部５と受光部６との位置合わせは基板受載部８の位置、
姿勢に関係なくガラス基板７での任意な位置で調整すれ
ばよいので、調整作業が著しく簡単になる。
【００２０】尚、検出する基板はガラスに限らず、表面
が光を反射するものであれば検出可能である。又、上記
実施例ではガラス基板７を枠部９で支持し、傾斜面１０
との間に間隙を設けたが、枠部９の代わりに３以上の突
起を設け、該突起によりガラス基板を支持する様にして
もよい。
が光を反射するものであれば検出可能である。又、上記
実施例ではガラス基板７を枠部９で支持し、傾斜面１０
との間に間隙を設けたが、枠部９の代わりに３以上の突
起を設け、該突起によりガラス基板を支持する様にして
もよい。
【００２１】
【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、光反射
型基板検出器を用いた基板検出に於いて、光反射型基板
検出器の位置合わせ作業が著しく容易にできるという優
れた効果を発揮する。
型基板検出器を用いた基板検出に於いて、光反射型基板
検出器の位置合わせ作業が著しく容易にできるという優
れた効果を発揮する。
【図１】本発明の一実施例を示す説明図である。
【図２】図１のＡ−Ａ矢視図である。
【図３】従来例の説明図である。
１ 基板搬送アーム ２ 基板受載部 ３ 欠切部 ４ 基板検出器 ５ 投光部 ６ 受光部 ７ ガラス基板 ８ 基板受載部 ９ 枠部 １０ 傾斜面
Claims (2)
- 【請求項１】 基板を基板受載部に乗置した状態で、光
反射型基板検出器により基板検出する基板検出装置に於
いて、基板と基板受載部面との間に間隙を形成し、基板
上面からの反射光で基板を検出する様構成したことを特
徴とする基板検出装置。 - 【請求項２】 基板受載部面を基板上面に対して傾斜さ
せた請求項１の基板検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13537593A JPH06323827A (ja) | 1993-05-13 | 1993-05-13 | 基板検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13537593A JPH06323827A (ja) | 1993-05-13 | 1993-05-13 | 基板検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06323827A true JPH06323827A (ja) | 1994-11-25 |
Family
ID=15150249
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13537593A Pending JPH06323827A (ja) | 1993-05-13 | 1993-05-13 | 基板検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06323827A (ja) |
-
1993
- 1993-05-13 JP JP13537593A patent/JPH06323827A/ja active Pending
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