JPH0631990U

JPH0631990U - 研磨布心だし切断装置

Info

Publication number: JPH0631990U
Application number: JP7838192U
Authority: JP
Inventors: 勝男河野
Original assignee: 九州コマツ電子株式会社; コマツ電子金属株式会社
Priority date: 1992-10-01
Filing date: 1992-10-01
Publication date: 1994-04-26
Anticipated expiration: 2007-08-13
Also published as: JP2544289Y2

Abstract

(57)【要約】【目的】ウェーハを鏡面仕上げする研磨布の心だし
と中央の孔開けを正確に行ない、研磨機への取り付けを
効率化する。【構成】研磨布載台（２）の中央に環状溝（２１）
を設け、環状溝（２１）内を回動する刃（１１）を備え
た切断手段（１）を、載台（２）上に合心載置する。載
台（２）には、３本以上の腕（３）を垂直方向に回動自
在に取り付ける。腕（３）には、載台（２）の中心から
研磨布半径に相当する位置に突片（３１）を設け、腕
（３）の一本の端部に研磨手段（１）の持ち上げ作動杆
（４）を、垂直方向に回動自在に取り付ける。腕（３）
の突片（３１）内に研磨布の位置を調整して心だしを行
ない、環状溝（２１）内を回動する刃（１１）で、研磨
布中央に所定の大きさの孔を開ける。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、半導体ウェーハを鏡面仕上げするための研磨布心だし切断装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

半導体ウェーハを研磨機により研磨する際には、中央にローラを備えた定盤上面に研磨布を貼着し、ウェーハ取付けプレート下面にウェーハを貼着する。次いで、スラリー状研磨剤を流しながら、トップリングによって回転する定盤上の研磨布に対しウェーハを押しつけて研磨し、鏡面に仕上げる。ウェーハの研磨回数が増えると、研磨布は次第に摩滅して、一定期間使用後には交換しなければならない。交換の際には、トップリングを持ち上げ、定盤中央のローラを外した後、摩滅した研磨布を剥いで除き、定盤を清掃して新しい研磨布を貼着させる。

【０００３】未使用の研磨布は、円形で定盤より若干大きい。裏面には両面接着シートが接着されおり、その表面は剥離ライナーで保護されている。研磨機の定盤に貼着する際には、剥離ライナーを剥し、研磨布を指で押さえながら定盤の端から貼着していく。しかしながら、定盤中央にはローラを取付けるので、研磨布中央のローラ受け架台に相当する部分には孔を開ける必要がある。従来この孔開け作業は、貼着後に研磨布の上から指で受け架台の周縁をなぞりながら、ナイフでカットする手作業によっていた。同様に、定盤からはみでた部分も、定盤の外周縁を確認しながら切りおとしていた。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、従来の手作業による切断は単に非効率というだけではなく、研磨布の心だしが目見当であるため、しばしば中心がずれて、定盤より大きい研磨布であっても、定盤の片側に研磨布で覆われない部分が生じていた。改めて貼着をやりなおすと、研磨布にしわが生じやすく、結局再使用てきずに無駄になりがちであった。

【０００５】本考案は、上記のごとき問題を解消したもので、簡単な操作で研磨布の心だしをして、研磨布の中心に正確に所定の大きさの孔を開けることのできる研磨布心だし切断装置を提供することを目的としている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

上記の目的を達成した本考案の研磨布心だし切断装置は、上面の中央に環状溝を備えた載台に、環状溝内を回動する刃を備えた切断手段を合心して載置し、載台に少なくとも３本の腕を取付け、各腕の環状溝の中心から研磨布半径に相当する位置に突片を設定し、腕のいずれかひとつの端部には、切断手段を持ち上げる作動杆を垂直方向に回動自在に軸着したことを特徴としている。

【０００７】研磨布心だし切断装置に使用する切断手段は、フランジを介して刃を備えた回転軸と、フランジをころがり軸受を介し回転自在に支承する支持体とからなり、回転軸の上端に把手を設け、回転軸を作動杆にころがり軸受を介して回転自在に支承している。

【０００８】腕は載台に固定されていてもよいが、望ましくは、載台に垂直方向に回動自在に軸着することにより、不使用時腕の端部を上方に折って収納すると、場所をとらずにすむ。また、同じ大きさの研磨布のみを心だし切断するのであれば、突片は各腕の環状溝の中心から研磨布の半径に相当する位置に固定すればよいが、異なる大きさの研磨布を扱うのであれば、環状溝の中心から等長の目盛を刻み、好ましくは摺動自在の突片を嵌装して、各腕の突片を研磨布の半径に合わせた目盛位置に移動、固定する。

【０００９】なお、研磨布中央に開ける孔の大きさは、従来の手作業の場合とは異なり、研磨機の定盤中央ローラ取付け架台に相当する大きさではない。本考案では、この取付け架台の中心にある定盤中央ローラ取付け孔に、別に準備したサークルカッターを一時的に取付けて、このカッターにより研磨布の定盤中央ローラ取付け架台に相当する部分及び定盤周縁からはみだした部分をカットする。したがって、研磨布中央に開ける孔の大きさは、使用するサークルカッターの軸の大きさにより異なり特定できないが、通常は定盤中央ローラ取付け孔と同じ大きさである。本考案の載台中央に設けられた環状溝と、この環状溝内を回動する刃の軌跡の直径は、この研磨布中央に開ける孔の大きさに応じて適宜定めればよいが、特別なサークルカッターを使用しないかぎり、定盤中央ローラ取付け孔と等しく設定すればよい。

【００１０】

【作用】

本考案の研磨布心だし切断装置腕では、腕の突片が環状溝の中心から研磨布の半径に相当する位置に設定されているので、研磨布をこの突片の内側に収めるだけで正確な心だしができる。また、環状溝の直径を研磨機の定盤中央ローラ取付け孔の直径と等しく設定してあるので、この環状溝にそって切断すれば研磨布中央に定盤中央ローラ取付け孔に相当する孔を開けることができる。その結果、研磨布を貼着後、定盤中央ローラ取付け孔にサークルカッターを取付け、これにより研磨布の定盤中央ローラ取付け架台に相当する部分及び定盤周縁からのはみだした部分を、機械的に切りおとすことができる。

【００１１】

【実施例】

図１において、載台２は四隅が面取りされた正方形からなり、研磨機の定盤中央ローラ取付け孔に相当する直径を有する環状溝２１を上面中央に設けてある。載台２の上には、切断手段１が環状溝２１と合心するように載置されている。切断手段１は環状溝２１内を回動する軌跡をもった刃１１を備えている。正方形の載台２の各辺には、同一の長さの腕３が垂直方向に回動自在に取り付けられている。載台２は必ずしも正方形に特定されるものではなく、円形あるいは正三角形以上の多角形でもよく、腕３も３本以上であれば研磨布の心だしに差しつかえはない。各腕３の端部には直立した研磨布の位置決め突片３１が設けられている。各突片３１の位置は研磨布の半径と一致するように設定する。研磨布の種類により大小があるので、腕３の上面に目盛３２を刻んである。この目盛で研磨布周縁を合わせることもできる。この場合、突片３１を腕３に摺動自在に嵌装しておけば、突片３１を研磨布の半径に相当する目盛り位置まで動かすだけで、異なった大きさの研磨布の位置合わせが簡単にできる。少なくとも３本の腕３のいずれか１本の端部には、切断手段１を持ち上げる作動杆４が、取付部材４１を介して垂直方向に回動自在に取付けられている。図１では、取付部材４１は腕３端部の固定突片３１上に突設されているが、突片３１を摺動自在に嵌装する場合は、腕３の端部に突片３１とは独立して設ける。

【００１２】本考案に用いる切断手段１は、例えば図２に示すように構成されている。すなわち、刃１１は、載台２の環状溝２１内を回動する軌跡を持つように、フランジ１２のツバ部分に垂直に取付けられている。フランジ１２は回転軸１６の下端に固定され、支持体１３にころがり軸受１４を介して回動自在に支承されている。回転軸１６は上部に把手１５を備え、切断手段１の持ち上げ作動杆４にころがり軸受１７を介して回動自在に支承されている。５は載台２上に載置された研磨布である。

【００１３】以上のように構成された本考案の研磨布心だし切断装置は、以下のごとく作動して研磨布の心だしをすると同時に、中心に定盤中央ローラ取付け孔に相当する大きさの孔を開ける。

【００１４】先ず作動杆４を腕３の取付部材４１を支点にして垂直方向に一定角度回動させると、切断手段１が載台２から持ち上げられる。この状態で、研磨布５を載台２及び４本の腕３上に載せる。各腕３の突片３１は載台２の環状溝２１の中心から研磨布５の半径と一致する位置に設けられているので、研磨布５の周縁が各突片３１の内側に入るように調整すれば、研磨布５の中心はおのずと環状溝２１の中心と一致する。次いで、作動杆４を逆に回動して切断手段１を載台２上の元位置にもどし、把手１５を回すと、回転軸１６、フランジ１２の回転にともない、刃１１は載台２の環状溝２１内を回動し、研磨布５の中央に定盤中央ローラ取付け孔と同じ大きさの孔を開ける。

【００１５】研磨機に研磨布５を取付ける際には、裏面の剥離ライナーを剥がし、定盤中央ローラ取付け孔と研磨布の中央孔とを合わせて、定盤に貼着する。研磨布５は定盤より大きく、且つその中央の孔は正確に中心に位置しているので、定盤全面を覆い、定盤の周縁のどこかに露出した部分が生じることはない。したがって、後は研磨布５の定盤の中央ローラ受け架台に相当する部分および定盤周縁からはみだした部分を、中央ローラ取付け孔に取付けたサークルカッターを用いて、切断すればすむ。

【００１６】

【考案の効果】

本考案の研磨布心だし切断装置によれば、正確な心だしにより研磨布の中央に所定の大きさの孔を開けることができるので、次の効果がある。

【００１７】（１）．研磨機の定盤に対して、研磨布を中心がずれることなく、短時間で貼着できる。

【００１８】（２）．研磨布中央に開けられた孔を通して、定盤中央ローラ取付け孔に一時的にサークルカッターを取付けることができるので、このカッターにより貼着された研磨布の定盤中央ローラ取付け架台相当部分及び周縁はみだし部分を機械的に切断できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係わる研磨布心だし切断装置の一例を
示す斜視図である。

【図２】図１の研磨布切断手段の一例を示す側断面図で
ある。

【符号の説明】

１……切断手段１１…刃１２…フランジ１３…支持体１４…ころがり軸受１５…把手１６…回転軸１７…ころがり軸受２……載台２１…環状溝３……腕３１…突片３２…目盛４……作動杆４１…取付部材５……研磨布

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】上面の中央に環状溝（２１）を備えた載
台（２）に、環状溝（２１）内を回動する刃（１１）を
備えた切断手段（１）を合心して載置し、載台（２）に
少なくとも３本の腕（３）を取付け、各腕（３）の環状
溝（２１）の中心から研磨布半径に相当する位置に突片
（３１）を設定し、腕（３）のいずれかひとつの端部に
は、切断手段（１）を持ち上げる作動杆（４）を垂直方
向に回動自在に軸着してなる研磨布心だし切断装置。
【請求項２】切断手段（１）が、フランジ（１２）を
介して刃（１１）を備えた回転軸（１６）と、フランジ
（１２）をころがり軸受（１４）を介し回転自在に支承
する支持体（１３）からなり、回転軸（１６）の上端に
把手（１５）を設け、回転軸（１６）を作動杆（４）に
ころがり軸受（１７）を介して回転自在に支承する請求
項１記載の研磨布心だし切断装置。
【請求項３】各腕（３）が載台（２）に垂直方向に回
動自在に軸着されている請求項１記載の研磨布心だし切
断装置。
【請求項４】各腕（３）が環状溝（２）の中心から等
長の目盛を備えた請求項１記載の研磨布心だし切断装
置。
【請求項５】突片（３１）が腕（３）に固定されてい
る請求項１または請求項４記載の研磨布心だし切断装
置。
【請求項６】突片（３１）が腕（３）に摺動自在に嵌
装されている請求項１または請求項４記載の研磨布心だ
し切断装置。