JPH0631928A - プリンタヘッドの製造方法及び接着方法 - Google Patents
プリンタヘッドの製造方法及び接着方法Info
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- JPH0631928A JPH0631928A JP21459492A JP21459492A JPH0631928A JP H0631928 A JPH0631928 A JP H0631928A JP 21459492 A JP21459492 A JP 21459492A JP 21459492 A JP21459492 A JP 21459492A JP H0631928 A JPH0631928 A JP H0631928A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 微細なノズル等のインク通路を形成すること
のできるプリンタヘッダの製造方法を提供する。 【構成】 接着剤を兼ねる活性エネルギー線硬化性樹脂
組成物を調製し、第１の基材１０上に、この組成物溶液
をスピンナーにより塗布し、ホットプレート上で乾燥し
て膜厚１０μmの活性エネルギー線硬化性樹脂層１１を
得た。次に第１の基材１０の上からインク通路用の溝に
対応する遮光部を有するマスクを介して、紫外線を照射
した後、樹脂層１１の不要部分を選択的に溶解除去しで
樹脂層１１ａを形成した。更に樹脂層１１ａが粘着性及
び柔軟性を持つように基材１０を加熱し、この上から第
２の基材１２を位置合わせして熱圧着した。この後、加
熱温度を１５０℃にして３０分間加熱し、樹脂層１１ａ
を完全に硬化させ、第１の基材１０と第２の基材１２と
を完全に接着した。
のできるプリンタヘッダの製造方法を提供する。 【構成】 接着剤を兼ねる活性エネルギー線硬化性樹脂
組成物を調製し、第１の基材１０上に、この組成物溶液
をスピンナーにより塗布し、ホットプレート上で乾燥し
て膜厚１０μmの活性エネルギー線硬化性樹脂層１１を
得た。次に第１の基材１０の上からインク通路用の溝に
対応する遮光部を有するマスクを介して、紫外線を照射
した後、樹脂層１１の不要部分を選択的に溶解除去しで
樹脂層１１ａを形成した。更に樹脂層１１ａが粘着性及
び柔軟性を持つように基材１０を加熱し、この上から第
２の基材１２を位置合わせして熱圧着した。この後、加
熱温度を１５０℃にして３０分間加熱し、樹脂層１１ａ
を完全に硬化させ、第１の基材１０と第２の基材１２と
を完全に接着した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ノズルから液状又は泡
状のインクを噴射させて、紙等の媒体上に画像を形成す
るインクジェット方式プリンタのプリンタヘッドの製造
方法及び接着方法に関する。
状のインクを噴射させて、紙等の媒体上に画像を形成す
るインクジェット方式プリンタのプリンタヘッドの製造
方法及び接着方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】インクジェット方式のプリンタは、イン
ク微粒子の噴出方向を電気的に制御して紙等の媒体上に
自在に画像を形成する方法であり、高解像度であるこ
と、高速印刷が可能なこと、また印刷時の音が静かなこ
と等の優れた特徴によって急速に普及し始めている。イ
ンクジェット方式には大きく分けて、加圧振動型、静電
加速型及び圧力パルス型がある。このうち加圧振動型
は、インクを連続的に噴射する方式（Continuous Jet方
式。ＣＪ法と略記する）であり、非印字時に噴射された
インクは電界制御等によって噴射方向を変え、インク回
収板に当たってタンクへ回収される。また静電加速型は
ＣＪ法の他に印字時のみインクを噴射する断続制御（Dr
op-on-Demand方式。ＤＯＤ法と略記する）も可能であ
る。更に圧力パルス型はＤＯＤ法によって制御される。
ク微粒子の噴出方向を電気的に制御して紙等の媒体上に
自在に画像を形成する方法であり、高解像度であるこ
と、高速印刷が可能なこと、また印刷時の音が静かなこ
と等の優れた特徴によって急速に普及し始めている。イ
ンクジェット方式には大きく分けて、加圧振動型、静電
加速型及び圧力パルス型がある。このうち加圧振動型
は、インクを連続的に噴射する方式（Continuous Jet方
式。ＣＪ法と略記する）であり、非印字時に噴射された
インクは電界制御等によって噴射方向を変え、インク回
収板に当たってタンクへ回収される。また静電加速型は
ＣＪ法の他に印字時のみインクを噴射する断続制御（Dr
op-on-Demand方式。ＤＯＤ法と略記する）も可能であ
る。更に圧力パルス型はＤＯＤ法によって制御される。
【０００３】上記ＤＯＤ法のうち、マルチヘッドタイプ
のものは図１に概略を示すプリンタヘッド１を備えてい
る。同図において、インクは外部のインクタンクからイ
ンク供給管２を通じてインク供給室３に送られ、更に複
数の圧縮室４に導かれて一定の加圧状態で待機する。印
刷時には、各圧縮室に夫々別々に取り付けられた圧電素
子（図示せず）の制御によって、印字ごとに必要なノズ
ル孔５からインクが噴射され媒体に画像を形成すること
ができる。この方式に関しては例えば特開昭61-163863
号公報には位置合わせ用の凹部を設けたノズルの形成法
が記載されており、特開昭63-265647号公報にはステン
レス板による前記圧縮部の形成方法が記載されている。
のものは図１に概略を示すプリンタヘッド１を備えてい
る。同図において、インクは外部のインクタンクからイ
ンク供給管２を通じてインク供給室３に送られ、更に複
数の圧縮室４に導かれて一定の加圧状態で待機する。印
刷時には、各圧縮室に夫々別々に取り付けられた圧電素
子（図示せず）の制御によって、印字ごとに必要なノズ
ル孔５からインクが噴射され媒体に画像を形成すること
ができる。この方式に関しては例えば特開昭61-163863
号公報には位置合わせ用の凹部を設けたノズルの形成法
が記載されており、特開昭63-265647号公報にはステン
レス板による前記圧縮部の形成方法が記載されている。
【０００４】また上記マルチヘッドタイプ以外について
も、ノズルを有するオリフィスプレートと、圧電素子を
備えた基板を一体化するための位置合わせ法が特開昭61
-61859号公報に、インク室とノズルを有する金属板との
接合方法が特開昭63-151458号公報に開示されている。
も、ノズルを有するオリフィスプレートと、圧電素子を
備えた基板を一体化するための位置合わせ法が特開昭61
-61859号公報に、インク室とノズルを有する金属板との
接合方法が特開昭63-151458号公報に開示されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】プリンタヘッドに形成
されるインク通路用の溝は、図１に示したように特に圧
縮室４及びノズル孔５周辺では狭く、直径が数μm〜数
十μmであるため、その成形には精密さが要求される
が、従来の機械的切削では正確さにおいて不十分であ
り、サンドブラスト法やリソグラフィー法によるエッチ
ングが適している。しかしこの溝を形成した第１の基材
１０と、第２の基材１２とを接着する際に、接着剤を十
分に使用するとその一部が溝に流れ込んで通路を塞いで
しまい、また少なめに使用すると漏れ欠陥が生ずるとい
う難点があった。
されるインク通路用の溝は、図１に示したように特に圧
縮室４及びノズル孔５周辺では狭く、直径が数μm〜数
十μmであるため、その成形には精密さが要求される
が、従来の機械的切削では正確さにおいて不十分であ
り、サンドブラスト法やリソグラフィー法によるエッチ
ングが適している。しかしこの溝を形成した第１の基材
１０と、第２の基材１２とを接着する際に、接着剤を十
分に使用するとその一部が溝に流れ込んで通路を塞いで
しまい、また少なめに使用すると漏れ欠陥が生ずるとい
う難点があった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の課題を解
決するため、ノズル孔、更には他のインク通路を形成す
る方法として、第１の基材上に活性エネルギー線硬化性
樹脂による樹脂層を形成して必要によりリソグラフィー
法によって活性エネルギー線照射でパターニングし、不
要の樹脂部を除去し、加熱処理によって粘着性を持たせ
た状態でこの樹脂層の上にあらかじめインク通路用の溝
が形成された第２の基材を載置、圧着し、最後に活性エ
ネルギー線を再度照射するか又は加熱処理することによ
って前記樹脂層の硬化を完了させ、第１の基材と第２の
基材との接着を行うものである。また同様にして第１の
基材と第２の基材との接着方法を提供するものである。
決するため、ノズル孔、更には他のインク通路を形成す
る方法として、第１の基材上に活性エネルギー線硬化性
樹脂による樹脂層を形成して必要によりリソグラフィー
法によって活性エネルギー線照射でパターニングし、不
要の樹脂部を除去し、加熱処理によって粘着性を持たせ
た状態でこの樹脂層の上にあらかじめインク通路用の溝
が形成された第２の基材を載置、圧着し、最後に活性エ
ネルギー線を再度照射するか又は加熱処理することによ
って前記樹脂層の硬化を完了させ、第１の基材と第２の
基材との接着を行うものである。また同様にして第１の
基材と第２の基材との接着方法を提供するものである。
【０００７】
【作用】接着剤として活性エネルギー線硬化性樹脂をリ
ソグラフィー法によりパターニングして使用するため、
所望パターンの接着を行うことができる。上記活性エネ
ルギー線硬化性樹脂は塗布、乾燥後は流動性を持たない
ため、エッチングにより形成された溝に流れ込んで塞ぐ
ことがない。
ソグラフィー法によりパターニングして使用するため、
所望パターンの接着を行うことができる。上記活性エネ
ルギー線硬化性樹脂は塗布、乾燥後は流動性を持たない
ため、エッチングにより形成された溝に流れ込んで塞ぐ
ことがない。
【０００８】
【実施例】以下に本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。ここにおいて図１は基板に形成したプリンタヘッ
ド用の溝を示す平面図であり、図２はこの溝の形成過程
を示す図１のＡ−Ａ線における断面工程図である。
する。ここにおいて図１は基板に形成したプリンタヘッ
ド用の溝を示す平面図であり、図２はこの溝の形成過程
を示す図１のＡ−Ａ線における断面工程図である。
【０００９】図１において、プリンタヘッド１には既述
したようにインク供給管２、インク供給室３、圧縮室
４、ノズル孔５用の溝が形成されている。これらの溝は
図２に示す工程によって形成される。即ち、同図(a)に
示すように活性エネルギー線硬化性樹脂を第１の基材１
０上にロールコーター、カーテンフローコーター、スク
リーン印刷、スプレーコーター、スピンコーター等によ
り塗布して活性エネルギー線硬化性樹脂層１１を形成す
る。次に同図(b)に示すように溝形成部分が遮光された
マスク１３を介して紫外線等の活性エネルギー線を照射
して後述のように選択的に樹脂層１１を半硬化させる。
更に同図(c)のごとく未照射部分を現像液を用いて除去
することで活性エネルギー線硬化性樹脂層１１ａを残余
させる。次いで、加熱処理によって樹脂層１１ａに粘着
性を付与させ、この状態で同図(e)に示すように樹脂層
１１ａ上にあらかじめ溝の形成された第２の基材１２を
位置合わせしながら重ねて圧着し、更に加熱するか又は
再度活性エネルギー線を照射して完全に硬化させること
により第１の基材１０と第２の基材１２とを接着してプ
リンタヘッド１を完成する。
したようにインク供給管２、インク供給室３、圧縮室
４、ノズル孔５用の溝が形成されている。これらの溝は
図２に示す工程によって形成される。即ち、同図(a)に
示すように活性エネルギー線硬化性樹脂を第１の基材１
０上にロールコーター、カーテンフローコーター、スク
リーン印刷、スプレーコーター、スピンコーター等によ
り塗布して活性エネルギー線硬化性樹脂層１１を形成す
る。次に同図(b)に示すように溝形成部分が遮光された
マスク１３を介して紫外線等の活性エネルギー線を照射
して後述のように選択的に樹脂層１１を半硬化させる。
更に同図(c)のごとく未照射部分を現像液を用いて除去
することで活性エネルギー線硬化性樹脂層１１ａを残余
させる。次いで、加熱処理によって樹脂層１１ａに粘着
性を付与させ、この状態で同図(e)に示すように樹脂層
１１ａ上にあらかじめ溝の形成された第２の基材１２を
位置合わせしながら重ねて圧着し、更に加熱するか又は
再度活性エネルギー線を照射して完全に硬化させること
により第１の基材１０と第２の基材１２とを接着してプ
リンタヘッド１を完成する。
【００１０】上記方法において、第１の基材１０は第２
の基材１２と同じくインク通路等が形成されたものであ
ってもよい。また、第２の基材１２には圧電素子の電極
が形成されていてもよく、更にこの電極は第２の基材１
２の第１の基材１０に面する側にあってもよく、また、
その反対側にあってもよい。また、同様にして第２の基
材１２に溝を形成しなければ第１の基材１０と第２の基
材１２とを接着させることができる。この場合、活性エ
ネルギー線硬化性樹脂にリソグラフィー法を適用せずに
そのまま第２の基材１２と接着することもできる。
の基材１２と同じくインク通路等が形成されたものであ
ってもよい。また、第２の基材１２には圧電素子の電極
が形成されていてもよく、更にこの電極は第２の基材１
２の第１の基材１０に面する側にあってもよく、また、
その反対側にあってもよい。また、同様にして第２の基
材１２に溝を形成しなければ第１の基材１０と第２の基
材１２とを接着させることができる。この場合、活性エ
ネルギー線硬化性樹脂にリソグラフィー法を適用せずに
そのまま第２の基材１２と接着することもできる。
【００１１】本発明に係る活性エネルギー線硬化性樹脂
としては、紫外線、電子線、Ｘ線等の活性エネルギー線
の照射により硬化し、その硬化物が加熱処理により接着
性を示すものであればよく、具体的には活性エネルギー
線の照射により硬化性を示すクレゾールノボラック型エ
ポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、グ
リシジルアミン型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ
樹脂及びそれらの臭素付加物から選ばれる少なくとも１
種と不飽和塩基酸とを反応させて得られるエステル化樹
脂と、光重合開始剤とを含有するものが使用でき、特に
クレゾールノボラック型エポキシ樹脂とフェノールノボ
ラック型エポキシ樹脂から選ばれる少なくとも１種と不
飽和塩基酸との反応で得られるエステル化樹脂と光重合
開始剤とを含有するものが好ましく使用することができ
る。この場合クレゾールノボラック型エポキシ樹脂はク
レゾールとホルムアルデヒドから得られるクレゾールノ
ボラック樹脂にエピクロルヒドリン若しくはメチルエピ
クロルヒドリンを反応させて得られ、また同様にしてフ
ェノールノボラック型エポキシ樹脂もフェノールとホル
ムアルデヒドから得たフェノールノボラック樹脂にエピ
クロルヒドリン若しくはメチルエピクロルヒドリンを反
応させて得ることができる。
としては、紫外線、電子線、Ｘ線等の活性エネルギー線
の照射により硬化し、その硬化物が加熱処理により接着
性を示すものであればよく、具体的には活性エネルギー
線の照射により硬化性を示すクレゾールノボラック型エ
ポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、グ
リシジルアミン型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ
樹脂及びそれらの臭素付加物から選ばれる少なくとも１
種と不飽和塩基酸とを反応させて得られるエステル化樹
脂と、光重合開始剤とを含有するものが使用でき、特に
クレゾールノボラック型エポキシ樹脂とフェノールノボ
ラック型エポキシ樹脂から選ばれる少なくとも１種と不
飽和塩基酸との反応で得られるエステル化樹脂と光重合
開始剤とを含有するものが好ましく使用することができ
る。この場合クレゾールノボラック型エポキシ樹脂はク
レゾールとホルムアルデヒドから得られるクレゾールノ
ボラック樹脂にエピクロルヒドリン若しくはメチルエピ
クロルヒドリンを反応させて得られ、また同様にしてフ
ェノールノボラック型エポキシ樹脂もフェノールとホル
ムアルデヒドから得たフェノールノボラック樹脂にエピ
クロルヒドリン若しくはメチルエピクロルヒドリンを反
応させて得ることができる。
【００１２】上記レゾールノボラック型エポキシ樹脂及
び／又はフェノールノボラック型エポキシ樹脂と反応す
る不飽和塩基酸としては、アクリル酸、メタクリル酸、
クロトン酸、マレイン酸、マレイン酸モノメチル、マレ
イン酸モノプロピル、マレイン酸モノブチル、ソルビン
酸等があり、これらは単独でも２種以上組み合わせて用
いてもよい。
び／又はフェノールノボラック型エポキシ樹脂と反応す
る不飽和塩基酸としては、アクリル酸、メタクリル酸、
クロトン酸、マレイン酸、マレイン酸モノメチル、マレ
イン酸モノプロピル、マレイン酸モノブチル、ソルビン
酸等があり、これらは単独でも２種以上組み合わせて用
いてもよい。
【００１３】上記エポキシ樹脂と不飽和塩基酸との反応
に用いるエステル化触媒としては、ジエチルアミン塩酸
塩、ジエチルアミン酢酸塩、トリエチルアミン等の２
級、３級アミン類が使用できる。
に用いるエステル化触媒としては、ジエチルアミン塩酸
塩、ジエチルアミン酢酸塩、トリエチルアミン等の２
級、３級アミン類が使用できる。
【００１４】このようにして得られた活性エネルギー線
反応性樹脂はアルカリ現像可能とするために、さらに上
記樹脂にフタル酸、無水フタル酸、マレイン酸、無水マ
レイン酸、シュウ酸、アジピン酸、クエン酸等の多塩基
酸を反応させるとよい。この場合、得られる樹脂の酸価
を５０〜１５０とすることが好ましい。
反応性樹脂はアルカリ現像可能とするために、さらに上
記樹脂にフタル酸、無水フタル酸、マレイン酸、無水マ
レイン酸、シュウ酸、アジピン酸、クエン酸等の多塩基
酸を反応させるとよい。この場合、得られる樹脂の酸価
を５０〜１５０とすることが好ましい。
【００１５】また光重合開始剤としては、例えばベンゾ
フェノン、４，４’−ジメチルアミノベンゾフェノン、
４，４’−ジエチルアミノベンゾフェノン、２−エチル
アントラキノン、tert−ブチルアントラキノン、ベンゾ
インエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテ
ル、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノ
ン、２，２−ジエトキシアセトフェノン、２−クロロチ
オキサントン、ジエチルチオキサントン、２−ヒドロキ
シ−２−メチルプロピオフェノン、４−イソプロピル−
２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオフェノンなどがあ
り、これらの内の一種または２種以上を前記エステル化
樹脂に対し２〜１０重量％の割合で配合するのが好まし
い。
フェノン、４，４’−ジメチルアミノベンゾフェノン、
４，４’−ジエチルアミノベンゾフェノン、２−エチル
アントラキノン、tert−ブチルアントラキノン、ベンゾ
インエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテ
ル、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノ
ン、２，２−ジエトキシアセトフェノン、２−クロロチ
オキサントン、ジエチルチオキサントン、２−ヒドロキ
シ−２−メチルプロピオフェノン、４−イソプロピル−
２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオフェノンなどがあ
り、これらの内の一種または２種以上を前記エステル化
樹脂に対し２〜１０重量％の割合で配合するのが好まし
い。
【００１６】また本発明の製造方法で用いられる上記の
活性エネルギー線硬化性樹脂は有機溶剤に溶解させた塗
布液の形で用いるのが実用的であり、このような溶剤と
してはエチレングリコールモノエチルエーテル、エチレ
ングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレン
グリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモ
ノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモ
ノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエ
ーテルアセテート、メチルエチルケトン、メチルイソブ
チルケトン、１，１，１−トリクロロエタン、トリクロ
ロエチレンなどの１種または２種以上を混合して用いる
ことができる。
活性エネルギー線硬化性樹脂は有機溶剤に溶解させた塗
布液の形で用いるのが実用的であり、このような溶剤と
してはエチレングリコールモノエチルエーテル、エチレ
ングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレン
グリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモ
ノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモ
ノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエ
ーテルアセテート、メチルエチルケトン、メチルイソブ
チルケトン、１，１，１−トリクロロエタン、トリクロ
ロエチレンなどの１種または２種以上を混合して用いる
ことができる。
【００１７】本発明の接着方法で用いる活性エネルギー
線硬化性樹脂は上記組成で使用可能であるが、熱圧着の
際、樹脂に柔軟性をもたせてクラック等の発生を防ぐた
めの柔軟剤、接着性を持たせる温度をコントロールする
ための接着性向上剤を加えることができる。
線硬化性樹脂は上記組成で使用可能であるが、熱圧着の
際、樹脂に柔軟性をもたせてクラック等の発生を防ぐた
めの柔軟剤、接着性を持たせる温度をコントロールする
ための接着性向上剤を加えることができる。
【００１８】このような柔軟剤としてはアクリレート
系、メタクリレート系、ウレタン系、スチレン系等の各
種モノマー、オリゴマーが使用される。
系、メタクリレート系、ウレタン系、スチレン系等の各
種モノマー、オリゴマーが使用される。
【００１９】また接着性向上剤としてはフェノールノボ
ラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキ
シ樹脂、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂が好適に用い
られる。この接着性向上剤は活性エネルギー線硬化性樹
脂固形分に対し５〜４０重量％、好ましくは１０〜２０
重量％の割合で配合することができる。
ラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキ
シ樹脂、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂が好適に用い
られる。この接着性向上剤は活性エネルギー線硬化性樹
脂固形分に対し５〜４０重量％、好ましくは１０〜２０
重量％の割合で配合することができる。
【００２０】この接着性向上剤は上記範囲の中で任意に
配合割合を変化させることによって、接着性の現れる温
度を自由にコントロールすることができるが接着性の現
れる温度は５０〜１２０℃が好ましい。接着性向上剤は
１２０℃以上ではエポキシ環が開くことによって硬化
し、活性エネルギー線硬化性樹脂の強度を上げることが
できる。
配合割合を変化させることによって、接着性の現れる温
度を自由にコントロールすることができるが接着性の現
れる温度は５０〜１２０℃が好ましい。接着性向上剤は
１２０℃以上ではエポキシ環が開くことによって硬化
し、活性エネルギー線硬化性樹脂の強度を上げることが
できる。
【００２１】更に活性エネルギー線硬化性樹脂には必要
に応じて慣用されている染料、顔料、重合禁止剤、消泡
剤等を加えることができる。
に応じて慣用されている染料、顔料、重合禁止剤、消泡
剤等を加えることができる。
【００２２】前記パターニングの際に照射する活性エネ
ルギー線の量は０．０５〜０．１５Ｊ／ｃｍ2 の強度で
照射される。照射強度がこれよりも少ない場合には照射
部分に十分な硬化性を与えることができず、多い場合に
は樹脂中の活性エネルギー線硬化成分が完全に硬化して
しまい接着性を得ることが難しくなり以後の工程に差し
支えるため好ましくない。
ルギー線の量は０．０５〜０．１５Ｊ／ｃｍ2 の強度で
照射される。照射強度がこれよりも少ない場合には照射
部分に十分な硬化性を与えることができず、多い場合に
は樹脂中の活性エネルギー線硬化成分が完全に硬化して
しまい接着性を得ることが難しくなり以後の工程に差し
支えるため好ましくない。
【００２３】このパターニングされ、現像された活性エ
ネルギー線硬化性樹脂層１１ａを加熱することによって
柔軟性及び粘着性を付与し、前記のように第１の基材１
０と第２の基材１２を重ね合わせ、温度５０〜１２０
℃、圧力１〜２０ｋｇ／ｃｍ2の範囲で熱圧着する。第
１の基材１０と第２の基材１２との密着性をより確実に
するために更に温度を１２０〜１８０℃に上げて数分間
熱圧着を続けてもよい。
ネルギー線硬化性樹脂層１１ａを加熱することによって
柔軟性及び粘着性を付与し、前記のように第１の基材１
０と第２の基材１２を重ね合わせ、温度５０〜１２０
℃、圧力１〜２０ｋｇ／ｃｍ2の範囲で熱圧着する。第
１の基材１０と第２の基材１２との密着性をより確実に
するために更に温度を１２０〜１８０℃に上げて数分間
熱圧着を続けてもよい。
【００２４】その後、全体を温度１２０℃〜２００℃の
範囲で加熱するか、又は１〜５Ｊ／ｃｍ2 の範囲で紫外
線等の活性エネルギー線の照射処理をし、樹脂を完全硬
化して接着させる。これによって第１の基材１０と第２
の基材１２とが強固に接着性され、且つ微細なインク通
路を有する構造が塞がれたり漏れを生ずることなく接着
が行われる。
範囲で加熱するか、又は１〜５Ｊ／ｃｍ2 の範囲で紫外
線等の活性エネルギー線の照射処理をし、樹脂を完全硬
化して接着させる。これによって第１の基材１０と第２
の基材１２とが強固に接着性され、且つ微細なインク通
路を有する構造が塞がれたり漏れを生ずることなく接着
が行われる。
【００２５】樹脂を硬化させる際に、活性エネルギー線
照射又は熱処理のどちらか一方でも充分な硬化性が得ら
れるが、両者を併用することにより硬化時間の短縮を図
ることが出来る。上記加熱硬化温度が１２０℃以下では
硬化が始まらず２００℃以上では樹脂が軟化してパター
ン形状が不正確になるため好ましくない。
照射又は熱処理のどちらか一方でも充分な硬化性が得ら
れるが、両者を併用することにより硬化時間の短縮を図
ることが出来る。上記加熱硬化温度が１２０℃以下では
硬化が始まらず２００℃以上では樹脂が軟化してパター
ン形状が不正確になるため好ましくない。
【００２６】上記本発明の方法により、再現性が良く、
安定で信頼性が高く、しかも高精細化が可能なプリンタ
ヘッドを提供することができる。
安定で信頼性が高く、しかも高精細化が可能なプリンタ
ヘッドを提供することができる。
【００２７】本発明の製造方法を更に具体的に説明す
る。次の化合物を混合して活性エネルギー線硬化性樹脂
を調製した。活性エネルギー線硬化性樹脂組成物 テトラヒドロ無水フタル酸付加フェノールノボラック型 エポキシアクリレート樹脂 7.5重量部 テトラヒドロ無水フタル酸付加クレゾールノボラック型 エポキシアクリレート樹脂 17.9重量部 クレゾールノボラック型エポキシ樹脂 （エピクロンN-673 大日本インキ化学工業社製） 14.4重量部 ウレタンオリゴマー（SR6138AE ダイセル化学工業社製） 8.3重量部 2-メチル[4-（メチルチオ）フェニル]-2-モルフォリノ-1-プロパン 1.8重量部 ジエチルチオキサントン 1.1重量部 プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 14.4重量部
る。次の化合物を混合して活性エネルギー線硬化性樹脂
を調製した。活性エネルギー線硬化性樹脂組成物 テトラヒドロ無水フタル酸付加フェノールノボラック型 エポキシアクリレート樹脂 7.5重量部 テトラヒドロ無水フタル酸付加クレゾールノボラック型 エポキシアクリレート樹脂 17.9重量部 クレゾールノボラック型エポキシ樹脂 （エピクロンN-673 大日本インキ化学工業社製） 14.4重量部 ウレタンオリゴマー（SR6138AE ダイセル化学工業社製） 8.3重量部 2-メチル[4-（メチルチオ）フェニル]-2-モルフォリノ-1-プロパン 1.8重量部 ジエチルチオキサントン 1.1重量部 プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 14.4重量部
【００２８】次いでセラミックからなる第１の基材１０
上に、上記活性エネルギー線硬化性樹脂の溶液をスピン
ナーにより塗布し、ホットプレート上で９０℃、５分間
乾燥して膜厚１０μmの活性エネルギー線硬化性樹脂層
１１を得た。
上に、上記活性エネルギー線硬化性樹脂の溶液をスピン
ナーにより塗布し、ホットプレート上で９０℃、５分間
乾燥して膜厚１０μmの活性エネルギー線硬化性樹脂層
１１を得た。
【００２９】次に、第１の基材１０の上から前記溝に対
応する遮光部を有するマスクを介して、０．１Ｊ／ｃｍ
2の紫外線を照射した後、液温２５℃の５重量％トリエ
タノールアミン水溶液に３分間浸漬して樹脂層１１の不
要部分を選択的に溶解除去しで樹脂層１１ａを形成し
た。
応する遮光部を有するマスクを介して、０．１Ｊ／ｃｍ
2の紫外線を照射した後、液温２５℃の５重量％トリエ
タノールアミン水溶液に３分間浸漬して樹脂層１１の不
要部分を選択的に溶解除去しで樹脂層１１ａを形成し
た。
【００３０】次いで樹脂層１１ａが粘着性及び柔軟性を
持つように第１の基材１０を８０℃で３分間加熱し、こ
の上から第２の基材１２を位置合わせして８０℃、２．
５ｋｇ／ｃｍ2で５分間熱圧着した。この後、加熱温度
を１５０℃に上昇して３０分間加熱して樹脂層１１ａを
完全に硬化させ、第１の基材１０と第２の基材１２とを
完全に接着させることで微細なインク通路を有するプリ
ンタヘッドを得ることができた。
持つように第１の基材１０を８０℃で３分間加熱し、こ
の上から第２の基材１２を位置合わせして８０℃、２．
５ｋｇ／ｃｍ2で５分間熱圧着した。この後、加熱温度
を１５０℃に上昇して３０分間加熱して樹脂層１１ａを
完全に硬化させ、第１の基材１０と第２の基材１２とを
完全に接着させることで微細なインク通路を有するプリ
ンタヘッドを得ることができた。
【００３１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の方法によ
れば接着剤を兼ねる活性エネルギー線硬化性樹脂を用い
るため、ノズル等、プリンタヘッドの微細なインク通路
を精密に形成し、これらのインク通路が閉塞したり漏洩
することがない。
れば接着剤を兼ねる活性エネルギー線硬化性樹脂を用い
るため、ノズル等、プリンタヘッドの微細なインク通路
を精密に形成し、これらのインク通路が閉塞したり漏洩
することがない。
【図１】本発明の方法に係る、基材上に形成したプリン
ダヘッド用インク通路を示す平面図
ダヘッド用インク通路を示す平面図
【図２】同、インク通路の形成過程を示す図１のＡ−Ａ
線における断面工程図
線における断面工程図
１…プリンタヘッド、２…インク供給管、３…インク供
給室、４…圧縮室、５…ノズル孔、１０…第１の基材、
１１…活性エネルギー線硬化性樹脂層、１２…第２の基
材。
給室、４…圧縮室、５…ノズル孔、１０…第１の基材、
１１…活性エネルギー線硬化性樹脂層、１２…第２の基
材。
Claims (4)
- 【請求項１】 液状又は泡状のインクをノズルから噴射
させて媒体上に画像を形成するインクジェット方式プリ
ンタのプリンタヘッドの製造方法において、第１の基材
上に活性エネルギー線硬化性樹脂による樹脂層を形成
し、必要によりこの樹脂層をリソグラフィー法によって
前記ノズルを形成するための溝を形成し、加熱処理によ
って粘着性を持たせた状態で樹脂層の上から、あらかじ
め前記ノズルを形成するための溝が形成された第２の基
材を載置、圧着し、最後に活性エネルギー線を再度照射
するか又は加熱処理を行うことによって樹脂層の硬化を
完了させ、第１の基材と第２の基材との接着を行うこと
を特徴とするプリンタヘッドの製造方法。 - 【請求項２】 液状又は泡状のインクをノズルから噴射
させて媒体上に画像を形成するインクジェット方式プリ
ンタのプリンタヘッドの製造方法において、あらかじめ
前記ノズルを形成するための溝が形成された第１の基材
上に活性エネルギー線硬化性樹脂による樹脂層を形成
し、第１の基材上の凸状部に樹脂層が残るようにリソグ
ラフィー法によってパターニングした後、加熱処理によ
って樹脂層に粘着性を持たせた状態で、前記ノズルに対
応する部分を前記樹脂層の厚さよりもやや厚くした第２
の基材を載置、圧着し、最後に活性エネルギー線を再度
照射するか又は加熱処理を行うことによって樹脂層の硬
化を完了させ、第１の基材と第２の基材との接着を行う
ことを特徴とするプリンタヘッドの製造方法。 - 【請求項３】 液状又は泡状のインクをノズルから噴射
させて媒体上に画像を形成するインクジェット方式プリ
ンタのプリンタヘッドの製造方法において、第１の基材
又は第２の基材上の少なくとも一方に活性エネルギー線
硬化性樹脂による樹脂層を形成し、リソグラフィー法に
よって前記ノズルを形成するための溝を形成した後、該
樹脂上に第２の基材を載置、圧着し、最後に活性エネル
ギー線を再度照射するか又は加熱処理を行うことによっ
て樹脂層の硬化を完了させ、第１の基材と第２の基材と
の接着を行うことを特徴とするプリンタヘッドの製造方
法。 - 【請求項４】 第１の基材上に活性エネルギー線硬化性
樹脂による樹脂層を形成し、必要によりリソグラフィー
法によってパターニングした樹脂層を加熱し、粘着性を
持たせた状態で樹脂層の上から第２の基材を載置、圧着
し、最後に活性エネルギー線を再度照射するか又は加熱
処理を行うことによって樹脂層の硬化を完了させ、第１
の基材と第２の基材との接着を行うことを特徴とする接
着方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21459492A JPH0631928A (ja) | 1992-07-20 | 1992-07-20 | プリンタヘッドの製造方法及び接着方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21459492A JPH0631928A (ja) | 1992-07-20 | 1992-07-20 | プリンタヘッドの製造方法及び接着方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0631928A true JPH0631928A (ja) | 1994-02-08 |
Family
ID=16658306
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21459492A Withdrawn JPH0631928A (ja) | 1992-07-20 | 1992-07-20 | プリンタヘッドの製造方法及び接着方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0631928A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5797467A (en) * | 1994-05-17 | 1998-08-25 | Watanabe; Masaei | Device for preventing an accelerator of a vehicle from being erroneously operated |
-
1992
- 1992-07-20 JP JP21459492A patent/JPH0631928A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5797467A (en) * | 1994-05-17 | 1998-08-25 | Watanabe; Masaei | Device for preventing an accelerator of a vehicle from being erroneously operated |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19991005 |