JPH06314831A - パルスレーザの電源装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】パルスレーザの電源装置において、フラッシュ
ランプに流れる電流波形を任意に可変制御できるように
する。 【構成】直流電源２で蓄電された大容量コンデンサ３よ
りスイッチ回路４を用いて電荷をパルス状に放電し、こ
の放電によってフラッシュランプ７に電流を供給してこ
れをパルス状に発光させ、この発光により発振素子９を
励起してレーザ光を発生させるパルスレーザの電源装置
において、スイッチ回路４に並列にスイッチ回路１４と
可変抵抗回路１５を接続する。また、コントロール回路
１３のパルス幅設定部１３ａでスイッチ回路４及び１４
による開閉時間を設定し、抵抗値設定部１３ｂで可変抵
抗回路１５の抵抗値を設定し、電圧設定部１３ｃで大容
量コンデンサ３の蓄電電圧を設定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、フラッシュランプで発
振素子を励起しレーザ光を発生させるパルスレーザ発振
器に係わり、特にフラッシュランプに流れる電流波形を
制御することが可能なパルスレーザの電源装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】ＹＡＧレーザ等の固体レーザを発振させ
るレーザ発振器は、レーザ発振を起こすＹＡＧロッド等
の発振素子と、そのロッドに光を照射して励起エネルギ
を与えるフラッシュランプとを備えており、フラッシュ
ランプをパルス状に発光させることによってパルス状の
レーザ光を発振させる。また、このフラッシュランプに
は直流電源と大容量コンデンサとスイッチ回路とが結線
されており、直流電源で予め蓄電した大容量コンデンサ
よりスイッチ手段を用いて電荷をパルス状に放電させ、
この放電によってフラッシュランプにパルスエネルギが
供給され、フラッシュランプがパルス状に発光する。こ
のフラッシュランプの出力は、スイッチ手段によるパル
ス状の放電時間と大容量コンデンサの蓄電電圧によって
制御される。

【０００３】上記のようなレーザ光を用いて例えば溶接
などの加工を行う場合、加工する材料や加工形状によっ
てフラッシュランプを流れる電流（以下、ランプ電流と
いう）のパルス波形の形状を変化させる制御、即ち波形
制御を行うと良質な加工ができるとされている。

【０００４】このようなランプ電流の波形制御を行う従
来の技術として、特開平４−１４４０９８号公報に記載
のものが知られている。この特開平４−１４４０９８号
公報においては、前述のような大容量コンデンサとスイ
ッチ回路とを用いてフラッシュランプを発光させる構成
に加え、コンデンサとコイルとスイッチング素子とで構
成される少なくとも２つの共振充電回路を大容量コンデ
ンサに並列接続しており、大容量コンデンサから放電さ
れる電流波形に共振充電回路より放電される電流波形を
合成することにより、ランプ電流の電流波形を制御して
いる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】前述のフラッシュラン
プに直流電源と大容量コンデンサとスイッチ回路とを単
純に結線しただけの構成では、ランプ電流は大容量コン
デンサの蓄電電圧に依存する自然放電のみとなるため、
その波形制御は不可能である。

【０００６】また、特開平４−１４４０９８号公報に記
載の構成においては、大容量コンデンサからの放電によ
りこれに並列接続された共振充電回路が充電され、この
共振充電回路が充電されるのを待って波形制御が行われ
ることになる。従って、この共振充電回路の充電中は波
形制御ができず、例えばパルスの立ち上がり点からの波
形制御ができない。また、共振充電回路の充電電圧は共
振充電回路に含まれるコイルのインダクタンスに依存す
るため、ランプ電流の波形制御の目的で上記充電電圧を
変更しようとするとコイルを取り替える必要がある。従
って、共振充電回路からの放電電流を任意に可変制御す
ることが困難である。

【０００７】本発明の目的は、フラッシュランプに流れ
る電流波形を任意に可変制御できるパルスレーザの電源
装置を提供することである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明によれば、直流電源で蓄電されたコンデンサ
より第１のスイッチ手段を用いて電荷をパルス状に放電
し、この放電によってフラッシュランプに電流を供給し
て前記フラッシュランプをパルス状に発光させ、この発
光により発振素子を励起してレーザ光を発生させるパル
スレーザの電源装置において、前記第１のスイッチ手段
に並列に接続された第２のスイッチ手段と、前記第２の
スイッチ手段に直列に接続されかつ前記第１のスイッチ
手段に並列に接続された可変抵抗回路と、前記第２のス
イッチ手段及び前記可変抵抗回路を流れる放電電流の波
形を可変制御する制御手段とを有することを特徴とする
パルスレーザの電源装置が提供される。

【０００９】上記パルスレーザの電源装置において、好
ましくは、前記制御手段が、前記第１のスイッチ手段に
よるパルス状の開閉時間及び前記第２のスイッチ手段に
よるパルス状の開閉時間をそれぞれ設定するパルス幅設
定部と、前記可変抵抗回路の抵抗値を設定する抵抗値設
定部と、前記直流電源による前記コンデンサの蓄電電圧
を設定する電圧設定部とを有する。

【００１０】また、好ましくは、前記第２のスイッチ手
段及び前記可変抵抗回路はそれぞれ複数個あり、各々の
第２のスイッチ手段に各々の可変抵抗回路が直列に接続
され、かつ各々の第２のスイッチ手段の入力端及び各々
の可変抵抗回路の出力端が互いに並列に接続されてい
る。

【００１１】

【作用】上記のように構成した本発明においては、ま
ず、コンデンサが直流電源で蓄電される。そして、第１
のスイッチ手段を閉じることにより上記コンデンサから
電荷がパルス状に放電され、この放電によってフラッシ
ュランプにパルス状の電流が供給される。この時の放電
電圧はコンデンサの蓄電電圧である。一方、第１のスイ
ッチ手段に並列に接続された第２のスイッチ手段を閉じ
ることにより、可変抵抗回路をも介して放電が行われ
る。この時、可変抵抗回路によって電圧降下が起こるた
め、第２のスイッチ手段及び可変抵抗回路を介して放電
される放電電圧は上記コンデンサの蓄電電圧よりも低く
なり、その電流は制限される。これら第１及び第２のス
イッチ手段によって放電された電流が合成されてフラッ
シュランプに供給され、フラッシュランプがパルス状に
発光する。このフラッシュランプの発光により発振素子
が励起されてレーザ光が発生する。また、制御手段にお
いて、例えば上記第２のスイッチ手段の開閉時間や可変
抵抗回路の抵抗値を変化させることにより、第２のスイ
ッチ手段及び可変抵抗回路を流れる放電電流の波形を制
御することが可能となる。従って、第１のスイッチ手段
を介して流れる電流と第２のスイッチ手段を介して流れ
る電流を合成して得られる電流、即ちフラッシュランプ
に流れるランプ電流の電流波形を任意に可変制御するこ
とが可能となる。

【００１２】また、上記制御手段において、第１及び第
２のスイッチ手段によるパルス状の開閉時間がパルス幅
設定部によってそれぞれ設定されることにより、第１の
スイッチ手段を介して流れる電流と第２のスイッチ手段
を介して流れる電流の放電時間がそれぞれ制御される。
また、抵抗値設定部で可変抵抗回路の抵抗値が設定され
ることにより、可変抵抗回路の出力側の電圧が制御さ
れ、この電圧によって第２のスイッチ手段及び可変抵抗
回路を流れる放電電流の電流値が制御される。さらに、
上記コンデンサの蓄電電圧が電圧設定部で設定されるこ
とにより、第１のスイッチ手段を介して放電される放電
電圧が制御され、その電流値が制御される。

【００１３】また、複数個の第２のスイッチ手段及び可
変抵抗回路を設け、各々の第２のスイッチ手段と各々の
可変抵抗回路を直列に接続し、かつ各々の第２のスイッ
チ手段の入力端及び各々の可変抵抗回路の出力端を互い
に並列に接続することにより、第２のスイッチ手段と可
変抵抗回路とで構成される回路が複数個並列に結線され
ることになる。従って、第２のスイッチ手段及び可変抵
抗回路で構成される各々の回路を流れる放電電流の波形
を別個に制御すれば、各々の電流波形を合成することに
よりフラッシュランプに流れるランプ電流の電流波形を
さらに複雑に可変制御することが可能となる。

【００１４】

【実施例】本発明によるパルスレーザの電源装置の一実
施例について、図１及び図２を参照しながら説明する。
図１は、本実施例のパルスレーザの電源装置の構成図で
ある。図１においてパルスレーザの電源装置は、商用電
源１と、商用電源１からの交流電流を直流に整流し供給
する直流電源２と、レーザ光を発振するレーザ発振器１
２と、直流電源２及びレーザ発振器１２の間の回路を構
成する大容量コンデンサ３、スイッチ回路４、シマー回
路５、及びトリガ回路６と、スイッチ回路４に並列に接
続されたスイッチ回路１４と、スイッチ回路１４に直列
に接続されかつスイッチ回路４に並列に接続された可変
抵抗回路１５と、装置全体の制御を行う制御手段として
のコントロール回路１３とを有する。また、上記スイッ
チ回路１４及び可変抵抗回路１５は電流波形制御回路２
０を構成する。

【００１５】コントロール回路１３は、スイッチ回路４
及びスイッチ回路１４におけるパルス状の開閉時間、即
ちパルス幅を設定するパルス幅設定部１３ａと、可変抵
抗回路１５の抵抗値を設定する抵抗値設定部１３ｂと、
直流電源２の電圧、即ち大容量コンデンサ３の蓄電電圧
を設定する電圧設定部１３ｃと、上記各設定部における
パルス幅や抵抗値や電圧等の設定値を外部から入力する
入力部１３ｄとを備える。

【００１６】レーザ発振器１２は、光励起型の固体レー
ザであり、クリプトンランプやキセノンランプ等からな
る励起用のフラッシュランプ７を発光させると、そのエ
ネルギによってＹＡＧロッド等の発振素子９がレーザ光
を発生する。レーザ光はエンドミラー８と出力ミラー１
０との間で共振し、ある強度に達すると出力ミラー１０
から外部に出ていく。

【００１７】フラッシュランプ７にはシマー回路５によ
り予め設定された電圧（シマー電圧）が印加され、この
状態のフラッシュランプ７のまわりのトリガ電極１３に
トリガ回路６で電場をかけることによりフラッシュラン
プ７にシマー電流が流されている。このシマー電流は、
フラッシュランプ７が安定して発光しレーザ発振が安定
に行えるように予め流される微弱な電流である。

【００１８】以上の構成において、運転時には以下のよ
うな動作が行われる。まず、商用電源１から例えばＡＣ
２００（Ｖ）の電力が電流電源２に供給され、直流電源
２によって交流が直流に整流され、コントロール回路１
３の電圧設定部１３ｃからの信号により、予め設定され
た電圧で大容量コンデンサ３が蓄電される。大容量コン
デンサ３が蓄電されると、スイッチ回路４は、コントロ
ール回路１３のパルス幅設定部１３ａからのコントロー
ル信号Ｓ₁により、予め設定されたパルス幅で回路を閉
じ大容量コンデンサ３に蓄えられた電荷をパルス状に放
電する。この放電によってフラッシュランプにパルス状
に電流が供給される。

【００１９】一方、スイッチ回路１４は、コントロール
回路１３のパルス幅設定部１３ａからのコントロール信
号Ｓ₂により、スイッチ回路４と同様に予め設定された
パルス幅で回路を閉じ大容量コンデンサ３に蓄えられた
電荷をパルス状に放電する。但し、このパルス幅はスイ
ッチ回路４に対して設定されたものとは異なる。また、
スイッチ回路１４に直列に接続されている可変抵抗回路
１５の抵抗値は予めコントロール回路１３の抵抗値設定
部１３ｂからコントロール信号Ｔ₁によって設定されて
おり、この可変抵抗回路１５によって電圧降下が起こる
ため、電流波形制御回路２０を介して放電される放電電
圧は大容量コンデンサ３の蓄電電圧よりも低くなり、そ
の放電電流は制限される。このため、スイッチ回路４を
介して放電されフラッシュランプ７に供給される電流値
と電流波形制御回路２０を介して放電されフラッシュラ
ンプ７に供給される電流値とは異なる。そして、スイッ
チ回路４及び電流波形制御回路２０をそれぞれ介して放
電された電流が合成され、ランプ電流としてフラッシュ
ランプ７に流れる。

【００２０】フラッシュランプ７には前述のように予め
シマー電流が流されており、この状態で上記ランプ電流
が供給されることにより、フラッシュランプ７は発光す
る。このフラッシュランプ７の発光により発振素子９は
パルスエネルギを得、励起されてパルス状にレーザ光を
発生する。

【００２１】図２はこの時の電流波形が形成される過程
の一例を説明する図である。パルス幅設定部１３ａから
図２（ａ）に示すパルス幅のコントロール信号（短形パ
ルス信号）Ｓ₁がスイッチ回路４に入力されるとスイッ
チ回路４はそのパルス幅に相当する時間間隔だけ回路を
閉じ、大容量コンデンサ３から電流がフラッシュランプ
７に流れる。この放電電圧は図２（ｂ）に示すように大
容量コンデンサ３の充電電圧Ｖ₁となる。そして、図２
（ｃ）に示すように、この電圧Ｖ₁に応じた電流Ｉ₁がフ
ラッシュランプに供給される。

【００２２】またパルス幅設定部１３ａから図２（ｄ）
に示すパルス幅のコントロール信号（短形パルス信号）
Ｓ₂がスイッチ回路１４に入力されるとスイッチ回路１
４はそのパルス幅に相当する時間間隔だけ回路を閉じ、
大容量コンデンサ３から電流がフラッシュランプ７に流
れる。ここで、スイッチ回路１４に直列に可変抵抗回路
１５が接続されているため、この時の放電電圧は図２
（ｅ）に示すように大容量コンデンサ３の充電電圧Ｖ₁
よりも低い電圧Ｖ₂となる。そして、図２（ｆ）に示す
ように、この電圧Ｖ₂に応じた電流Ｉ₂が電流波形制御回
路２０を介してフラッシュランプに供給される。

【００２３】上記スイッチ回路４を介して放電された電
流Ｉ₁と電流波形制御回路２０を介して放電された電流
Ｉ₂とは合成され、ランプ電流Ｉ_Lの電流波形は図２
（ｇ）のようになり、フラッシュランプ７にはスイッチ
回路４が閉になっている間だけ電流Ｉ₁が流れ、他の期
間は電圧Ｖ₂によって電流Ｉ₁よりも少量の電流Ｉ₂が流
れることになる。実際の運転時においては、ある一定の
パルスレーザの周期、従ってパルスレーザの周波数が入
力部１３ｄより予め入力されており、この周期毎に上記
説明した動作、即ち電圧設定部１３ｃ、パルス幅設定部
１３ａ、抵抗値設定部１３ｂからの各設定値に基づく信
号の出力、大容量コンデンサ３の蓄電、スイッチ回路４
を介しての放電、電流波形制御回路２０を介しての放電
が行われ、波形の制御が行われたランプ電流Ｉ_Lが一定
周期でパルス状にフラッシュランプ７に流れ、レーザ光
が一定周期でパルス状に発振する。

【００２４】また、パルス幅設定部１３ａにおけるコン
トロール信号Ｓ₁及びコントロール信号Ｓ₂のパルス幅は
それぞれ任意に設定可能であり、しかも可変抵抗回路１
５の抵抗値は抵抗値設定部１３ｂからのコントロール信
号Ｔ₁により任意に可変制御が可能であることにより、
フラッシュランプ７に流れるランプ電流Ｉ_Lの電流波形
を任意に可変制御することができる。さらに、電圧設定
部１３ｃにおいて設定される大容量コンデンサ３の充電
電圧Ｖ₁を変化させることにより電流Ｉ₁及びＩ₂、従っ
てランプ電流Ｉ_Lの大きさを変化させることができる。

【００２５】以上のように本実施例においては、パルス
幅設定部１３ａからのコントロール信号Ｓ₂によってス
イッチ回路１４を閉じると可変抵抗回路１５で電圧降下
が起こるので、電流波形制御回路２０を介して放電され
る放電電圧Ｖ₂はコンデンサの蓄電電圧Ｖ₁よりも低くな
り、その電流Ｉ₂はスイッチ回路４を介して放電される
電流Ｉ₁よりも小さくなる。また、パルス幅設定部１３
ａによって電流Ｉ₂のパルス幅が設定可能であり、抵抗
値設定部１３ｂによって可変抵抗回路１５の抵抗値が可
変制御可能であるので、電流Ｉ₂の波形を任意に可変制
御できる。さらに、電流Ｉ₁の波形はパルス幅設定部１
３ａ及び電圧設定部１３ｃで設定可能である。従って、
電流Ｉ₁及びＩ₂を合成したフラッシュランプ７に流れる
ランプ電流Ｉ_Lの電流波形を任意に可変制御することが
できる。

【００２６】本発明によるパルスレーザの電源装置の他
の実施例について、図３及び図４を参照しながら説明す
る。本実施例においては、図３に示すようにスイッチ回
路１４ａに可変抵抗回路１５ａが直列に接続され、スイ
ッチ回路１４ａの入力端と可変抵抗回路１５ａの出力端
とがスイッチ回路１４及び可変抵抗回路１５に並列に接
続される。従って、図１のスイッチ回路１４及び可変抵
抗回路１５で構成される電流波形制御回路２０にスイッ
チ回路１４ａ及び可変抵抗回路１５ａで構成される電流
波形制御回路２１が並列に結線されることになる。ま
た、コントロール回路１３のパルス幅設定部１３ａはコ
ントロール信号Ｓ₃によってスイッチ回路１４ａにおけ
るパルス状の開閉時間、即ちパルス幅を設定し、抵抗値
設定部１３ｂはコントロール信号Ｔ₂によって可変抵抗
回路１５ａの抵抗値を設定する。これ以外の構成は図１
と同様である。但し、コントロール信号Ｓ₃のパルス幅
及びコントロール信号Ｔ₂による抵抗値は、コントロー
ル信号Ｓ₂のパルス幅及びコントロール信号Ｔ₁による抵
抗値とは独立に設定される。

【００２７】上記構成において、図１と同様に大容量コ
ンデンサ３が蓄電された後、スイッチ回路４により、パ
ルス幅設定部１３ａからのコントロール信号Ｓ₁に従っ
て予め設定されたパルス幅で電荷をパルス状に放電す
る。また、スイッチ回路１４により、やはり図１と同様
にパルス幅設定部１３ａからのコントロール信号Ｓ₂に
従って電流波形制御回路２０を介して放電が行われ、さ
らにこれに加え、パルス幅設定部１３ａからのコントロ
ール信号Ｓ₃に従って、スイッチ回路１４ａが閉じられ
て電流波形制御回路２１を介して放電が行われる。この
電流波形制御回路２１においても可変抵抗回路１５ａに
よって電圧降下が起こるため、電流波形制御回路２１を
介して放電される放電電圧は大容量コンデンサ３の蓄電
電圧よりも低くなり、その放電電流は制限される。そし
て、スイッチ回路４、電流波形制御回路２０及び電流波
形制御回路２１をそれぞれ介して放電された電流が合成
され、ランプ電流としてフラッシュランプ７に流れる。

【００２８】図４はこの時の電流波形の一例を説明する
図である。図４において、スイッチ回路４を介して放電
される電流Ｉ₁は前述と同様に（ａ）のような波形にな
り、電流波形制御回路２０を介して放電される電流Ｉ₂
は前述と同様に（ｂ）のような波形になる。また、電流
波形制御回路２１を介して放電される電流Ｉ₃は電流Ｉ₂
と同様に可変抵抗回路１５ａで制限され図４（ｃ）のよ
うな波形になる。そして、スイッチ回路４を介して放電
された電流Ｉ₁と電流波形制御回路２０を介して放電さ
れた電流Ｉ₂と電流波形制御回路２１を介して放電され
た電流Ｉ₃とが合成され、ランプ電流Ｉ_Lの電流波形は図
４（ｄ）のようになる。

【００２９】実際の運転時においては、ある一定のパル
スレーザの周期、従ってパルスレーザの周波数が入力部
１３ｄより予め入力されており、この周期毎に上記説明
した動作が行われ、波形の制御が行われたランプ電流Ｉ
_Lが一定周期でパルス状にフラッシュランプ７に流れ、
レーザ光が一定周期でパルス状に発振する。

【００３０】また、図１の場合と同様に、パルス幅設定
部１３ａにおけるコントロール信号Ｓ₁，Ｓ₂，Ｓ₃のパ
ルス幅はそれぞれ任意に設定可能であり、しかも可変抵
抗回路１５及び１５ａの抵抗値は抵抗値設定部１３ｂか
らのコントロール信号Ｔ₁及びＴ₂によりそれぞれ任意に
可変制御が可能であることにより、フラッシュランプ７
に流れるランプ電流Ｉ_Lの電流波形を任意に可変制御す
ることができる。さらに、電圧設定部１３ｃにおいて設
定される大容量コンデンサ３の充電電圧Ｖ_１を変化させ
ることにより電流Ｉ_１，Ｉ₂，Ｉ₃の大きさを変化させる
ことができ、ランプ電流Ｉ_Lの大きさを変化させること
ができる。さらに、本実施例では、電流波形制御回路２
１を設けることにより、図１及び図２の場合よりも複雑
な可変制御を行うことができる。

【００３１】尚、本実施例では２つの電流波形制御回路
２０及び２１を設けたが、スイッチ回路と可変抵抗回路
とで構成される電流波形制御回路を３個以上設け、それ
ぞれを別個に制御してもよい。このようにすれば、各々
の電流波形を合成することによりフラッシュランプに流
れるランプ電流の電流波形をさらに複雑に可変制御する
ことが可能となる。

【００３２】以上のように本実施例によれば、２つの電
流波形制御回路２０及び２１を設けるので、フラッシュ
ランプ７に流れるランプ電流Ｉ_Lの電流波形を複雑に可
変制御することができる。また、３個以上の電流波形制
御回路を設ければ、各々の電流波形を合成することによ
りフラッシュランプに流れるランプ電流の電流波形をさ
らに複雑に可変制御することが可能となる。

【００３３】

【発明の効果】本発明によれば、第１のスイッチ手段に
並列に第２のスイッチ手段及び可変抵抗回路を設け、第
２のスイッチ手段の開閉時間や可変抵抗回路の抵抗値を
変化させるので、第２のスイッチ手段及び可変抵抗回路
を流れる放電電流の波形を制御することができ、従っ
て、第１のスイッチ手段を介して流れる電流と第２のス
イッチ手段を介して流れる電流を合成して得られるラン
プ電流の電流波形を任意に可変制御することができる。

【００３４】また、複数個の第２のスイッチ手段及び可
変抵抗回路を設け、各々の第２のスイッチ手段と可変抵
抗回路とで構成される回路を複数個並列に結線し、各々
の回路を流れる放電電流の波形を別個に制御するので、
フラッシュランプに流れるランプ電流の電流波形をさら
に複雑に可変制御することができる。

【００３５】従って、本発明によれば、パルスレーザ発
振器においてフラッシュランプに流れる電流波形を任意
に可変制御することができ、例えばレーザ光を用いた溶
接を行う場合に良質な加工を行うための最適な入熱条件
を実現することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例によるパルスレーザの電源装
置の構成図である。

【図２】図１のパルスレーザの電源装置において電流波
形が形成される過程の一例を説明する図である。

【図３】本発明の他の実施例によるパルスレーザの電源
装置の構成図である。

【図４】図３のパルスレーザの電源装置において形成さ
れる電流波形の一例を説明する図である。

【符号の説明】

２ 直流電源 ３ 大容量コンデンサ ４ スイッチ回路 ７ フラッシュランプ ９ 発振素子 １２ レーザ発振器 １３ コントロール回路 １３ａ パルス幅設定部 １３ｂ 抵抗値設定部 １３ｃ 電圧設定部 １３ｄ 入力部 １４，１４ａ スイッチ回路 １５，１５ａ 可変抵抗回路 ２０，２１ 電流波形制御回路

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 直流電源で蓄電されたコンデンサより第
   １のスイッチ手段を用いて電荷をパルス状に放電し、こ
   の放電によってフラッシュランプに電流を供給して前記
   フラッシュランプをパルス状に発光させ、この発光によ
   り発振素子を励起してレーザ光を発生させるパルスレー
   ザの電源装置において、 前記第１のスイッチ手段に並列に接続された第２のスイ
   ッチ手段と、前記第２のスイッチ手段に直列に接続され
   かつ前記第１のスイッチ手段に並列に接続された可変抵
   抗回路と、前記第２のスイッチ手段及び前記可変抵抗回
   路を流れる放電電流の波形を可変制御する制御手段とを
   有することを特徴とするパルスレーザの電源装置。
2. 【請求項２】 前記制御手段は、前記第１のスイッチ手
   段によるパルス状の開閉時間及び前記第２のスイッチ手
   段によるパルス状の開閉時間をそれぞれ設定するパルス
   幅設定部と、前記可変抵抗回路の抵抗値を設定する抵抗
   値設定部と、前記直流電源による前記コンデンサの蓄電
   電圧を設定する電圧設定部とを有することを特徴とする
   請求項１記載のパルスレーザの電源装置。
3. 【請求項３】 前記第２のスイッチ手段及び前記可変抵
   抗回路はそれぞれ複数個あり、各々の第２のスイッチ手
   段に各々の可変抵抗回路が直列に接続され、かつ各々の
   第２のスイッチ手段の入力端及び各々の可変抵抗回路の
   出力端が互いに並列に接続されていることを特徴とする
   請求項１記載のパルスレーザの電源装置。