JPH06312190A - フッ素化合物含有排水の処理方法 - Google Patents

フッ素化合物含有排水の処理方法

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JPH06312190A
JPH06312190A JP12534393A JP12534393A JPH06312190A JP H06312190 A JPH06312190 A JP H06312190A JP 12534393 A JP12534393 A JP 12534393A JP 12534393 A JP12534393 A JP 12534393A JP H06312190 A JPH06312190 A JP H06312190A
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Abstract

(57)【要約】 【構成】 F- 含有排水の処理においてその処理系統を
原水の1部分の系統と原水の大部分の系統とに分割し、
前者の原水の1部分の系統にCa++の全量を添加して反
応を行わしめ、その反応液をそのまま原水の大部分の系
統に合流させて反応を行わしめて含有F- をCaF2
して除去する。 【効果】 特に処理の難しい低濃度F- 含有排水を含め
たF- 含有排水に対し、安定な処理効果が得られ、しか
も処理水中の残存Ca++濃度を低減できる効果を有して
いる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は電子産業等から排出され
るフッ素化合物含有排水の処理方法、具体的にはフッ化
カルシウム析出反応を利用するフッ素化合物含有排水の
処理方法及びその処理設備に関するものである。
【0002】
【従来の技術】半導体ウエハや液晶基板等の電子部品を
製造する工程や金属表面加工処理工程から排出されるフ
ッ素化合物含有排水、あるいは火力発電所の排煙脱硫装
置から排出されるフッ素化合物含有排水中のフッ素化合
物を除去する方法としては一般に次のような方法が採用
されている。
【0003】即ち、図2に示されるようにフッ素化合物
含有排水(以下単にF含有排水と称する)が流入管(2
1)を経て反応槽(11)に入り、ここでカルシウム塩水
溶液添加管(22)を経てCa++を添加すると共に、pH
調整剤添加管(23)を経てpH調整剤を添加することに
よってpHを中性付近に調整しながらF含有排水中のフ
ッ素イオンをカルシウムイオンと反応させてCaF2
合物を生成析出させ、この反応液はそのまま管(24)を
経て凝集槽(13)に流入し、ここで凝集剤添加管(26)
を経て凝集剤を添加すると共にpH調整管(27)を経て
pH調整剤を添加してpH調整を行いながらCaF2
析出物を凝集後、管(25)を経て沈降分離槽(14)にて
汚泥(28)と処理水(29)とに固液分離する。なお、凝
集槽(13)は必ずしも必要でなく、省略する場合もあ
る。上記のCa++としては一般的にCaCl2 ,Ca
(OH)2 ,CaCO3 などが使われる。
【0004】また、凝集槽(13)では、凝集剤としてP
AC(ポリ塩化アルミニウム)又は硫酸バンドがよく使
用され、また多くの場合は凝集助剤として有機高分子凝
集剤を併用して、効果的な固液分離をはかっている。最
近、沈降分離槽のかわりに膜分離装置を使用する動きも
ある。また、PAC又は硫酸バンドの使用目的は固液分
離の促進だけでなく、共沈効果によるF- の一層の除去
を図るものでもある。
【0005】ここでCaF2 の生成反応は で表され、その20℃での溶解度積KはK=[Ca++
[F- 2 =3.45×10-11である。しかし、実際の排水
ではCa++とF- の反応生成物CaF2 は溶解度積にし
たがって析出することがなく、常に準安定な過飽和状態
として溶液に存在する。そのため、過剰なカルシウムイ
オンを投入してCaF2 の過飽和状態を破壊し、CaF
2 の析出反応を促進することは一般的なやり方である。
それでも満足な結果が得られない場合、過剰な無機凝集
剤の添加や図2に示したような処理プロセスをもう一段
加えることなどのような方法がとられている。
【0006】しかし、上記のような方法は、処理効果は
満足できるものの、薬品のむだ遣い、汚泥処理量の増
加、処理水中に高濃度のカルシウムイオンの残存又は設
備投資の増加などの問題点を抱えている。また、Ca++
とF- との反応式から分るように、F- 濃度が低下すれ
ばするほど、CaF2 の過飽和状態を破壊するために投
入するCa++の量は2乗の関係で増加する。従って低濃
度のF- (例えば20〜30mgF- /リットル)を除去する
ために、反応槽内を非常に高いCa++濃度(例えば1000
mgCa++/リットル以上)としないと、F- はCaF2
析出物として除去されることがない。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】本発明は前述の従来の
フッ素化合物除去に際して存在する問題点、即ち処理
水中の残存Ca++濃度が高い、低濃度フッ素化合物含
有排水の処理が不安定である等の問題点を解決するため
になされたもので、特に通常処理し難いと思われている
- 含有濃度が20〜100 mg/リットルの排水を処理する
場合に効果が顕著である。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の要旨とする所は
フッ素化合物含有排水にCa塩を添加して排水中の含有
フッ素化合物をフッ化カルシウムとして除去するに当
り、フッ素化合物含有排水の1部に添加すべきCa塩の
全量を添加、反応せしめ、この反応液を残余の大部分の
フッ素含有排水中に添加、反応せしめ、然る後固液分離
を行うことを特徴とするフッ素化合物含有排水の処理方
法、及びフッ素含有排水の1部にフッ素含有排水の全量
に添加すべきCa塩の全量を添加して反応させるための
第1反応槽と、フッ素含有排水の残余の大部分と第1反
応槽からの反応液とを合流して反応せしめるための第2
反応槽とを固液分離装置の前段に備えていることを特徴
とするフッ素化合物含有排水の処理設備に係わるもの
で、これにより所期の目的を達したものである。上記に
おいて第1反応槽への排水の分注率は排水の初期フッ素
含有濃度にもよるが一般的には5〜50%、好ましくは10
〜30%の範囲で適宜に決められる。
【0009】
【作用】本発明はF含有排水の原水を、原水の1部を注
入する第1反応槽と原水の大部分を注入する第2反応槽
とに分注すると共に第1反応槽に原水の全量に添加すべ
きCa++の全量を投入することにより第1反応槽でのC
++濃度を高めてCaF2 析出反応を促進せしめ、さら
に第1反応槽で得られたCaF2 生成物を含む反応液を
凝集処理することなしにそのまま第2反応槽へ導入す
る。第2反応槽では、直接に第2反応槽へ送られてくる
大部分の原水中のF- と、第1反応槽で反応後残ったC
++との析出反応が第1反応槽から送られるCaF2
成物によって促進され、その結果、安定かつ効果的にF
- は除去されるようになる。
【0010】従来においても特開昭51-86069号公報に見
られるようにフッ素を含む廃液に、フッ素とカルシウム
化合物との反応生成物、或いはフッ素を含む廃液を処理
して得られた沈殿物をシードとして添加し処理するフッ
素含有廃液の処理方法は公知であるが、この場合にはフ
ッ素を含む廃液に、フッ化カルシウム等の固体或いはフ
ッ素を含む廃液にCa塩を添加し凝集処理して得られた
沈殿物を夫々添加するものである。一方本発明はF含有
排水の原水を1部と大部分の2系統に分割し、一方の1
部分の原水系統にCa塩の全量を添加することによって
Ca++濃度を高めてCaF2 析出反応を促進させ、析出
したCaF2 生成物を含む反応液を凝集処理せずにその
まま他方の大部分の原水系統に合流させて、前者の系統
からのCaF2 生成物によりその残部のCa++と後者の
系統のF- との析出反応を促進せしめることによって安
定なフッ素処理を行い、次いで固液分離するものであ
り、前述した従来方法とは構成、効果共に異なったもの
である。
【0011】即ち本発明では一方の1部分の原水の系統
に全原水に対応するCa塩の全量を添加し生成したばか
りのCaF2 即ちゾル状のCaF2 をそっくりそのまま
他方の大部分の原水の系統に合流させてゾル状のCaF
2 の表面で晶析を行わせて安定したF- 処理を行うこと
が特徴であって、これにより特に処理が難しい低濃度F
- 含有排水の処理に優れた除去効果を示し処理水中の残
存Ca++濃度も低減できるものである。
【0012】
【実施例】本発明を図1を用いて具体的に説明すると、
F含有排水は従来のように全部第1反応槽(11)に流入
させるのではなく、流入管(21)と(21′)に分岐せし
めそれぞれを第1反応槽(11)と第2反応槽(12)に入
るようにする。流入管(21)と(21′)に流れる排水の
割合は0.05〜0.5 : 0.5〜0.95、好ましくは 0.1〜0.3
: 0.7〜0.9 である。第1反応槽では、排水の1部と
添加すべき全量のCa++が入るので溶液中のCa++濃度
は極めて高濃度となり、そのためCaF2が速やかに析
出する。なおCaF2 生成反応においては、pHが4以
上になれば、pHはCaF2 析出反応にほとんど影響し
ないため、第1反応槽のpHは必要に応じて5〜12の間
に調整すればよい。また、第2反応槽のpH調整は、第
2反応槽におけるpHがほぼ中性となるように第1反応
槽で予め過剰量のpH調整剤を添加するようにしても、
または第2反応槽にpH調整剤を添加して新ためて調整
しても、どちらでもよいが、具体的には排水の安定性、
設備の問題、又は使用する薬品によって適宜に決めれば
よい。またCaF2 の生成は化学反応なので本質的には
瞬間的に反応する。
【0013】従って、第1反応槽での滞留時間は2〜10
分にし、第2反応槽での滞留時間は析出反応を完全に行
わせる見地から、20〜40分程度にするのがよい。第2反
応槽以降の凝集槽、沈降分離槽については前記図2の場
合と同様である。なお、凝集沈殿部分は必要に応じて他
の固液分離手段、例えば凝集処理と膜分離装置との組合
せ又は凝集処理を省略して単に膜分離装置に変えてもよ
い。
【0014】
【発明の効果】表1に本発明の効果を示してある。第1
反応槽の排水流入率が1、つまり一段だけの従来式処理
法では、原水F- が50mg/リットルの場合、 150mg/リ
ットルのCa++が存在してもCaF2 沈殿反応は起らな
い。初期Ca++濃度を 500mg/リットルまで上げるとF
- が9mg/リットルまで減少したが、残留Ca++濃度が
450 mg/リットルぐらいあるので、処理水によるスケー
ルの問題がある。また、Ca++濃度を正確に調整するの
は実際には不可能なので、安定な処理水質を得るには、
一般的にCa++濃度をさらに上げるか、無機凝集剤を過
剰に添加するしか方法がない。一方、本発明の二段処理
の方法を用いると、前記従来法におけるCa++濃度 150
mg/リットルの場合と同じCaCl2 添加量において、
第1反応槽の排水流入率が 0.1と 0.3のいずれの場合も
残留Ca++が約 110mg/リットルという低い濃度下で非
常によい処理効果が得られた。
【0015】
【表1】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施態様の一例を示すフローの説明図
である。
【図2】従来のフローの説明図である。
【符号の説明】 11 第1反応槽 12 第2反応槽 13 凝集槽 14 沈降分離槽 21 F- 含有排水
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成6年1月31日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0003
【補正方法】変更
【補正内容】
【0003】即ち、図2に示されるようにフッ素化合物
含有排水(以下単にF含有排水と称する)が流入管(2
1)を経て反応槽(11)に入り、ここでCa++ 水溶
液添加管(22)を経てCa++を添加すると共に、p
H調整剤添加管(23)を経てpH調整剤を添加するこ
とによってpHを中性付近に調整しながらF含有排水中
のフッ素イオンをカルシウムイオンと反応させてCaF
化合物を生成析出させ、この反応液はそのまま管(2
4)を経て凝集槽(13)に流入し、ここで凝集剤添加
管(26)を経て凝集剤を添加すると共にpH調整管
(27)を経てpH調整剤を添加してpH調整を行いな
がらCaFの析出物を凝集後、管(25)を経て沈降
分離槽(14)にて汚泥(28)と処理水(29)とに
固液分離する。なお、凝集槽(13)は必ずしも必要で
なく、省略する場合もある。上記のCa++としては一
般的にCaCl,Ca(OH),CaCOなどが
使われる。
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0008
【補正方法】変更
【補正内容】
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の要旨とする所は
フッ素化合物含有排水にCa++ を添加して排水中の含
有フッ素化合物をフッ化カルシウムとして除去するに当
り、フッ素化合物含有排水の1部に添加すべきCa++
の全量を添加、反応せしめ、この反応液を残余の大部分
のフッ素含有排水中に添加、反応せしめ、然る後固液分
離を行うことを特徴とするフッ素化合物含有排水の処理
方法、及びフッ素含有排水の1部にフッ素含有排水の全
量に添加すべきCa++ の全量を添加して反応させるた
めの第1反応槽と、フッ素含有排水の残余の大部分と第
1反応槽からの反応液とを合流して反応せしめるための
第2反応槽とを固液分離装置の前段に備えていることを
特徴とするフッ素化合物含有排水の処理設備に係わるも
ので、これにより所期の目的を達したものである。上記
において第1反応槽への排水の分注率は排水の初期フッ
素含有濃度にもよるが一般的には5〜50%、好ましく
は10〜30%の範囲で適宜に決められる。
【手続補正4】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0010
【補正方法】変更
【補正内容】
【0010】従来においても特開昭51−86069号
公報に見られるようにフッ素を含む廃液に、フッ素とカ
ルシウム化合物との反応生成物、或いはフッ素を含む廃
液を処理して得られた沈物をシードとして添加し処理
するフッ素含有廃液の処理方法は公知であるが、この場
合にはフッ素を含む廃液に、フッ化カルシウム等の固体
或いはフッ素を含む廃液にCa++ を添加し凝集処理し
て得られた沈物を夫々添加するものである。一方本発
明はF含有排水の原水を1部と大部分の2系統に分割
し、一方の1部分の原水系統にCa++ の全量を添加す
ることによってCa++濃度を高めてCaF析出反応
を促進させ、析出したCaF生成物を含む反応液を凝
集処理せずにそのまま他方の大部分の原水系統に合流さ
せて、前者の系統からのCaF生成物によりその残部
のCa++と後者の系統のFとの析出反応を促進せし
めることによって安定なフッ素処理を行い、次いで固液
分離するものであり、前述した従来方法とは構成、効果
共に異なったものである。
【手続補正5】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0011
【補正方法】変更
【補正内容】
【0011】即ち本発明では一方の1部分の原水の系統
に全原水に対応するCa++ の全量を添加し生成したば
かりのCaF即ちゾル状のCaFをそっくりそのま
ま他方の大部分の原水の系統に合流させてゾル状のCa
の表面で晶析を行わせて安定したF処理を行うこ
とが特徴であって、これにより特に処理が難しい低濃度
含有排水の処理に優れた除去効果を示し処理水中の
残存Ca++濃度も低減できるものである。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 フッ素化合物含有排水にCa塩を添加し
    て排水中の含有フッ素化合物をフッ化カルシウムとして
    除去するに当り、フッ素化合物含有排水の1部に添加す
    べきCa塩の全量を添加、反応せしめ、この反応液を残
    余の大部分のフッ素含有排水中に添加、反応せしめ、然
    る後固液分離を行うことを特徴とするフッ素化合物含有
    排水の処理方法。
  2. 【請求項2】 フッ素化合物含有排水にCa塩を添加し
    て排水中の含有フッ素化合物をフッ化カルシウムとして
    除去するに当り、フッ素化合物含有排水の1部を分岐し
    てこれに添加すべきCa塩の全量を添加、反応せしめ、
    この反応液をそのまま残余の大部分のフッ素化合物含有
    排水と再び合一して反応せしめ、然る後固液分離を行う
    ことを特徴とするフッ素化合物含有排水の処理方法。
  3. 【請求項3】 フッ素含有排水の1部にフッ素含有排水
    の全量に添加すべきCa塩の全量を添加して反応させる
    ための第1反応槽と、フッ素含有排水の残余の大部分と
    第1反応槽からの反応液とを合流して反応せしめるため
    の第2反応槽とを固液分離装置の前段に備えていること
    を特徴とするフッ素化合物含有排水の処理設備。
  4. 【請求項4】 フッ素含有排水の1部にフッ素含有排水
    の全量に添加すべきCa塩の全量を添加して反応させる
    ための第1反応槽と、フッ素含有排水の残余の大部分と
    第1反応槽からの反応液とを合流して反応せしめるため
    の第2反応槽と、第2反応槽からの反応液に凝集剤を添
    加して凝集反応を行わせしめるための凝集槽と、沈殿槽
    もしくは膜分離装置とからなる固液分離装置とを順次備
    えていることを特徴とするフッ素化合物含有排水の処理
    設備。
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