JPH06310573A - Carrier tape for tab and tape carrier package that uses it - Google Patents

Carrier tape for tab and tape carrier package that uses it

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JPH06310573A
JPH06310573A JP5097495A JP9749593A JPH06310573A JP H06310573 A JPH06310573 A JP H06310573A JP 5097495 A JP5097495 A JP 5097495A JP 9749593 A JP9749593 A JP 9749593A JP H06310573 A JPH06310573 A JP H06310573A
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carrier
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昌彦 津守
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Abstract

PURPOSE:To make the wiring between chips efficient in spacing when mounting many semiconductor chips on the tape carrier packages. CONSTITUTION:Lead patterns 2 are formed on the lower surface of the tape 1a where window holes 15 are formed, and inner leads 2a, extended into the window holes 15 from the lead patterns, are connected with bumps 9 of the semiconductor chips 8, and the window holes 15 are formed as peripheries of regions, where the bumps of the semiconductor chips 8 are formed, are to be exposed, and the part of the tape 1a covering the semiconductor chips 8 can be used as the region where the wiring patterns are formed.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本願発明は、テープ・オートメイ
テッド・ボンディング(TAB)用キャリヤテープおよ
びこれを用いたテープキャリヤパッケージに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a carrier tape for tape automated bonding (TAB) and a tape carrier package using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】LSI等の多端子型の半導体チップのパ
ッケージング方法として、いわゆるテープキャリヤパッ
ケージ(TCP)が採用されつつある。
2. Description of the Related Art A so-called tape carrier package (TCP) is being adopted as a packaging method for a multi-terminal type semiconductor chip such as an LSI.

【0003】このテープキャリヤパッケージは、表面に
リードパターンが形成されたフレキシブルな絶縁テープ
(キャリヤテープ)を用い、このキャリヤテープのデバ
イスホールに内向きに上記リードパターンから延出させ
たインナリードに、チップの端子に形成された金バンプ
を熱圧着接合して支持させる、TABの手法を採用した
パッケージである。
This tape carrier package uses a flexible insulating tape (carrier tape) having a lead pattern formed on the surface thereof. The inner lead is extended inward from the lead pattern in the device hole of the carrier tape. This is a package adopting the TAB method, in which gold bumps formed on the terminals of the chip are thermocompression bonded and supported.

【0004】図6に、このようなTABの手法によって
半導体チップを支持するためのキャリヤテープ1の構成
例を示す。
FIG. 6 shows an example of the structure of a carrier tape 1 for supporting a semiconductor chip by such a TAB method.

【0005】ポリイミドフィルム等でできたキャリヤテ
ープ本体1aの表面には、複数本のリードパターン2が
エッチング等によって形成される。テープ本体1aの幅
方向中央には、デバイスホール3が開口させられるとと
もに、このデバイスホール3を囲むようにして、アウタ
リード2b、切断用スリット4が形成される。上記リー
ドパターン2は、上記スリット4のさらに外側に設けら
れたテストパッド5から延び、上記デバイスホール3の
四辺において、上記スリット4を横断して各先端がデバ
イスホール3の内縁からさらに内側に突出するように形
成されている。テープ本体1aにおける上記スリット4
とデバイスホール3とで挟まれる領域は、上記デバイス
ホール3の周囲を囲んでリード2を支持するサポートリ
ング6を構成している。
A plurality of lead patterns 2 are formed by etching or the like on the surface of the carrier tape body 1a made of a polyimide film or the like. A device hole 3 is opened in the widthwise center of the tape body 1a, and an outer lead 2b and a cutting slit 4 are formed so as to surround the device hole 3. The lead pattern 2 extends from a test pad 5 provided outside the slit 4, and the four ends of the lead hole 2 cross the slit 4 and project inward from the inner edge of the device hole 3 on the four sides of the device hole 3. Is formed. The slit 4 in the tape body 1a
The region sandwiched between the device hole 3 and the device hole 3 forms a support ring 6 that surrounds the device hole 3 and supports the leads 2.

【0006】一般に、上記リードパターン2のうち、上
記サポートリング6からさらに内方に向けてデバイスホ
ール3内に延出する部分をインナリード2aと呼び、上
記スリット4を横断している部分をアウタリード2bと
呼んでいる。
Generally, a portion of the lead pattern 2 that extends further inward from the support ring 6 into the device hole 3 is called an inner lead 2a, and a portion that crosses the slit 4 is an outer lead. I call it 2b.

【0007】上記のような構成が、長尺状のテープ本体
1aの長手方向に複数等間隔に形成されており、かかる
キャリヤテープ1をその両側縁に形成されたスプロケッ
トホール7を利用して長手方向にステップ送りしなが
ら、次に述べるチップボンディング(インナリードボン
ディング)が行われる。
The above-described structure is formed in the longitudinal direction of the elongated tape body 1a at a plurality of equal intervals, and the carrier tape 1 is lengthened by utilizing the sprocket holes 7 formed on both side edges thereof. The chip bonding (inner lead bonding) described below is performed while stepwise feeding in the direction.

【0008】半導体チップ8は、上記キャリヤテープ1
におけるデバイスホール3内に入り込みうる平面形態を
有しており、その上面四辺の端子面には金でできたバン
プ9(図7)があらかじめ形成されている。
The semiconductor chip 8 is the carrier tape 1 described above.
2 has a planar shape that can enter the device hole 3, and bumps 9 (FIG. 7) made of gold are formed in advance on the terminal surfaces on the four sides of the upper surface thereof.

【0009】ボンディングツール10は、図7に示すよ
うに、上記半導体チップ8を載置して加熱する下ツール
10aと、この下ツール10aの上方において上下動
し、上記インナリード2aを上記バンプ9に対して押し
つける上ツール10bとを備えている。半導体チップ8
に対するキャリヤテープ1の位置決めが行われた後、上
記上ツール10bが下動し、その先端部が上記インナリ
ード2aを一括して各バンプ9に押しつけ、熱圧着作用
によって、各インナリード2aが半導体チップ上の各端
子に接続される。
As shown in FIG. 7, the bonding tool 10 moves up and down with a lower tool 10a on which the semiconductor chip 8 is placed and heated, and above and below the lower tool 10a to move the inner leads 2a to the bumps 9 And an upper tool 10b which is pressed against. Semiconductor chip 8
After the carrier tape 1 is positioned with respect to the inner tape 2a, the upper tool 10b is moved downward, and the tip end of the upper tool 10b presses the inner leads 2a together onto the bumps 9 in a lump, and the inner leads 2a are semiconductor-bonded by thermocompression bonding. Connected to each terminal on the chip.

【0010】このようにして、半導体チップ8は、キャ
リヤテープ1に対して支持される。半導体チップ8の上
面回路面8aには、エポキシ樹脂等の熱硬化性の樹脂1
1が塗布されることによって、保護される。
In this way, the semiconductor chip 8 is supported on the carrier tape 1. A thermosetting resin 1 such as an epoxy resin is formed on the upper circuit surface 8a of the semiconductor chip 8.
Protected by applying 1.

【0011】次に、キャリヤテープ1における上記スリ
ット4をわたるアウタリード2bが切断されて、図8に
示す形態をもつ半導体装置12がキャリヤテープ1から
切り離され、必要に応じてアウタリード2bがフォーミ
ングされて、回路基板上に実装される。
Next, the outer lead 2b which crosses the slit 4 in the carrier tape 1 is cut, the semiconductor device 12 having the form shown in FIG. 8 is separated from the carrier tape 1, and the outer lead 2b is formed as required. , Mounted on a circuit board.

【0012】上記のようなTABを利用したテープキャ
リヤパッケージ13においては、次のような利点があ
る。
The tape carrier package 13 using TAB as described above has the following advantages.

【0013】第一に、リードがエッチングによって形成
可能であるので、微細リードとすることができ、これに
対応して、LSI等の半導体チップ上の電極ピッチをき
わめて小さくすることができる。このことにより、半導
体装置の実装におけるさらなる高密度化が可能となる。
First, since the leads can be formed by etching, fine leads can be formed, and correspondingly, the electrode pitch on a semiconductor chip such as an LSI can be made extremely small. As a result, it is possible to further increase the packing density of the semiconductor device.

【0014】第二に、チップの表面回路形成部分のみを
保護樹脂で覆えばよいので、いわゆる樹脂パッケージ型
の半導体装置に比較して、著しいパッケージングの薄型
化が可能となり、このことも、かかる半導体装置が搭載
される基板全体の薄型化、高密度化、多層化を促すこと
ができる。
Secondly, since only the surface circuit forming portion of the chip needs to be covered with the protective resin, it is possible to significantly reduce the thickness of the packaging as compared with a so-called resin package type semiconductor device. It is possible to promote thinning, high density, and multi-layering of the entire substrate on which the semiconductor device is mounted.

【0015】[0015]

【発明が解決しようとする課題】図6に示す例は、従前
のテープキャリヤパッケージを説明する目的で、リード
の数を比較的少なく示しているが、実際には、インナリ
ードのピッチが100μm以下となる場合もある。ま
た、支持するべき半導体チップの集積度が今後もさらに
高まることが予想され、チップ外形も比較的大きなもの
もある。そうすると、従前のテープキャリヤパッケージ
の構成では、デバイスホール3が半導体チップの高集積
化に呼応して大きくなり、また、リードの配線密度も高
まる。すなわち、配線密度が高まるにもかかわらず、か
かる配線を形成するべき領域が、上記のごとくデバイス
ホールが大きくなる分減少させられ、複雑な配線パター
ンをキャリヤテープ上に形成しておくことが難しくな
る。
The example shown in FIG. 6 shows a relatively small number of leads for the purpose of explaining the conventional tape carrier package, but in reality, the inner lead pitch is 100 μm or less. In some cases, Further, it is expected that the degree of integration of semiconductor chips to be supported will further increase in the future, and some chips have relatively large outer shapes. Then, in the structure of the conventional tape carrier package, the device hole 3 becomes large in accordance with the high integration of the semiconductor chip, and the wiring density of the leads is also increased. That is, although the wiring density is increased, the area where such wiring is to be formed is reduced by the size of the device hole as described above, making it difficult to form a complicated wiring pattern on the carrier tape. .

【0016】また、回路基板と協働して一定の回路を構
成するにあたっても、回路基板上に形成するべきパター
ンが複雑化せざるをえず、このことが、一定範囲の回路
基板上での複雑な配線を困難化しているのである。
Further, when forming a certain circuit in cooperation with the circuit board, the pattern to be formed on the circuit board must be complicated, which means that the pattern on the circuit board in a certain range is complicated. It makes complicated wiring difficult.

【0017】要するに、従前のテープキャリヤパッケー
ジ、あるいはこれに用いられるTAB用キャリヤテープ
においては、デバイスホール内の領域が配線パターンの
配置のためには全く用いられていないのであり、その故
に、半導体チップの高集積化、リードピッチの狭ピッチ
化が進めば進むほど、半導体チップをめぐるその周囲の
配線の困難性が増大していくと考えられるのである。
In short, in the conventional tape carrier package or the TAB carrier tape used therefor, the region in the device hole is not used at all for arranging the wiring pattern, and therefore the semiconductor chip is used. It is considered that the higher the degree of integration and the narrower the lead pitch, the more difficult the wiring around the semiconductor chip becomes.

【0018】本願発明は、上記のような知見のもとで考
え出されたものであって、テープキャリヤパッケージさ
れる半導体装置を、より効率良く回路基板に実装するこ
とができるようにすることをその基本的課題としてい
る。
The invention of the present application was conceived based on the above knowledge, and it is possible to mount a tape carrier packaged semiconductor device on a circuit board more efficiently. It is a basic subject.

【0019】[0019]

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、本願発明では、次の各技術的手段を講じている。
In order to solve the above problems, the present invention takes the following technical means.

【0020】本願の請求項1に記載した発明は、窓孔を
設けたテープ本体の下面にリードパターンを形成し、こ
のリードパターンから上記窓孔内に延出させたインナリ
ードに半導体チップ上のバンプを接合して上記半導体チ
ップを支持するためのキャリヤテープであって、上記窓
孔を、上記半導体チップにおける上記バンプが形成され
た周縁を部分的に臨ませるように形成することにより、
上記テープ本体における上記半導体チップを覆う部分を
配線パターン形成領域として利用するようにしたことに
特徴づけられる。
According to the first aspect of the present invention, the lead pattern is formed on the lower surface of the tape body having the window hole, and the inner lead extended from the lead pattern into the window hole is formed on the semiconductor chip. A carrier tape for joining bumps to support the semiconductor chip, wherein the window hole is formed so as to partially face the peripheral edge of the semiconductor chip on which the bump is formed,
It is characterized in that the portion of the tape body that covers the semiconductor chip is used as a wiring pattern forming region.

【0021】本願の請求項2に記載した発明は、窓孔を
設けたテープ本体の下面にリードパターンを形成し、こ
のリードパターンから上記窓孔内に延出させたインナリ
ードに半導体チップ上のバンプを接合して上記半導体チ
ップを支持するためのキャリヤテープであって、上記窓
孔は、上記半導体チップにおける上記バンプが形成され
た周縁を部分的に臨ませるように形成されており、上記
リードパターンは、上記テープ本体における上記半導体
チップを覆う部分の下面に形成されていて、上記インナ
リードは、上記リードパターンから上記窓孔内に延出さ
せられており、上記テープ本体の上面には、配線パター
ンが形成されており、この配線パターンの一部または全
部は、VIAホールを介して上記リードパターンの選択
さたものに導通させられていることに特徴づけられる。
According to the second aspect of the present invention, the lead pattern is formed on the lower surface of the tape body having the window hole, and the inner lead extended from the lead pattern into the window hole is formed on the semiconductor chip. A carrier tape for bonding bumps to support the semiconductor chip, wherein the window hole is formed so as to partially face a peripheral edge of the semiconductor chip on which the bump is formed. The pattern is formed on the lower surface of the portion of the tape body that covers the semiconductor chip, the inner lead is extended from the lead pattern into the window hole, the upper surface of the tape body, A wiring pattern is formed, and some or all of the wiring pattern is electrically connected to the selected one of the lead patterns through the VIA hole. It is characterized in that is.

【0022】本願の請求項3に記載した発明は、上記請
求項1または2のキャリヤテープを用いて構成したテー
プキャリヤパッケージであって、上記インナリードに半
導体チップ上面のバンプを接合するとともに、上記半導
体チップの上面を樹脂封止したものである。
The invention described in claim 3 of the present application is a tape carrier package constituted by using the carrier tape according to claim 1 or 2, wherein bumps on the upper surface of a semiconductor chip are bonded to the inner leads, and The upper surface of the semiconductor chip is resin-sealed.

【0023】さらに、本願の請求項4に記載した発明
は、上記請求項1に記載した本願発明の基本的概念を、
メモリチップ用に適用したものであって、所定幅を有
し、長手方向に一定長さを有するテープ本体を備え、上
記テープ本体には長手方向に複数のメモリチップ保持部
が形成されており、上記各メモリチップ保持部は、テー
プ幅方向に対向する一対の窓孔と、テープ本体裏面にお
ける上記各窓孔間の領域に形成されたリードパターン
と、このリードパターンから上記窓孔内に延びるインナ
リードとを備えており、上記テープ本体の上面には、そ
の長手方向に延びる複数の信号用配線パターンが上記各
メモリチップ保持部にわたって形成されており、上記各
メモリチップ保持部において、上記信号用配線パターン
の選択されたものが上記リードパターンの選択されたも
のに対してVIAホールを介して導通させられているこ
とに特徴づけられる。
Further, the invention described in claim 4 of the present application is the same as the basic concept of the invention described in claim 1 above.
It is applied for a memory chip, and has a tape body having a predetermined width and a constant length in the longitudinal direction, and the tape body has a plurality of memory chip holding portions formed in the longitudinal direction. Each of the memory chip holding portions has a pair of window holes facing each other in the tape width direction, a lead pattern formed in a region between the window holes on the back surface of the tape body, and an inner portion extending from the lead pattern into the window hole. A plurality of signal wiring patterns extending in the longitudinal direction of the tape body are formed over the respective memory chip holding portions on the upper surface of the tape main body. It is characterized in that the selected one of the wiring patterns is electrically connected to the selected one of the lead patterns through the VIA hole.

【0024】さらに、本願の請求項5に記載した発明
は、請求項4のメモリチップ用キャリヤテープにおい
て、上記信号用配線パターンは、アドレスバス用パター
ンおよび/またはデータバス用パターンを含んでおり、
各バス用パターンは、各メモリチップ保持部において、
選択されたリードパターンに対してVIAホールを介し
て共通接続されていることに特徴づけられる。
Further, in the invention described in claim 5 of the present application, in the carrier tape for a memory chip according to claim 4, the signal wiring pattern includes an address bus pattern and / or a data bus pattern,
The patterns for each bus are
It is characterized in that they are commonly connected to the selected lead pattern through a VIA hole.

【0025】さらに、請求項6に記載した発明は、請求
項4のメモリチップ用キャリヤテープにおいて、上記テ
ープ本体の上面には、その長手方向に上記各メモリチッ
プ保持部にわたって形成される電源用配線パターンとグ
ランド用配線パターンとをさらに備えており、上記各メ
モリチップ保持部において、上記電源用配線パターンと
グランド用配線パターンとの間を掛け渡すバイパスコン
デンサが搭載されていることに特徴づけられる。
Furthermore, in the invention as set forth in claim 6, in the carrier tape for a memory chip according to claim 4, a wiring for a power source is formed on the upper surface of the tape main body over the respective memory chip holding portions in the longitudinal direction thereof. A pattern and a ground wiring pattern are further provided, and each of the memory chip holding portions is characterized by being equipped with a bypass capacitor that bridges between the power supply wiring pattern and the ground wiring pattern.

【0026】そして、本願の請求項7に記載した発明
は、上記請求項4ないし6に記載したメモリチップ用キ
ャリヤテープを用いたメモリチップ用テープキャリヤパ
ッケージであって、メモリチップを、その上面バンプを
各メモリチップ保持部において各窓孔に延出するインナ
リードに接続することによって支持したものである。
The invention according to claim 7 of the present application is a tape carrier package for a memory chip using the carrier tape for a memory chip according to any one of claims 4 to 6, wherein the memory chip is bumped on its upper surface. Is supported by being connected to inner leads extending to the respective window holes in the respective memory chip holding portions.

【0027】[0027]

【作用および効果】本願発明は要するに、従来TAB用
キャリヤテープにおいてデバイスホールが設けられた領
域を、配線パターンを形成するべき領域として積極的に
利用し、キャリヤテープ上において、複雑な配線のとり
回しを可能とし、かかるキャリヤテープに半導体チップ
を支持してなるテープキャリヤパッケージを回路基板に
装填するにあたり、回路基板上の配線の複雑化を回避し
て、より効率的な半導体装置の実装を可能としようとす
るものである。
In summary, the present invention positively utilizes the area where the device hole is provided in the conventional TAB carrier tape as the area where the wiring pattern is to be formed, thereby arranging complicated wiring on the carrier tape. When mounting a tape carrier package in which a semiconductor chip is supported on such a carrier tape on a circuit board, it is possible to avoid complicated wiring on the circuit board and mount the semiconductor device more efficiently. Is what you are trying to do.

【0028】テープキャリヤパッケージである以上、キ
ャリヤテープに形成したリードパターンを窓孔内に延出
してインナリードを形成し、これを半導体チップ上のバ
ンプに熱圧着するという点は、従前と同様である。
As long as it is a tape carrier package, the lead pattern formed on the carrier tape is extended into the window hole to form the inner lead, and the inner lead is thermocompression bonded to the bump on the semiconductor chip, which is the same as before. is there.

【0029】しかしながら、本願発明では、従前のキャ
リヤテープにおけるデバイスホールが存在しない。イン
ナリードを露出させるべくテープ本体に設ける窓孔は、
支持するべき半導体チップに通常その上面周縁に設けら
れる端子部ないしこれに形成されるバンプを臨ませるに
必要最小限なものとされる。したがって、キャリヤテー
プ本体には、支持されるべき半導体チップの上面を覆う
部分が残される。かかる半導体チップを覆う部分を利用
して、必要な配線パターンを形成しておくのである。
However, in the present invention, there is no device hole in the conventional carrier tape. The window hole provided in the tape body to expose the inner lead,
It is the minimum necessary to expose the terminal portion usually provided on the peripheral edge of the upper surface or the bumps formed on the semiconductor chip to be supported. Therefore, the carrier tape body is left with a portion covering the upper surface of the semiconductor chip to be supported. The necessary wiring pattern is formed by utilizing the portion covering the semiconductor chip.

【0030】従来、デバイスホールが存在したため、キ
ャリヤテープに担持された半導体チップの上面の領域
は、配線に対してなんら利用されていなかったが、本願
発明では、上記のように、半導体チップを覆うキャリヤ
テープに配線パターンを形成することができるので、そ
れだけ複雑な配線をキャリヤテープ上に形成することが
でき、その分、テープキャリヤパッケージ化された半導
体装置を装填するべき回路基板上の配線を簡略化するこ
とができる。これにより、半導体装置の回路基板に対す
るさらなる効率的な実装が可能となり、電子回路のより
小型化が実現できる。
Conventionally, since the device hole exists, the upper surface region of the semiconductor chip carried on the carrier tape has not been used for wiring at all. However, in the present invention, the semiconductor chip is covered as described above. Since the wiring pattern can be formed on the carrier tape, the more complicated wiring can be formed on the carrier tape, and the wiring on the circuit board on which the tape carrier packaged semiconductor device is to be mounted can be simplified accordingly. Can be converted. As a result, the semiconductor device can be mounted on the circuit board more efficiently, and the electronic circuit can be further downsized.

【0031】本願発明が採用されたテープキャリヤパッ
ケージを実装するべき回路基板としては、ハイブリッド
ICや、マルチチップモジュール等が考えられる。ま
た、後述するように、支持するべき半導体チップとし
て、メモリチップがあり、このメモリチップ用のテープ
キャリヤパッケージを後述する構成にしたがい形成すれ
ば、メモリ基板がより効率化されることになる。
A hybrid IC, a multi-chip module or the like can be considered as a circuit board on which the tape carrier package to which the present invention is applied is to be mounted. Further, as will be described later, there is a memory chip as a semiconductor chip to be supported, and if the tape carrier package for this memory chip is formed according to the configuration described later, the memory substrate will be more efficient.

【0032】請求項2に記載した発明では、上記窓孔に
臨むインナリードにつながるリードパターンを上記テー
プ本体における上記の半導体チップを覆う部分の下面に
形成する一方、上記テープ本体の上面に別途配線パター
ンを形成し、これらテープ本体の上面の配線パターンと
下面のリードパターンとを、VIAホールを介して導通
させている。これにより、インナリードを、上記窓孔内
に内側から延出させることが実質的に可能となり、窓孔
の外側の領域を周辺回路構成のための配線パターンとし
て有効に利用することができるようになる。その結果、
全体として、キャリヤテープ本体を、これを搭載するべ
き半導体チップの周辺回路を構成するための配線のため
に有効に利用することができるようになり、前述したよ
うに、かかるキャリヤテープを用いて構成したテープキ
ャリヤパッケージ化された半導体装置を実装する回路基
板を簡略化し、より一層の高密度実装が可能となる。
According to the second aspect of the present invention, the lead pattern connected to the inner lead facing the window hole is formed on the lower surface of the portion of the tape body that covers the semiconductor chip, while the separate wiring is formed on the upper surface of the tape body. A pattern is formed, and the wiring pattern on the upper surface of the tape body and the lead pattern on the lower surface are electrically connected via the VIA hole. As a result, the inner leads can be substantially extended from the inside into the window hole, and the area outside the window hole can be effectively used as a wiring pattern for the peripheral circuit configuration. Become. as a result,
As a whole, the carrier tape main body can be effectively used for wiring for forming the peripheral circuit of the semiconductor chip on which the carrier tape is to be mounted. The circuit board on which the tape carrier packaged semiconductor device is mounted can be simplified, and higher density mounting can be achieved.

【0033】なお、キャリヤテープにボンディングされ
た半導体チップの上面は、樹脂封止する必要があるが、
たとえば、ボンディングされた半導体チップの上面を覆
うテープ本体に開口を設け、この開口から封止樹脂を注
入することにより、問題なく、半導体チップの上面を封
止樹脂で覆うことができるようになる。
Although the upper surface of the semiconductor chip bonded to the carrier tape needs to be resin-sealed,
For example, by providing an opening in the tape body that covers the upper surface of the bonded semiconductor chip and injecting the sealing resin from this opening, the upper surface of the semiconductor chip can be covered with the sealing resin without any problem.

【0034】請求項4以下に記載した発明は、多数個の
メモリチップを搭載してメモリ基板を構成するにあた
り、TAB用キャリヤテープを利用して、これにアドレ
スバスラインやデータバスライン等の信号配線を担当さ
せるようにしたものである。一般に、多数個のランダム
アクセスメモリ(RAM)チップを用いて所定容量のメ
モリ装置を構成する場合、基板に搭載された複数個のメ
モリチップは、アドレスバスあるいはデータバスでつな
げられる。一つのメモリチップの容量が大きくなればな
るほど、あるいは、かかるメモリチップを用いる個数が
多くなればなるほど、基板上における上記バスラインの
配線が複雑となるとともに、かかる配線に要する基板上
のスペースが必要となってき、結果的に、メモリ基板上
へのメモリチップの搭載密度を上げることができなくな
る。
According to the invention described in claim 4 and below, when a large number of memory chips are mounted to form a memory substrate, a carrier tape for TAB is used, and a signal such as an address bus line or a data bus line is applied to the carrier tape. It is designed to be in charge of wiring. Generally, when a memory device having a predetermined capacity is configured using a large number of random access memory (RAM) chips, a plurality of memory chips mounted on a substrate are connected by an address bus or a data bus. The larger the capacity of one memory chip, or the larger the number of such memory chips used, the more complicated the wiring of the bus line on the substrate and the more space on the substrate required for such wiring. As a result, it becomes impossible to increase the mounting density of the memory chips on the memory substrate.

【0035】本願発明では、かかるメモリチップを多数
個用いてメモリ基板を構成する場合における上記した従
来の問題を著しく改善している。
The present invention remarkably improves the above-mentioned conventional problems when a memory substrate is constructed by using a large number of such memory chips.

【0036】テープ本体には、複数のメモリチップ保持
部が長手方向に形成され、各メモリチップ保持部に対
し、上記した本願発明の基本的概念を用いて、メモリチ
ップをボンディングする。すなわち、各メモリチップ保
持部には、メモリチップに形成される端子ないしバンプ
を臨ませるに必要最小限の窓孔を設け、メモリチップの
上面を覆う領域を残しておく。そして、このテープ本体
における各メモリチップを覆う部分を、テープ長手方向
に貫通状に渡らせるようにして、信号配線パターンを形
成するのである。
A plurality of memory chip holding portions are formed in the longitudinal direction on the tape body, and the memory chips are bonded to the respective memory chip holding portions by using the above-described basic concept of the present invention. That is, each memory chip holding portion is provided with the minimum necessary window hole for exposing the terminals or bumps formed on the memory chip, and the area for covering the upper surface of the memory chip is left. Then, the signal wiring pattern is formed so that the portion of the tape main body that covers each memory chip extends in a penetrating manner in the tape longitudinal direction.

【0037】一方、各メモリチップ保持部の裏面には、
リードパターンが形成され、これより延びる内部リード
が上記窓孔内に臨ませられる。テープ本体の表面に形成
される上記の信号配線パターンと、各メモリチップ保持
部においてテープ本体の裏面に形成される上記のリード
パターンとは、VIAホールを介して互いに導通させら
れる。
On the other hand, on the back surface of each memory chip holding portion,
A lead pattern is formed, and an inner lead extending from the lead pattern is exposed in the window. The signal wiring pattern formed on the front surface of the tape body and the lead pattern formed on the back surface of the tape body in each memory chip holding portion are electrically connected to each other through the VIA hole.

【0038】このようにすることにより、従来、多数個
搭載されたメモリ装置の周辺部に形成せざるをえなかっ
た多数本のバスラインの多くを、メモリチップがボンデ
ィングされたTAB用キャリヤテープ上に形成すること
ができるのであり、それだけ基板の配線領域を少なくし
て、基板に対するメモリチップの高密度実装が可能とな
る。
By doing so, most of the large number of bus lines that had to be formed in the peripheral portion of the memory device mounted with a large number of them on the TAB carrier tape to which the memory chips are bonded are formed. Therefore, the wiring area of the substrate can be reduced correspondingly, and high-density mounting of memory chips on the substrate can be achieved.

【0039】もちろん、各メモリチップには、ロジック
電源ライン、グランドライン等の電源系ラインを接続す
る必要もあるが、かかるラインもが、上記信号配線パタ
ーンと同様、TAB用キャリヤテープ上に都合良く形成
することができる。
Of course, it is necessary to connect a power supply system line such as a logic power supply line and a ground line to each memory chip, but such a line is also convenient on the TAB carrier tape like the signal wiring pattern. Can be formed.

【0040】請求項6に記載した発明では、上記TAB
用キャリヤ本体上に形成される電源用配線パターンとグ
ランド配線パターンとの間にこれらを掛け渡す電源ノイ
ズバイパスコンデンサを搭載している。この種のランダ
ムアクセスメモリ(RAM)を雑音等の障害を回避しな
がら都合よく作動させるには、電源ライン(Vccライ
ン)とグランドラインとの間に、電源ノイズバイパスコ
ンデンサを介装することが必須となり、しかも、かかる
バイパスコンデンサは、できるだけチップに近い位置に
設けるのが効果的である。請求項6の発明では、かかる
要求を、都合良く達成することができるのである。ま
た、従前においては、基板上にメモリチップと隣接して
設けざるえなった上記のバイパスコンデンサが、メモリ
チップの上方にキャリヤテープを介して階層上に搭載す
ることができるのであり、このことが、多数個のメモリ
チップを搭載するべき基板のスペース効率を高める結果
ともなっている。
According to the invention described in claim 6, in the TAB,
A power supply noise bypass capacitor is mounted between the power supply wiring pattern and the ground wiring pattern formed on the carrier carrier body. In order to operate this kind of random access memory (RAM) conveniently while avoiding obstacles such as noise, it is essential to interpose a power supply noise bypass capacitor between the power supply line (Vcc line) and the ground line. Moreover, it is effective to provide such a bypass capacitor as close to the chip as possible. According to the invention of claim 6, such a requirement can be achieved conveniently. Further, in the past, the above-mentioned bypass capacitor, which had to be provided adjacent to the memory chip on the substrate, can be mounted on the layer above the memory chip via the carrier tape in a hierarchy. As a result, the space efficiency of the substrate on which a large number of memory chips are mounted is improved.

【0041】[0041]

【実施例の説明】以下、本願発明の好ましい実施例を、
図1ないし図5を参照にして具体的に説明する。なお、
これらの図において、図6以下の図面に示されている部
品または部分と同様のものには、同一の符号を付してあ
る。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The preferred embodiments of the present invention will be described below.
A detailed description will be given with reference to FIGS. 1 to 5. In addition,
In these figures, parts or portions similar to those shown in the drawings starting from FIG. 6 are designated by the same reference numerals.

【0042】図1ないし図4は、本願発明の第一の実施
例を示しており、多数個のRAMチップ8を基板に搭載
して所定容量のメモリ基板を構成するにあたり、一定個
数のメモリチップをTAB用キャリヤテープ1に担持し
て、一括して上記基板に搭載するべきメモリモジュール
を構成したものである。
FIGS. 1 to 4 show a first embodiment of the present invention. When a large number of RAM chips 8 are mounted on a substrate to form a memory substrate having a predetermined capacity, a fixed number of memory chips are used. Is carried on the carrier tape 1 for TAB, and a memory module to be mounted on the substrate at once is configured.

【0043】図1に表れているように、両側縁にスプロ
ケットホール7が形成されたテープ本体1aに、長手方
向等間隔に複数のメモリチップ保持部14が形成されて
いる。各メモリチップ保持部14には、テープの長手方
向に延びる一対の窓孔15,15が、テープ幅方向に所
定間隔をあけて形成されている。これら窓孔15,15
の配置は、図1に示すような、上記キャリヤテープ1に
ボンディングするべきメモリチップ8の端子配列と対応
したものとしてある。すなわち、メモリチップ8は、矩
形の平面形状をもつとともに、その対向する二辺近傍
に、必要な端子が集中配置されている。もちろん、各端
子には、金バンプ9があらかじめ形成されている。
As shown in FIG. 1, a plurality of memory chip holding portions 14 are formed at equal intervals in the longitudinal direction on a tape body 1a having sprocket holes 7 formed on both side edges. A pair of window holes 15, 15 extending in the longitudinal direction of the tape are formed in each memory chip holding portion 14 at predetermined intervals in the tape width direction. These window holes 15,15
1 corresponds to the terminal arrangement of the memory chip 8 to be bonded to the carrier tape 1 as shown in FIG. That is, the memory chip 8 has a rectangular planar shape, and necessary terminals are concentrated in the vicinity of the two opposite sides. Of course, gold bumps 9 are formed in advance on each terminal.

【0044】図1にあらわれているように、本願発明の
TAB用キャリヤテープ1においては、図6に示した従
来のTAB用キャリヤテープのように、デバイスホール
に相当する大きな開口は形成しない。これに代え、上記
一対の窓孔15,15は、後述するインナリード2aを
接合するべきチップ上の端子(すなわちバンプ)9を臨
ませるに必要最小限の大きさおよび位置としている。
As shown in FIG. 1, the TAB carrier tape 1 of the present invention does not have a large opening corresponding to a device hole unlike the conventional TAB carrier tape shown in FIG. Instead, the pair of window holes 15 and 15 have the minimum size and position necessary to expose the terminals (that is, the bumps) 9 on the chip to which the inner leads 2a to be described later are to be joined.

【0045】したがって、図1に示す実施例の場合、各
チップ保持部14において、二つの窓孔15,15の間
の領域は、ボンディングされるべきチップ8の上面を覆
うような恰好で、キャリヤテープ本体1aと一体に残存
させられている。
Therefore, in the case of the embodiment shown in FIG. 1, in each chip holding portion 14, the area between the two window holes 15, 15 is formed so as to cover the upper surface of the chip 8 to be bonded, and the carrier is formed. It is left integrally with the tape body 1a.

【0046】一方、上記キャリヤテープ1のチップ8を
覆う領域、すなわち、各チップ保持部14において一対
の窓孔15,15に挟まれる領域の裏面には、所定のリ
ードパターン2が形成される。各リードパターン2は、
概してテープ本体1aの幅方向に延びており、その先端
が上記各窓孔15,15内に延びて、インナリード2a
を形成している。
On the other hand, a predetermined lead pattern 2 is formed on the back surface of the area of the carrier tape 1 covering the chip 8, that is, the area between the pair of window holes 15 in each chip holding portion 14. Each lead pattern 2 is
Generally, it extends in the width direction of the tape body 1a, and its tip extends into each of the window holes 15 and 15 to form the inner lead 2a.
Is formed.

【0047】一方、上記キャリヤテープ本体1aの上面
には、各チップ保持部14にわたるようにして、すなわ
ち、キャリヤテープ1の長手方向に延びるようにして、
信号配線パターン等の配線パターン16が形成されてい
る。これら信号配線パターン16としては、アドレスバ
ス用パターン、データバス用パターン、コントロールバ
ス用パターン等がある。
On the other hand, on the upper surface of the carrier tape main body 1a, each chip holding portion 14 is extended, that is, so as to extend in the longitudinal direction of the carrier tape 1.
A wiring pattern 16 such as a signal wiring pattern is formed. These signal wiring patterns 16 include an address bus pattern, a data bus pattern, a control bus pattern, and the like.

【0048】さらに、上記キャリヤテープ本体1aの上
面には、電源系の配線パターン17も、上記信号用配線
パターン16と平行するようにして形成することができ
る。電源系配線パターン17には、ロジック電源(Vc
c)用配線パターン17aと、グランド用配線パターン
17bとが含まれる。
Further, the power supply system wiring pattern 17 may be formed on the upper surface of the carrier tape body 1a so as to be parallel to the signal wiring pattern 16. The power supply system wiring pattern 17 includes a logic power supply (Vc
The wiring pattern 17a for c) and the wiring pattern 17b for ground are included.

【0049】上記キャリヤテープ表面側の配線パターン
16,17と、各チップ保持部14において、キャリヤ
テープ本体1aの裏面側に形成されたリードパターン2
間の電気的導通は、VIAホール18によって図られ
る。VIAホール18は、図3に表れているように、テ
ープ本体1aを貫通させた小孔内面に、無電解メッキに
よる導電被膜を形成して構成される、公知の導通手段で
ある。
The wiring patterns 16 and 17 on the front surface side of the carrier tape and the lead patterns 2 formed on the back surface side of the carrier tape body 1a in each chip holding portion 14 are described.
The electrical continuity between them is provided by the VIA hole 18. As shown in FIG. 3, the VIA hole 18 is a well-known conducting means formed by forming a conductive coating by electroless plating on the inner surface of a small hole penetrating the tape body 1a.

【0050】各信号用配線パターン16は、各チップ保
持部14において、対応する端子に導通するリードパタ
ーン2に対して上記のごとくVIAホール18を介して
導通させられる。
In each chip holding portion 14, each signal wiring pattern 16 is electrically connected to the corresponding lead pattern 2 to the corresponding terminal through the VIA hole 18 as described above.

【0051】電源系の配線パターン17a,17bもま
た、対応する端子と導通するリードパターン2に対し
て、VIAホール18を介して導通させられる。
The wiring patterns 17a and 17b of the power supply system are also electrically connected to the lead pattern 2 electrically connected to the corresponding terminal through the VIA hole 18.

【0052】図1に示した実施例では、テープ本体1a
上面にその長手方向に延びるように形成された配線パタ
ーン16,17中、電源用配線パターン17aとグラン
ド用配線パターン17bとを隣接して形成し、各チップ
保持部14において、それぞれ、電源ノイズバイパスコ
ンデンサチップ19を上記各パターン17a,17bを
掛け渡すようにして搭載している。
In the embodiment shown in FIG. 1, the tape body 1a
Among the wiring patterns 16 and 17 formed on the upper surface so as to extend in the longitudinal direction, the power supply wiring pattern 17a and the ground wiring pattern 17b are formed adjacent to each other, and the power supply noise bypass is performed in each chip holding portion 14. The capacitor chip 19 is mounted so as to bridge the patterns 17a and 17b.

【0053】上記のように形成したTAB用キャリヤテ
ープ1を用いて各チップ保持部14に上記メモリチップ
8を保持させる操作は、たとえば次のようにして行うこ
とができる。
The operation of holding the memory chip 8 in each chip holding portion 14 using the TAB carrier tape 1 formed as described above can be performed, for example, as follows.

【0054】まず、上記窓孔15,15に臨むインナリ
ード2aを、あらかじめ図3に詳示するようにフォーミ
ングする。すなわち、インナリード2aの先端部が、基
端部に対して段下げ状となるようにフォーミングする。
これは、インナリード2aが不用意にチップ上面に接触
して短絡不良を起こすことを回避するためである。
First, the inner leads 2a facing the windows 15 are formed in advance as shown in detail in FIG. That is, the inner lead 2a is formed such that the tip end portion thereof is in a step-down shape with respect to the base end portion.
This is to prevent the inner lead 2a from accidentally coming into contact with the upper surface of the chip and causing a short circuit failure.

【0055】キャリヤテープ1は、スプロケットホール
7を利用することによって長手方向にステップ送りされ
る。ボンディングツール10は、従前と同様、チップ8
が搭載される下ツール10aと、各窓孔15,15に臨
むインナリード2aの先端をチップ上のバンプ9に押し
つける作用をする上ツール10bとを備えている。各ツ
ール10a,10bは、内部にヒータが組み込まれてお
り、ボンディング部を所定の温度に昇温させることがで
きるようになっている。キャリヤテープ1と下ツール上
チップ8との間の平面的な位置が調整されると、上ツー
ル10bが下動し、インナリード2aの先端をチップ上
のバンプ9に押しつけ、この際にツールの熱によってバ
ンプが昇温させられることによって、このバンプ9と各
インナリード2aの先端部とは互いに熱圧着される。
The carrier tape 1 is stepwise fed in the longitudinal direction by utilizing the sprocket holes 7. The bonding tool 10 is the chip 8 as before.
Is provided with a lower tool 10a, and an upper tool 10b having a function of pressing the tips of the inner leads 2a facing the respective window holes 15 and 15 against the bumps 9 on the chip. Each of the tools 10a and 10b has a heater incorporated therein so that the bonding portion can be heated to a predetermined temperature. When the planar position between the carrier tape 1 and the lower tool upper chip 8 is adjusted, the upper tool 10b moves downward, pressing the tips of the inner leads 2a against the bumps 9 on the chip. The temperature of the bumps is raised by heat, so that the bumps 9 and the tips of the inner leads 2a are thermocompression-bonded to each other.

【0056】本願発明のように、窓孔15にインナリー
ド2aのみを臨ませる場合、上記上ツール10bは、上
記窓孔15にのみ下端が突入しうる断面コの字状とな
る。
When only the inner lead 2a is exposed to the window hole 15 as in the present invention, the upper tool 10b has a U-shaped cross section so that the lower end thereof can project only into the window hole 15.

【0057】こうして、TAB用キャリヤテープ1の各
チップ保持部14にメモリチップ8が支持されると、次
に、各チップ8の表面が樹脂封止される。これには、キ
ャリヤテープ1と半導体チップ8との間の隙間に液状状
態にあるエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂11を注入する
ことにより行われる。上記キャリヤテープ1とチップ8
との隙間に都合よく上記封止樹脂11を注入するために
は、図1および図4に示すように、キャリヤテープ本体
1aに封止樹脂注入用開口20を設けておくのがよい。
When the memory chips 8 are thus supported by the chip holding portions 14 of the TAB carrier tape 1, the surfaces of the chips 8 are then resin-sealed. This is performed by injecting a thermosetting resin 11 such as an epoxy resin in a liquid state into the gap between the carrier tape 1 and the semiconductor chip 8. The carrier tape 1 and the chip 8
In order to conveniently inject the encapsulating resin 11 into the gap between the carrier tape body 1a and the carrier tape main body 1a, an encapsulating resin injecting opening 20 may be provided as shown in FIGS.

【0058】上記のように、単一のTAB用キャリヤテ
ープ1に一定個数のメモリチップ8が搭載されたTAB
マルチメモリチップモジュールは、テープ本体の両側部
不用部分を切除するとともに、テープ長手方向両端部に
各配線パターンを延出して外部リード(図示略)を形成
した上で、所定の回路基板(図示略)上に実装される。
As described above, a TAB in which a fixed number of memory chips 8 are mounted on a single TAB carrier tape 1
In the multi-memory chip module, unnecessary parts on both sides of the tape body are cut off, and each wiring pattern is extended at both ends in the tape longitudinal direction to form external leads (not shown), and then a predetermined circuit board (not shown) is formed. ) Implemented on.

【0059】多数個のメモリチップ8を使用して所定容
量のメモリ基板を形成するにあたり、各チップをバスラ
インでつなぐことが求められる。従前の手法において
は、かかるバスライン等の信号配線パターンは、基板上
に形成せざるをえず、単一のメモリチップの容量が増え
れば増えるほど、あるいはかかるメモリチップの搭載個
数が増えれば増えるほど、基板上にバスライン等の信号
配線パターンを形成するべき領域が多く必要となり、そ
の故に、基板へのメモリチップの高密度実装には限界が
あったが、本願発明では、従来基板に形成せざるえなっ
たバスライン等の信号配線の多くの部分が、モジュール
化されたメモリチップを搭載するTABキャリヤテープ
1上に形成することができるのであり、したがって、メ
モリ基板の大幅な小型化が可能となる。
In forming a memory substrate having a predetermined capacity by using a large number of memory chips 8, it is necessary to connect each chip with a bus line. In the conventional method, the signal wiring pattern such as the bus line has to be formed on the substrate, and increases as the capacity of a single memory chip increases or the number of such memory chips mounted increases. As a result, a large area for forming a signal wiring pattern such as a bus line is required on the substrate, and therefore there is a limit to high-density mounting of memory chips on the substrate. Many parts of the signal wiring such as the bus line which has been forced to be formed can be formed on the TAB carrier tape 1 on which the modularized memory chips are mounted, and therefore, the size of the memory substrate can be greatly reduced. It will be possible.

【0060】本願発明の技術を応用することにより、従
来のハードディスクメモリに相当する大容量のメモリ装
置を、高密度実装された多数個のメモリチップを用いる
ことにより、占有体積を節約しながら構成することが夢
ではなくなる。かかるメモリチップを利用した大容量メ
モリ装置の利点は、アクセスタイムをハードディスクメ
モリを用いることに比較して著しく短縮することができ
るということであり、将来のメモリ装置の革命をもたら
すことを可能としうるものである。
By applying the technique of the present invention, a large-capacity memory device corresponding to a conventional hard disk memory is constructed by using a large number of high-density mounted memory chips while saving the occupied volume. It's not a dream. An advantage of the large-capacity memory device using such a memory chip is that the access time can be significantly shortened as compared with the case of using a hard disk memory, which may enable a future memory device revolution. It is a thing.

【0061】また、メモリやロジックIC等を搭載して
回路を構成する場合、チップ近くに電源ノイズバイパス
コンデンサを介装する必要があり、従来は、これを回路
基板上に搭載せざるをえず、このことが回路基板面積の
有効利用を阻害する要因ともなっていたが、本願発明に
よれば、図1に示したように、マルチチップテープモジ
ュール化されたメモリモジュールのキャリヤテープに搭
載することが容易となり、このことが、基板への実装密
度を高める上で少なからず寄与することになる。
Further, when a circuit is constructed by mounting a memory, a logic IC, etc., it is necessary to interpose a power supply noise bypass capacitor near the chip, and conventionally, this must be mounted on a circuit board. Although this has been a factor that hinders the effective use of the circuit board area, according to the present invention, as shown in FIG. 1, it can be mounted on a carrier tape of a memory module formed into a multi-chip tape module. It becomes easy, and this contributes not a little in increasing the mounting density on the substrate.

【0062】本願発明は、上記した実施例のように、メ
モリチップを多数個まとめてキャリヤテープ上に担持
し、マルチメモリチップテープモジュールを構成する場
合の他、メモリチップ以外のLSIチップ等の複数個の
チップを基板上に搭載してマルチチップモジュールを形
成する場合に、各チップ間をつなぐ配線の一部をキャリ
ヤテープ上に分担させるような応用も可能である。
According to the present invention, a plurality of memory chips are collectively carried on a carrier tape to form a multi-memory chip tape module as in the above-described embodiments, and a plurality of LSI chips other than the memory chips are used. In the case where a single chip is mounted on a substrate to form a multi-chip module, it is possible to apply a part of the wiring connecting between the chips to a carrier tape.

【0063】本願発明の要点は、繰り返し述べるが、キ
ャリヤテープ本体1aの下面に形成したリードパターン
1を、キャリヤテープ本体1の上面に形成した配線パタ
ーン16,17とをVIAホールによってつなげること
により、キャリヤテープ1に複雑な配線パターンを形成
することが可能となるようにしたものである。そして、
キャリヤテープのうち、ボンディングするべきチップの
上面を覆う部分をも配線パターンを形成するべき領域と
して利用できることにより、複雑な配線パターンを、ス
ペース効率よく形成することができるのである。
The gist of the present invention will be described repeatedly. By connecting the lead pattern 1 formed on the lower surface of the carrier tape body 1a and the wiring patterns 16 and 17 formed on the upper surface of the carrier tape body 1 by VIA holes, The carrier tape 1 is capable of forming a complicated wiring pattern. And
Since the part of the carrier tape that covers the upper surface of the chip to be bonded can also be used as the region for forming the wiring pattern, a complicated wiring pattern can be formed in a space-efficient manner.

【0064】メモリチップ以外の複数のチップを単一の
キャリヤテープ上に担持してモジュールを形成する場
合、キャリヤテープには、これに搭載するべき種々のチ
ップと対応したチップ保持部14’が形成されることに
なる。
When a plurality of chips other than memory chips are carried on a single carrier tape to form a module, the carrier tape is provided with chip holding portions 14 'corresponding to various chips to be mounted on the carrier tape. Will be done.

【0065】図5に、LSIチップ8を本願発明にした
がって支持するべく形成されたキャリヤテープ1上のチ
ップ保持部14’の例を示している。矩形のチップ1の
四隅部近傍に集中配置した端子ないしバンプ9を臨ませ
るようにして、合計四つの窓孔15が形成されている。
この窓孔15の内側には、チップ8の上面を覆うテープ
部分が残存している。
FIG. 5 shows an example of the chip holding portion 14 'on the carrier tape 1 formed to support the LSI chip 8 according to the present invention. A total of four window holes 15 are formed so that the terminals or bumps 9 arranged centrally near the four corners of the rectangular chip 1 are exposed.
Inside the window hole 15, a tape portion that covers the upper surface of the chip 8 remains.

【0066】このテープの裏面には、リードパターン2
が形成され、各リードパターン2の先端は、内部リード
2aとして内方から外方に向けて各窓孔15に延出させ
られている。
On the back surface of this tape, the lead pattern 2
And the tip of each lead pattern 2 is extended as an inner lead 2a from the inside to the outside in each window hole 15.

【0067】一方、キャリヤテープ本体1aの上面に
は、所定の配線パターン16が形成される。この配線パ
ターン16の一部は、キャリヤテープ1の縁部において
外部リード21となっており、一部は、同一のキャリヤ
テープ上に形成された他のチップ保持部14”のための
配線パターン16’として延出させられる。
On the other hand, a predetermined wiring pattern 16 is formed on the upper surface of the carrier tape body 1a. A part of the wiring pattern 16 serves as the external lead 21 at the edge of the carrier tape 1, and a part of the wiring pattern 16 for the other chip holding portions 14 ″ formed on the same carrier tape. Be extended as'.

【0068】こうして、このテープ上のモジュールを図
示しない基板に搭載して最終的なマルチチップモジュー
ルを構成する場合において、本願発明を用いれば、モジ
ュール全体を構成するに必要な配線の一部をキャリヤテ
ープ1が分担することになり、回路基板への配線が簡略
化されるとともに、回路基板上のスペースが節約され、
最終的に基板への複数のチップの高密度実装が可能とな
るのである。
Thus, when the module on this tape is mounted on a substrate (not shown) to form a final multi-chip module, according to the present invention, a part of the wiring necessary to form the entire module is used as a carrier. The tape 1 will be shared, wiring to the circuit board will be simplified, and space on the circuit board will be saved.
Finally, high density mounting of multiple chips on the substrate becomes possible.

【0069】以上説明したように、本願発明によれば、
半導体装置を支持するキャリヤテープが配線を分担する
ことができるので、多数個の半導体チップを回路基板に
搭載して一定の機能回路を構成する場合において、より
高密度な実装が可能となり、回路構成の著しい小型化に
大きく寄与することができるのである。
As described above, according to the present invention,
Since the carrier tape supporting the semiconductor device can share the wiring, when a large number of semiconductor chips are mounted on the circuit board to form a certain functional circuit, higher density mounting is possible, and the circuit configuration is improved. It is possible to greatly contribute to the remarkable miniaturization.

【0070】もちろん、本願発明の範囲は上述した実施
例に限定されるものではない。本願の各請求項に記載し
た発明概念内での修正、変更、具体化、または応用は、
全て、本願発明の範囲に含まれる。
Of course, the scope of the present invention is not limited to the above embodiments. Modifications, changes, implementations or applications within the inventive concept described in each claim of the present application are
All are included in the scope of the present invention.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本願発明の第一の実施例の略示平面図である。FIG. 1 is a schematic plan view of a first embodiment of the present invention.

【図2】図1のA部拡大図である。FIG. 2 is an enlarged view of part A in FIG.

【図3】図2のIII −III 線に沿う断面図である。FIG. 3 is a sectional view taken along line III-III in FIG.

【図4】図1のIV−IV線に沿う拡大断面図である。FIG. 4 is an enlarged sectional view taken along line IV-IV in FIG.

【図5】本願発明の第二の実施例の略示平面図である。FIG. 5 is a schematic plan view of a second embodiment of the present invention.

【図6】従来例の平面図である。FIG. 6 is a plan view of a conventional example.

【図7】図6のVII −VII 線に沿う拡大断面図である。7 is an enlarged sectional view taken along line VII-VII of FIG.

【図8】図6に示すキャリヤテープを用いてテープキャ
リヤパッケージ化された半導体装置の平面図である。
FIG. 8 is a plan view of a semiconductor device packaged in a tape carrier using the carrier tape shown in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 TAB用キャリヤテープ 1a テープ本体 2 リードパターン 2a インナリード 8 半導体チップ 9 バンプ 13 テープキャリヤパッケージ 14 チップ保持部 15 窓孔 16 配線パターン 18 VIAホール 19 電源ノイズバイパスコンデンサ 20 封止樹脂注入開口 1 TAB carrier tape 1a Tape body 2 Lead pattern 2a Inner lead 8 Semiconductor chip 9 Bump 13 Tape carrier package 14 Chip holding portion 15 Window hole 16 Wiring pattern 18 VIA hole 19 Power noise bypass capacitor 20 Sealing resin injection opening

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 窓孔を設けたテープ本体の下面にリード
パターンを形成し、このリードパターンから上記窓孔内
に延出させたインナリードに半導体チップ上のバンプを
接合して上記半導体チップを支持するためのキャリヤテ
ープであって、 上記窓孔を、上記半導体チップにおける上記バンプが形
成された周縁を部分的に臨ませるように形成することに
より、上記テープ本体における上記半導体チップを覆う
部分を配線パターン形成領域として利用するようにした
ことを特徴とする、TAB用キャリヤテープ。
1. A lead pattern is formed on a lower surface of a tape main body having a window hole, and bumps on a semiconductor chip are bonded to inner leads extending from the lead pattern into the window hole to form the semiconductor chip. A carrier tape for supporting, wherein the window hole is formed so as to partially face the peripheral edge of the semiconductor chip on which the bump is formed, so that a portion of the tape body that covers the semiconductor chip is formed. A carrier tape for TAB, which is used as a wiring pattern forming region.
【請求項2】 窓孔を設けたテープ本体の下面にリード
パターンを形成し、このリードパターンから上記窓孔内
に延出させたインナリードに半導体チップ上のバンプを
接合して上記半導体チップを支持するためのキャリヤテ
ープであって、 上記窓孔は、上記半導体チップにおける上記バンプが形
成された周縁を部分的に臨ませるように形成されてお
り、 上記リードパターンは、上記テープ本体における上記半
導体チップを覆う部分の下面に形成されていて、上記イ
ンナリードは、上記リードパターンから上記窓孔内に延
出させられており、 上記テープ本体の上面には、配線パターンが形成されて
おり、この配線パターンの一部または全部は、VIAホ
ールを介して上記リードパターンの選択されたものに導
通させられている、TAB用キャリヤテープ。
2. A lead pattern is formed on a lower surface of a tape body having a window hole, and bumps on a semiconductor chip are bonded to inner leads extended from the lead pattern into the window hole to form the semiconductor chip. A carrier tape for supporting, wherein the window hole is formed so as to partially face a peripheral edge of the semiconductor chip on which the bump is formed, and the lead pattern is formed on the semiconductor body of the tape body. The inner lead is formed on the lower surface of the portion that covers the chip, the inner lead is extended from the lead pattern into the window hole, and the wiring pattern is formed on the upper surface of the tape body. A part or all of the wiring pattern is electrically connected to the selected one of the lead patterns via the VIA hole. Yatape.
【請求項3】 請求項1または2のTAB用キャリヤテ
ープを用い、上記インナリードに半導体チップ上面のバ
ンプを接続するとともに、上記半導体チップの上面を樹
脂封止したことを特徴とする、テープキャリヤパッケー
ジ。
3. The tape carrier according to claim 1, wherein the TAB carrier tape is used, bumps on the upper surface of the semiconductor chip are connected to the inner leads, and the upper surface of the semiconductor chip is resin-sealed. package.
【請求項4】 所定幅を有し、長手方向に一定長さを有
するテープ本体を備え、 上記テープ本体には長手方向に複数のメモリチップ保持
部が形成されており、 上記各メモリチップ保持部は、一定間隔をあけて形成さ
れた一対の窓孔と、テープ本体裏面における上記各窓孔
間の領域に形成されたリードパターンと、このリードパ
ターンから上記窓孔内に延びるインナリードとを備えて
おり、 上記テープ本体の上面には、その長手方向に延びる複数
の信号用配線パターンが上記各メモリチップ保持部にわ
たって形成されており、 上記各メモリチップ保持部において、上記信号用配線パ
ターンの選択されたものが上記リードパターンの選択さ
れたものに対してVIAホールを介して導通させられて
いることを特徴とする、メモリチップ用キャリヤテー
プ。
4. A tape main body having a predetermined width and having a constant length in the longitudinal direction, wherein the tape main body is formed with a plurality of memory chip holding portions in the longitudinal direction. Comprises a pair of window holes formed at regular intervals, a lead pattern formed in a region between the window holes on the back surface of the tape body, and an inner lead extending from the lead pattern into the window hole. On the upper surface of the tape body, a plurality of signal wiring patterns extending in the longitudinal direction are formed over the respective memory chip holding portions. In each of the memory chip holding portions, selection of the signal wiring pattern is performed. Carrier for a memory chip, characterized in that the selected one is conducted to the selected one of the lead patterns through a VIA hole. Over-flops.
【請求項5】 上記信号用配線パターンは、アドレスバ
ス用パターンおよび/またはデータバス用パターンを含
んでおり、各バス用パターンは、各メモリチップ保持部
において、選択されたリードパターンに対してVIAホ
ールを介して共通接続されている、請求項4のメモリチ
ップ用キャリヤテープ。
5. The signal wiring pattern includes an address bus pattern and / or a data bus pattern, and each bus pattern is a VIA for a selected read pattern in each memory chip holding unit. The carrier tape for a memory chip according to claim 4, wherein the carrier tapes are commonly connected through a hole.
【請求項6】 上記テープ本体の上面には、その長手方
向に上記各メモリチップ保持部にわたって形成される電
源用配線パターンとグランド用配線パターンとをさらに
備えており、 上記各メモリチップ保持部において、上記電源用配線パ
ターンとグランド用配線パターンとの間を掛け渡すバイ
パスコンデンサが搭載されている、請求項4のメモリチ
ップ用キャリヤテープ。
6. The power supply wiring pattern and the ground wiring pattern, which are formed in the longitudinal direction of the tape body over the respective memory chip holding portions, are further provided on the upper surface of the tape body. 5. The carrier tape for a memory chip according to claim 4, wherein a bypass capacitor bridging between the power supply wiring pattern and the ground wiring pattern is mounted.
【請求項7】 請求項4ないし6のいずれかのメモリチ
ップ用キャリヤテープを用い、上面対向辺近傍に形成し
たバンプ付きの端子を有する複数個のメモリチップを、
上記各メモリチップ保持部において、各窓孔に延出する
インナリードに上記バンプを接合することにより支持し
てなる、メモリチップ用テープキャリヤパッケージ。
7. A plurality of memory chips having terminals with bumps formed in the vicinity of a side facing the upper surface using the carrier tape for a memory chip according to claim 4,
A tape carrier package for a memory chip, wherein each of the memory chip holding portions is supported by bonding the bump to an inner lead extending to each window hole.
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