JPH06302938A - プリント配線板及びその製造方法 - Google Patents

プリント配線板及びその製造方法

Info

Publication number
JPH06302938A
JPH06302938A JP10727793A JP10727793A JPH06302938A JP H06302938 A JPH06302938 A JP H06302938A JP 10727793 A JP10727793 A JP 10727793A JP 10727793 A JP10727793 A JP 10727793A JP H06302938 A JPH06302938 A JP H06302938A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plating
wiring board
printed wiring
activation
mounting pad
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP10727793A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3443870B2 (ja
Inventor
Yoshinori Takasaki
義徳 高崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ibiden Co Ltd
Original Assignee
Ibiden Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ibiden Co Ltd filed Critical Ibiden Co Ltd
Priority to JP10727793A priority Critical patent/JP3443870B2/ja
Publication of JPH06302938A publication Critical patent/JPH06302938A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3443870B2 publication Critical patent/JP3443870B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/18Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using precipitation techniques to apply the conductive material
    • H05K3/181Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using precipitation techniques to apply the conductive material by electroless plating
    • H05K3/182Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using precipitation techniques to apply the conductive material by electroless plating characterised by the patterning method
    • H05K3/184Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using precipitation techniques to apply the conductive material by electroless plating characterised by the patterning method using masks
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/22Secondary treatment of printed circuits
    • H05K3/24Reinforcing the conductive pattern
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/40Forming printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
    • H05K3/4007Surface contacts, e.g. bumps

Landscapes

  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
  • Structure Of Printed Boards (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 半田濡れ拡がり性及び電子部品の接着強度に
優れた,プリント配線板及びその製造方法を提供するこ
と。 【構成】 絶縁基板11の表面に設けた導体回路パター
ンにおいて,導体回路パターンにおける実装パッド12
は,化学銅メッキにより形成したパターンメッキ膜12
1と,その表面に化学銅メッキにより形成した活性化メ
ッキ膜2とよりなり,かつ実装パッド12におけるパタ
ーンメッキ膜121の表面は機械研磨により平滑状に形
成されている。活性化メッキ膜2の表面には半田が被覆
され,更にその上に電子部品が搭載接合される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は,半田濡れ拡がり性及び
電子部品の接合強度に優れた,プリント配線板及びその
製造方法に関する。
【0002】
【従来技術】プリント配線板の製造に際しては,銅箔を
表面に有しないガラスエポキシ基板等の絶縁基板を出発
材料とし,化学銅メッキによりパターンメッキを行な
い,実装パッドを含めた導体回路パターンを形成するフ
ルアディティブ法がある。この方法は,主として図6
(A)〜(G)に示すプロセスにより行われる。そし
て,その際は,同図の(H)〜(K)に示すごとく,実
装パッド上に半導体チップ等の電子部品が半田接合され
る。
【0003】即ち,まず図6(A)に示すごとく,上記
絶縁基板を準備し,次に図6(B)に示すごとく,絶縁
基板を外枠フレームも含めた所定の寸法に断裁し,表面
に接着剤の層を形成した後,スルーホール形成のための
穴明けを行う。次いで,その表面に対して,図6(C)
に示すごとく,塩酸系パラジウム溶液等を用いて触媒活
性化処理を行う。次に,図6(D)に示すごとく,導体
回路パターンを形成する部分以外の部分にめっきレジス
ト処理を行なう。
【0004】次に,図6(E)に示すごとく,化学銅メ
ッキ(無電解)により導体回路パターンを形成するため
のパターンメッキを行う。次いで,図6(F)に示すご
とく,後述するノジュール除去のために,バフロール又
はサンドペーパー等を用いて機械研磨を行う。その後,
図6(G)に示すごとく,その表面にソルダーレジスト
を被覆する処理を行う。以上により,導体回路パターン
の形成が終了する。
【0005】次に,図6(H)に示すごとく,プリント
配線板を固片化するために所定の製品寸法に外形加工を
行う。その後,図6(I)に示すごとく,実装パッドへ
の半田被覆処理を行う。そして,図6(J)に示すごと
く,実装パッドの表面に半導体チップ等の電子部品を搭
載する。その後,図6(K)に示すごとく,これらを半
田の融点以上に加熱して,半田リフロー接合により電子
部品を実装パッドに対して接合する。これにより,導体
回路パターンの端部に設けた実装パッドに対して電子部
品6を搭載・実装したプリント配線板を得る。
【0006】
【解決しようとする課題】しかしながら,上記従来技術
には次の問題がある。即ち,まず上記パターンメッキの
工程においては,図7に示すごとく,プリント配線板9
のパターンメッキ膜92とめっきレジスト膜93との境
界上方部分において,いわゆるノジュール921が発生
する場合がある。
【0007】上記ノジュール921は,パターンメッキ
92の異常析出部のことで,突起状のメッキ不良部分で
ある。そのため,このノジュール921を一括して除去
する必要がある。なお,上記ノジュール921の高さ
は,約20〜50μmである。
【0008】そこで,上記図6(F)に示したごとく,
バフロールやサンドペーパー等を用いた機械研磨によ
り,上記ノジュール921を除去するのである。また,
図7において,符号91は絶縁基板,3は接着剤であ
る。ところが,図8に示すごとく,上記機械研磨を行う
と,ノジュール921が除去されると共に,上記パター
ンメッキ膜92はその表面920が平滑状態になってし
まう。
【0009】即ち,図7に示すごとく,パターンメッキ
膜92の表面に,上記化学銅メッキの際に形成されてい
た微細凹凸状のアンカー部分922が除去され,図8に
示すごとく平滑状態になってしまう。そして,上記パタ
ーンメッキ膜92が実装パッド90である場合(図8,
図9)には,上記機械研磨による平滑化は,半田濡れ拡
がり性に重要な影響を与える。
【0010】即ち,実装パッド9の表面が上記のように
平滑化されると,その表面に前記図6(I)に示したご
とく半田を被覆しても,その半田濡れ拡がり性が悪いた
めに,図9に示すごとく,実装パッド90上において半
田7が充分に広がらない。そのため,リフローによって
電子部品を接合(図6(K))しようとしても電子部品
6の接合不良を起こし接合強度が低下するおそれがあ
る。
【0011】本発明は,かかる従来の問題点に鑑みてな
されたもので,半田濡れ拡がり性及び電子部品の接合強
度に優れた,プリント配線板及びその製造方法を提供し
ようとするものである。
【0012】
【課題の解決手段】本発明は,絶縁基板の表面に設けた
導体回路パターンにおいて,該導体回路パターンにおけ
る実装パッドは,化学銅メッキにより形成したパターン
メッキ膜と,その表面に,化学銅メッキにより形成した
活性化メッキ膜とよりなり,かつ上記実装パッドにおけ
るパターンメッキ膜の表面は機械研磨により平滑状に形
成されていることを特徴とするプリント配線板にある。
【0013】本発明において重要なことは,機械研磨し
たパターンメッキ膜における実装パッドの表面に,化学
銅メッキにより形成した活性化メッキ膜が形成されてい
ることにある。上記活性化メッキ膜は,上記フルアディ
ティブ法におけるパターンメッキと同様に,化学銅メッ
キにより形成される。この活性化メッキ膜は,1〜10
μmであることが好ましい。1μm未満では実装パッド
上に配置した半田に対するアンカー効果が充分でなく,
一方10μmを越えてもそれに見合う効果が少ない。
【0014】上記プリント配線板の製造方法としては,
絶縁基板の表面に触媒活性化処理を行ない,次に化学銅
メッキによりパターンメッキを行って導体回路パターン
を形成し,次いで導体回路パターン中の実装パッドの表
面を機械研磨し,その後実装パッドの表面に半田被覆処
理を行うプリント配線板の製造方法において,上記機械
研磨の後に,上記実装パッドに対して化学銅メッキによ
る活性化メッキを行うことを特徴とするプリント配線板
の製造方法がある。
【0015】即ち,上記方法は,基本的には前記フルア
デティブ法を用いるもので,具体的には,例えば次の方
法により行う。まず従来と同様に銅箔を有しない,例え
ばガラスエポキシ基板等の絶縁基板を出発材料とする。
そして,断裁及び穴明け後,例えば塩酸系パラジウム溶
液を用いた触媒活性化処理,めっきレジスト処理を行
う。
【0016】次に,化学銅メッキによりパターンメッキ
を行う。次いで,バフロール又はサンドペーパー等を用
いて機械研磨を行う。次に,例えば研磨表面を脱脂処理
した後に,ソフトエッチングし,酸処理等を施す前処理
を行う。そして,化学銅メッキにより本発明にかかる活
性化メッキを行う。次に,ソルダーレジスト処理,外形
加工,実装パッドへの半田被覆処理,電子部品の搭載
後,半田リフロー接合を加熱により行う(図5参照)。
【0017】
【作用及び効果】本発明のプリント配線板においては,
化学銅メッキにより形成したパターンメッキ膜と,その
表面に化学銅メッキにより形成した活性化メッキ膜とを
有する。上記活性化メッキ膜は,その表面に,メッキ時
に生じた微細な凹凸表面を有する。
【0018】それ故,実装パッドの表面は,半田濡れ拡
がり性が向上し,その結果として半田による電子部品の
接合強度が向上する。また,実装パッド上の活性化メッ
キ膜は,上記凹凸表面を有するので,半田に対するアン
カー効果も発揮する。したがって,本発明によれば,半
田濡れ拡がり性及び電子部品の接合強度に優れた,プリ
ント配線板及びその製造方法を提供することができる。
【0019】
【実施例】実施例1 本発明の実施例にかかるプリント配線板及びその製造方
法につき,図1〜図5を用いて説明する。図1に示すご
とく,本例のプリント配線板1はフルアディティブ法を
利用して作製したもので,絶縁基板11の表面に設けた
導体回路パターンにおいて,その実装パッド12は化学
銅メッキにより形成したパターンメッキ膜121と,そ
の表面に化学銅メッキにより形成した活性化メッキ膜2
とよりなり,かつ上記実装パッドにおけるパターンメッ
キ膜2の表面120は機械研磨により平滑状に形成され
ている。
【0020】上記プリント配線板1の製造方法につき,
その概要を説明する。まず,絶縁基板11を断裁し穴明
けした後(図6参照),図5(C)に示すごとく,絶縁
基板の表面に対して,例えば塩酸系パラジウム溶液を用
いて触媒活性化処理を行う。 次に,図5(D)に示す
ごとく,その表面にめっきレジスト処理を行う。これよ
り,図1〜図3に示すごとく,めっきレジスト膜13を
形成する。
【0021】次いで,図2,図5(E)に示すごとく,
化学銅メッキによりパターンメッキを行い,導体回路パ
ターンとしてのパターンメッキ膜121を形成する。次
いで,図2,図5(F)に示すごとく,実装パッド12
を含む導体回路パターンの表面を,バフロールにより機
械研磨して平滑状になす。
【0022】そして,ここで注目すべきことは,図1,
図5(Y)(Z)に示すごとく,上記機械研磨の後に,
実装パッド12に対して前処理を行ない,次いで化学銅
メッキによる活性化メッキ膜2を形成することである。
その後は,図5(G)〜(K)に示すごとく,従来法と
同様に,順次ソルダーレジスト処理,外形加工,実装パ
ッド12への半田7の被覆処理(図3),電子部品搭
載,半田リフロー接合を行う。
【0023】これにより,図4に示すごとく,上記実装
パッド12の表面に対して半田7により電子部品を搭載
接合(図示略)したプリント配線板1を得る。このプリ
ント配線板1は,実装パッド12の周囲に,導体回路パ
ターンの一部である配線81を有する。また,上記配線
81は,スルーホール(図示略)等に電気的に接続して
ある。
【0024】上記製造方法につき,図1〜図5を用い
て,以下に詳述する。まず,図2に示すごとく,絶縁基
板11の表面に,接着剤3を介してめっきレジスト膜1
3を形成する。次に,図2,図5(E)に示すごとく,
上記めっきレジスト膜13のエッチング露出部分に導体
回路パターンとしてパターンメッキ膜121を形成す
る。
【0025】上記エッチング露出部分は,実装パッド1
2を形成する部分である。上記めっきレジスト膜13と
しては,永久レジスト型のドライフィルムを用いる。ま
た,上記接着剤3としてはエポキシ樹脂を用いる。上記
パターンメッキ膜121は,例えば25〜35μmの厚
みを有する。
【0026】上記絶縁基板11は,銅箔を表面に有しな
い,ガラスエポキシ樹脂複合材料よりなる。絶縁基板1
1の厚みは,約1.6mmである。次に,図5(F)に
示すごとく,上記パターンメッキ膜121の表面120
を,バフロール(♯250)を用いて機械研磨する。こ
れにより,図1,図2に示すごとく,パターンメッキ膜
121の表面120は平滑状になる。また,その両端部
分には,若干丸みを帯びためっきレジスト膜13を有す
る。
【0027】次いで,図5(Y)に示すごとく,上記パ
ターンメッキ膜121の表面を前処理する。この前処理
は,脱脂処理の後,クリーニングのためのソフトエッチ
ング処理を行う。このソフトエッチング処理は,稀硫酸
(H2 SO4 )溶液に過酸化水素(H22 )溶液を加
えたものを用いて行う。
【0028】その後,図1,図5(Z)のごとく,上記
パターンメッキ膜121の表面に対して,化学銅メッキ
により活性化メッキ膜2を形成するための活性化メッキ
を行う。上記活性化メッキは,約1時間をかけて行う。
これにより,厚みが約1.5μmの活性化メッキ膜2が
形成される。上記活性化メッキは,EDTA錯体溶液を
用い,この中にプリント配線板を浸漬することにより行
った。
【0029】ここで注目すべきことは,上記活性化メッ
キ膜2の表面は,図1に示すごとく,微細な凹凸表面2
1を有することである。これにより,半田濡れ拡がり性
が向上する。
【0030】次に,図5(G),(H)に示すごとく,
従来例と同様に,ソルダーレジスト処理,外形加工を行
う。次いで,図3,図4(I)に示すごとく,上記活性
化メッキ膜2の表面に対して半田被覆処理により半田7
を形成する。
【0031】上記半田被覆処理は,例えば半田ペースト
印刷により行う。次に,図4,図5(J)に示すごと
く,実装パッド12(図3)に電子部品6を搭載する。
その後,これらを加熱してリフロー半田接合を行う。
【0032】次に,作用効果につき説明する。本例のプ
リント配線板1においては,図1に示すごとく,化学銅
メッキにより形成したパターンメッキ膜121と,その
表面に化学銅メッキにより形成した活性化メッキ膜2と
を有する。
【0033】上記活性化メッキ膜2は,図2に示すごと
く,その表面に微細な凹凸表面21を有する。そのた
め,図3,図4に示すごとく,実装パッド12の表面に
おける半田濡れ拡がり性が向上し,実装パッド12はそ
の全表面が半田7により覆われている(従来例の図9と
比較)。それ故,電子部品6の接合強度が向上する。ま
た,実装パッド12における活性化メッキ膜2は,メッ
キ時に生じた凹凸表面21を有するので,半田に対する
アンカー効果も得られる。したがって,本例によれば,
半田濡れ拡がり性及び電子部品の接合強度に優れた,プ
リント配線板1を得ることができる。
【0034】実施例2 本例は,上記実施例1において,バフロール(♯25
0)を用いた機械研磨に代えて,ペーパーサンダ(♯5
00)による機械研磨を行ったものである。また,活性
化メッキ膜2の厚み1.5μmを,3.0μmとしたも
のである。活性化メッキは,実施例1と同様にして,2
時間処理により形成した。その他は,実施例1と同様で
ある。本例においても実施例1と同様の作用効果を得る
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例1における,パターンメッキ膜上に活性
化メッキ膜を形成した状態を示すプリント配線板の要部
断面図。
【図2】実施例1における,パターンメッキ膜を形成し
た状態を示すプリント配線板の要部断面図。
【図3】実施例1における,活性化メッキ膜上に半田被
覆処理を行った状態を示すプリント配線板の要部断面
図。
【図4】実施例1にかかるプリント配線板の要部平面
図。
【図5】実施例1にかかるプリント配線板の製造方法の
工程説明図。
【図6】従来のプリント配線板の製造方法の工程説明
図。
【図7】従来のプリント配線板における,メッキにより
発生したノジュールを示す説明図。
【図8】従来のプリント配線板の製造方法における機械
研磨後の状態を示すプリント配線板の要部断面図。
【図9】従来のプリント配線板の要部平面図。
【符号の説明】
1...プリント配線板, 11...絶縁基板, 12...実装パッド, 121...パターンメッキ膜, 13...めっきレジスト膜, 2...活性化メッキ膜, 21...凹凸表面, 7...半田,

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 絶縁基板の表面に設けた導体回路パター
    ンにおいて,該導体回路パターンにおける実装パッド
    は,化学銅メッキにより形成したパターンメッキ膜と,
    その表面に化学銅メッキにより形成した活性化メッキ膜
    とよりなり, かつ上記実装パッドにおけるパターンメッキ膜の表面は
    機械研磨により平滑状に形成されていることを特徴とす
    るプリント配線板。
  2. 【請求項2】 請求項1において,活性化メッキ膜は1
    〜10μmの厚みを有することを特徴とするプリント配
    線板。
  3. 【請求項3】 絶縁基板の表面に触媒活性化処理を行な
    い,次に化学銅メッキによりパターンメッキを行って導
    体回路パターンを形成し,次いで導体回路パターン中の
    実装パッドの表面を機械研磨し,その後実装パッドの表
    面に半田被覆処理を行うプリント配線板の製造方法にお
    いて, 上記機械研磨の後に,上記実装パッドに対して化学銅メ
    ッキによる活性化メッキを行うことを特徴とするプリン
    ト配線板の製造方法。
  4. 【請求項4】 請求項3において,活性化メッキにより
    形成する活性化メッキ膜は,1〜10μmの厚みを有す
    ることを特徴とするプリント配線板の製造方法。
JP10727793A 1993-04-09 1993-04-09 プリント配線板及びその製造方法 Expired - Lifetime JP3443870B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10727793A JP3443870B2 (ja) 1993-04-09 1993-04-09 プリント配線板及びその製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10727793A JP3443870B2 (ja) 1993-04-09 1993-04-09 プリント配線板及びその製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH06302938A true JPH06302938A (ja) 1994-10-28
JP3443870B2 JP3443870B2 (ja) 2003-09-08

Family

ID=14454995

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10727793A Expired - Lifetime JP3443870B2 (ja) 1993-04-09 1993-04-09 プリント配線板及びその製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3443870B2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1065711A2 (en) * 1999-06-30 2001-01-03 Intersil Corporation Method of manufacturing a plated electronic termination
JP2012039008A (ja) * 2010-08-10 2012-02-23 Toshiba Corp 半導体素子
TWI576962B (zh) * 2015-03-24 2017-04-01 日月光半導體製造股份有限公司 半導體基板結構與半導體封裝及其製造方法

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1065711A2 (en) * 1999-06-30 2001-01-03 Intersil Corporation Method of manufacturing a plated electronic termination
EP1065711A3 (en) * 1999-06-30 2001-11-07 Intersil Corporation Method of manufacturing a plated electronic termination
US7174626B2 (en) 1999-06-30 2007-02-13 Intersil Americas, Inc. Method of manufacturing a plated electronic termination
JP2012039008A (ja) * 2010-08-10 2012-02-23 Toshiba Corp 半導体素子
TWI576962B (zh) * 2015-03-24 2017-04-01 日月光半導體製造股份有限公司 半導體基板結構與半導體封裝及其製造方法
US10002843B2 (en) 2015-03-24 2018-06-19 Advanced Semiconductor Engineering, Inc. Semiconductor substrate structure, semiconductor package and method of manufacturing the same

Also Published As

Publication number Publication date
JP3443870B2 (ja) 2003-09-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2003043393A1 (fr) Carte de circuit imprime et procede de fabrication
JP2000261141A (ja) 多層配線基板及びその製造方法並びに半導体装置
JP3443870B2 (ja) プリント配線板及びその製造方法
EP0818946B1 (en) A printed-wiring board and a production method thereof
WO1998043295A1 (fr) Plaquette de circuit et son procede de production
JP3694796B2 (ja) プリント配線板及びその製造方法
JPH04144190A (ja) 配線基板およびその製造方法
JPH09199830A (ja) フレキシブル配線基板の製造方法
JP3760857B2 (ja) プリント配線板の製造方法
WO2003002786A1 (fr) Procede d'electrodeposition et procede de fabrication de carte imprimee
JP3527965B2 (ja) プリント配線板
JP2002198639A (ja) プリント配線板とその製造方法および電子部品の実装方法
JP3665036B2 (ja) プリント配線板の製造方法及びプリント配線板
JPS6355236B2 (ja)
JP2001007250A (ja) パッケージ基板
JP2000252384A (ja) 突起電極付き配線基板への熱可塑性接着剤層形成方法
JPH1117300A (ja) 配線基板、回路部品実装体、電子部品パッケージ、配線基板の製造方法及び、電子部品のパッケージの製造方法
JP4031899B2 (ja) 電子部品実装用フィルムキャリアテープの製造方法
JP3429743B2 (ja) 配線基板
JP2001094018A (ja) 半導体パッケージ及びその製法
JPH0878842A (ja) プリント配線板の製造方法
JP3376930B2 (ja) 配線板及びその製造方法
JP2849163B2 (ja) 電子回路基板の製造方法
JPH0653640A (ja) プリント配線板及びその製造方法
JP3729555B2 (ja) プリント配線板

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080627

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090627

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090627

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 7

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100627

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 7

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100627

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110627

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 8

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110627

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120627

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130627

Year of fee payment: 10