JPH06302394A - 帯電防止方法およびその装置 - Google Patents
帯電防止方法およびその装置Info
- Publication number
- JPH06302394A JPH06302394A JP9138393A JP9138393A JPH06302394A JP H06302394 A JPH06302394 A JP H06302394A JP 9138393 A JP9138393 A JP 9138393A JP 9138393 A JP9138393 A JP 9138393A JP H06302394 A JPH06302394 A JP H06302394A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- antistatic member
- antistatic
- separated
- charge
- neutralizer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Elimination Of Static Electricity (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、ウェハー等の帯電防止部材への帯
電を防止するための帯電防止方法およびその装置に関
し、安全かつ効率的にウェハー等への帯電を防止するこ
とを目的とする。 【構成】 帯電防止部材に磁束を作用させることによ
り、帯電防止部材に帯電された負電荷および正電荷を、
帯電防止部材の一側および他側に分離し、分離された負
電荷および正電荷を、負電荷中和器および正電荷中和器
により中和するように構成する。
電を防止するための帯電防止方法およびその装置に関
し、安全かつ効率的にウェハー等への帯電を防止するこ
とを目的とする。 【構成】 帯電防止部材に磁束を作用させることによ
り、帯電防止部材に帯電された負電荷および正電荷を、
帯電防止部材の一側および他側に分離し、分離された負
電荷および正電荷を、負電荷中和器および正電荷中和器
により中和するように構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ウェハー等の帯電防止
部材への帯電を防止するための帯電防止方法およびその
装置に関する。
部材への帯電を防止するための帯電防止方法およびその
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体製造工場における半導体
の製造プロセスには、ウェハーの洗浄工程が存在し、さ
らに、この洗浄工程で洗浄されたウェハーを乾燥するた
めに、ウェハーを回転して乾燥させるドライスピン工程
が存在する。
の製造プロセスには、ウェハーの洗浄工程が存在し、さ
らに、この洗浄工程で洗浄されたウェハーを乾燥するた
めに、ウェハーを回転して乾燥させるドライスピン工程
が存在する。
【０００３】従来、このドライスピン工程においては、
ウェハーに静電気が帯電することが良く知られており、
ウェハーに静電気が帯電すると、ウェハーの微細パター
ンが破壊される虞れがある。
ウェハーに静電気が帯電することが良く知られており、
ウェハーに静電気が帯電すると、ウェハーの微細パター
ンが破壊される虞れがある。
【０００４】そこで、従来、ドライスピン工程におい
て、ウェハーの近傍の空気をイオン化し、陽イオンと陰
イオンとを発生させ、帯電を防止することが行われてい
る。従来、空気をイオン化する方法としては、イオナイ
ザーによる方法，Ｘ線あるいは紫外線を空気に照射する
方法等が知られている。
て、ウェハーの近傍の空気をイオン化し、陽イオンと陰
イオンとを発生させ、帯電を防止することが行われてい
る。従来、空気をイオン化する方法としては、イオナイ
ザーによる方法，Ｘ線あるいは紫外線を空気に照射する
方法等が知られている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、イオナ
イザーによる方法では、微小な塵が発生する虞れがあ
り、また、Ｘ線あるいは紫外線を空気に照射する方法で
は、これ等が人体に照射されると皮膚癌等を引き起こす
虞れがあるという問題があった。
イザーによる方法では、微小な塵が発生する虞れがあ
り、また、Ｘ線あるいは紫外線を空気に照射する方法で
は、これ等が人体に照射されると皮膚癌等を引き起こす
虞れがあるという問題があった。
【０００６】本発明は、かかる従来の問題を解決すべく
なされたもので、安全かつ効率的にウェハー等への帯電
を防止することができる帯電防止方法およびその装置を
提供することを目的とする。
なされたもので、安全かつ効率的にウェハー等への帯電
を防止することができる帯電防止方法およびその装置を
提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１の帯電防止方法
は、中心部を中心にして回転される帯電防止部材の前記
中心部の両側に、向きの異なる磁束を作用させ、前記帯
電防止部材に帯電された負電荷を前記帯電防止部材の一
側に、正電荷を他側に分離させ、前記一側に分離された
負電荷を負電荷中和器により中和し、前記他側に分離さ
れた正電荷を正電荷中和器により中和するものである。
は、中心部を中心にして回転される帯電防止部材の前記
中心部の両側に、向きの異なる磁束を作用させ、前記帯
電防止部材に帯電された負電荷を前記帯電防止部材の一
側に、正電荷を他側に分離させ、前記一側に分離された
負電荷を負電荷中和器により中和し、前記他側に分離さ
れた正電荷を正電荷中和器により中和するものである。
【０００８】請求項２の帯電防止装置は、中心部を中心
にして回転される帯電防止部材の前記中心部の両側に、
向きの異なる磁束を作用させ、前記帯電防止部材に帯電
された負電荷を前記帯電防止部材の一側に、正電荷を他
側に分離させる磁界発生手段と、前記帯電防止部材の前
記一側の外側に配置され、前記帯電防止部材の一側に分
離された負電荷を中和する負電荷中和器と、前記帯電防
止部材の前記他側の外側に配置され、前記帯電防止部材
の他側に分離された正電荷を中和する正電荷中和器とを
有するものである。
にして回転される帯電防止部材の前記中心部の両側に、
向きの異なる磁束を作用させ、前記帯電防止部材に帯電
された負電荷を前記帯電防止部材の一側に、正電荷を他
側に分離させる磁界発生手段と、前記帯電防止部材の前
記一側の外側に配置され、前記帯電防止部材の一側に分
離された負電荷を中和する負電荷中和器と、前記帯電防
止部材の前記他側の外側に配置され、前記帯電防止部材
の他側に分離された正電荷を中和する正電荷中和器とを
有するものである。
【０００９】請求項３の帯電防止方法は、所定の速度で
移動される帯電防止部材に磁束を作用させ、前記帯電防
止部材に帯電された負電荷を前記帯電防止部材の一側
に、正電荷を他側に分離させ、一側に分離された負電荷
を負電荷中和器により中和し、他側に分離された正電荷
を正電荷中和器により中和するものである。
移動される帯電防止部材に磁束を作用させ、前記帯電防
止部材に帯電された負電荷を前記帯電防止部材の一側
に、正電荷を他側に分離させ、一側に分離された負電荷
を負電荷中和器により中和し、他側に分離された正電荷
を正電荷中和器により中和するものである。
【００１０】請求項４の帯電防止装置は、所定の速度で
移動される帯電防止部材の移動通路に配置され、前記帯
電防止部材に磁束を作用させ、前記帯電防止部材に帯電
された負電荷を前記帯電防止部材の一側に、正電荷を他
側に分離させる磁界発生手段と、前記帯電防止部材の移
動通路の前記帯電防止部材の一側の外側に配置され、前
記帯電防止部材の一側に分離された負電荷を中和する負
電荷中和器と、前記帯電防止部材の移動通路の前記帯電
防止部材の他側の外側に配置され、前記帯電防止部材の
他側に分離された正電荷を中和する正電荷中和器とを有
するものである。
移動される帯電防止部材の移動通路に配置され、前記帯
電防止部材に磁束を作用させ、前記帯電防止部材に帯電
された負電荷を前記帯電防止部材の一側に、正電荷を他
側に分離させる磁界発生手段と、前記帯電防止部材の移
動通路の前記帯電防止部材の一側の外側に配置され、前
記帯電防止部材の一側に分離された負電荷を中和する負
電荷中和器と、前記帯電防止部材の移動通路の前記帯電
防止部材の他側の外側に配置され、前記帯電防止部材の
他側に分離された正電荷を中和する正電荷中和器とを有
するものである。
【００１１】
【作用】本発明では、帯電防止部材に磁束を作用させる
ことにより、帯電防止部材に帯電された負電荷および正
電荷が、帯電防止部材の一側および他側に分離され、分
離された負電荷および正電荷が、負電荷中和器および正
電荷中和器により中和される。
ことにより、帯電防止部材に帯電された負電荷および正
電荷が、帯電防止部材の一側および他側に分離され、分
離された負電荷および正電荷が、負電荷中和器および正
電荷中和器により中和される。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の詳細を図面を用いて説明す
る。図１および図２は、本発明の帯電防止装置の第１の
実施例を備えたドライスピン装置を示すもので、図にお
いて符号１１は、回転駆動される回転板を示している。
る。図１および図２は、本発明の帯電防止装置の第１の
実施例を備えたドライスピン装置を示すもので、図にお
いて符号１１は、回転駆動される回転板を示している。
【００１３】この回転板１１上には、例えば、ウェハー
等の帯電防止部材１３が、中心部を中心にして回転する
ように載置固定され、回転板１１を回転することにより
帯電防止部材１３の乾燥処理が行われる。
等の帯電防止部材１３が、中心部を中心にして回転する
ように載置固定され、回転板１１を回転することにより
帯電防止部材１３の乾燥処理が行われる。
【００１４】帯電防止部材１３の上方および下方には、
馬蹄形状をした一対のコイル１５が配置されている。こ
の一対のコイル１５は、帯電防止部材１３の中心部の両
側に、中心部から所定間隔を置いた位置に、向きの異な
る磁束Ｂ1 ，Ｂ2 を作用させ、帯電防止部材１３に帯電
された負電荷を帯電防止部材１３の一側に、正電荷を他
側に分離させる作用をする。
馬蹄形状をした一対のコイル１５が配置されている。こ
の一対のコイル１５は、帯電防止部材１３の中心部の両
側に、中心部から所定間隔を置いた位置に、向きの異な
る磁束Ｂ1 ，Ｂ2 を作用させ、帯電防止部材１３に帯電
された負電荷を帯電防止部材１３の一側に、正電荷を他
側に分離させる作用をする。
【００１５】すなわち、帯電防止部材１３の中心部の両
側に、帯電防止部材１３を貫通して向きの異なる磁束Ｂ
1 ，Ｂ2 を作用させると、フレミングの右手の法則によ
り、図３に示すように、親指が運動の方向を、人指し指
が磁界の方向を、中指が起電力の方向を示す関係にな
り、帯電防止部材１３に帯電された負電荷が帯電防止部
材１３の一側に、正電荷が他側に分離される。
側に、帯電防止部材１３を貫通して向きの異なる磁束Ｂ
1 ，Ｂ2 を作用させると、フレミングの右手の法則によ
り、図３に示すように、親指が運動の方向を、人指し指
が磁界の方向を、中指が起電力の方向を示す関係にな
り、帯電防止部材１３に帯電された負電荷が帯電防止部
材１３の一側に、正電荷が他側に分離される。
【００１６】帯電防止部材１３の外側には、帯電防止部
材１３の一側に分離された負電荷を中和する、例えば、
陽イオンプラズマガラリからなる負電荷中和器１７が配
置されている。
材１３の一側に分離された負電荷を中和する、例えば、
陽イオンプラズマガラリからなる負電荷中和器１７が配
置されている。
【００１７】また、帯電防止部材１３の他の外側には、
帯電防止部材１３の他側に分離された正電荷を中和す
る、例えば、陰イオンプラズマガラリからなる正電荷中
和器１９が配置されている。
帯電防止部材１３の他側に分離された正電荷を中和す
る、例えば、陰イオンプラズマガラリからなる正電荷中
和器１９が配置されている。
【００１８】負電荷中和器１７および正電荷中和器１９
には、負電荷中和器１７に陽イオンを供給し、正電荷中
和器１９に陰イオンを供給するイオン分離装置２１が接
続されている。
には、負電荷中和器１７に陽イオンを供給し、正電荷中
和器１９に陰イオンを供給するイオン分離装置２１が接
続されている。
【００１９】しかして、この実施例の帯電防止方法で
は、中心部を中心にして回転される帯電防止部材１３の
中心部の両側に、向きの異なる磁束Ｂ1 ，Ｂ2 を作用さ
せ、帯電防止部材１３に帯電された負電荷を帯電防止部
材１３の一側に、正電荷を他側に分離させ、一側に分離
された負電荷を負電荷中和器１７により中和し、他側に
分離された正電荷を正電荷中和器１９により中和するよ
うにしたので、従来のようにウェハー等の帯電防止部材
１３の近傍の空気をイオン化する必要がなくなり、安全
かつ効率的にウェハー等への帯電を防止することができ
る。
は、中心部を中心にして回転される帯電防止部材１３の
中心部の両側に、向きの異なる磁束Ｂ1 ，Ｂ2 を作用さ
せ、帯電防止部材１３に帯電された負電荷を帯電防止部
材１３の一側に、正電荷を他側に分離させ、一側に分離
された負電荷を負電荷中和器１７により中和し、他側に
分離された正電荷を正電荷中和器１９により中和するよ
うにしたので、従来のようにウェハー等の帯電防止部材
１３の近傍の空気をイオン化する必要がなくなり、安全
かつ効率的にウェハー等への帯電を防止することができ
る。
【００２０】また、この実施例の帯電防止装置では、装
置を、中心部を中心にして回転される帯電防止部材１３
の中心部の両側に、向きの異なる磁束Ｂ1 ，Ｂ2 を作用
させ、帯電防止部材１３に帯電された負電荷を帯電防止
部材１３の一側に、正電荷を他側に分離させるコイル１
５と、帯電防止部材１３の一側の外側に配置され、帯電
防止部材１３の一側に分離された負電荷を中和する負電
荷中和器１７と、帯電防止部材１３の他側の外側に配置
され、帯電防止部材１３の他側に分離された正電荷を中
和する正電荷中和器１９とから構成したので、安全かつ
効率的にウェハー等への帯電を防止することができる。
置を、中心部を中心にして回転される帯電防止部材１３
の中心部の両側に、向きの異なる磁束Ｂ1 ，Ｂ2 を作用
させ、帯電防止部材１３に帯電された負電荷を帯電防止
部材１３の一側に、正電荷を他側に分離させるコイル１
５と、帯電防止部材１３の一側の外側に配置され、帯電
防止部材１３の一側に分離された負電荷を中和する負電
荷中和器１７と、帯電防止部材１３の他側の外側に配置
され、帯電防止部材１３の他側に分離された正電荷を中
和する正電荷中和器１９とから構成したので、安全かつ
効率的にウェハー等への帯電を防止することができる。
【００２１】図４および図５は、本発明の帯電防止装置
の第２の実施例を備えたドライスピン装置を示すもの
で、図において符号２３は、回転駆動される回転板を示
している。
の第２の実施例を備えたドライスピン装置を示すもの
で、図において符号２３は、回転駆動される回転板を示
している。
【００２２】この回転板２３上には、ウェハー等の帯電
防止部材１３が収容される複数のキャリヤー２５が同心
状に載置固定されており、回転板２３を回転し、キャリ
ヤー２５を回転移動することにより帯電防止部材１３の
乾燥処理が行われる。
防止部材１３が収容される複数のキャリヤー２５が同心
状に載置固定されており、回転板２３を回転し、キャリ
ヤー２５を回転移動することにより帯電防止部材１３の
乾燥処理が行われる。
【００２３】帯電防止部材１３の移動通路２７の所定位
置の上方および下方には、帯電防止部材１３に磁束Ｂを
作用させ、帯電防止部材１３に帯電された負電荷を帯電
防止部材１３の一側に、正電荷を他側に分離させるコイ
ル２９が配置されている。
置の上方および下方には、帯電防止部材１３に磁束Ｂを
作用させ、帯電防止部材１３に帯電された負電荷を帯電
防止部材１３の一側に、正電荷を他側に分離させるコイ
ル２９が配置されている。
【００２４】すなわち、帯電防止部材１３の移動通路２
７の所定位置に磁束Ｂを作用させておくと、帯電防止部
材１３がこの磁束Ｂを通過する時に、フレミングの右手
の法則により、図３に示したように、親指が運動の方向
を、人指し指が磁界の方向を、中指が起電力の方向を示
す関係になり、帯電防止部材１３に帯電された負電荷が
帯電防止部材１３の一側に、正電荷が他側に分離する。
７の所定位置に磁束Ｂを作用させておくと、帯電防止部
材１３がこの磁束Ｂを通過する時に、フレミングの右手
の法則により、図３に示したように、親指が運動の方向
を、人指し指が磁界の方向を、中指が起電力の方向を示
す関係になり、帯電防止部材１３に帯電された負電荷が
帯電防止部材１３の一側に、正電荷が他側に分離する。
【００２５】帯電防止部材１３の移動通路２７の外側に
は、帯電防止部材１３の一側に分離された負電荷を中和
する陽イオンプラズマガラリからなる負電荷中和器１７
が配置されている。
は、帯電防止部材１３の一側に分離された負電荷を中和
する陽イオンプラズマガラリからなる負電荷中和器１７
が配置されている。
【００２６】また、帯電防止部材１３の移動通路２７の
内側には、負電荷中和器１７に対向する位置に、帯電防
止部材１３の他側に分離された正電荷を中和する陰イオ
ンプラズマガラリからなる正電荷中和器１９が配置され
ている。
内側には、負電荷中和器１７に対向する位置に、帯電防
止部材１３の他側に分離された正電荷を中和する陰イオ
ンプラズマガラリからなる正電荷中和器１９が配置され
ている。
【００２７】負電荷中和器１７および正電荷中和器１９
には、負電荷中和器１７に陽イオンを供給し、正電荷中
和器１９に陰イオンを供給するイオン分離装置２１が接
続されている。
には、負電荷中和器１７に陽イオンを供給し、正電荷中
和器１９に陰イオンを供給するイオン分離装置２１が接
続されている。
【００２８】しかして、この実施例の帯電防止方法で
は、所定の速度で移動される帯電防止部材１３に磁束Ｂ
を作用させ、帯電防止部材１３に帯電された負電荷を帯
電防止部材１３の一側に、正電荷を他側に分離させ、一
側に分離された負電荷を負電荷中和器１７により中和
し、他側に分離された正電荷を正電荷中和器１９により
中和するようにしたので、従来のようにウェハー等の帯
電防止部材１３の近傍の空気をイオン化する必要がなく
なり、安全かつ効率的にウェハー等への帯電を防止する
ことが可能になる。
は、所定の速度で移動される帯電防止部材１３に磁束Ｂ
を作用させ、帯電防止部材１３に帯電された負電荷を帯
電防止部材１３の一側に、正電荷を他側に分離させ、一
側に分離された負電荷を負電荷中和器１７により中和
し、他側に分離された正電荷を正電荷中和器１９により
中和するようにしたので、従来のようにウェハー等の帯
電防止部材１３の近傍の空気をイオン化する必要がなく
なり、安全かつ効率的にウェハー等への帯電を防止する
ことが可能になる。
【００２９】また、この実施例の帯電防止装置では、装
置を、所定の速度で移動される帯電防止部材１３の移動
通路２７に配置され、帯電防止部材１３に磁束Ｂを作用
させ、帯電防止部材１３に帯電された負電荷を帯電防止
部材１３の一側に、正電荷を他側に分離させるコイル１
５と、帯電防止部材１３の移動通路の帯電防止部材１３
の一側の外側に配置され、帯電防止部材１３の一側に分
離された負電荷を中和する負電荷中和器１７と、帯電防
止部材１３の移動通路２７の帯電防止部材１３の他側の
外側に配置され、帯電防止部材１３の他側に分離された
正電荷を中和する正電荷中和器１９とから構成したの
で、安全かつ効率的にウェハー等への帯電を防止するこ
とができる。
置を、所定の速度で移動される帯電防止部材１３の移動
通路２７に配置され、帯電防止部材１３に磁束Ｂを作用
させ、帯電防止部材１３に帯電された負電荷を帯電防止
部材１３の一側に、正電荷を他側に分離させるコイル１
５と、帯電防止部材１３の移動通路の帯電防止部材１３
の一側の外側に配置され、帯電防止部材１３の一側に分
離された負電荷を中和する負電荷中和器１７と、帯電防
止部材１３の移動通路２７の帯電防止部材１３の他側の
外側に配置され、帯電防止部材１３の他側に分離された
正電荷を中和する正電荷中和器１９とから構成したの
で、安全かつ効率的にウェハー等への帯電を防止するこ
とができる。
【００３０】なお、以上述べた実施例では、コイル１
５，２９により磁界を発生させた例について説明した
が、本発明はかかる実施例に限定されるものではなく、
例えば、永久磁石等を使用して磁界を発生するようにし
ても良いことは勿論である。
５，２９により磁界を発生させた例について説明した
が、本発明はかかる実施例に限定されるものではなく、
例えば、永久磁石等を使用して磁界を発生するようにし
ても良いことは勿論である。
【００３１】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の帯電防止方
法およびその装置では、帯電防止部材に磁束を作用させ
ることにより、帯電防止部材に帯電された負電荷および
正電荷が、帯電防止部材の一側および他側に分離され、
分離された負電荷および正電荷が、負電荷中和器および
正電荷中和器により中和されるため、安全かつ効率的に
ウェハー等への帯電を防止することができるという利点
がある。
法およびその装置では、帯電防止部材に磁束を作用させ
ることにより、帯電防止部材に帯電された負電荷および
正電荷が、帯電防止部材の一側および他側に分離され、
分離された負電荷および正電荷が、負電荷中和器および
正電荷中和器により中和されるため、安全かつ効率的に
ウェハー等への帯電を防止することができるという利点
がある。
【図１】本発明の帯電防止装置の第１の実施例を備えた
ドライスピン装置を示す側面図である。
ドライスピン装置を示す側面図である。
【図２】図１の上面図である。
【図３】フレミングの右手の法則を示す説明図である。
【図４】本発明の帯電防止装置の第２の実施例を備えた
ドライスピン装置を示す上面図である。
ドライスピン装置を示す上面図である。
【図５】図４の側面図である。
１１，２３ 回転板 １３ 帯電防止部材 １５，２９ コイル １７ 負電荷中和器 １９ 正電荷中和器 ２１ イオン分離装置 ２５ キャリヤー ２７ 移動通路 Ｂ，Ｂ1 ，Ｂ2 磁束
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石黒 武 東京都江東区南砂２丁目５番14号 株式会 社竹中工務店技術研究所内
Claims (4)
- 【請求項１】 中心部を中心にして回転される帯電防止
部材の前記中心部の両側に、向きの異なる磁束を作用さ
せ、前記帯電防止部材に帯電された負電荷を前記帯電防
止部材の一側に、正電荷を他側に分離させ、前記一側に
分離された負電荷を負電荷中和器により中和し、前記他
側に分離された正電荷を正電荷中和器により中和するこ
とを特徴とする帯電防止方法。 - 【請求項２】 中心部を中心にして回転される帯電防止
部材の前記中心部の両側に、向きの異なる磁束を作用さ
せ、前記帯電防止部材に帯電された負電荷を前記帯電防
止部材の一側に、正電荷を他側に分離させる磁界発生手
段と、 前記帯電防止部材の前記一側の外側に配置され、前記帯
電防止部材の一側に分離された負電荷を中和する負電荷
中和器と、 前記帯電防止部材の前記他側の外側に配置され、前記帯
電防止部材の他側に分離された正電荷を中和する正電荷
中和器と、を有することを特徴とする帯電防止装置。 - 【請求項３】 所定の速度で移動される帯電防止部材に
磁束を作用させ、前記帯電防止部材に帯電された負電荷
を前記帯電防止部材の一側に、正電荷を他側に分離さ
せ、一側に分離された負電荷を負電荷中和器により中和
し、他側に分離された正電荷を正電荷中和器により中和
することを特徴とする帯電防止方法。 - 【請求項４】 所定の速度で移動される帯電防止部材の
移動通路に配置され、前記帯電防止部材に磁束を作用さ
せ、前記帯電防止部材に帯電された負電荷を前記帯電防
止部材の一側に、正電荷を他側に分離させる磁界発生手
段と、 前記帯電防止部材の移動通路の前記帯電防止部材の一側
の外側に配置され、前記帯電防止部材の一側に分離され
た負電荷を中和する負電荷中和器と、 前記帯電防止部材の移動通路の前記帯電防止部材の他側
の外側に配置され、前記帯電防止部材の他側に分離され
た正電荷を中和する正電荷中和器と、を有することを特
徴とする帯電防止装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09138393A JP3340503B2 (ja) | 1993-04-19 | 1993-04-19 | 帯電防止方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09138393A JP3340503B2 (ja) | 1993-04-19 | 1993-04-19 | 帯電防止方法およびその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06302394A true JPH06302394A (ja) | 1994-10-28 |
| JP3340503B2 JP3340503B2 (ja) | 2002-11-05 |
Family
ID=14024854
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09138393A Expired - Fee Related JP3340503B2 (ja) | 1993-04-19 | 1993-04-19 | 帯電防止方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3340503B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012090299A1 (ja) * | 2010-12-28 | 2012-07-05 | 株式会社マルシュウ | 帯電防止装置 |
-
1993
- 1993-04-19 JP JP09138393A patent/JP3340503B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012090299A1 (ja) * | 2010-12-28 | 2012-07-05 | 株式会社マルシュウ | 帯電防止装置 |
| JPWO2012090299A1 (ja) * | 2010-12-28 | 2014-06-05 | 株式会社マルシュウ | 帯電防止装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3340503B2 (ja) | 2002-11-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0671871A1 (en) | Appararus and method for producing gaseous ions by use of x-rays, and various apparatuses and structures using them | |
| JP2001077095A (ja) | 処理装置及び処理方法 | |
| JPH10507029A (ja) | 重イオンビームの高速の磁気走査 | |
| KR20210025699A (ko) | 중성 원자 빔을 이용한 워크피스 처리를 위한 시스템 및 방법 | |
| KR102281155B1 (ko) | 정전 척 장치 및 정전 흡착 방법 | |
| JP3340503B2 (ja) | 帯電防止方法およびその装置 | |
| JP3384828B2 (ja) | 帯電防止方法およびその装置 | |
| JP3081003B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
| JP3599373B2 (ja) | イオン注入装置及びイオン注入方法 | |
| US6867422B1 (en) | Apparatus for ion implantation | |
| JP2006203134A (ja) | 中性粒子ビーム処理装置 | |
| JP2017157641A (ja) | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 | |
| JP2002313596A (ja) | 除電装置 | |
| JPS6412061B2 (ja) | ||
| JPH06104164A (ja) | 電子線描画装置 | |
| JPH05175180A (ja) | 半導体ウエーハ表面処理装置及び半導体ウエーハ表面処理方法 | |
| JPS60232570A (ja) | 放電器 | |
| JPS63208220A (ja) | 集束イオンビ−ム照射方法 | |
| JPH06326039A (ja) | 中性粒子加工方法およびその装置 | |
| JPS62126538A (ja) | イオン注入装置 | |
| JPH0740297Y2 (ja) | 半導体製造処理装置 | |
| JP4374400B2 (ja) | 磁気イオン・ビーム走査装置 | |
| JPS62154448A (ja) | ウエハ−の帯電抑制装置 | |
| JP3470469B2 (ja) | レチクル保持装置および保持方法 | |
| JPH0432569A (ja) | イオン処理装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080816 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 6 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080816 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 7 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090816 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090816 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100816 Year of fee payment: 8 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |