JP3384828B2 - 帯電防止方法およびその装置 - Google Patents
帯電防止方法およびその装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、イオン化された空気に
より帯電を防止する帯電防止方法およびその装置に関す
る。
より帯電を防止する帯電防止方法およびその装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体工場等で生産される半導
体基板，ガラス基板，ウェハキャリア等は、その静電容
量Ｃが、例えば、通常１０ｐＦと小さいために、僅かな
電荷量Ｑが帯電しても、その電位Ｖ（＝Ｑ／Ｃ）が、容
易に数千ボルトから数万ボルトに達し、この静電気力に
よる放電により、微細パターンが破壊される虞れがあ
る。
体基板，ガラス基板，ウェハキャリア等は、その静電容
量Ｃが、例えば、通常１０ｐＦと小さいために、僅かな
電荷量Ｑが帯電しても、その電位Ｖ（＝Ｑ／Ｃ）が、容
易に数千ボルトから数万ボルトに達し、この静電気力に
よる放電により、微細パターンが破壊される虞れがあ
る。
【０００３】そこで、従来、空気をイオン化し、陽イオ
ンと陰イオンとを発生させ、帯電を防止することが行わ
れている。従来、空気をイオン化する方法としては、イ
オナイザーによる方法，Ｘ線あるいは紫外線を空気に照
射する方法等が知られている。
ンと陰イオンとを発生させ、帯電を防止することが行わ
れている。従来、空気をイオン化する方法としては、イ
オナイザーによる方法，Ｘ線あるいは紫外線を空気に照
射する方法等が知られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、イオナ
イザーによる方法では、微小な塵が発生する虞れがあ
り、また、Ｘ線あるいは紫外線を空気に照射する方法で
は、これ等が人体に照射されると皮膚癌等を引き起こす
虞れがあるという問題があった。
イザーによる方法では、微小な塵が発生する虞れがあ
り、また、Ｘ線あるいは紫外線を空気に照射する方法で
は、これ等が人体に照射されると皮膚癌等を引き起こす
虞れがあるという問題があった。
【０００５】そこで、Ｘ線あるいは紫外線を空気に照射
する方法では、Ｘ線あるいは紫外線を照射する場所を、
人体から充分に離れた場所に設け、イオン化された空気
を半導体基板，ガラス基板，ウェハキャリア等まで移動
させて、帯電を防止する方法が考えられるが、従来の技
術では、イオン化された空気の移動可能距離は、例え
ば、３０cm程度以内であるという問題があった。
する方法では、Ｘ線あるいは紫外線を照射する場所を、
人体から充分に離れた場所に設け、イオン化された空気
を半導体基板，ガラス基板，ウェハキャリア等まで移動
させて、帯電を防止する方法が考えられるが、従来の技
術では、イオン化された空気の移動可能距離は、例え
ば、３０cm程度以内であるという問題があった。
【０００６】本発明者等は、かかる従来の問題を解決す
べく鋭意研究した結果、イオン化された空気の移動可能
距離が短いのは、イオン化された空気に陽イオンと陰イ
オンとが混在しているため、これ等が比較的迅速に結合
してしまうためであることを見出した。
べく鋭意研究した結果、イオン化された空気の移動可能
距離が短いのは、イオン化された空気に陽イオンと陰イ
オンとが混在しているため、これ等が比較的迅速に結合
してしまうためであることを見出した。
【０００７】本発明は、かかる知見に基づいてなされた
もので、イオン化された空気を遠くまで確実に移動して
帯電を防止することができる帯電防止方法およびその装
置を提供することを目的とする。
もので、イオン化された空気を遠くまで確実に移動して
帯電を防止することができる帯電防止方法およびその装
置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の帯電防止方法
は、イオン発生器により陽イオンと陰イオンとが混在す
る状態にイオン化された空気を所定の流速で流しなが
ら、流れ方向に直角な方向に磁界を作用させ、前記陽イ
オンと陰イオンとを分離し、分離された陽イオンと陰イ
オンとを別々に移動させ帯電を防止すべき部材の近傍で
噴出するものである。
は、イオン発生器により陽イオンと陰イオンとが混在す
る状態にイオン化された空気を所定の流速で流しなが
ら、流れ方向に直角な方向に磁界を作用させ、前記陽イ
オンと陰イオンとを分離し、分離された陽イオンと陰イ
オンとを別々に移動させ帯電を防止すべき部材の近傍で
噴出するものである。
【０００９】本発明の帯電防止装置は、一側に空気流入
口が形成され、他側に二股状の分岐部が形成され前記分
岐部の下流側が帯電を防止すべき部材の近傍まで延在さ
れるダクトと、前記ダクトを流通する空気を陽イオンと
陰イオンとが混在する状態にイオン化させるイオン発生
器と、このイオン発生器でイオン化された空気の流れ方
向に直角な方向に磁界を作用させ前記陽イオンと陰イオ
ンとを前記分岐部の上流側で分離する磁界発生手段とを
有するものである。
口が形成され、他側に二股状の分岐部が形成され前記分
岐部の下流側が帯電を防止すべき部材の近傍まで延在さ
れるダクトと、前記ダクトを流通する空気を陽イオンと
陰イオンとが混在する状態にイオン化させるイオン発生
器と、このイオン発生器でイオン化された空気の流れ方
向に直角な方向に磁界を作用させ前記陽イオンと陰イオ
ンとを前記分岐部の上流側で分離する磁界発生手段とを
有するものである。
【００１０】
【作用】本発明では、分離された陽イオンと陰イオンと
を別々に移動させるようにしたので、比較的長い時間に
わたりイオンを確実に分離し、帯電を防止すべき部材の
近傍まで確実に導くことができる。
を別々に移動させるようにしたので、比較的長い時間に
わたりイオンを確実に分離し、帯電を防止すべき部材の
近傍まで確実に導くことができる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の詳細を図面を用いて説明す
る。図１は、本発明の帯電防止装置の一実施例を示すも
ので、図において符号１１は、一側に空気流入口１１ａ
が形成され、他側に二股状の分岐部が形成されるダクト
を示している。
る。図１は、本発明の帯電防止装置の一実施例を示すも
ので、図において符号１１は、一側に空気流入口１１ａ
が形成され、他側に二股状の分岐部が形成されるダクト
を示している。
【００１２】分岐部の一方は、陽イオンダクト１１ｂと
され、他方が陰イオンダクト１１ｃとされている。ダク
ト１１の一側には、イオン化され易い気体、例えば、窒
素の多いイオン化され易い空気をダクト１１に供給する
ためのファン１３が配置されている。
され、他方が陰イオンダクト１１ｃとされている。ダク
ト１１の一側には、イオン化され易い気体、例えば、窒
素の多いイオン化され易い空気をダクト１１に供給する
ためのファン１３が配置されている。
【００１３】このファン１３によりダクト１１内に供給
された空気は、所定速度ｖでダクト１１内を流れる。ダ
クト１１の空気流入口１１ａの下流側には、ダクト１１
を流通する空気を陽イオンと陰イオンとが混在する状態
にイオン化させるイオン発生器１５が配置されている。
された空気は、所定速度ｖでダクト１１内を流れる。ダ
クト１１の空気流入口１１ａの下流側には、ダクト１１
を流通する空気を陽イオンと陰イオンとが混在する状態
にイオン化させるイオン発生器１５が配置されている。
【００１４】このイオン発生器１５は、Ｘ線あるいは紫
外線を、ダクト１１を流れる空気に照射することによ
り、ダクト１１を流通する空気を陽イオンと陰イオンと
が混在する状態にイオン化させるように構成されてい
る。
外線を、ダクト１１を流れる空気に照射することによ
り、ダクト１１を流通する空気を陽イオンと陰イオンと
が混在する状態にイオン化させるように構成されてい
る。
【００１５】なお、Ｘ線により空気をイオン化させる場
合には、空気に、１Å〜１０Å程度の軟Ｘ線を照射する
ことにより、空気分子を効率良くイオン化できることが
知られている。
合には、空気に、１Å〜１０Å程度の軟Ｘ線を照射する
ことにより、空気分子を効率良くイオン化できることが
知られている。
【００１６】ダクト１１のイオン発生器１５の下流側に
は、イオン発生器１５でイオン化された空気の流れ方向
に直角な方向に磁界Ｂを作用させ陽イオンと陰イオンと
を分離するための磁界発生手段であるコイル１７が配置
されている。
は、イオン発生器１５でイオン化された空気の流れ方向
に直角な方向に磁界Ｂを作用させ陽イオンと陰イオンと
を分離するための磁界発生手段であるコイル１７が配置
されている。
【００１７】すなわち、空気の流れ方向に直角な方向に
磁界Ｂを作用させると、フレミングの左手の法則によ
り、図２に示すように、親指が力を、人指し指が磁界
を、中指が電流を示す関係になり、陽イオンダクト１１
ｂ側に陽イオンが、陰イオンダクト１１ｃ側に陰イオン
が分離する。
磁界Ｂを作用させると、フレミングの左手の法則によ
り、図２に示すように、親指が力を、人指し指が磁界
を、中指が電流を示す関係になり、陽イオンダクト１１
ｂ側に陽イオンが、陰イオンダクト１１ｃ側に陰イオン
が分離する。
【００１８】分離された陽イオンおよび陰イオンは、陽
イオンダクト１１ｂおよび陰イオンダクト１１ｃを通っ
て半導体基板，ガラス基板，ウェハキャリア等の近傍ま
で移動され、半導体基板，ガラス基板，ウェハキャリア
等の近傍において噴出される。
イオンダクト１１ｂおよび陰イオンダクト１１ｃを通っ
て半導体基板，ガラス基板，ウェハキャリア等の近傍ま
で移動され、半導体基板，ガラス基板，ウェハキャリア
等の近傍において噴出される。
【００１９】しかして、上述した帯電防止方法では、陽
イオンと陰イオンとが混在する状態にイオン化された空
気を所定の流速で流しながら、流れ方向に直角な方向に
磁界Ｂを作用させ、陽イオンと陰イオンとを分離し、分
離された陽イオンと陰イオンとを別々に移動させるよう
にしたので、比較的長い時間にわたりイオンを確実に分
離することができるため、イオン化された空気を遠くの
帯電を防止すべき部材の近傍まで確実に移動することが
可能になる。
イオンと陰イオンとが混在する状態にイオン化された空
気を所定の流速で流しながら、流れ方向に直角な方向に
磁界Ｂを作用させ、陽イオンと陰イオンとを分離し、分
離された陽イオンと陰イオンとを別々に移動させるよう
にしたので、比較的長い時間にわたりイオンを確実に分
離することができるため、イオン化された空気を遠くの
帯電を防止すべき部材の近傍まで確実に移動することが
可能になる。
【００２０】また、上述した帯電防止装置では、装置
を、一側に空気流入口１１ａが形成され、他側に二股状
の分岐部が形成されるダクト１１と、ダクト１１を流通
する空気を陽イオンと陰イオンとが混在する状態にイオ
ン化させるイオン発生器１５と、このイオン発生器１５
でイオン化された空気の流れ方向に直角な方向に磁界Ｂ
を作用させ陽イオンと陰イオンとを分離するコイル１７
とから構成したので、イオン化された空気を遠くの帯電
を防止すべき部材の近傍まで確実に移動することが可能
になる。
を、一側に空気流入口１１ａが形成され、他側に二股状
の分岐部が形成されるダクト１１と、ダクト１１を流通
する空気を陽イオンと陰イオンとが混在する状態にイオ
ン化させるイオン発生器１５と、このイオン発生器１５
でイオン化された空気の流れ方向に直角な方向に磁界Ｂ
を作用させ陽イオンと陰イオンとを分離するコイル１７
とから構成したので、イオン化された空気を遠くの帯電
を防止すべき部材の近傍まで確実に移動することが可能
になる。
【００２１】なお、以上述べた実施例では、コイル１７
により磁界を発生させた例について説明したが、本発明
はかかる実施例に限定されるものではなく、例えば、永
久磁石等を使用して磁界を発生するようにしても良いこ
とは勿論である。
により磁界を発生させた例について説明したが、本発明
はかかる実施例に限定されるものではなく、例えば、永
久磁石等を使用して磁界を発生するようにしても良いこ
とは勿論である。
【００２２】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の帯電防止方
法およびその装置では、イオン発生器により分離された
陽イオンと陰イオンとを別々に移動させるようにしたの
で、比較的長い時間にわたりイオンを確実に分離するこ
とができるため、イオン化された空気を遠くまで確実に
移動することができ、イオン発生器を帯電を防止すべき
部材から充分に離隔することができるという利点があ
る。
法およびその装置では、イオン発生器により分離された
陽イオンと陰イオンとを別々に移動させるようにしたの
で、比較的長い時間にわたりイオンを確実に分離するこ
とができるため、イオン化された空気を遠くまで確実に
移動することができ、イオン発生器を帯電を防止すべき
部材から充分に離隔することができるという利点があ
る。
【図１】本発明の帯電防止装置の一実施例を示す斜視図
である。
である。
【図２】フレミングの左手の法則を示す説明図である。
１１ ダクト
１１ｂ 陽イオンダクト
１１ｃ 陰イオンダクト
１３ ファン
１５ イオン発生器
１７ コイル
Ｂ 磁界（磁束密度Ｔ）
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 石黒 武
東京都江東区南砂２丁目５番14号 株式
会社竹中工務店技術研究所内
(56)参考文献 国際公開92／7255（ＷＯ，Ａ１)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H05F 3/04
H01T 23/00
Claims (2)
- 【請求項１】 イオン発生器により陽イオンと陰イオン
とが混在する状態にイオン化された空気を所定の流速で
流しながら、流れ方向に直角な方向に磁界を作用させ、
前記陽イオンと陰イオンとを分離し、分離された陽イオ
ンと陰イオンとを別々に移動させ帯電を防止すべき部材
の近傍で噴出することを特徴とする帯電防止方法。 - 【請求項２】 一側に空気流入口が形成され、他側に二
股状の分岐部が形成され前記分岐部の下流側が帯電を防
止すべき部材の近傍まで延在されるダクトと、 前記ダクトを流通する空気を陽イオンと陰イオンとが混
在する状態にイオン化させるイオン発生器と、 このイオン発生器でイオン化された空気の流れ方向に直
角な方向に磁界を作用させ前記陽イオンと陰イオンとを
前記分岐部の上流側で分離する磁界発生手段と、 を有することを特徴とする帯電防止装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09138293A JP3384828B2 (ja) | 1993-04-19 | 1993-04-19 | 帯電防止方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09138293A JP3384828B2 (ja) | 1993-04-19 | 1993-04-19 | 帯電防止方法およびその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06302396A JPH06302396A (ja) | 1994-10-28 |
| JP3384828B2 true JP3384828B2 (ja) | 2003-03-10 |
Family
ID=14024826
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09138293A Expired - Fee Related JP3384828B2 (ja) | 1993-04-19 | 1993-04-19 | 帯電防止方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3384828B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4682497B2 (ja) * | 2003-03-18 | 2011-05-11 | アイシン精機株式会社 | 温水洗浄便座装置用イオン発生・吹出し装置 |
| CN100460770C (zh) * | 2005-09-23 | 2009-02-11 | 余泰成 | 气体电驱动方法及装置 |
| US20130206738A1 (en) * | 2012-02-10 | 2013-08-15 | First Solar, Inc. | In situ inductive ablation meter |
| KR101358250B1 (ko) * | 2012-06-20 | 2014-02-06 | 주식회사 다원시스 | 플라스마 이온 분리 및 가속 세정 방법 및 장치 |
| KR101358252B1 (ko) * | 2012-06-20 | 2014-02-06 | 주식회사 다원시스 | 플라스마 이온 분리 세정 방법 및 장치 |
| WO2013191430A1 (ko) * | 2012-06-20 | 2013-12-27 | 주식회사 다원시스 | 플라스마 이온을 이용한 세정 장치 및 세정 방법 |
| CN108539590A (zh) * | 2017-03-01 | 2018-09-14 | 湖南三安科技开发有限公司 | 分离式空气负离子发生装置 |
-
1993
- 1993-04-19 JP JP09138293A patent/JP3384828B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06302396A (ja) | 1994-10-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |