JPH0629088A

JPH0629088A - Ｅｌ素子の製造方法

Info

Publication number: JPH0629088A
Application number: JP4069430A
Authority: JP
Inventors: Toyoshi Iida; 豊志飯田; Hisashi Takahashi; 恒高橋; Takeshi Tonomura; 毅外村; Yuko Fujii; 雄幸藤井; Kenichi Kondo; 健一近藤; Takahiro Saida; 隆浩齋田; Shuichi Taya; 周一田谷; Yoshiyasu Yamakawa; 禎康山川; Shunichi Osawa; 俊一大沢
Original assignee: Marcon Electronics Co Ltd; Japan Metals and Chemical Co Ltd; Stanley Electric Co Ltd
Current assignee: Marcon Electronics Co Ltd; Japan Metals and Chemical Co Ltd; Stanley Electric Co Ltd
Priority date: 1992-02-19
Filing date: 1992-02-19
Publication date: 1994-02-04
Anticipated expiration: 2011-08-21
Also published as: JP2525990B2

Abstract

(57)【要約】【目的】電気的特性に優れ、かつ発光ムラが少ないＥＬ
素子を得ることができる、ＥＬ素子の製造方法を提供す
る。【構成】アルミニウム箔を中性電解液中で陽極酸化し
て、表面に緻密な無孔質酸化アルミニウムのバリヤー型
皮膜を形成する工程と、前記バリヤー型皮膜が形成され
たアルミニウム箔を水と接触させることにより、前記バ
リヤー型被膜上に、起毛を有するアルミニウム水和酸化
物層を形成する工程と、前記アルミニウム水和酸化物層
上に直接ＥＬ発光層、透明電極層を形成する工程とを含
む方法によりＥＬ素子を製造する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ＥＬ（エレクトロルミ
ネッセンス）素子の製造方法に関し、特に液晶表示装置
（ＬＣＤ）のバックライト等に用いるのに適したＥＬ素
子の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年の電子装置は、軽量、薄型、低電圧
低消費電力（電池駆動）の要求が強く、表示装置として
はＬＣＤ（液晶表示装置）の利用が増加している。とこ
ろで、ＬＣＤ自体は光を発生しないので、視認性を改良
するためＥＬ素子（ランプ）等のバックライトを採用す
るようになってきた。

【０００３】このような光源としては、薄く、軽量に、
低価格でという要求が強い。ＥＬ素子は、たとえば蛍光
灯や白熱電球に比べて薄くすることができ、消費電力の
低い面発光光源である。

【０００４】図３に従来の技術によるＥＬ素子の例を概
略的に示す。アルミニウム箔で形成された背面電極１１
の上に、樹脂絶縁層１２が形成されている。この樹脂絶
縁層１２は、高誘電率有機樹脂（以下バインダとよぶ）
を溶剤に溶き、チタン酸バリウム粉末を分散し、インク
状にして背面電極１１の上に印刷等の方法で塗布し、乾
燥することによって形成できる。

【０００５】この樹脂絶縁層１２の上に、ＥＬ発光層１
３および透明電極１４が形成されている。ＥＬ発光層１
３は、上述同様のバインダに蛍光体粉末を分散し、イン
ク状として塗布した後、乾燥することによって形成でき
る。

【０００６】また、透明電極１４は、同様のバインダに
ＩＴＯ（インジウム錫酸化物）粉末を分散し、インク状
にして塗布、乾燥することによって得られる。背面電極
１１および透明電極１４からリード線１５を導出し、本
体部分は防湿性の高いフィルムでパッケージし、ＥＬ素
子が形成される。

【０００７】チタン酸バリウムは、大きな誘電率を有す
る。したがって、電極間にチタン酸バリウムの層を形成
しても、チタン酸バリウムの層によって降下する電圧は
小さい。このため、ＥＬ発光層に十分な電圧を印加する
ことができ、高い輝度を得やすい。

【０００８】しかしながら、アルミニウム層表面にチタ
ン酸バリウム層を形成するためには、塗布工程等を行う
必要があり、絶縁層の厚さの減少には限界がある。ま
た、塗布工程で起こる塗布ムラにより、いわゆる「はじ
き」を生じ、発光ムラが発生する。

【０００９】アルミニウム箔表面をアルマイト皮膜で覆
い、このアルマイト皮膜で上述のチタン酸バリウム層を
置き換える技術が提案されている。特開昭６４−１０５
９７号公報は、アルミニウム箔を陽極酸化し、片面にア
ルマイト処理した絶縁層を形成したアルミニウム箔を背
面電極とした電界発光（ＥＬ）灯を開示する。

【００１０】特開平１−２０９６９３号公報は、アルミ
ニウム箔表面にアルマイト層と白色コート層を形成した
分散型エレクトロルミネッセンスパネル用アルミニウム
積層体を開示する。

【００１１】特開平１−２２５０９７号公報は、アルミ
ニウム箔表面を陽極酸化し、多孔質酸化皮膜を形成した
分散型ＥＬ素子を開示する。これらの技術は、背面電極
であるアルミニウム箔をアルマイト加工して表面にアル
マイト皮膜を形成し、このアルマイト皮膜を絶縁層とし
て用いるものである。

【００１２】アルミニウム箔表面のアルマイト皮膜は、
チタン酸バリウムの絶縁層と比べて安価に製作でき、同
等の発光効率と輝度を有するＥＬ素子を得ることができ
る。また、アルマイト皮膜を備えたアルミニウム箔は密
着性に優れる。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、アルミサッシ
やアルミホイール等の表面処理にも古くから用いられる
アルマイト加工は、「アルミニウムハンドブック」軽金
属協会昭和３８年発行、第８２０−８２１頁等にも記
載されているように、硫酸等の酸性水溶液中で陽極酸化
して６μｍ〜数百μｍの多孔質皮膜を形成する方法であ
る。

【００１４】アルマイト層は、絶縁耐圧が低く、電界強
度の増加とともに漏れ電流が大きくなる。したがって、
ＥＬ素子としての耐圧が低く、発光効率が上げられない
と実用上問題があった。

【００１５】本発明の目的は、電気的特性に優れ、かつ
発光ムラが少ないＥＬ素子を得ることができる、ＥＬ素
子の製造方法を提供することである。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明のＥＬ素子の製造
方法は、アルミニウム箔を中性電解液中で陽極酸化し
て、表面に緻密な無孔質酸化アルミニウムのバリヤー型
皮膜を形成する工程と、バリヤー型皮膜が形成されたア
ルミニウム箔を水と接触させることにより、バリヤー型
被膜上に、起毛を有するアルミニウム水和酸化物層を形
成する工程と、アルミニウム水和酸化物層上に直接ＥＬ
発光層、透明電極層を形成する工程とを含む。

【００１７】

【作用】アルミニウム箔表面に中性陽極酸化によって形
成された緻密な無孔質酸化アルミニウム（バリヤー型皮
膜）は、多孔質酸化アルミニウムと比べ、高い絶縁性を
有する。また、密度が高いこと等により、電気的特性の
向上を可能とする。

【００１８】そして、無孔質酸化アルミニウムの表層
に、起毛を有するアルミニウム水和酸化物を形成してお
くと、ＥＬ発光層形成時のバインダの濡れ性等が改善さ
れる。このため、はじきを防止し、発光ムラを減少させ
ることができる。

【００１９】さらには、バリヤー型皮膜の形成後にアル
ミニウム水和酸化物を形成する工程を取り入れることに
より、箔表面を清浄化することもできる。即ち、バリヤ
ー型皮膜形成後のアルミニウム箔表面には化成液（電解
質液）中にあった水酸化アルミニウムのフロックが残存
する場合があるが、バリヤー型皮膜形成後にアルミニウ
ム水和酸化物を形成する工程を行うことにより、箔表面
に残存する水酸化アルミニウムのフロックを除去するこ
とができる。この清浄化により、はじきの一因となるア
ルミニウム箔表面の汚れを少なくすることができるた
め、さらに発光ムラを減少させることができる。

【００２０】

【実施例】本発明者らは、中性電解液中での陽極酸化に
より陽極酸化膜（バリヤー型皮膜に相当）を形成してこ
れを絶縁膜として使用することにより、樹脂絶縁層ある
いはアルマイト皮膜により絶縁層を形成した従来のＥＬ
素子の問題点を解決し得ることを見い出し、このＥＬ素
子およびその製造方法については既に特許出願を行って
いる（特願平２−４１６７８２号他）。

【００２１】以下、先に提案した方法により得られるＥ
Ｌ素子と本発明により得られるＥＬ素子との性能比較を
行いつつ、本発明の実施例について説明する。実施例まず、粘着剤を塗布した有機フィルムにより片面をマス
キングした純度９９．９９％以上のアルミニウム箔を陽
極とし、カーボン板を陰極とし、純水１ｌ中に炭酸ナト
リウム１５０ｇと燐酸ナトリウム５０ｇとを溶かした液
を電解液として用いて、電流密度１２Ａ／ｄｍ² 、電解
液温度９０℃の条件で２分間電解研磨を行って、片面が
電解研磨されたアルミニウム箔を得た。

【００２２】次いで、電解研磨したアルミニウム箔を陽
極とし、純度９９．９９％以上のアルミニウム板を陰極
とし、０．２ｍｏｌ／ｌのホウ酸アンモニウム水溶液を
中性電解液として用いて、電流密度０．８Ａ／ｄｍ² 、
電解液温度約６０℃の条件で定電流電解し、電圧が２５
０Ｖに到達した後は電流値が１／１０以下になるまで定
電圧電解して、陽極酸化を行った。この陽極酸化によ
り、アルミニウム箔の表面に緻密な無孔質酸化アルミニ
ウムのバリヤー型皮膜（厚さ約０．２５μｍ）が形成さ
れた。

【００２３】次に、バリヤー型皮膜が形成されたアルミ
ニウム箔を沸騰純水中に３０分間浸漬することにより、
起毛を有するアルミニウム水和酸化物層（厚さ約０．５
μｍ）をバリヤー型被膜上に形成した。

【００２４】バリヤー型皮膜の形成後、蛍光体粉末を分
散させたシアノエチル−４，４，６−トリグルカン（シ
アノエチルプルラン）等のバインダにＤＭＦ（ジメチル
ホルムアミド）を加えてインク状にし、アルミニウム水
和酸化物上に直接塗布し、乾燥して、ＥＬ発光層を形成
した。

【００２５】さらに、ＥＬ発光層上にリード線を置き、
この上から、ＩＴＯがポリエステルフィルムに蒸着され
ている透明電極フィルムを熱圧着した。この後、アルミ
ニウム箔の片面に付けておいたフィルムを外し、フィル
ムを外した側のアルミニウム箔表面からリード線を導出
して、図１に示すような構造のＥＬ素子（サンプル１）
を得た。

【００２６】このＥＬ素子では、アルミニウム箔（背面
電極に相当）１の表面に、中性陽極酸化により、緻密な
無孔質酸化アルミニウムのバリヤー型皮膜２が形成され
ており、バリヤー型皮膜２上には、起毛を有するアルミ
ニウム水和酸化物層３が形成されている。アルミニウム
水和酸化物層３上には直接、ＥＬ発光層４が形成されて
おり、ＥＬ発光層４上には透明電極フィルム５が圧着さ
れている。そして、アルミニウム箔１および透明電極フ
ィルム５からは、それぞれリード線６が導出されてい
る。

【００２７】必要に応じ、このＥＬ素子を防湿性の高い
フィルムでパッケージする。なお、表面研磨処理を省略
して中性陽極酸化、水和処理を行うことも可能である。
また、燐酸や燐酸塩を添加した水、あるいは付活剤を添
加した水で水和処理を行うこともできる。

【００２８】このようにして製造したＥＬ素子の性能
を、印加電圧１００Ｖ（交流４００Ｈｚ）の条件で測定
した。結果を表１に示す。実施例電解研磨後に、バリヤー型皮膜を形成したアルミニウム
箔の沸騰純水中への浸漬時間を１２０分間にして、起毛
を有する厚さ約０．７μｍのアルミニウム水和酸化物層
を形成した以外は上述の実施例と同様にして、ＥＬ素子
（サンプル２）を製造した。

【００２９】このＥＬ素子の性能を同様に測定した。結
果を表１に示す。実施例電解研磨を行わなかった以外はサンプル１と同様にし
て、ＥＬ素子（サンプル３）を製造した。

【００３０】このＥＬ素子の性能を同様に測定した。結
果を表１に示す。比較例アルミニウム箔の表面にサンプル１と同様にしてバリヤ
ー型皮膜を形成した後、アルミニウム水和酸化物層を形
成しなかった以外はサンプル１と同様にしてＥＬ素子を
製造した（この製造方法は、上述の先の提案の方法に相
当する。）。

【００３１】比較のため、このＥＬ素子の性能を同様に
測定した。結果を表１に併せて示す。

【００３２】

【表１】

【００３３】表１から明らかなように、上述の実施例に
基づいて製造したいずれのＥＬ素子も、アルミニウム水
和酸化物層を形成しなかった比較例のＥＬ素子よりもさ
らに輝度および発光効率が向上していた。また、上述の
実施例に基づいて製造したいずれのＥＬ素子について
も、過電圧がかかった場合でも絶縁層（無孔質酸化アル
ミニウムとアルミニウム水和酸化物層）が破壊されない
ことが確認でき、さらには発光ムラが少ないことが確認
できた。

【００３４】なお、Ｘ線解析により測定した結果、アル
ミニウム水和酸化物層はベーマイトであることが確認で
きた。上述の実施例によれば、絶縁層の形成に塗布工程
を用いることなく、かつ同等以上の特性を有するＥＬ素
子を製造することが可能である。バリヤー型皮膜の形成
は、塗布により絶縁樹脂層を形成する場合と比べ、必要
な材料費、手間が軽減できる。また、製造原価を低減す
ることもできる。

【００３５】さらに、アルマイト皮膜を形成する場合と
比べた場合には、バリヤー型皮膜を形成することによ
り、ＥＬ素子の耐電圧性を大幅に向上させることができ
る。また、漏れ電流を減少させることができ、ＥＬ素子
の発光効率を向上させることができる。

【００３６】本発明のＥＬ素子の製造方法は上述の方法
に限定されるものではなく、種々の変形例および応用例
を含む。たとえば、アルミニウム箔を中性電解液中で陽
極酸化するにあたっては、電解液としてｐＨ５〜８のホ
ウ酸アンモニウム系水溶液、燐酸アンモニウム系水溶
液、アジピン酸アンモニウム系水溶液等の無機、または
有機酸塩の中性水溶液を用いることができ、いずれの電
解液を用いた場合でも、アルミニウム箔の表面に緻密な
無孔質酸化アルミニウムのバリヤー型皮膜を形成するこ
とができる。

【００３７】陽極酸化時の電流密度は０．１〜５Ａ／ｄ
ｍ² の範囲内が、また定電圧移行後の降下電流値は０．
０１〜５Ａ／ｄｍ² の範囲内がそれぞれ好ましい。電解
浴温度は、常温〜９０℃が好ましい。ただし、これらの
条件は制限的なものではない。

【００３８】このようにして得られるバリヤー型皮膜の
厚さは、０．１〜０．４５μｍ程度が好ましい。０．４
５μｍを超えるとバリヤー型皮膜中の電圧降下が大きく
なり、得られるＥＬ素子の輝度が低下する。一方、０．
１μｍ未満では得られるＥＬ素子の耐電圧性が低下しや
すい。

【００３９】中性電解液中で電解する理由は、緻密なバ
リヤー型皮膜を形成するためである。アルマイト処理の
ように、酸性電解液で電解すると、形成される酸化物膜
は多孔質の皮膜になる。無孔質の緻密なバリヤー型皮膜
を形成することにより、耐電圧性に優れたＥＬ素子が得
られる。

【００４０】バリヤー型皮膜の表面に形成するアルミニ
ウム水和酸化物層の厚さは０．１μｍ以上であることが
好ましい。０．１μｍ未満ではＥＬ発光層形成の際の濡
れ性改善の効果を保証することが難しい。

【００４１】起毛を有するアルミニウム水和酸化物物層
は、バリヤー型皮膜を形成した後のアルミニウム箔を水
と接触させるさせることにより形成することができる。
この接触は、バリヤー型皮膜を形成した後のアルミニウ
ム箔を水に浸漬する以外にも、水蒸気雰囲気（ウエット
雰囲気）に露出すること等によって行うことができる。

【００４２】バリヤー型皮膜を形成した後のアルミニウ
ム箔を水に浸漬することによりアルミニウム水和酸化物
層を形成する場合には、水として５０℃以上、好ましく
は９０℃以上に加熱したものを用いることが望ましい。

【００４３】アルミニウム水和酸化物層を形成する際に
用いる水としては、純水の他に蒸留水、イオン交換水等
を用いてもよいことは自明であろう。また、水に濃度１
ｐｐｍ〜１００ｐｐｍの範囲内で燐酸もしくは燐酸塩を
添加することもできる。燐酸もしくは燐酸塩を添加する
と、水和ムラがなくなり、輝度の高いＥＬ素子を製造す
ることができる。

【００４４】また、水にはＭｎや、Ｅｕ、Ｔｂ、Ｎｄ、
Ｄｙ等の希土類等の付活剤を添加することもできる。こ
れらの付活剤は、生成される層中に均一に分散し、結果
としてＥＬ素子の輝度を向上させる。

【００４５】このようにして形成することができるアル
ミニウム水和酸化物層の電子顕微鏡写真（×２０００
０）を図２に示す。図２のサンプルは、水和後のアルミ
ニウム箔を折り曲げて断面を出したものである。同図に
示すように、バリヤー型皮膜２上に形成されたアルミニ
ウム水和酸化物層３は、表面から不定形断面を有する起
毛が主として垂直な方向に伸びた構造を有する。アルミ
ニウム水和酸化物層３の表面は、起毛が種々の高さまで
形成され、複雑な形状となっている。起毛は、ＥＬ発光
層形成時のバインダの濡れ性を改善し、はじきを防止
し、発光ムラを減少させるのに有効である。なお、図２
において図１と共通する部分については、図１と同じ符
号を付してその説明を省略する。

【００４６】また、バリヤー型皮膜の形成後にアルミニ
ウム水和酸化物を形成する工程を取り入れることによ
り、箔表面を清浄化することもできる。この清浄化によ
り、たとえば化成液（電解質液）中にあった水酸化アル
ミニウムのフロックがバリヤー型皮膜形成後のアルミニ
ウム箔表面に残存していた場合でも、このフロックを除
去することができる。この清浄化により、はじきの一因
となるアルミニウム箔表面の汚れを少なくすることがで
きるため、これによっても発光ムラを減少させることが
できる。

【００４７】バリヤー型皮膜形成後にアルミニウム水和
酸化物を形成すると、それ自体が複合皮膜となる。この
複合皮膜は、単にバリヤー型皮膜を形成したものとは明
確に区別されるが、さらに次のようにバリヤー型皮膜の
化学組成においても異なっている。

【００４８】すなわち、単にバリヤー型皮膜を形成した
場合には、このバリヤー型皮膜の表面部分に多くの電解
質アニオンが存在するが、水和処理によりその電解質高
濃度混入層は水和酸化物層に転移し、バリヤー型皮膜は
電解質アニオンのほとんど含まれない皮膜となる。

【００４９】その結果、バリヤー型皮膜部分に不純物が
含まれなくなり、結晶性が良くなって、輝度や発光効率
等の電気的特性の少なくとも１つが改良される。本発明
の方法では、上述のようにして形成したアルミニウム水
和酸化物層上に直接ＥＬ発光層を形成することができ
る。ＥＬ発光層の形成方法は特に限定されるものではな
く、たとえば、シアノエチル−４，４，６−トリグルカ
ンやシアノエチルポリビニールアルコール等の高誘電率
を有するバインダに蛍光体粉末を分散し、ＤＭＦ（ジメ
チルホルムアミド）等の溶剤で溶いてインク状としたも
のを塗布し、乾燥するといった当分野で公知の方法を適
用することができる。

【００５０】また、ＥＬ発光層上に透明電極を形成する
際の方法も特に限定されるものではなく、ポリエステル
フィルム表面にＩＴＯを蒸着した透明電極フィルムを熱
圧着する方法の他にも、たとえば、ＩＴＯ粉末をシアノ
エチル−４，４，６−トリグルカン等のバインダと共に
ＤＭＦ等の溶剤で溶いてインク状としたものをＥＬ発光
層上に塗布し、乾燥するといった方法等の当分野で公知
の方法を適用することができる。

【００５１】このようにして透明電極まで形成した構造
に対しては、一般に、電圧を印加する機構を設ける。電
圧を印加する機構は、たとえば、背面電極であるアルミ
ニウム箔と透明電極からそれぞれリード線を導出して図
１に示すような構造にすることにより設けることができ
るが、この構造に限定されるものではない。さらに、Ｅ
Ｌ素子本体を防湿フィルムのパッケージに収容する等の
方法により封止することが好ましい。

【００５２】上述のようにして製造されたＥＬ素子は、
バリヤー型皮膜とアルミニウム水和酸化物層とを有する
ことから、耐電圧性を改良すると同時に、輝度や発光効
率等の電気的特性の少なくとも１つを改良することがで
きる。さらに、発光ムラも少なくできる。

【００５３】なお、中性電解液中でアルミニウム箔を陽
極酸化するのに先立ってアルミニウム箔に表面研磨処理
を施すことにより、輝度や発光効率が更に向上したＥＬ
素子を製造することができる。表面研磨の方法として
は、電解研磨法の他に化学研磨法、機械研磨法等の方法
を適用することができる。これらの表面研磨法は周知で
あるが、その例を以下に述べる。

【００５４】・電解研磨法表面研磨しようとするアルミニウム箔を陽極とし、カー
ボン板等を陰極とし、純水１ｌ中に炭酸ナトリウム１５
０ｇと燐酸ナトリウム５０ｇとを溶かした液を電解液と
して用いて、電流密度１２Ａ／ｄｍ² 、電解液温度９０
℃の条件で２分間電解処理することにより、表面が研磨
されたアルミニウム箔を得ることができる。アルミニウ
ム箔表面には燐酸アルミニウムを含む０．０１μｍ程度
の極めて薄い酸化アルミニウム皮膜が形成されていた。

【００５５】・化学研磨法燐酸８０％、硝酸５％、酢酸１４．５％、硝酸銅０．５
％を含む溶液を温度１００℃に保持し、この液中に表面
研磨しようとするアルミニウム箔を１分間浸漬すること
により、表面が研磨されたアルミニウム箔を得ることが
できる。

【００５６】・機械研磨法アルミニウム母材を適当な大きさ（たとえば１ｍ×３０
ｃｍ×１．５ｍ：重量約１．２ｔ）のインゴットに鋳造
したものを高温で長時間保持してアルミニウムの均質化
処理を行い、インゴットの表面を削って不純物や汚れを
取り去る。さらに、インゴットを５００℃に加熱して、
熱間圧延を行なう。１０回の圧延を行って、約３〜５ｍ
ｍの厚みで結晶粒が約０．５ｍｍのアルミニウム板とす
る。

【００５７】次に、精度の高い圧延機で冷間圧延し、厚
みを約８０μｍのアルミニウム箔とする。この時に、温
度を所定温度とし、圧延油を施すことによって表面が鏡
面研磨されたアルミニウム箔を得ることができる。この
後、鏡面研磨したアルミニウム箔を洗浄して、表面の油
等を除去する。そして不活性ガス中において、熱処理に
より焼鈍して軟質化する。

【００５８】電解研磨法や化学研磨法、機械研磨法等に
よりアルミニウム箔表面を研磨することが、得られるＥ
Ｌ素子の輝度や発光効率の向上に寄与する理由は、今後
の研究を待たなければならないが、おそらくアルミニウ
ム箔の表面の凹凸が研磨によって平滑になり、ＥＬ発光
層中の蛍光体との接触面積が改善され、蛍光体にかかる
電界の量や電子の注入量が増えたためと考えられる。

【００５９】厚さ８０μｍのアルミニウム箔を表面研磨
する場合、両面を表面研磨した後のアルミニウム箔を静
電コンデンサーとみなしたときにその容量が３００μＦ
／ｄｍ² 以下になる条件で研磨することが好ましい。

【００６０】以上、本発明の変型例および応用例につい
て説明したが、その他、アルミニウム箔に代えてアルミ
ニウム板や表面にアルミニウム層を有する部材等、種々
の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自
明であろう。

【００６１】なお本発明の方法は、たとえばＬＣＤ装置
のバックライト用光源の他、種々の用途のＥＬ素子の製
造に適用することができる。

【００６２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
発光ムラの低減されたＥＬ素子を提供することが可能で
ある。

【００６３】さらに、耐電圧性が高く、電気的特性に優
れたＥＬ素子を簡単な工程で製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例によるＥＬ素子の概略的断面図
である。

【図２】アルミニウム水和酸化物層まで形成したアルミ
ニウム箔を折り曲げた状態で撮影した電子顕微鏡写真
（×２００００）である。

【図３】従来技術によるＥＬ素子の概略的断面図であ
る。

【符号の説明】

１背面電極（アルミニウム箔）２バリヤー型皮膜（無孔質酸化アルミニウム）３アルミニウム水和酸化物層４ＥＬ発光層５透明電極フィルム６リード線

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成４年１２月１１日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】図２

【補正方法】変更

【補正内容】

【図２】アルミニウム水和酸化物層まで形成したアルミ
ニウム箔を折り曲げた状態で電子顕微鏡で撮影した結晶
構造の写真（×２００００）である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者高橋恒茨城県つくば市東光台５−９−６日本重化学工業株式会社筑波研究所内 (72)発明者外村毅茨城県つくば市東光台５−９−６日本重化学工業株式会社筑波研究所内 (72)発明者藤井雄幸茨城県つくば市東光台５−９−６日本重化学工業株式会社筑波研究所内 (72)発明者近藤健一東京都世田谷区千歳台２−33−１ (72)発明者齋田隆浩神奈川県横浜市緑区藤が丘１−22−15 シンセリティ藤が丘201 (72)発明者田谷周一神奈川県横浜市緑区荏田南２−17−８志村マンション405号 (72)発明者山川禎康山形県長井市幸町１番１号マルコン電子株式会社内 (72)発明者大沢俊一山形県長井市幸町１番１号マルコン電子株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】アルミニウム箔を中性電解液中で陽極酸
化して、表面に緻密な無孔質酸化アルミニウムのバリヤ
ー型皮膜を形成する工程と、前記バリヤー型皮膜が形成されたアルミニウム箔を水と
接触させることにより、前記バリヤー型被膜上に、起毛を有するアルミニウム
水和酸化物層を形成する工程と、前記アルミニウム水和酸化物層上に直接ＥＬ発光層、透
明電極層を形成する工程とを含むＥＬ素子の製造方法。
【請求項２】アルミニウム水和酸化物層の形成を、前
記バリヤー型皮膜が形成されたアルミニウム箔を５０℃
以上の温度に加熱した水に浸漬することにより行う請求
項１に記載のＥＬ素子の製造方法。
【請求項３】水に燐酸、燐酸塩の少なくとも一種を添
加する請求項１ないし２に記載のＥＬ素子の製造方法。
【請求項４】水に付活剤を添加する請求項１〜３のい
ずれかに記載のＥＬ素子の製造方法。