JPH06290728A - 走査電子顕微鏡の試料冷却装置 - Google Patents
走査電子顕微鏡の試料冷却装置Info
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- JPH06290728A JPH06290728A JP7387193A JP7387193A JPH06290728A JP H06290728 A JPH06290728 A JP H06290728A JP 7387193 A JP7387193 A JP 7387193A JP 7387193 A JP7387193 A JP 7387193A JP H06290728 A JPH06290728 A JP H06290728A
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- Japan
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 常温での試料観察から冷却状態での試料観察
に短時間で移行できる走査電子顕微鏡の試料冷却装置を
提供する。 【構成】 試料交換室３の室壁１６に真空ベローズ１３
が取り付けられている。真空ベローズ１３の一端に設け
られたＯリングシール孔１７を通して冷媒輸送管１２が
大気側から試料交換室３内に導入されている。試料を交
換後、常温での試料観察から冷却状態での試料観察に移
行するには、冷媒輸送管１２が接続された試料ホルダー
８を試料交換室３内に配置して予備排気し、試料交換棒
７により試料ホルダー８を試料移動ステージ２まで移送
し、ステージ２に装着する。この移送は、冷媒輸送管１
２がＯリングシール孔１７を通して移動することによっ
てなされる。この状態で仕切弁６を開放したまま、試料
１１の観察を行えば、試料室１を大気に暴露することな
く短時間に冷却試料の観察に移行できる。
に短時間で移行できる走査電子顕微鏡の試料冷却装置を
提供する。 【構成】 試料交換室３の室壁１６に真空ベローズ１３
が取り付けられている。真空ベローズ１３の一端に設け
られたＯリングシール孔１７を通して冷媒輸送管１２が
大気側から試料交換室３内に導入されている。試料を交
換後、常温での試料観察から冷却状態での試料観察に移
行するには、冷媒輸送管１２が接続された試料ホルダー
８を試料交換室３内に配置して予備排気し、試料交換棒
７により試料ホルダー８を試料移動ステージ２まで移送
し、ステージ２に装着する。この移送は、冷媒輸送管１
２がＯリングシール孔１７を通して移動することによっ
てなされる。この状態で仕切弁６を開放したまま、試料
１１の観察を行えば、試料室１を大気に暴露することな
く短時間に冷却試料の観察に移行できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は試料を冷却して観察する
ための走査電子顕微鏡の試料冷却装置に関する。
ための走査電子顕微鏡の試料冷却装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】走査電子顕微鏡を用いて試料を冷却して
観察するため、種々の試料冷却装置が使用されている。
このような従来の走査電子顕微鏡の試料冷却装置におい
ては、冷媒を試料ホルダーに供給するための冷媒輸送管
が鏡筒壁を通過して大気側から試料室内に挿入されてい
る。
観察するため、種々の試料冷却装置が使用されている。
このような従来の走査電子顕微鏡の試料冷却装置におい
ては、冷媒を試料ホルダーに供給するための冷媒輸送管
が鏡筒壁を通過して大気側から試料室内に挿入されてい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】そのため、常温で試料
を観察している状態から冷却状態で試料を観察する状態
に移行するためには、試料室を大気に暴露して冷却用の
試料ホルダを試料ステージに装着すると共に、冷却用の
試料ホルダに前述した冷媒輸送管を接続しなければなら
なかった。そのため、準備が繁雑になるばかりでなく、
一旦試料室を大気に暴露する必要があるため、再排気す
るまでに時間を要し、短時間に冷却試料を観察すること
ができなかった。
を観察している状態から冷却状態で試料を観察する状態
に移行するためには、試料室を大気に暴露して冷却用の
試料ホルダを試料ステージに装着すると共に、冷却用の
試料ホルダに前述した冷媒輸送管を接続しなければなら
なかった。そのため、準備が繁雑になるばかりでなく、
一旦試料室を大気に暴露する必要があるため、再排気す
るまでに時間を要し、短時間に冷却試料を観察すること
ができなかった。
【０００４】本発明はこのような従来の欠点を解決し、
常温での試料観察から冷却した試料の観察に短時間で移
行可能な走査電子顕微鏡の試料冷却装置を提供すること
を目的としている。
常温での試料観察から冷却した試料の観察に短時間で移
行可能な走査電子顕微鏡の試料冷却装置を提供すること
を目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】そのため本発明は、試料
ステージを収容する試料室と、該試料室に対して着脱自
在に設けられた試料交換室と、前記試料室と試料交換室
を仕切るための仕切弁と、前記試料交換室と前記試料ス
テージとの間で試料ホルダーを移送するための移送手段
と、前記試料ホルダーを冷却するため該試料ホルダーに
接続される冷媒輸送管を備えた走査電子顕微鏡の試料冷
却装置において、前記冷媒輸送管を大気側から試料室内
に導くための取り入れ部が前記試料交換室の室壁に形成
されており、該取り入れ部は気密を維持して前記冷媒輸
送管の前記試料室への挿入量を可変できるように構成さ
れている走査電子顕微鏡の試料冷却装置を特徴としてい
る。
ステージを収容する試料室と、該試料室に対して着脱自
在に設けられた試料交換室と、前記試料室と試料交換室
を仕切るための仕切弁と、前記試料交換室と前記試料ス
テージとの間で試料ホルダーを移送するための移送手段
と、前記試料ホルダーを冷却するため該試料ホルダーに
接続される冷媒輸送管を備えた走査電子顕微鏡の試料冷
却装置において、前記冷媒輸送管を大気側から試料室内
に導くための取り入れ部が前記試料交換室の室壁に形成
されており、該取り入れ部は気密を維持して前記冷媒輸
送管の前記試料室への挿入量を可変できるように構成さ
れている走査電子顕微鏡の試料冷却装置を特徴としてい
る。
【０００６】
【作用】前記冷媒輸送管を大気側から試料室内に導くた
めの取り入れ部が前記試料交換室の室壁に形成されてお
り、該取り入れ部は気密を維持して前記冷媒輸送管の前
記試料室への挿入量を可変できるように構成されてい
る。従って、冷媒輸送管が接続された試料ホルダーを試
料交換室内に配置して予備排気し、冷媒輸送管を大気側
から真空側に引き込みつつ試料ホルダーを試料ステージ
まで移送し、仕切弁を開放したまま試料を冷却して観察
する。
めの取り入れ部が前記試料交換室の室壁に形成されてお
り、該取り入れ部は気密を維持して前記冷媒輸送管の前
記試料室への挿入量を可変できるように構成されてい
る。従って、冷媒輸送管が接続された試料ホルダーを試
料交換室内に配置して予備排気し、冷媒輸送管を大気側
から真空側に引き込みつつ試料ホルダーを試料ステージ
まで移送し、仕切弁を開放したまま試料を冷却して観察
する。
【０００７】
【実施例】以下、図面に基づき本発明の実施例を詳述す
る。図１は本発明の一実施例の全体を概略的に示すため
の図であり、図２はその要部をより詳細に示すための組
み立て図である。
る。図１は本発明の一実施例の全体を概略的に示すため
の図であり、図２はその要部をより詳細に示すための組
み立て図である。
【０００８】図１または図２において１は走査電子顕微
鏡の試料室であり、試料室１内には試料傾斜ステージ１
５の上に配置された試料移動ステージ２が備えられてい
る。試料移動ステージ２には試料ホルダー８を装着する
ためのアリ溝２ａが設けられている。３は試料交換室で
あり、試料交換室３は鏡筒４の取り付け部５に脱着可能
になっている。試料交換室３と試料室１との間には仕切
弁６が設けられている。７は試料交換室３に備えられた
試料交換棒を示しており、試料交換棒７の先端には試料
ホルダー８に設けられたネジ穴に挿入するためのネジ７
ａが図２に示すように形成されている。９は試料交換棒
７に取り付けられた摘みである。試料ホルダー８は試料
ホルダー基板８９とその上部に固定される試料取付台８
０から形成されている。
鏡の試料室であり、試料室１内には試料傾斜ステージ１
５の上に配置された試料移動ステージ２が備えられてい
る。試料移動ステージ２には試料ホルダー８を装着する
ためのアリ溝２ａが設けられている。３は試料交換室で
あり、試料交換室３は鏡筒４の取り付け部５に脱着可能
になっている。試料交換室３と試料室１との間には仕切
弁６が設けられている。７は試料交換室３に備えられた
試料交換棒を示しており、試料交換棒７の先端には試料
ホルダー８に設けられたネジ穴に挿入するためのネジ７
ａが図２に示すように形成されている。９は試料交換棒
７に取り付けられた摘みである。試料ホルダー８は試料
ホルダー基板８９とその上部に固定される試料取付台８
０から形成されている。
【０００９】試料取付台８０には図１に示すように試料
１１が取り付けられる。この試料取付台８０に冷媒輸送
管１２が接続されている。試料交換室３の室壁１６を貫
通する部分において冷媒輸送管１２は二重管構造となっ
ている。この二重管に挟まれた空間は真空排気されてお
り、冷媒輸送管内外での熱の移動が抑えられている。そ
れにより、冷媒のより有効な利用が可能になると共に、
冷媒輸送管１２に接触する後述するＯリング１０の凍結
を防ぎ得るようになっている。ここで冷媒としては液体
窒素が用いられている。
１１が取り付けられる。この試料取付台８０に冷媒輸送
管１２が接続されている。試料交換室３の室壁１６を貫
通する部分において冷媒輸送管１２は二重管構造となっ
ている。この二重管に挟まれた空間は真空排気されてお
り、冷媒輸送管内外での熱の移動が抑えられている。そ
れにより、冷媒のより有効な利用が可能になると共に、
冷媒輸送管１２に接触する後述するＯリング１０の凍結
を防ぎ得るようになっている。ここで冷媒としては液体
窒素が用いられている。
【００１０】図２において１５は前記二重管に挟まれた
空間を真空排気するための排気口を表している。また、
試料交換室３を排気するための排気管は図１の１４で示
されている。図３は前記試料取付台８０を詳細に示すた
めの図である。試料取付台８０は基体８１と蓋体８８で
形成されており、基体８１には冷媒のための流入孔８３
と流出孔８２が形成されている。基体８１には前記蓋体
８８が嵌合されるようになっており、蓋体８８には試料
１１が取り付けられる。蓋体８８を良熱伝導性とするた
め、蓋体８８は無酸素銅で形成されている。蓋体８８を
基体８１に嵌合すると、両者間に空間８４が生じるが、
この空間８４に冷媒が溜められる。冷媒との熱交換効率
を向上させると共に熱容量を増すため、空間８４には金
属スポンジ８５または金属粒体が収容されている。
空間を真空排気するための排気口を表している。また、
試料交換室３を排気するための排気管は図１の１４で示
されている。図３は前記試料取付台８０を詳細に示すた
めの図である。試料取付台８０は基体８１と蓋体８８で
形成されており、基体８１には冷媒のための流入孔８３
と流出孔８２が形成されている。基体８１には前記蓋体
８８が嵌合されるようになっており、蓋体８８には試料
１１が取り付けられる。蓋体８８を良熱伝導性とするた
め、蓋体８８は無酸素銅で形成されている。蓋体８８を
基体８１に嵌合すると、両者間に空間８４が生じるが、
この空間８４に冷媒が溜められる。冷媒との熱交換効率
を向上させると共に熱容量を増すため、空間８４には金
属スポンジ８５または金属粒体が収容されている。
【００１１】試料交換時に試料ホルダー８を試料室１内
に移送するためには、試料ホルダー８を一旦試料交換室
３内に配置して予備排気し、予備排気後仕切弁６を開い
て試料室１に試料ホルダー８を挿入する。従って、試料
取付台８０に接続された冷媒輸送管１２の試料室１への
挿入量を気密を維持して可変とするための構造が試料交
換室３の室壁１６に形成されている。すなわち、室壁１
６に取り付けられた真空ベローズ１３の一端には、冷媒
輸送管１２がＯリング１０によって真空シールされた孔
１７を通過して大気側から導入されている。試料ホルダ
ー８が移動ステージ２に装着されて円滑に移動するのを
許容するため、冷媒輸送管１２は真空ベローズを介して
試料交換室３側に導入されていると共に、冷媒輸送管１
２の先端部は図２に示すようにフレキシブルパイプ１２
ａで形成されている。
に移送するためには、試料ホルダー８を一旦試料交換室
３内に配置して予備排気し、予備排気後仕切弁６を開い
て試料室１に試料ホルダー８を挿入する。従って、試料
取付台８０に接続された冷媒輸送管１２の試料室１への
挿入量を気密を維持して可変とするための構造が試料交
換室３の室壁１６に形成されている。すなわち、室壁１
６に取り付けられた真空ベローズ１３の一端には、冷媒
輸送管１２がＯリング１０によって真空シールされた孔
１７を通過して大気側から導入されている。試料ホルダ
ー８が移動ステージ２に装着されて円滑に移動するのを
許容するため、冷媒輸送管１２は真空ベローズを介して
試料交換室３側に導入されていると共に、冷媒輸送管１
２の先端部は図２に示すようにフレキシブルパイプ１２
ａで形成されている。
【００１２】このような構成において、常温での試料観
察から冷却状態での観察に移行するための動作を以下説
明する。常温での観察では、試料ホルダー８の試料取付
台８０に接続された冷媒輸送管１２には冷媒は供給され
ていず、この状態で試料の観察がなされる。常温での観
察を終えて、新たな試料の冷却状態での観察に移行する
場合には、まず、仕切弁６を開けて試料交換棒７により
試料ホルダー８を試料交換室３内に引き戻す。この試料
ホルダー８の移動に伴い、試料取付台８０に接続された
冷媒輸送管１２の先端も真空を維持したまま移動する必
要があるが、この移動は冷媒輸送管１２がＯリング１０
と接触しつつ大気側に移動することによってなされる。
次に仕切弁６を閉鎖した後、試料交換室３をリークし、
試料交換室３を鏡筒４の取り付け部５から外す。そこ
で、図２に示すように試料交換室３から取り出した試料
ホルダー８の試料取付台８０に新たな試料をセットす
る。次に、再び試料ステージ８を試料交換室３内に配置
した後、試料交換室３を鏡筒４に設けられた取り付け部
５に接続し、更に、試料交換室３内を予備排気した後、
仕切弁６を開放する。そこで、試料交換棒７を用いて試
料ステージ８を試料室１内に移送し、試料移動ステージ
２に装着する。この場合には、前述した場合と逆に冷媒
輸送管１２が大気側から試料交換室３側に移動すること
によって試料ホルダー８の試料移動ステージ２への装着
が可能になる。そこで、冷媒輸送管１２を介して図示外
の冷媒槽から冷媒を試料ホルダー８に供給し、試料１１
を冷却して観察が行われる。この場合も、仕切弁６は開
放されたままであるが、試料の観察には差支えない。
察から冷却状態での観察に移行するための動作を以下説
明する。常温での観察では、試料ホルダー８の試料取付
台８０に接続された冷媒輸送管１２には冷媒は供給され
ていず、この状態で試料の観察がなされる。常温での観
察を終えて、新たな試料の冷却状態での観察に移行する
場合には、まず、仕切弁６を開けて試料交換棒７により
試料ホルダー８を試料交換室３内に引き戻す。この試料
ホルダー８の移動に伴い、試料取付台８０に接続された
冷媒輸送管１２の先端も真空を維持したまま移動する必
要があるが、この移動は冷媒輸送管１２がＯリング１０
と接触しつつ大気側に移動することによってなされる。
次に仕切弁６を閉鎖した後、試料交換室３をリークし、
試料交換室３を鏡筒４の取り付け部５から外す。そこ
で、図２に示すように試料交換室３から取り出した試料
ホルダー８の試料取付台８０に新たな試料をセットす
る。次に、再び試料ステージ８を試料交換室３内に配置
した後、試料交換室３を鏡筒４に設けられた取り付け部
５に接続し、更に、試料交換室３内を予備排気した後、
仕切弁６を開放する。そこで、試料交換棒７を用いて試
料ステージ８を試料室１内に移送し、試料移動ステージ
２に装着する。この場合には、前述した場合と逆に冷媒
輸送管１２が大気側から試料交換室３側に移動すること
によって試料ホルダー８の試料移動ステージ２への装着
が可能になる。そこで、冷媒輸送管１２を介して図示外
の冷媒槽から冷媒を試料ホルダー８に供給し、試料１１
を冷却して観察が行われる。この場合も、仕切弁６は開
放されたままであるが、試料の観察には差支えない。
【００１３】なお、常温観察から低温観察に移行する際
に試料を交換しない場合には、冷媒輸送管１２を介して
冷媒を試料ホルダー８に供給するだけで良い。なお、試
料ホルダー８を試料移動ステージ２によってＸまたはＹ
移動する際には、ベローズ１３が伸縮すると共に、冷媒
輸送管１２先端のフレキシブルパイプ１２ａが折れ曲る
ため、試料ホルダー８の円滑な移動が可能である。
に試料を交換しない場合には、冷媒輸送管１２を介して
冷媒を試料ホルダー８に供給するだけで良い。なお、試
料ホルダー８を試料移動ステージ２によってＸまたはＹ
移動する際には、ベローズ１３が伸縮すると共に、冷媒
輸送管１２先端のフレキシブルパイプ１２ａが折れ曲る
ため、試料ホルダー８の円滑な移動が可能である。
【００１４】上述した説明から明らかなように、試料の
常温観察から冷却状態での観察に移行する際に、試料室
を大気に暴露することなく、短時間に冷却試料の観察に
移行できる。
常温観察から冷却状態での観察に移行する際に、試料室
を大気に暴露することなく、短時間に冷却試料の観察に
移行できる。
【００１５】このように試料室の大気への暴露を避ける
ことができるため、試料室のクリーニングの頻度を減少
させることができる。また、試料取付台に金属スポンジ
または金属粒を収容するようにしたため、試料を効果的
に冷却することができる。
ことができるため、試料室のクリーニングの頻度を減少
させることができる。また、試料取付台に金属スポンジ
または金属粒を収容するようにしたため、試料を効果的
に冷却することができる。
【００１６】なお、上述した実施例は本発明の一実施例
に過ぎず、変形して実施できる。例えば、上述した実施
例においては、試料交換室と試料室間の試料ステージの
移送を試料交換棒で行うようにしたが、この移送を電動
で行うような他の型の試料移送手段を用いる場合にも本
発明は同様に適用できる。
に過ぎず、変形して実施できる。例えば、上述した実施
例においては、試料交換室と試料室間の試料ステージの
移送を試料交換棒で行うようにしたが、この移送を電動
で行うような他の型の試料移送手段を用いる場合にも本
発明は同様に適用できる。
【００１７】
【発明の効果】上述した説明から明らかなように第１の
本発明においては、前記冷媒輸送管を大気側から試料室
内に導くための取り入れ部が前記試料交換室の室壁に形
成されており、該取り入れ部は気密を維持して前記冷媒
輸送管の前記試料室への挿入量を可変できるように構成
されている。従って、試料交換を伴わない場合には、冷
媒輸送管を通して試料ステージの冷媒溜めに冷媒を供給
するだけで、試料室を大気に暴露することなく短時間に
冷却試料の観察に移行できると共に、試料交換を伴う場
合でも、冷媒輸送管が接続された試料ホルダーを試料交
換室内に配置して予備排気し、冷媒輸送管の試料室への
挿入量を変化させつつ、開放された仕切弁を通して冷媒
輸送管と共に試料ホルダーを試料ステージまで移送する
だけで、試料室を大気に暴露することなく短時間に冷却
試料の観察に移行できる。
本発明においては、前記冷媒輸送管を大気側から試料室
内に導くための取り入れ部が前記試料交換室の室壁に形
成されており、該取り入れ部は気密を維持して前記冷媒
輸送管の前記試料室への挿入量を可変できるように構成
されている。従って、試料交換を伴わない場合には、冷
媒輸送管を通して試料ステージの冷媒溜めに冷媒を供給
するだけで、試料室を大気に暴露することなく短時間に
冷却試料の観察に移行できると共に、試料交換を伴う場
合でも、冷媒輸送管が接続された試料ホルダーを試料交
換室内に配置して予備排気し、冷媒輸送管の試料室への
挿入量を変化させつつ、開放された仕切弁を通して冷媒
輸送管と共に試料ホルダーを試料ステージまで移送する
だけで、試料室を大気に暴露することなく短時間に冷却
試料の観察に移行できる。
【００１８】また、第２の本発明によれば、冷媒による
試料の冷却を効果的に行い得るため、試料を充分冷却し
た状態で観察できる。
試料の冷却を効果的に行い得るため、試料を充分冷却し
た状態で観察できる。
【図１】本発明の一実施例の全体を概略的に示すための
図である。
図である。
【図２】本発明の一実施例の要部を示すための組み立て
図である。
図である。
【図３】本発明の一実施例における試料取付台を詳細に
示すための図である。
示すための図である。
【符号の説明】 １ 試料室 ２ 試料移動ステージ ２ａ アリ溝 ３ 試料交換室 ４ 鏡筒 ５ 取り付け部 ６ 仕切弁 ７ 試料交換棒 ７ａ ネジ ８ 試料ホルダー ８０ 試料取付台 ８１ 基体 ８２ 流出孔 ８３ 流入孔 ８４ 空間 ８５ 金属スポンジ ８８ 蓋体 ８９ 試料ホルダー基板 ９ 摘み １０ Ｏリング １１ 試料 １２ 冷媒輸送管 １２ａ フレキシブルパイプ １３ 真空ベローズ １４ 排気管 １５ 排気口 １６ 室壁 １７ 孔
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 伊藤 わたる 愛知県名古屋市熱田区六野２丁目４番１号 財団法人ファインセラミックスセンター 内 (72)発明者 佐々木 優吉 愛知県名古屋市熱田区六野２丁目４番１号 財団法人ファインセラミックスセンター 内 (72)発明者 田形 昭次郎 東京都昭島市武蔵野３丁目１番２号 日本 電子株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 試料ステージを収容する試料室と、該試
料室に対して着脱自在に設けられた試料交換室と、前記
試料室と試料交換室を仕切るための仕切弁と、前記試料
交換室と前記試料ステージとの間で試料ホルダーを移送
するための移送手段と、前記試料ホルダーを冷却するた
め該試料ホルダーに接続される冷媒輸送管を備えた走査
電子顕微鏡の試料冷却装置において、前記冷媒輸送管を
大気側から試料室内に導くための取り入れ部が前記試料
交換室の室壁に形成されており、該取り入れ部は気密を
維持して前記冷媒輸送管の前記試料室への挿入量を可変
できるように構成されている走査電子顕微鏡の試料冷却
装置。 - 【請求項２】 前記試料ホルダーに設けられた冷媒溜め
には、金属スポンジまたは金属粒が収容されている請求
項１記載の走査電子顕微鏡の試料冷却装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7387193A JPH06290728A (ja) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | 走査電子顕微鏡の試料冷却装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7387193A JPH06290728A (ja) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | 走査電子顕微鏡の試料冷却装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06290728A true JPH06290728A (ja) | 1994-10-18 |
Family
ID=13530694
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7387193A Withdrawn JPH06290728A (ja) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | 走査電子顕微鏡の試料冷却装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06290728A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000513135A (ja) * | 1997-03-12 | 2000-10-03 | ガタン・インコーポレーテッド | 電子顕微鏡のための超高傾斜試験片低温移送ホルダ |
| KR20200057324A (ko) * | 2018-11-16 | 2020-05-26 | (주)엠크래프츠 | 전자현미경용 시료대 |
| WO2020119956A1 (en) * | 2018-12-11 | 2020-06-18 | Ferrovac Gmbh | Cryogenic ultra-high vacuum suitcase |
-
1993
- 1993-03-31 JP JP7387193A patent/JPH06290728A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000513135A (ja) * | 1997-03-12 | 2000-10-03 | ガタン・インコーポレーテッド | 電子顕微鏡のための超高傾斜試験片低温移送ホルダ |
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| WO2020119956A1 (en) * | 2018-12-11 | 2020-06-18 | Ferrovac Gmbh | Cryogenic ultra-high vacuum suitcase |
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