JPH0963527A - コンタミネーション低減装置 - Google Patents
コンタミネーション低減装置Info
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- JPH0963527A JPH0963527A JP7210607A JP21060795A JPH0963527A JP H0963527 A JPH0963527 A JP H0963527A JP 7210607 A JP7210607 A JP 7210607A JP 21060795 A JP21060795 A JP 21060795A JP H0963527 A JPH0963527 A JP H0963527A
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Landscapes
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- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 コンタミネーションの低減を図ることのでき
るコンタミネーション低減装置を得る。 【解決手段】 大気雰囲気と接続・隔離が選択できる試
料交換室１５と、試料交換室１５と接続・隔離が選択で
き、試料の測長、加工、分析、観察等を行うための試料
室８とも接続・隔離が選択できる試料交換室３と、試料
交換室３，１５の内部をそれぞれ真空引きを行える手段
を備える。これにより、真空引きを行った後の残留ガス
が試料室に入り難くなり、試料に付着するコンタミネー
ションを低減して、製造や検査装置等に生じる悪影響を
防止するコンタミネーション低減装置が得られる。
るコンタミネーション低減装置を得る。 【解決手段】 大気雰囲気と接続・隔離が選択できる試
料交換室１５と、試料交換室１５と接続・隔離が選択で
き、試料の測長、加工、分析、観察等を行うための試料
室８とも接続・隔離が選択できる試料交換室３と、試料
交換室３，１５の内部をそれぞれ真空引きを行える手段
を備える。これにより、真空引きを行った後の残留ガス
が試料室に入り難くなり、試料に付着するコンタミネー
ションを低減して、製造や検査装置等に生じる悪影響を
防止するコンタミネーション低減装置が得られる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、コンタミネーシ
ョンが基で悪影響が生じる製造装置や検査装置等に適用
され、そのコンタミネーションを排除するための機構を
備えたコンタミネーション低減装置に関する。
ョンが基で悪影響が生じる製造装置や検査装置等に適用
され、そのコンタミネーションを排除するための機構を
備えたコンタミネーション低減装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】コンタミネーションは製造装置及び検査
装置等に色々な影響を与えており、微細加工技術におい
てはその影響が顕著に見られ製品開発、生産に悪影響を
及ぼしている。特にＳＥＭ、ＥＢ描画装置等のビーム技
術を用いた装置では、測長、加工、分析、観察等の精度
に影響が見られる。
装置等に色々な影響を与えており、微細加工技術におい
てはその影響が顕著に見られ製品開発、生産に悪影響を
及ぼしている。特にＳＥＭ、ＥＢ描画装置等のビーム技
術を用いた装置では、測長、加工、分析、観察等の精度
に影響が見られる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、コンタ
ミネーションは装置内の汚染、グリスの材質、装置部品
の材質、試料（例えば、半導体装置関連や液晶パネル関
連に用いる試料、Ｓｉウエハ上のデバイス、ＧａＡｓウ
エハ上のデバイス等）の装置内への交換の際に装置内へ
の大気流入、試料からの汚染等から出たハイドロカーボ
ンが原因と考えられる。ビーム技術を用いた装置はビー
ム照射時に試料周りに存在するハイドロカーボンを試料
表面に付着してしまうという問題点がある。
ミネーションは装置内の汚染、グリスの材質、装置部品
の材質、試料（例えば、半導体装置関連や液晶パネル関
連に用いる試料、Ｓｉウエハ上のデバイス、ＧａＡｓウ
エハ上のデバイス等）の装置内への交換の際に装置内へ
の大気流入、試料からの汚染等から出たハイドロカーボ
ンが原因と考えられる。ビーム技術を用いた装置はビー
ム照射時に試料周りに存在するハイドロカーボンを試料
表面に付着してしまうという問題点がある。
【０００４】本発明は、このような問題点を解決するた
めになされたものであり、コンタミネーションの低減を
図ることのできるコンタミネーション低減装置を得るこ
とを目的とする。
めになされたものであり、コンタミネーションの低減を
図ることのできるコンタミネーション低減装置を得るこ
とを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に係る
課題解決手段は、試料の測長、加工、分析、観察等を行
うための試料室と、一列に配置され、一端が大気雰囲気
と隔離・接続が選択でき、他端が前記試料室と隔離・接
続が選択でき、それぞれ互いに隔離・接続が選択でき、
かつ真空引きを行える複数の試料交換室とを備える。
課題解決手段は、試料の測長、加工、分析、観察等を行
うための試料室と、一列に配置され、一端が大気雰囲気
と隔離・接続が選択でき、他端が前記試料室と隔離・接
続が選択でき、それぞれ互いに隔離・接続が選択でき、
かつ真空引きを行える複数の試料交換室とを備える。
【０００６】本発明の請求項２に係る課題解決手段は、
試料の測長、加工、分析、観察等を行うための試料室
と、前記試料室の壁の内壁面側に設けられた熱を発する
ヒータとを備える。
試料の測長、加工、分析、観察等を行うための試料室
と、前記試料室の壁の内壁面側に設けられた熱を発する
ヒータとを備える。
【０００７】本発明の請求項３に係る課題解決手段は、
試料の測長、加工、分析、観察等を行うための試料室
と、前記試料室の壁内に設けられた熱を発するヒータと
を備える。
試料の測長、加工、分析、観察等を行うための試料室
と、前記試料室の壁内に設けられた熱を発するヒータと
を備える。
【０００８】本発明の請求項４に係る課題解決手段は、
試料の測長、加工、分析、観察等を行うための試料室
と、前記大気雰囲気中の前記試料を取り込み前記試料室
へ送る試料交換室と、前記試料交換室の壁の内壁面側に
設けられた熱を発するヒータとを備える。
試料の測長、加工、分析、観察等を行うための試料室
と、前記大気雰囲気中の前記試料を取り込み前記試料室
へ送る試料交換室と、前記試料交換室の壁の内壁面側に
設けられた熱を発するヒータとを備える。
【０００９】本発明の請求項５に係る課題解決手段は、
試料の測長、加工、分析、観察等を行うための試料室
と、前記大気雰囲気中の前記試料を取り込み前記試料室
へ送る試料交換室と、前記試料交換室の壁内に設けられ
た熱を発するヒータとを備える。
試料の測長、加工、分析、観察等を行うための試料室
と、前記大気雰囲気中の前記試料を取り込み前記試料室
へ送る試料交換室と、前記試料交換室の壁内に設けられ
た熱を発するヒータとを備える。
【００１０】本発明の請求項６に係る課題解決手段は、
試料の測長、加工、分析、観察等を行うための試料室
と、前記試料室に接続された鏡筒と、前記鏡筒の壁の内
壁面側に設けられた熱を発するヒータとを備える。
試料の測長、加工、分析、観察等を行うための試料室
と、前記試料室に接続された鏡筒と、前記鏡筒の壁の内
壁面側に設けられた熱を発するヒータとを備える。
【００１１】本発明の請求項７に係る課題解決手段は、
試料の測長、加工、分析、観察等を行うための試料室
と、前記試料室に接続された鏡筒と、前記鏡筒の壁内に
設けられた熱を発するヒータとを備える。
試料の測長、加工、分析、観察等を行うための試料室
と、前記試料室に接続された鏡筒と、前記鏡筒の壁内に
設けられた熱を発するヒータとを備える。
【００１２】本発明の請求項８に係る課題解決手段は、
試料の測長、加工、分析、観察等を行うための試料室
と、前記試料室内に納置される前記試料の近傍の部材内
に設けられた熱を発するヒータとを備える。
試料の測長、加工、分析、観察等を行うための試料室
と、前記試料室内に納置される前記試料の近傍の部材内
に設けられた熱を発するヒータとを備える。
【００１３】本発明の請求項９に係る課題解決手段は、
試料の測長、加工、分析、観察等を行うための試料室
と、前記大気雰囲気中の前記試料を取り込み前記試料室
へ送る試料交換室と、前記試料交換室内に納置される前
記試料の近傍の部材内に設けられた熱を発するヒータと
を備える。
試料の測長、加工、分析、観察等を行うための試料室
と、前記大気雰囲気中の前記試料を取り込み前記試料室
へ送る試料交換室と、前記試料交換室内に納置される前
記試料の近傍の部材内に設けられた熱を発するヒータと
を備える。
【００１４】本発明の請求項１０に係る課題解決手段
は、試料を収納する試料ホルダと、前記試料ホルダの内
部に設けられた熱を発するヒータとを備える。
は、試料を収納する試料ホルダと、前記試料ホルダの内
部に設けられた熱を発するヒータとを備える。
【００１５】本発明の請求項１１に係る課題解決手段
は、試料の測長、加工、分析、観察等を行うための試料
室と、熱を発する材質で形成され、前記試料室内に納置
される前記試料の近傍に配置された部材と、前記材質に
熱を発生させる加熱手段とを備える。
は、試料の測長、加工、分析、観察等を行うための試料
室と、熱を発する材質で形成され、前記試料室内に納置
される前記試料の近傍に配置された部材と、前記材質に
熱を発生させる加熱手段とを備える。
【００１６】本発明の請求項１２に係る課題解決手段
は、試料の測長、加工、分析、観察等を行うための試料
室と、前記大気雰囲気中の前記試料を取り込み前記試料
室へ送る試料交換室と、熱を発する材質で形成され、前
記試料交換室内に納置された前記試料の近傍に配置され
た部材と、前記材質に熱を発生させる加熱手段とを備え
る。
は、試料の測長、加工、分析、観察等を行うための試料
室と、前記大気雰囲気中の前記試料を取り込み前記試料
室へ送る試料交換室と、熱を発する材質で形成され、前
記試料交換室内に納置された前記試料の近傍に配置され
た部材と、前記材質に熱を発生させる加熱手段とを備え
る。
【００１７】本発明の請求項１３に係る課題解決手段
は、試料を収納し、熱を発する材質で形成された試料ホ
ルダと、前記試料ホルダを納置し、前記試料の測長、加
工、分析、観察等を行う試料室と、前記試料室内に前記
試料ホルダが納置された状態で、前記材質に熱を発生さ
せる加熱手段とを備える。
は、試料を収納し、熱を発する材質で形成された試料ホ
ルダと、前記試料ホルダを納置し、前記試料の測長、加
工、分析、観察等を行う試料室と、前記試料室内に前記
試料ホルダが納置された状態で、前記材質に熱を発生さ
せる加熱手段とを備える。
【００１８】本発明の請求項１４に係る課題解決手段
は、試料を収納し、熱を発する材質で形成された試料ホ
ルダと、前記試料ホルダを納置し、前記試料の測長、加
工、分析、観察等を行う試料室と、前記大気雰囲気中の
前記ホルダ試料を取り込み前記試料室へ送る試料交換室
と、前記試料交換室内に前記試料ホルダが存在する状態
で、前記材質に熱を発生させる加熱手段とを備える。
は、試料を収納し、熱を発する材質で形成された試料ホ
ルダと、前記試料ホルダを納置し、前記試料の測長、加
工、分析、観察等を行う試料室と、前記大気雰囲気中の
前記ホルダ試料を取り込み前記試料室へ送る試料交換室
と、前記試料交換室内に前記試料ホルダが存在する状態
で、前記材質に熱を発生させる加熱手段とを備える。
【００１９】本発明の請求項１５に係る課題解決手段
は、試料の測長、加工、分析、観察等を行うための試料
室と、前記大気雰囲気中の前記試料を取り込み前記試料
室へ送る試料交換室と、前記試料交換室内にコンタミネ
ーションを含むガスと質量の違うガスをガス導入するガ
ス導入手段と、前記試料交換室内の真空引きを行う手段
とを備える。
は、試料の測長、加工、分析、観察等を行うための試料
室と、前記大気雰囲気中の前記試料を取り込み前記試料
室へ送る試料交換室と、前記試料交換室内にコンタミネ
ーションを含むガスと質量の違うガスをガス導入するガ
ス導入手段と、前記試料交換室内の真空引きを行う手段
とを備える。
【００２０】
実施の形態１．まず、図２４は従来のコンタミネーショ
ン低減装置の一例を示す上面図、図２５はその側面図で
あって、電子顕微鏡を有する例えば製造装置や検査装置
等に適用されている場合を示している。図２４及び図２
５において、２は試料ホルダを載置するための試料ホル
ダ固定台、３は試料交換室、４は試料を搬送するための
ＡＵＴＯ−ＬＯＤＥＲ、５は試料のコンタミネーション
低減装置内への出入口となる試料セット位置、６は試料
ホルダを載置する位置を示す試料ホルダ固定位置、７は
試料ホルダを載置するためのステージ、８は試料の測
長、加工、分析、観察等を行うための試料室、９は電子
顕微鏡の鏡筒（光学系を構成する光学素子を正しい位置
に保持する筒）である。
ン低減装置の一例を示す上面図、図２５はその側面図で
あって、電子顕微鏡を有する例えば製造装置や検査装置
等に適用されている場合を示している。図２４及び図２
５において、２は試料ホルダを載置するための試料ホル
ダ固定台、３は試料交換室、４は試料を搬送するための
ＡＵＴＯ−ＬＯＤＥＲ、５は試料のコンタミネーション
低減装置内への出入口となる試料セット位置、６は試料
ホルダを載置する位置を示す試料ホルダ固定位置、７は
試料ホルダを載置するためのステージ、８は試料の測
長、加工、分析、観察等を行うための試料室、９は電子
顕微鏡の鏡筒（光学系を構成する光学素子を正しい位置
に保持する筒）である。
【００２１】次に構成を説明する。鏡筒９下に設けられ
た試料室８は、試料交換室３に接続されている。ＡＵＴ
Ｏ−ＬＯＡＤＥＲ４は大気雰囲気中に存在し、試料を試
料交換室３・試料セット位置５間において搬送できる。
大気雰囲気・試料交換室３間、試料交換室３・試料室８
間には接続あるいは隔離ができる手段（図示せず）がそ
れぞれ設けられている。試料室８内にはステージ７を備
え、試料交換室３内には試料ホルダ固定台２を備える。
試料交換室３、試料室８には内部の真空引きを行う手段
（図示せず）がそれぞれ設けられている。試料交換室３
よりコンタミネーション低減装置の本体を構成する。
た試料室８は、試料交換室３に接続されている。ＡＵＴ
Ｏ−ＬＯＡＤＥＲ４は大気雰囲気中に存在し、試料を試
料交換室３・試料セット位置５間において搬送できる。
大気雰囲気・試料交換室３間、試料交換室３・試料室８
間には接続あるいは隔離ができる手段（図示せず）がそ
れぞれ設けられている。試料室８内にはステージ７を備
え、試料交換室３内には試料ホルダ固定台２を備える。
試料交換室３、試料室８には内部の真空引きを行う手段
（図示せず）がそれぞれ設けられている。試料交換室３
よりコンタミネーション低減装置の本体を構成する。
【００２２】次に動作において、試料を大気雰囲気中か
ら試料室８内に納置する場合について、大気雰囲気・試
料交換室３間、試料交換室３・試料室８間を隔離し、試
料交換室３内部、試料室８内部の充分な真空引きを行う
ことにより完全にガスを除去した理想的な状態から説明
する。まず、試料交換室３内部を大気圧に戻して、大気
雰囲気・試料交換室３間を接続する。次に、試料を載置
した試料ホルダを試料セット位置５に載置し、ＡＵＴＯ
−ＬＯＡＤＥＲ４によって試料交換室３へ搬送し、試料
ホルダを試料ホルダ固定台２上に載置する。次に、大気
雰囲気・試料交換室３間を隔離して、試料交換室３内部
の真空引きを行う。真空引き終了後の試料交換室３内部
は理想的に真空状態とはならず、実際はガスがいくらか
残留する。以下真空引き終了後の残留したガスを残留ガ
スと称す。次に試料交換室３・試料室８間を接続して、
試料ホルダを試料ホルダ固定位置６に載置する。このと
き、試料交換室３内部の残留ガスの一部が試料室８内に
入り、残留ガス中のコンタミネーションが試料に付着す
る。この状態で、試料の観察等を行う。
ら試料室８内に納置する場合について、大気雰囲気・試
料交換室３間、試料交換室３・試料室８間を隔離し、試
料交換室３内部、試料室８内部の充分な真空引きを行う
ことにより完全にガスを除去した理想的な状態から説明
する。まず、試料交換室３内部を大気圧に戻して、大気
雰囲気・試料交換室３間を接続する。次に、試料を載置
した試料ホルダを試料セット位置５に載置し、ＡＵＴＯ
−ＬＯＡＤＥＲ４によって試料交換室３へ搬送し、試料
ホルダを試料ホルダ固定台２上に載置する。次に、大気
雰囲気・試料交換室３間を隔離して、試料交換室３内部
の真空引きを行う。真空引き終了後の試料交換室３内部
は理想的に真空状態とはならず、実際はガスがいくらか
残留する。以下真空引き終了後の残留したガスを残留ガ
スと称す。次に試料交換室３・試料室８間を接続して、
試料ホルダを試料ホルダ固定位置６に載置する。このと
き、試料交換室３内部の残留ガスの一部が試料室８内に
入り、残留ガス中のコンタミネーションが試料に付着す
る。この状態で、試料の観察等を行う。
【００２３】次に、試料を試料室８内から大気雰囲気中
に出す場合について説明する。上記の試料の観察等の終
了後の状態に続いて、試料ホルダを試料ホルダ固定台２
上に載置する。次に、試料交換室３・試料室８間を隔離
して、試料交換室３内部を大気圧に戻す。次に、大気雰
囲気・試料交換室３間を接続し、試料ホルダをＡＵＴＯ
−ＬＯＡＤＥＲ４上に載置して試料セット位置５へ搬送
する。
に出す場合について説明する。上記の試料の観察等の終
了後の状態に続いて、試料ホルダを試料ホルダ固定台２
上に載置する。次に、試料交換室３・試料室８間を隔離
して、試料交換室３内部を大気圧に戻す。次に、大気雰
囲気・試料交換室３間を接続し、試料ホルダをＡＵＴＯ
−ＬＯＡＤＥＲ４上に載置して試料セット位置５へ搬送
する。
【００２４】また、図２６は従来のコンタミネーション
低減装置の他の例を示す上面図、図２７はその側面図で
あって、電子顕微鏡を有する例えば製造装置や検査装置
等に適用されている場合を示している。図２６及び図２
７において、１０は試料交換アーム台、１１は試料交換
アーム台１０上に設置され、試料の受け渡しを行う試料
交換アーム、１２はステージ７上に設置され、試料の受
け渡しを行う試料固定アーム、その他の各符号は図２４
及び図２５中の各符号に対応している。
低減装置の他の例を示す上面図、図２７はその側面図で
あって、電子顕微鏡を有する例えば製造装置や検査装置
等に適用されている場合を示している。図２６及び図２
７において、１０は試料交換アーム台、１１は試料交換
アーム台１０上に設置され、試料の受け渡しを行う試料
交換アーム、１２はステージ７上に設置され、試料の受
け渡しを行う試料固定アーム、その他の各符号は図２４
及び図２５中の各符号に対応している。
【００２５】次に構成は、図２４及び図２５に示す試料
ホルダ固定台２を試料交換アーム１１を設置した試料交
換アーム台１０に置き換え、ステージ７を試料固定アー
ム１２を設置したステージ７に置き換えれば、図２６及
び図２７に示す構成となる。
ホルダ固定台２を試料交換アーム１１を設置した試料交
換アーム台１０に置き換え、ステージ７を試料固定アー
ム１２を設置したステージ７に置き換えれば、図２６及
び図２７に示す構成となる。
【００２６】次に主たる動作は、図２４に示すコンタミ
ネーション低減装置と同様であり、図２６に示すコンタ
ミネーション低減装置では、試料交換アーム１１によっ
て、ＡＵＴＯ−ＬＯＡＤＥＲ４・試料交換室３間の試料
の受け渡しを行い、試料交換アーム１１及び試料固定ア
ーム１２によって、試料交換室３・試料室８間の試料の
受け渡しを行う。図２６に示すコンタミネーション低減
装置も、試料交換室３・試料室８間を接続して、試料交
換室３から試料室８へ試料の受け渡しを行う際に、試料
交換室３内部の残留ガスの一部が試料室８内に入り、残
留ガス中のコンタミネーションが試料に付着する。
ネーション低減装置と同様であり、図２６に示すコンタ
ミネーション低減装置では、試料交換アーム１１によっ
て、ＡＵＴＯ−ＬＯＡＤＥＲ４・試料交換室３間の試料
の受け渡しを行い、試料交換アーム１１及び試料固定ア
ーム１２によって、試料交換室３・試料室８間の試料の
受け渡しを行う。図２６に示すコンタミネーション低減
装置も、試料交換室３・試料室８間を接続して、試料交
換室３から試料室８へ試料の受け渡しを行う際に、試料
交換室３内部の残留ガスの一部が試料室８内に入り、残
留ガス中のコンタミネーションが試料に付着する。
【００２７】以上のように、従来では、試料室３内の残
留ガスのうち、比較的多い量の残留ガスが試料室８に入
り、ビーム照射時に試料にコンタミネーションが付着す
るため、試料の観察等に悪影響が生じる。
留ガスのうち、比較的多い量の残留ガスが試料室８に入
り、ビーム照射時に試料にコンタミネーションが付着す
るため、試料の観察等に悪影響が生じる。
【００２８】次に、図１は本発明の実施の形態１におけ
るコンタミネーション低減装置の一例を示す上面図であ
って、電子顕微鏡を有する例えば製造装置や検査装置等
に適用されている場合を示している。図１中の１４は試
料ホルダを載置するための試料ホルダ固定台、１５は試
料交換室、その他の符号は図２４中の各符号に対応して
いる。
るコンタミネーション低減装置の一例を示す上面図であ
って、電子顕微鏡を有する例えば製造装置や検査装置等
に適用されている場合を示している。図１中の１４は試
料ホルダを載置するための試料ホルダ固定台、１５は試
料交換室、その他の符号は図２４中の各符号に対応して
いる。
【００２９】次に構成を説明する。ＡＵＴＯ−ＬＯＡＤ
ＥＲ４は試料を試料交換室１５・試料セット位置５間に
おいて搬送できる。大気雰囲気・試料交換室１５間、試
料交換室１５・試料交換室３間、試料交換室３・試料室
８間には接続あるいは隔離ができる手段（図示せず）が
それぞれ設けられている。試料交換室１５内には試料ホ
ルダ固定台１４を備える。試料交換室１５には内部の真
空引きを行う手段（図示せず）が設けられている。その
他の構成は図２４に示すコンタミネーション低減装置の
構成と同様である。試料交換室１５及び試料交換室３よ
りコンタミネーション低減装置の本体を構成する。
ＥＲ４は試料を試料交換室１５・試料セット位置５間に
おいて搬送できる。大気雰囲気・試料交換室１５間、試
料交換室１５・試料交換室３間、試料交換室３・試料室
８間には接続あるいは隔離ができる手段（図示せず）が
それぞれ設けられている。試料交換室１５内には試料ホ
ルダ固定台１４を備える。試料交換室１５には内部の真
空引きを行う手段（図示せず）が設けられている。その
他の構成は図２４に示すコンタミネーション低減装置の
構成と同様である。試料交換室１５及び試料交換室３よ
りコンタミネーション低減装置の本体を構成する。
【００３０】次に動作において、試料を大気雰囲気中か
ら試料室８内に納置する場合について、大気雰囲気・試
料交換室１５間、試料交換室１５・試料交換室３間、試
料交換室３・試料室８間を隔離し、試料交換室１５内
部、試料交換室３内部、試料室８内部の充分な真空引き
を行うことにより完全にガスを除去した理想的な状態か
ら説明する。まず、試料交換室１５内部を大気圧に戻し
て、大気雰囲気・試料交換室１５間を接続する。次に、
試料を載置した試料ホルダを試料セット位置５に載置
し、ＡＵＴＯ−ＬＯＡＤＥＲ４によって試料交換室１５
へ搬送し、試料ホルダ固定台１４上に載置する。次に、
大気雰囲気・試料交換室１５間を隔離して、試料交換室
１５内部の真空引きを行う。真空引き終了後の試料交換
室１５内部は理想的に真空状態とはならず、残留ガスが
いくらか存在する。次に試料交換室１５・試料交換室３
間を接続して、試料ホルダを試料ホルダ固定台２上に載
置する。このとき、試料交換室１５内部の残留ガスの一
部が試料交換室３内に入る。次に、試料交換室１５・試
料交換室３間を隔離する。次に試料交換室３・試料室８
間を接続して、試料ホルダを試料ホルダ固定位置６に載
置する。このとき、試料交換室３内部の残留ガスの一部
が試料室８内に入り、残留ガス中のコンタミネーション
が試料に付着する。この状態で、試料の観察等を行う。
この状態で、試料の観察等を行う。
ら試料室８内に納置する場合について、大気雰囲気・試
料交換室１５間、試料交換室１５・試料交換室３間、試
料交換室３・試料室８間を隔離し、試料交換室１５内
部、試料交換室３内部、試料室８内部の充分な真空引き
を行うことにより完全にガスを除去した理想的な状態か
ら説明する。まず、試料交換室１５内部を大気圧に戻し
て、大気雰囲気・試料交換室１５間を接続する。次に、
試料を載置した試料ホルダを試料セット位置５に載置
し、ＡＵＴＯ−ＬＯＡＤＥＲ４によって試料交換室１５
へ搬送し、試料ホルダ固定台１４上に載置する。次に、
大気雰囲気・試料交換室１５間を隔離して、試料交換室
１５内部の真空引きを行う。真空引き終了後の試料交換
室１５内部は理想的に真空状態とはならず、残留ガスが
いくらか存在する。次に試料交換室１５・試料交換室３
間を接続して、試料ホルダを試料ホルダ固定台２上に載
置する。このとき、試料交換室１５内部の残留ガスの一
部が試料交換室３内に入る。次に、試料交換室１５・試
料交換室３間を隔離する。次に試料交換室３・試料室８
間を接続して、試料ホルダを試料ホルダ固定位置６に載
置する。このとき、試料交換室３内部の残留ガスの一部
が試料室８内に入り、残留ガス中のコンタミネーション
が試料に付着する。この状態で、試料の観察等を行う。
この状態で、試料の観察等を行う。
【００３１】しかし、図２４に示すコンタミネーション
低減装置の試料室８内に入る残留ガスの量は、試料交換
室３内の残留ガスの一部となり比較的多いが、図１に示
すコンタミネーション低減装置の試料室８内に入る残留
ガスの量は試料交換室１５内の残留ガスの一部のさらに
一部となり、比較的少ない。
低減装置の試料室８内に入る残留ガスの量は、試料交換
室３内の残留ガスの一部となり比較的多いが、図１に示
すコンタミネーション低減装置の試料室８内に入る残留
ガスの量は試料交換室１５内の残留ガスの一部のさらに
一部となり、比較的少ない。
【００３２】次に、試料を試料室８内から大気雰囲気中
に出す場合について説明する。上記の試料の観察等の終
了後の状態に続いて、試料ホルダを試料ホルダ固定台２
上に載置する。次に、試料交換室３・試料室８間を隔離
する。次に、試料交換室１５・試料交換室３間を接続し
て、試料ホルダを試料ホルダ固定台１４上に載置する。
次に、試料交換室１５・試料交換室３間を隔離する。次
に、試料交換室１５内部を大気圧に戻す。次に、大気雰
囲気・試料交換室１５間を接続し、試料ホルダをＡＵＴ
Ｏ−ＬＯＡＤＥＲ４上に載置して試料セット位置５へ搬
送する。
に出す場合について説明する。上記の試料の観察等の終
了後の状態に続いて、試料ホルダを試料ホルダ固定台２
上に載置する。次に、試料交換室３・試料室８間を隔離
する。次に、試料交換室１５・試料交換室３間を接続し
て、試料ホルダを試料ホルダ固定台１４上に載置する。
次に、試料交換室１５・試料交換室３間を隔離する。次
に、試料交換室１５内部を大気圧に戻す。次に、大気雰
囲気・試料交換室１５間を接続し、試料ホルダをＡＵＴ
Ｏ−ＬＯＡＤＥＲ４上に載置して試料セット位置５へ搬
送する。
【００３３】また、図２は本発明の実施の形態１におけ
るコンタミネーション低減装置の他の例を示す上面図で
あって、電子顕微鏡を有する例えば製造装置や検査装置
等に適用されている場合を示している。図２において、
１０は試料交換アーム台、１１は試料交換アーム台１０
上に設置され、試料の受け渡しを行う試料交換アーム、
１２はステージ７上に設置され、試料の受け渡しを行う
試料固定アーム、１６は試料交換アーム台、１７は試料
交換アーム台１６上に設置され、試料の受け渡しを行う
試料固定アーム、その他の各符号は図１中の各符号に対
応している。
るコンタミネーション低減装置の他の例を示す上面図で
あって、電子顕微鏡を有する例えば製造装置や検査装置
等に適用されている場合を示している。図２において、
１０は試料交換アーム台、１１は試料交換アーム台１０
上に設置され、試料の受け渡しを行う試料交換アーム、
１２はステージ７上に設置され、試料の受け渡しを行う
試料固定アーム、１６は試料交換アーム台、１７は試料
交換アーム台１６上に設置され、試料の受け渡しを行う
試料固定アーム、その他の各符号は図１中の各符号に対
応している。
【００３４】次に構成は、図１に示す試料ホルダ固定台
２を試料交換アーム１１を設置した試料交換アーム台１
０に置き換え、ステージ７を試料固定アーム１２を設置
したステージ７に置き換え、試料ホルダ固定台１４を試
料固定アーム１７を設置した試料交換アーム台１６に置
き換えれば、図２に示す構成となる。
２を試料交換アーム１１を設置した試料交換アーム台１
０に置き換え、ステージ７を試料固定アーム１２を設置
したステージ７に置き換え、試料ホルダ固定台１４を試
料固定アーム１７を設置した試料交換アーム台１６に置
き換えれば、図２に示す構成となる。
【００３５】次に主たる動作は、図１に示すコンタミネ
ーション低減装置と同様であり、図２に示すコンタミネ
ーション低減装置では、試料交換アーム１７によって、
ＡＵＴＯ−ＬＯＡＤＥＲ４・試料交換室１５間の試料の
受け渡しを行い、試料交換アーム１７及び試料交換アー
ム１１によって、試料交換室１５・試料交換室３間の試
料の受け渡しを行い、試料交換アーム１１及び試料固定
アーム１２によって、試料交換室３・試料室８間の試料
の受け渡しを行う。図２に示すコンタミネーション低減
装置も、試料交換室３・試料室８間を接続して、試料交
換室３から試料室８へ試料の受け渡しを行う際に、試料
交換室３内部の残留ガスの一部が試料室８内に入り、残
留ガス中のコンタミネーションが試料に付着する。
ーション低減装置と同様であり、図２に示すコンタミネ
ーション低減装置では、試料交換アーム１７によって、
ＡＵＴＯ−ＬＯＡＤＥＲ４・試料交換室１５間の試料の
受け渡しを行い、試料交換アーム１７及び試料交換アー
ム１１によって、試料交換室１５・試料交換室３間の試
料の受け渡しを行い、試料交換アーム１１及び試料固定
アーム１２によって、試料交換室３・試料室８間の試料
の受け渡しを行う。図２に示すコンタミネーション低減
装置も、試料交換室３・試料室８間を接続して、試料交
換室３から試料室８へ試料の受け渡しを行う際に、試料
交換室３内部の残留ガスの一部が試料室８内に入り、残
留ガス中のコンタミネーションが試料に付着する。
【００３６】しかし、図２６に示すコンタミネーション
低減装置の試料室８内に入る残留ガスの量は、試料交換
室３内の残留ガスの一部となり比較的多いが、図２に示
すコンタミネーション低減装置の試料室８内に入る残留
ガスの量は試料交換室１５内の残留ガスの一部のさらに
一部となり、比較的少ない。
低減装置の試料室８内に入る残留ガスの量は、試料交換
室３内の残留ガスの一部となり比較的多いが、図２に示
すコンタミネーション低減装置の試料室８内に入る残留
ガスの量は試料交換室１５内の残留ガスの一部のさらに
一部となり、比較的少ない。
【００３７】本実施の形態による効果は、試料交換室を
複数設けることで、残留ガスが試料室８に入り難くな
り、例えばビーム照射時等の試料の観察等の際に、試料
に付着するコンタミネーションを低減して、製造や検査
装置等に生じる悪影響を防止する。尚、試料交換室を３
つ以上設ければさらに効果があがる。
複数設けることで、残留ガスが試料室８に入り難くな
り、例えばビーム照射時等の試料の観察等の際に、試料
に付着するコンタミネーションを低減して、製造や検査
装置等に生じる悪影響を防止する。尚、試料交換室を３
つ以上設ければさらに効果があがる。
【００３８】実施の形態２．図３は本発明の実施の形態
２におけるコンタミネーション低減装置の一例を示す側
面図である。図３中の１は試料ホルダ、１８はステージ
７に取り付けられたヒータ、その他の符号は図２５中の
符号と対応している。
２におけるコンタミネーション低減装置の一例を示す側
面図である。図３中の１は試料ホルダ、１８はステージ
７に取り付けられたヒータ、その他の符号は図２５中の
符号と対応している。
【００３９】また、図４は本発明の実施の形態２におけ
るコンタミネーション低減装置の他の例を示す側面図で
ある。図４中の１８はステージ７に取り付けられたヒー
タ、その他の符号は図２７中の符号と対応している。
るコンタミネーション低減装置の他の例を示す側面図で
ある。図４中の１８はステージ７に取り付けられたヒー
タ、その他の符号は図２７中の符号と対応している。
【００４０】ヒータ１８によって常時又は定期的にステ
ージ７を加熱し、ステージ７、試料等に付着しているコ
ンタミネーションの原因となるハイドロカーボンを取り
除く。
ージ７を加熱し、ステージ７、試料等に付着しているコ
ンタミネーションの原因となるハイドロカーボンを取り
除く。
【００４１】本実施の形態による効果は、コンタミネー
ションの原因となるハイドロカーボンを取り除くこと
で、例えばビーム照射時等の試料の測長、加工、分析、
観察等の際に、試料に付着するコンタミネーションを低
減して、製造や検査装置等に生じる悪影響を防止する。
ションの原因となるハイドロカーボンを取り除くこと
で、例えばビーム照射時等の試料の測長、加工、分析、
観察等の際に、試料に付着するコンタミネーションを低
減して、製造や検査装置等に生じる悪影響を防止する。
【００４２】実施の形態３．図５は本発明の実施の形態
３におけるコンタミネーション低減装置の一例を示す側
面図である。図５中の１８は試料ホルダ固定位置６に取
り付けられたヒータ、その他の符号は図２５中の符号と
対応している。
３におけるコンタミネーション低減装置の一例を示す側
面図である。図５中の１８は試料ホルダ固定位置６に取
り付けられたヒータ、その他の符号は図２５中の符号と
対応している。
【００４３】また、図６は本発明の実施の形態３におけ
るコンタミネーション低減装置の他の例を示す側面図で
ある。図６中の１８は試料固定アーム１２に取り付けら
れたヒータ、その他の符号は図２７中の符号と対応して
いる。
るコンタミネーション低減装置の他の例を示す側面図で
ある。図６中の１８は試料固定アーム１２に取り付けら
れたヒータ、その他の符号は図２７中の符号と対応して
いる。
【００４４】ヒータ１８によって常時又は定期的に試料
ホルダ固定位置６に載置された試料ホルダ、試料固定ア
ーム１２を加熱し、試料ホルダあるいは試料固定アーム
１２及び試料等に付着しているコンタミネーションの原
因となるハイドロカーボンを取り除く。
ホルダ固定位置６に載置された試料ホルダ、試料固定ア
ーム１２を加熱し、試料ホルダあるいは試料固定アーム
１２及び試料等に付着しているコンタミネーションの原
因となるハイドロカーボンを取り除く。
【００４５】本実施の形態による効果は、コンタミネー
ションの原因となるハイドロカーボンを取り除くこと
で、例えばビーム照射時等の試料の測長、加工、分析、
観察等の際に、試料に付着するコンタミネーションを低
減して、製造や検査装置等に生じる悪影響を防止する。
ションの原因となるハイドロカーボンを取り除くこと
で、例えばビーム照射時等の試料の測長、加工、分析、
観察等の際に、試料に付着するコンタミネーションを低
減して、製造や検査装置等に生じる悪影響を防止する。
【００４６】実施の形態４．図７は本発明の実施の形態
４におけるコンタミネーション低減装置の一例を示す側
面図である。図７中の１は試料ホルダ、１８は試料ホル
ダ固定台２に取り付けられたヒータ、その他の符号は図
２５中の符号と対応している。
４におけるコンタミネーション低減装置の一例を示す側
面図である。図７中の１は試料ホルダ、１８は試料ホル
ダ固定台２に取り付けられたヒータ、その他の符号は図
２５中の符号と対応している。
【００４７】また、図８は本発明の実施の形態４におけ
るコンタミネーション低減装置の他の例を示す側面図で
ある。図８中の１８は試料交換アーム台１０に取り付け
られたヒータ、その他の符号は図２７中の符号と対応し
ている。
るコンタミネーション低減装置の他の例を示す側面図で
ある。図８中の１８は試料交換アーム台１０に取り付け
られたヒータ、その他の符号は図２７中の符号と対応し
ている。
【００４８】ヒータ１８によって常時又は定期的に試料
ホルダ固定台２あるいは試料交換アーム台１０を加熱
し、試料ホルダ固定台２、試料交換アーム台１０等に付
着しているコンタミネーションの原因となるハイドロカ
ーボンを取り除く。
ホルダ固定台２あるいは試料交換アーム台１０を加熱
し、試料ホルダ固定台２、試料交換アーム台１０等に付
着しているコンタミネーションの原因となるハイドロカ
ーボンを取り除く。
【００４９】本実施の形態による効果は、コンタミネー
ションの原因となるハイドロカーボンを取り除くこと
で、試料を試料交換室３から試料室８へ納置する際に、
試料室８に入ってしまうコンタミネーションの低減し、
例えばビーム照射時等の試料の測長、加工、分析、観察
等の際に、試料に付着するコンタミネーションを低減し
て、製造や検査装置等に生じる悪影響を防止する。
ションの原因となるハイドロカーボンを取り除くこと
で、試料を試料交換室３から試料室８へ納置する際に、
試料室８に入ってしまうコンタミネーションの低減し、
例えばビーム照射時等の試料の測長、加工、分析、観察
等の際に、試料に付着するコンタミネーションを低減し
て、製造や検査装置等に生じる悪影響を防止する。
【００５０】実施の形態５．図９は本発明の実施の形態
５におけるコンタミネーション低減装置の一例を示す側
面図である。図９中の１８は試料ホルダ１に取り付けら
れたヒータ、その他の符号は図２５中の符号と対応して
いる。
５におけるコンタミネーション低減装置の一例を示す側
面図である。図９中の１８は試料ホルダ１に取り付けら
れたヒータ、その他の符号は図２５中の符号と対応して
いる。
【００５１】また、図１０は本発明の実施の形態５にお
けるコンタミネーション低減装置の他の例を示す側面図
である。図１０中の１８は試料交換アーム１１に取り付
けられたヒータ、その他の符号は図２７中の符号と対応
している。
けるコンタミネーション低減装置の他の例を示す側面図
である。図１０中の１８は試料交換アーム１１に取り付
けられたヒータ、その他の符号は図２７中の符号と対応
している。
【００５２】ヒータ１８によって常時又は定期的に試料
ホルダ１、試料交換アーム１１を加熱し、試料ホルダ
１、試料交換アーム１１等に付着しているコンタミネー
ションの原因となるハイドロカーボンを取り除く。
ホルダ１、試料交換アーム１１を加熱し、試料ホルダ
１、試料交換アーム１１等に付着しているコンタミネー
ションの原因となるハイドロカーボンを取り除く。
【００５３】本実施の形態による効果は、コンタミネー
ションの原因となるハイドロカーボンを取り除くこと
で、試料を試料交換室３から試料室８へ納置する際に、
試料室８に入ってしまうコンタミネーションの低減し、
例えばビーム照射時等の試料の測長、加工、分析、観察
等の際に、試料に付着するコンタミネーションを低減し
て、製造や検査装置等に生じる悪影響を防止する。
ションの原因となるハイドロカーボンを取り除くこと
で、試料を試料交換室３から試料室８へ納置する際に、
試料室８に入ってしまうコンタミネーションの低減し、
例えばビーム照射時等の試料の測長、加工、分析、観察
等の際に、試料に付着するコンタミネーションを低減し
て、製造や検査装置等に生じる悪影響を防止する。
【００５４】実施の形態６．図１１は本発明の実施の形
態６におけるコンタミネーション低減装置の一例を示す
側面図、図１２はその上面図である。図１１及び図１２
中の１８は試料交換室３、試料室８及び鏡筒９の壁内に
設けられたヒータ、その他の符号は図２４及び図２５中
の符号と対応している。
態６におけるコンタミネーション低減装置の一例を示す
側面図、図１２はその上面図である。図１１及び図１２
中の１８は試料交換室３、試料室８及び鏡筒９の壁内に
設けられたヒータ、その他の符号は図２４及び図２５中
の符号と対応している。
【００５５】ヒータ１８によって常時又は定期的に試料
交換室３、試料室８、鏡筒９の内壁を加熱し、試料交換
室３、試料室８、鏡筒９の内壁に付着しているコンタミ
ネーションの原因となるハイドロカーボンを取り除く。
交換室３、試料室８、鏡筒９の内壁を加熱し、試料交換
室３、試料室８、鏡筒９の内壁に付着しているコンタミ
ネーションの原因となるハイドロカーボンを取り除く。
【００５６】本実施の形態による効果は、コンタミネー
ションの原因となるハイドロカーボンを取り除くこと
で、試料を試料交換室３から試料室８へ納置する際に、
試料室８に入ってしまうコンタミネーションを低減し、
また、試料室８内において例えばビーム照射時等の試料
の測長、加工、分析、観察等の際に、試料に付着するコ
ンタミネーションを低減して、製造や検査装置等に生じ
る悪影響を防止する。
ションの原因となるハイドロカーボンを取り除くこと
で、試料を試料交換室３から試料室８へ納置する際に、
試料室８に入ってしまうコンタミネーションを低減し、
また、試料室８内において例えばビーム照射時等の試料
の測長、加工、分析、観察等の際に、試料に付着するコ
ンタミネーションを低減して、製造や検査装置等に生じ
る悪影響を防止する。
【００５７】実施の形態７．図１３は本発明の実施の形
態７におけるコンタミネーション低減装置の一例を示す
側面図、図１４はその上面図である。図１３及び図１４
中の１８は試料交換室３、試料室８及び鏡筒９の内側に
設けられたヒータ、その他の符号は図２４及び図２５中
の符号と対応している。
態７におけるコンタミネーション低減装置の一例を示す
側面図、図１４はその上面図である。図１３及び図１４
中の１８は試料交換室３、試料室８及び鏡筒９の内側に
設けられたヒータ、その他の符号は図２４及び図２５中
の符号と対応している。
【００５８】ヒータ１８によって常時又は定期的に試料
交換室３、試料室８あるいは鏡筒９の内壁等を加熱し、
試料交換室３、試料室８あるいは鏡筒９の内壁等に付着
しているコンタミネーションの原因となるハイドロカー
ボンを取り除く。
交換室３、試料室８あるいは鏡筒９の内壁等を加熱し、
試料交換室３、試料室８あるいは鏡筒９の内壁等に付着
しているコンタミネーションの原因となるハイドロカー
ボンを取り除く。
【００５９】本実施の形態による効果は、コンタミネー
ションの原因となるハイドロカーボンを取り除くこと
で、試料を試料交換室３から試料室８へ納置する際に、
試料室８に入ってしまうコンタミネーションを低減し、
また、試料室８内において、例えばビーム照射時等の試
料の測長、加工、分析、観察等の際に、試料に付着する
コンタミネーションを低減して、製造や検査装置等に生
じる悪影響を防止する。
ションの原因となるハイドロカーボンを取り除くこと
で、試料を試料交換室３から試料室８へ納置する際に、
試料室８に入ってしまうコンタミネーションを低減し、
また、試料室８内において、例えばビーム照射時等の試
料の測長、加工、分析、観察等の際に、試料に付着する
コンタミネーションを低減して、製造や検査装置等に生
じる悪影響を防止する。
【００６０】実施の形態８．図１５は本発明の実施の形
態８におけるコンタミネーション低減装置の一例を示す
側面図である。図１５中の１９はステージ７自体から熱
を発生させるための加熱装置、その他の符号は図２５中
の符号と対応している。
態８におけるコンタミネーション低減装置の一例を示す
側面図である。図１５中の１９はステージ７自体から熱
を発生させるための加熱装置、その他の符号は図２５中
の符号と対応している。
【００６１】また、図１６は本発明の実施の形態８にお
けるコンタミネーション低減装置の他の例を示す側面図
である。図１６中の１９はステージ７自体から熱を発生
させるための加熱装置、その他の符号は図２７中の符号
と対応している。
けるコンタミネーション低減装置の他の例を示す側面図
である。図１６中の１９はステージ７自体から熱を発生
させるための加熱装置、その他の符号は図２７中の符号
と対応している。
【００６２】ステージ７はそれ自体が熱を発するヒータ
となりえる材料で構成され、加熱装置１９によって常時
又は定期的にステージ７から熱を発生させてステージ７
を直接加熱し、ステージ７及び試料等に付着しているコ
ンタミネーションの原因となるハイドロカーボンを取り
除く。
となりえる材料で構成され、加熱装置１９によって常時
又は定期的にステージ７から熱を発生させてステージ７
を直接加熱し、ステージ７及び試料等に付着しているコ
ンタミネーションの原因となるハイドロカーボンを取り
除く。
【００６３】本実施の形態による効果は、コンタミネー
ションの原因となるハイドロカーボンを取り除くこと
で、例えばビーム照射時等の試料の測長、加工、分析、
観察等の際に、試料に付着するコンタミネーションを低
減して、製造や検査装置等に生じる悪影響を防止する。
ションの原因となるハイドロカーボンを取り除くこと
で、例えばビーム照射時等の試料の測長、加工、分析、
観察等の際に、試料に付着するコンタミネーションを低
減して、製造や検査装置等に生じる悪影響を防止する。
【００６４】実施の形態９．図１７は本発明の実施の形
態９におけるコンタミネーション低減装置の一例を示す
側面図である。図１７中の１９は試料ホルダ固定位置６
に接続され、試料ホルダから熱を発生させるための加熱
装置、その他の符号は図２５中の符号と対応している。
態９におけるコンタミネーション低減装置の一例を示す
側面図である。図１７中の１９は試料ホルダ固定位置６
に接続され、試料ホルダから熱を発生させるための加熱
装置、その他の符号は図２５中の符号と対応している。
【００６５】また、図１８は本発明の実施の形態９にお
けるコンタミネーション低減装置の他の例を示す側面図
である。図１８中の１９は試料固定アーム１２自体から
熱を発生させるための加熱装置、その他の符号は図２７
中の符号と対応している。
けるコンタミネーション低減装置の他の例を示す側面図
である。図１８中の１９は試料固定アーム１２自体から
熱を発生させるための加熱装置、その他の符号は図２７
中の符号と対応している。
【００６６】試料ホルダあるいは試料固定アーム１２は
それ自体が熱を発するヒータとなりえる材料で構成さ
れ、加熱装置１９によって常時又は定期的に試料ホルダ
固定位置６に載置された試料ホルダあるいは試料固定ア
ーム１２自体から熱を発生させて試料ホルダ、試料固定
アームを直接加熱し、試料ホルダ、試料固定アーム１２
及び試料等に付着しているコンタミネーションの原因と
なるハイドロカーボンを取り除く。
それ自体が熱を発するヒータとなりえる材料で構成さ
れ、加熱装置１９によって常時又は定期的に試料ホルダ
固定位置６に載置された試料ホルダあるいは試料固定ア
ーム１２自体から熱を発生させて試料ホルダ、試料固定
アームを直接加熱し、試料ホルダ、試料固定アーム１２
及び試料等に付着しているコンタミネーションの原因と
なるハイドロカーボンを取り除く。
【００６７】本実施の形態による効果は、コンタミネー
ションの原因となるハイドロカーボンを取り除くこと
で、例えばビーム照射時等の試料の測長、加工、分析、
観察等の際に、試料に付着するコンタミネーションを低
減して、製造や検査装置等に生じる悪影響を防止する。
ションの原因となるハイドロカーボンを取り除くこと
で、例えばビーム照射時等の試料の測長、加工、分析、
観察等の際に、試料に付着するコンタミネーションを低
減して、製造や検査装置等に生じる悪影響を防止する。
【００６８】実施の形態１０．図１９は本発明の実施の
形態１０におけるコンタミネーション低減装置の一例を
示す側面図である。図１９中の１９は試料ホルダ固定台
２自体から熱を発生させるための加熱装置、その他の符
号は図２５中の符号と対応している。
形態１０におけるコンタミネーション低減装置の一例を
示す側面図である。図１９中の１９は試料ホルダ固定台
２自体から熱を発生させるための加熱装置、その他の符
号は図２５中の符号と対応している。
【００６９】また、図２０は本発明の実施の形態１０に
おけるコンタミネーション低減装置の他の例を示す側面
図である。図２０中の１９は試料交換アーム台１０自体
から熱を発生させるための加熱装置、その他の符号は図
２７中の符号と対応している。
おけるコンタミネーション低減装置の他の例を示す側面
図である。図２０中の１９は試料交換アーム台１０自体
から熱を発生させるための加熱装置、その他の符号は図
２７中の符号と対応している。
【００７０】試料ホルダ固定台２、試料交換アーム台１
０はそれ自体が熱を発するヒータとなりえる材料で構成
され、加熱装置１９によって常時又は定期的に試料ホル
ダ固定台２、試料交換アーム台１０自体から熱を発生さ
せて試料ホルダ固定台、試料交換アーム台１０を直接加
熱し、試料ホルダ固定台２、試料交換アーム台１０等に
付着しているコンタミネーションの原因となるハイドロ
カーボンを取り除く。
０はそれ自体が熱を発するヒータとなりえる材料で構成
され、加熱装置１９によって常時又は定期的に試料ホル
ダ固定台２、試料交換アーム台１０自体から熱を発生さ
せて試料ホルダ固定台、試料交換アーム台１０を直接加
熱し、試料ホルダ固定台２、試料交換アーム台１０等に
付着しているコンタミネーションの原因となるハイドロ
カーボンを取り除く。
【００７１】本実施の形態による効果は、コンタミネー
ションの原因となるハイドロカーボンを取り除くこと
で、試料を試料交換室３から試料室８へ納置する際に、
試料室８に入ってしまうコンタミネーションの低減し、
例えばビーム照射時等の試料の測長、加工、分析、観察
等の際に、試料に付着するコンタミネーションを低減し
て、製造や検査装置等に生じる悪影響を防止する。
ションの原因となるハイドロカーボンを取り除くこと
で、試料を試料交換室３から試料室８へ納置する際に、
試料室８に入ってしまうコンタミネーションの低減し、
例えばビーム照射時等の試料の測長、加工、分析、観察
等の際に、試料に付着するコンタミネーションを低減し
て、製造や検査装置等に生じる悪影響を防止する。
【００７２】実施の形態１１．図２１は本発明の実施の
形態１１におけるコンタミネーション低減装置の一例を
示す側面図である。図２１中の１９は試料ホルダ１自体
から熱を発生させるための加熱装置、その他の符号は図
２５中の符号と対応している。
形態１１におけるコンタミネーション低減装置の一例を
示す側面図である。図２１中の１９は試料ホルダ１自体
から熱を発生させるための加熱装置、その他の符号は図
２５中の符号と対応している。
【００７３】また、図２２は本発明の実施の形態１１に
おけるコンタミネーション低減装置の他の例を示す側面
図である。図２２中の１９は試料交換アーム１１自体か
ら熱を発生させるための加熱装置、その他の符号は図２
７中の符号と対応している。
おけるコンタミネーション低減装置の他の例を示す側面
図である。図２２中の１９は試料交換アーム１１自体か
ら熱を発生させるための加熱装置、その他の符号は図２
７中の符号と対応している。
【００７４】試料ホルダ１、試料交換アーム１１はそれ
自体が熱を発するヒータとなりえる材料で構成され、加
熱装置１９によって常時又は定期的に試料ホルダ１、試
料交換アーム１１自体から熱を発生させて、試料ホルダ
１、試料交換アーム台を直接加熱して、試料ホルダ１、
試料交換アーム１１等に付着しているコンタミネーショ
ンの原因となるハイドロカーボンを取り除く。
自体が熱を発するヒータとなりえる材料で構成され、加
熱装置１９によって常時又は定期的に試料ホルダ１、試
料交換アーム１１自体から熱を発生させて、試料ホルダ
１、試料交換アーム台を直接加熱して、試料ホルダ１、
試料交換アーム１１等に付着しているコンタミネーショ
ンの原因となるハイドロカーボンを取り除く。
【００７５】本実施の形態による効果は、コンタミネー
ションの原因となるハイドロカーボンを取り除くこと
で、試料を試料交換室３から試料室８へ納置する際に、
試料室８に入ってしまうコンタミネーションの低減し、
例えばビーム照射時等の試料の測長、加工、分析、観察
等の際に、試料に付着するコンタミネーションを低減し
て、製造や検査装置等に生じる悪影響を防止する。
ションの原因となるハイドロカーボンを取り除くこと
で、試料を試料交換室３から試料室８へ納置する際に、
試料室８に入ってしまうコンタミネーションの低減し、
例えばビーム照射時等の試料の測長、加工、分析、観察
等の際に、試料に付着するコンタミネーションを低減し
て、製造や検査装置等に生じる悪影響を防止する。
【００７６】実施の形態１２．図２３は本発明の実施の
形態１２におけるコンタミネーション低減装置の試料交
換室を示す側面図である。図２３中の２０は比較的質量
の小さいガス、２１は試料ホルダ１下に設けられ、開閉
することで試料交換室３内を２つの部分に隔離したり接
続したりできるシャッター、２２はコンタミネーション
の原因となるハイドロカーボンを含み、ガス２０より比
較的質量の大きいガス、２３はガス２２を排気する配
管、２４はガス２０を排気する配管、その他の符号は図
２５の各符号に対応している。
形態１２におけるコンタミネーション低減装置の試料交
換室を示す側面図である。図２３中の２０は比較的質量
の小さいガス、２１は試料ホルダ１下に設けられ、開閉
することで試料交換室３内を２つの部分に隔離したり接
続したりできるシャッター、２２はコンタミネーション
の原因となるハイドロカーボンを含み、ガス２０より比
較的質量の大きいガス、２３はガス２２を排気する配
管、２４はガス２０を排気する配管、その他の符号は図
２５の各符号に対応している。
【００７７】次に構成について説明する。試料交換室３
内を２つに隔離できるシャッター２１を設け、隔離され
たうちの一方には、試料ホルダ固定台２を設け、配管２
４を接続し、他方には配管２３を接続する。その他の構
成は図２４や図２６に示す従来のコンタミネーション低
減装置と同様である。試料交換室３は、ガス２０を試料
交換室３内に導入するガス導入手段（図示せず）を備え
ている。その他の構成については図２５に示すコンタミ
ネーション低減装置と同様である。
内を２つに隔離できるシャッター２１を設け、隔離され
たうちの一方には、試料ホルダ固定台２を設け、配管２
４を接続し、他方には配管２３を接続する。その他の構
成は図２４や図２６に示す従来のコンタミネーション低
減装置と同様である。試料交換室３は、ガス２０を試料
交換室３内に導入するガス導入手段（図示せず）を備え
ている。その他の構成については図２５に示すコンタミ
ネーション低減装置と同様である。
【００７８】次に動作について説明する。試料交換室３
内を真空引きする前に、シャッター２１は開けておく。
次に、試料交換室３内を真空引きを行う際に、試料交換
室３内にガス導入手段によりガス２０を導入する。する
と、ガス２２は試料交換室３の下に溜まり、軽いガス２
０は試料交換室３の上に溜まる。ガス２０とガス２２と
が上下に分離したら、シャッター２１を閉じて、試料交
換室３を２つの部分に隔離する。なお、シャッター２１
の取り付けられている位置は、その位置より下の部分に
少なくとも全てのガス２２が存在する位置に設置するこ
とが望ましい。次に、ガス２２を配管２３より排気し、
ガス２０を配管２４より排気して真空引きを行う。
内を真空引きする前に、シャッター２１は開けておく。
次に、試料交換室３内を真空引きを行う際に、試料交換
室３内にガス導入手段によりガス２０を導入する。する
と、ガス２２は試料交換室３の下に溜まり、軽いガス２
０は試料交換室３の上に溜まる。ガス２０とガス２２と
が上下に分離したら、シャッター２１を閉じて、試料交
換室３を２つの部分に隔離する。なお、シャッター２１
の取り付けられている位置は、その位置より下の部分に
少なくとも全てのガス２２が存在する位置に設置するこ
とが望ましい。次に、ガス２２を配管２３より排気し、
ガス２０を配管２４より排気して真空引きを行う。
【００７９】また、ガス２０の具体例として、ガス２２
がＣの場合は、ガス２０はＣよりも質量の小さいＨ、Ｈ
ｅ、Ｂ等がある。また、ガス２２がＣmＨn（m、nは自然
数）の場合は、ガス２０はさらに多くの種類のガスが考
えられ、例えば、Ｈ、Ｂ、Ｃ、Ｎ、Ｏ、Ｆ等がある。ま
た、ガス２０は、理想的には、他の物質と反応しにくい
不活性ガス（Ｈｅ、Ｎｅ、Ａｒ、Ｋｒ、Ｘｅ、Ｒｎ）が
望ましい。
がＣの場合は、ガス２０はＣよりも質量の小さいＨ、Ｈ
ｅ、Ｂ等がある。また、ガス２２がＣmＨn（m、nは自然
数）の場合は、ガス２０はさらに多くの種類のガスが考
えられ、例えば、Ｈ、Ｂ、Ｃ、Ｎ、Ｏ、Ｆ等がある。ま
た、ガス２０は、理想的には、他の物質と反応しにくい
不活性ガス（Ｈｅ、Ｎｅ、Ａｒ、Ｋｒ、Ｘｅ、Ｒｎ）が
望ましい。
【００８０】本実施の形態による効果は、コンタミネー
ションの原因となるハイドロカーボンを取り除くこと
で、試料を試料交換室３から試料室へ納置する際に試料
室に入ってしまうコンタミネーションの低減し、例えば
ビーム照射時等の試料の測長、加工、分析、観察等の際
に、試料に付着するコンタミネーションを低減して、製
造や検査装置等に生じる悪影響を防止する。
ションの原因となるハイドロカーボンを取り除くこと
で、試料を試料交換室３から試料室へ納置する際に試料
室に入ってしまうコンタミネーションの低減し、例えば
ビーム照射時等の試料の測長、加工、分析、観察等の際
に、試料に付着するコンタミネーションを低減して、製
造や検査装置等に生じる悪影響を防止する。
【００８１】尚、実施の形態１〜１２において、コンタ
ミネーション低減装置は、各実施の形態の図に示す装置
以外にも、コンタミネーションが基で悪影響が生じる製
造装置や検査装置等に適用できる。
ミネーション低減装置は、各実施の形態の図に示す装置
以外にも、コンタミネーションが基で悪影響が生じる製
造装置や検査装置等に適用できる。
【００８２】また、実施の形態８〜１１において、例え
ば加熱装置１９は電源、ヒータとなりえる材料は金属で
構成し、電源によりその金属を加熱すればよい。
ば加熱装置１９は電源、ヒータとなりえる材料は金属で
構成し、電源によりその金属を加熱すればよい。
【００８３】
【発明の効果】本発明請求項１によると、試料が移動す
る際を除いては各試料交換室は隔離されている。大気雰
囲気中から最初の試料交換室内とを接続して、試料が移
動する際に、ガスも試料交換室内に入る。次に、最初の
試料交換室を隔離して、真空引きを行う。真空引きを行
っても実際にはガスが残留する。その他の試料交換室も
例えば予め真空引きを行っておく。最初の試料交換室と
隣の試料交換室とを接続し、試料を移動させて、移動後
再び隔離する。その際残留したガスの一部が前述の次の
試料交換室に移る。このように、試料の移動に伴うガス
は、次の試料交換室に入る毎に減少し、試料室内には残
留したガスが入り難くなり、試料に付着するコンタミネ
ーションを低減して、製造や検査装置等に生じる悪影響
を防止するという効果を奏す。
る際を除いては各試料交換室は隔離されている。大気雰
囲気中から最初の試料交換室内とを接続して、試料が移
動する際に、ガスも試料交換室内に入る。次に、最初の
試料交換室を隔離して、真空引きを行う。真空引きを行
っても実際にはガスが残留する。その他の試料交換室も
例えば予め真空引きを行っておく。最初の試料交換室と
隣の試料交換室とを接続し、試料を移動させて、移動後
再び隔離する。その際残留したガスの一部が前述の次の
試料交換室に移る。このように、試料の移動に伴うガス
は、次の試料交換室に入る毎に減少し、試料室内には残
留したガスが入り難くなり、試料に付着するコンタミネ
ーションを低減して、製造や検査装置等に生じる悪影響
を防止するという効果を奏す。
【００８４】本発明請求項２によると、ヒータによって
常時又は定期的に試料室の内壁等を加熱し、試料室の内
壁やその近傍に付着しているコンタミネーションの原因
となるハイドロカーボンを取り除くことで、試料室内の
コンタミネーションを低減して、試料に付着するコンタ
ミネーションを低減し、製造や検査装置等に生じる悪影
響を防止するという効果を奏す。
常時又は定期的に試料室の内壁等を加熱し、試料室の内
壁やその近傍に付着しているコンタミネーションの原因
となるハイドロカーボンを取り除くことで、試料室内の
コンタミネーションを低減して、試料に付着するコンタ
ミネーションを低減し、製造や検査装置等に生じる悪影
響を防止するという効果を奏す。
【００８５】本発明請求項３によると、ヒータによって
常時又は定期的に試料室の内壁を加熱し、試料室の内壁
に付着しているコンタミネーションの原因となるハイド
ロカーボンを取り除くことで、試料室内のコンタミネー
ションを低減して、試料に付着するコンタミネーション
を低減し、製造や検査装置等に生じる悪影響を防止する
という効果を奏す。
常時又は定期的に試料室の内壁を加熱し、試料室の内壁
に付着しているコンタミネーションの原因となるハイド
ロカーボンを取り除くことで、試料室内のコンタミネー
ションを低減して、試料に付着するコンタミネーション
を低減し、製造や検査装置等に生じる悪影響を防止する
という効果を奏す。
【００８６】本発明請求項４によると、ヒータによって
常時又は定期的に試料交換室の内壁等を加熱し、試料室
の内壁やその近傍に付着しているコンタミネーションの
原因となるハイドロカーボンを取り除くことで、試料室
に入ってしまうコンタミネーションを低減し、例えばビ
ーム照射時等の試料の測長、加工、分析、観察等の際
に、試料に付着するコンタミネーションを低減して、製
造や検査装置等に生じる悪影響を防止するという効果を
奏す。
常時又は定期的に試料交換室の内壁等を加熱し、試料室
の内壁やその近傍に付着しているコンタミネーションの
原因となるハイドロカーボンを取り除くことで、試料室
に入ってしまうコンタミネーションを低減し、例えばビ
ーム照射時等の試料の測長、加工、分析、観察等の際
に、試料に付着するコンタミネーションを低減して、製
造や検査装置等に生じる悪影響を防止するという効果を
奏す。
【００８７】本発明請求項５によると、ヒータによって
常時又は定期的に試料交換室の内壁を加熱し、試料室の
内壁に付着しているコンタミネーションの原因となるハ
イドロカーボンを取り除くことで、試料室に入ってしま
うコンタミネーションを低減し、例えばビーム照射時等
の試料の測長、加工、分析、観察等の際に、試料に付着
するコンタミネーションを低減して、製造や検査装置等
に生じる悪影響を防止するという効果を奏す。
常時又は定期的に試料交換室の内壁を加熱し、試料室の
内壁に付着しているコンタミネーションの原因となるハ
イドロカーボンを取り除くことで、試料室に入ってしま
うコンタミネーションを低減し、例えばビーム照射時等
の試料の測長、加工、分析、観察等の際に、試料に付着
するコンタミネーションを低減して、製造や検査装置等
に生じる悪影響を防止するという効果を奏す。
【００８８】本発明請求項６によると、ヒータによって
常時又は定期的に鏡筒の内壁等を加熱し、試料室の内壁
やその近傍に付着しているコンタミネーションの原因と
なるハイドロカーボンを取り除くことで、鏡筒内のコン
タミネーションを低減して、試料に付着するコンタミネ
ーションを低減し、製造や検査装置等に生じる悪影響を
防止するという効果を奏す。
常時又は定期的に鏡筒の内壁等を加熱し、試料室の内壁
やその近傍に付着しているコンタミネーションの原因と
なるハイドロカーボンを取り除くことで、鏡筒内のコン
タミネーションを低減して、試料に付着するコンタミネ
ーションを低減し、製造や検査装置等に生じる悪影響を
防止するという効果を奏す。
【００８９】本発明請求項７によると、ヒータによって
常時又は定期的に鏡筒の内壁を加熱し、試料室の内壁に
付着しているコンタミネーションの原因となるハイドロ
カーボンを取り除くことで、鏡筒内のコンタミネーショ
ンを低減して、試料に付着するコンタミネーションを低
減し、製造や検査装置等に生じる悪影響を防止するとい
う効果を奏す。
常時又は定期的に鏡筒の内壁を加熱し、試料室の内壁に
付着しているコンタミネーションの原因となるハイドロ
カーボンを取り除くことで、鏡筒内のコンタミネーショ
ンを低減して、試料に付着するコンタミネーションを低
減し、製造や検査装置等に生じる悪影響を防止するとい
う効果を奏す。
【００９０】本発明請求項８によると、ヒータによって
常時又は定期的に部材を加熱し、部材及び試料やその近
傍に付着しているコンタミネーションの原因となるハイ
ドロカーボンを取り除くことで、試料室内のコンタミネ
ーションを低減して、試料に付着するコンタミネーショ
ンを低減し、製造や検査装置等に生じる悪影響を防止す
るという効果を奏す。
常時又は定期的に部材を加熱し、部材及び試料やその近
傍に付着しているコンタミネーションの原因となるハイ
ドロカーボンを取り除くことで、試料室内のコンタミネ
ーションを低減して、試料に付着するコンタミネーショ
ンを低減し、製造や検査装置等に生じる悪影響を防止す
るという効果を奏す。
【００９１】本発明請求項９によると、ヒータによって
常時又は定期的に部材を加熱し、部材やその近傍に付着
しているコンタミネーションの原因となるハイドロカー
ボンを取り除くことで、試料室に入ってしまうコンタミ
ネーションを低減し、例えばビーム照射時等の試料の測
長、加工、分析、観察等の際に、試料に付着するコンタ
ミネーションを低減して、製造や検査装置等に生じる悪
影響を防止するという効果を奏す。
常時又は定期的に部材を加熱し、部材やその近傍に付着
しているコンタミネーションの原因となるハイドロカー
ボンを取り除くことで、試料室に入ってしまうコンタミ
ネーションを低減し、例えばビーム照射時等の試料の測
長、加工、分析、観察等の際に、試料に付着するコンタ
ミネーションを低減して、製造や検査装置等に生じる悪
影響を防止するという効果を奏す。
【００９２】本発明請求項１０によると、ヒータによっ
て常時又は定期的に試料ホルダを加熱し、試料ホルダ、
試料やその近傍に付着しているコンタミネーションの原
因となるハイドロカーボンを取り除くことで、コンタミ
ネーションを低減して、試料に付着するコンタミネーシ
ョンを低減し、製造や検査装置等に生じる悪影響を防止
するという効果を奏す。
て常時又は定期的に試料ホルダを加熱し、試料ホルダ、
試料やその近傍に付着しているコンタミネーションの原
因となるハイドロカーボンを取り除くことで、コンタミ
ネーションを低減して、試料に付着するコンタミネーシ
ョンを低減し、製造や検査装置等に生じる悪影響を防止
するという効果を奏す。
【００９３】本発明請求項１１によると、加熱手段によ
って常時又は定期的に部材から熱を発生させて部材を直
接加熱し、部材、試料やその近傍に付着しているコンタ
ミネーションの原因となるハイドロカーボンを取り除く
ことで、試料室内のコンタミネーションを低減して、試
料に付着するコンタミネーションを低減し、製造や検査
装置等に生じる悪影響を防止するという効果を奏す。
って常時又は定期的に部材から熱を発生させて部材を直
接加熱し、部材、試料やその近傍に付着しているコンタ
ミネーションの原因となるハイドロカーボンを取り除く
ことで、試料室内のコンタミネーションを低減して、試
料に付着するコンタミネーションを低減し、製造や検査
装置等に生じる悪影響を防止するという効果を奏す。
【００９４】本発明請求項１２によると、加熱手段によ
って常時又は定期的に部材自体から熱を発生させて部材
を直接加熱し、部材やその近傍に付着しているコンタミ
ネーションの原因となるハイドロカーボンを取り除くこ
とで、試料室に入ってしまうコンタミネーションを低減
し、例えばビーム照射時等の試料の測長、加工、分析、
観察等の際に、試料に付着するコンタミネーションを低
減して、製造や検査装置等に生じる悪影響を防止すると
いう効果を奏す。
って常時又は定期的に部材自体から熱を発生させて部材
を直接加熱し、部材やその近傍に付着しているコンタミ
ネーションの原因となるハイドロカーボンを取り除くこ
とで、試料室に入ってしまうコンタミネーションを低減
し、例えばビーム照射時等の試料の測長、加工、分析、
観察等の際に、試料に付着するコンタミネーションを低
減して、製造や検査装置等に生じる悪影響を防止すると
いう効果を奏す。
【００９５】本発明請求項１３によると、加熱手段によ
って常時又は定期的に試料ホルダ自体から熱を発生させ
て試料ホルダを直接加熱し、試料ホルダ、試料やその近
傍に付着しているコンタミネーションの原因となるハイ
ドロカーボンを取り除くことで、試料室内のコンタミネ
ーションを低減して、試料に付着するコンタミネーショ
ンを低減し、製造や検査装置等に生じる悪影響を防止す
るという効果を奏す。
って常時又は定期的に試料ホルダ自体から熱を発生させ
て試料ホルダを直接加熱し、試料ホルダ、試料やその近
傍に付着しているコンタミネーションの原因となるハイ
ドロカーボンを取り除くことで、試料室内のコンタミネ
ーションを低減して、試料に付着するコンタミネーショ
ンを低減し、製造や検査装置等に生じる悪影響を防止す
るという効果を奏す。
【００９６】本発明請求項１４によると、加熱手段によ
って常時又は定期的に試料ホルダ自体から熱を発生させ
て、試料ホルダを直接加熱して、試料ホルダやその近傍
に付着しているコンタミネーションの原因となるハイド
ロカーボンを取り除くことで、試料交換室内で熱を発生
させることで、試料室に入ってしまうコンタミネーショ
ンを低減し、例えばビーム照射時等の試料の測長、加
工、分析、観察等の際に、試料に付着するコンタミネー
ションを低減して、製造や検査装置等に生じる悪影響を
防止するという効果を奏す。
って常時又は定期的に試料ホルダ自体から熱を発生させ
て、試料ホルダを直接加熱して、試料ホルダやその近傍
に付着しているコンタミネーションの原因となるハイド
ロカーボンを取り除くことで、試料交換室内で熱を発生
させることで、試料室に入ってしまうコンタミネーショ
ンを低減し、例えばビーム照射時等の試料の測長、加
工、分析、観察等の際に、試料に付着するコンタミネー
ションを低減して、製造や検査装置等に生じる悪影響を
防止するという効果を奏す。
【００９７】本発明請求項１５によると、試料交換室内
にガス導入手段によりコンタミネーションを含むガスと
質量の違うガスを導入し、コンタミネーションを含むガ
スと、その質量の違うガスとのうち重い方のガスが試料
交換室内の底に沈み、コンタミネーションを含むガスが
試料交換室内の局所的な部分に存在することで、コンタ
ミネーションを低減して、試料に付着するコンタミネー
ションを低減し、製造や検査装置等に生じる悪影響を防
止するという効果を奏す。
にガス導入手段によりコンタミネーションを含むガスと
質量の違うガスを導入し、コンタミネーションを含むガ
スと、その質量の違うガスとのうち重い方のガスが試料
交換室内の底に沈み、コンタミネーションを含むガスが
試料交換室内の局所的な部分に存在することで、コンタ
ミネーションを低減して、試料に付着するコンタミネー
ションを低減し、製造や検査装置等に生じる悪影響を防
止するという効果を奏す。
【図１】 本発明の実施の形態１におけるコンタミネー
ション低減装置の一例を示す上面図である。
ション低減装置の一例を示す上面図である。
【図２】 本発明の実施の形態１におけるコンタミネー
ション低減装置の他の例を示す上面図である。
ション低減装置の他の例を示す上面図である。
【図３】 本発明の実施の形態２におけるコンタミネー
ション低減装置の一例を示す側面図である。
ション低減装置の一例を示す側面図である。
【図４】 本発明の実施の形態２におけるコンタミネー
ション低減装置の他の例を示す側面図である。
ション低減装置の他の例を示す側面図である。
【図５】 本発明の実施の形態３におけるコンタミネー
ション低減装置の一例を示す側面図である。
ション低減装置の一例を示す側面図である。
【図６】 本発明の実施の形態３におけるコンタミネー
ション低減装置の他の例を示す側面図である。
ション低減装置の他の例を示す側面図である。
【図７】 本発明の実施の形態４におけるコンタミネー
ション低減装置の一例を示す側面図である。
ション低減装置の一例を示す側面図である。
【図８】 本発明の実施の形態４におけるコンタミネー
ション低減装置の他の例を示す側面図である。
ション低減装置の他の例を示す側面図である。
【図９】 本発明の実施の形態５におけるコンタミネー
ション低減装置の一例を示す側面図である。
ション低減装置の一例を示す側面図である。
【図１０】 本発明の実施の形態５におけるコンタミネ
ーション低減装置の他の例を示す側面図である。
ーション低減装置の他の例を示す側面図である。
【図１１】 本発明の実施の形態６におけるコンタミネ
ーション低減装置の一例を示す側面図である。
ーション低減装置の一例を示す側面図である。
【図１２】 本発明の実施の形態６におけるコンタミネ
ーション低減装置の一例を示す上面図である。
ーション低減装置の一例を示す上面図である。
【図１３】 本発明の実施の形態７におけるコンタミネ
ーション低減装置の一例を示す側面図である。
ーション低減装置の一例を示す側面図である。
【図１４】 本発明の実施の形態７におけるコンタミネ
ーション低減装置の一例を示す上面図である。
ーション低減装置の一例を示す上面図である。
【図１５】 本発明の実施の形態８におけるコンタミネ
ーション低減装置の一例を示す側面図である。
ーション低減装置の一例を示す側面図である。
【図１６】 本発明の実施の形態８におけるコンタミネ
ーション低減装置の他の例を示す側面図である。
ーション低減装置の他の例を示す側面図である。
【図１７】 本発明の実施の形態９におけるコンタミネ
ーション低減装置の一例を示す側面図である。
ーション低減装置の一例を示す側面図である。
【図１８】 本発明の実施の形態９におけるコンタミネ
ーション低減装置の他の例を示す側面図である。
ーション低減装置の他の例を示す側面図である。
【図１９】 本発明の実施の形態１０におけるコンタミ
ネーション低減装置の一例を示す側面図である。
ネーション低減装置の一例を示す側面図である。
【図２０】 本発明の実施の形態１０におけるコンタミ
ネーション低減装置の一例を示す側面図である。
ネーション低減装置の一例を示す側面図である。
【図２１】 本発明の実施の形態１１におけるコンタミ
ネーション低減装置の一例を示す側面図である。
ネーション低減装置の一例を示す側面図である。
【図２２】 本発明の実施の形態１１におけるコンタミ
ネーション低減装置の他の例を示す側面図である。
ネーション低減装置の他の例を示す側面図である。
【図２３】 本発明の実施の形態１２におけるコンタミ
ネーション低減装置の試料交換室を示す側面図である。
ネーション低減装置の試料交換室を示す側面図である。
【図２４】 従来のコンタミネーション低減装置の一例
を示す上面図である。
を示す上面図である。
【図２５】 従来のコンタミネーション低減装置の一例
を示す側面図である。
を示す側面図である。
【図２６】 従来のコンタミネーション低減装置の他の
例を示す上面図である。
例を示す上面図である。
【図２７】 従来のコンタミネーション低減装置の他の
例を示す側面図である。
例を示す側面図である。
１ 試料ホルダ、２ 試料ホルダ固定台、３ 試料交換
室、４ ＡＵＴＯ−ＬＯＤＥＲ、５ 試料セット位置、
６ 試料ホルダ固定位置、７ ステージ、８試料室、９
鏡筒、１０ 試料交換アーム台、１１ 試料交換アー
ム、１２ 試料固定アーム、１４ 試料ホルダ固定台、
１５ 試料交換室、１６ 試料交換アーム台、１７ 試
料固定アーム、１８ ヒータ、１９ 加熱装置、２０
ガス、２１ シャッター、２２ ガス、２３，２４ 配
管。
室、４ ＡＵＴＯ−ＬＯＤＥＲ、５ 試料セット位置、
６ 試料ホルダ固定位置、７ ステージ、８試料室、９
鏡筒、１０ 試料交換アーム台、１１ 試料交換アー
ム、１２ 試料固定アーム、１４ 試料ホルダ固定台、
１５ 試料交換室、１６ 試料交換アーム台、１７ 試
料固定アーム、１８ ヒータ、１９ 加熱装置、２０
ガス、２１ シャッター、２２ ガス、２３，２４ 配
管。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/66 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ａ 21/68 21/30 ５４１Ｚ
Claims (15)
- 【請求項１】 試料の測長、加工、分析、観察等を行う
ための試料室と、 一列に配置され、一端が大気雰囲気と隔離・接続が選択
でき、他端が前記試料室と隔離・接続が選択でき、それ
ぞれ互いに隔離・接続が選択でき、かつ真空引きを行え
る複数の試料交換室と、を備えたコンタミネーション低
減装置。 - 【請求項２】 試料の測長、加工、分析、観察等を行う
ための試料室と、 前記試料室の壁の内壁面側に設けられた熱を発するヒー
タと、を備えたコンタミネーション低減装置。 - 【請求項３】 試料の測長、加工、分析、観察等を行う
ための試料室と、 前記試料室の壁内に設けられた熱を発するヒータと、を
備えたコンタミネーション低減装置。 - 【請求項４】 試料の測長、加工、分析、観察等を行う
ための試料室と、 前記大気雰囲気中の前記試料を取り込み前記試料室へ送
る試料交換室と、 前記試料交換室の壁の内壁面側に設けられた熱を発する
ヒータと、を備えたコンタミネーション低減装置。 - 【請求項５】 試料の測長、加工、分析、観察等を行う
ための試料室と、 前記大気雰囲気中の前記試料を取り込み前記試料室へ送
る試料交換室と、 前記試料交換室の壁内に設けられた熱を発するヒータ
と、を備えたコンタミネーション低減装置。 - 【請求項６】 試料の測長、加工、分析、観察等を行う
ための試料室と、 前記試料室に接続された鏡筒と、 前記鏡筒の壁の内壁面側に設けられた熱を発するヒータ
と、を備えたコンタミネーション低減装置。 - 【請求項７】 試料の測長、加工、分析、観察等を行う
ための試料室と、 前記試料室に接続された鏡筒と、 前記鏡筒の壁内に設けられた熱を発するヒータと、を備
えたコンタミネーション低減装置。 - 【請求項８】 試料の測長、加工、分析、観察等を行う
ための試料室と、 前記試料室内に納置される前記試料の近傍の部材内に設
けられた熱を発するヒータと、を備えたコンタミネーシ
ョン低減装置。 - 【請求項９】 試料の測長、加工、分析、観察等を行う
ための試料室と、 前記大気雰囲気中の前記試料を取り込み前記試料室へ送
る試料交換室と、 前記試料交換室内に納置される前記試料の近傍の部材内
に設けられた熱を発するヒータと、を備えたコンタミネ
ーション低減装置。 - 【請求項１０】 試料を収納する試料ホルダと、 前記試料ホルダの内部に設けられた熱を発するヒータ
と、を備えたコンタミネーション低減装置。 - 【請求項１１】 試料の測長、加工、分析、観察等を行
うための試料室と、 熱を発する材質で形成され、前記試料室内に納置される
前記試料の近傍に配置された部材と、 前記材質に熱を発生させる加熱手段と、を備えたコンタ
ミネーション低減装置。 - 【請求項１２】 試料の測長、加工、分析、観察等を行
うための試料室と、 前記大気雰囲気中の前記試料を取り込み前記試料室へ送
る試料交換室と、 熱を発する材質で形成され、前記試料交換室内に納置さ
れた前記試料の近傍に配置された部材と、 前記材質に熱を発生させる加熱手段と、を備えたコンタ
ミネーション低減装置。 - 【請求項１３】 試料を収納し、熱を発する材質で形成
された試料ホルダと、 前記試料ホルダを納置し、前記試料の測長、加工、分
析、観察等を行う試料室と、 前記試料室内に前記試料ホルダが納置された状態で、前
記材質に熱を発生させる加熱手段と、を備えたコンタミ
ネーション低減装置。 - 【請求項１４】 試料を収納し、熱を発する材質で形成
された試料ホルダと、 前記試料ホルダを納置し、前記試料の測長、加工、分
析、観察等を行う試料室と、 前記大気雰囲気中の前記ホルダ試料を取り込み前記試料
室へ送る試料交換室と、 前記試料交換室内に前記試料ホルダが存在する状態で、
前記材質に熱を発生させる加熱手段と、を備えたコンタ
ミネーション低減装置。 - 【請求項１５】 試料の測長、加工、分析、観察等を行
うための試料室と、 前記大気雰囲気中の前記試料を取り込み前記試料室へ送
る試料交換室と、 前記試料交換室内にコンタミネーションを含むガスと質
量の違うガスをガス導入するガス導入手段と、 前記試料交換室内の真空引きを行う手段と、を備えたコ
ンタミネーション低減装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7210607A JPH0963527A (ja) | 1995-08-18 | 1995-08-18 | コンタミネーション低減装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7210607A JPH0963527A (ja) | 1995-08-18 | 1995-08-18 | コンタミネーション低減装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0963527A true JPH0963527A (ja) | 1997-03-07 |
Family
ID=16592132
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7210607A Pending JPH0963527A (ja) | 1995-08-18 | 1995-08-18 | コンタミネーション低減装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0963527A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005327901A (ja) * | 2004-05-14 | 2005-11-24 | Hitachi High-Technologies Corp | 電子線描画装置 |
| JP2007149571A (ja) * | 2005-11-30 | 2007-06-14 | Hitachi High-Technologies Corp | 試料測定方法、及び荷電粒子線装置 |
| JP2010518583A (ja) * | 2007-02-06 | 2010-05-27 | エフ・イ−・アイ・カンパニー | 高圧荷電粒子ビーム・システム |
| JP2013012454A (ja) * | 2010-09-16 | 2013-01-17 | Jfe Steel Corp | 電子線を用いた顕微鏡あるいは分析装置用の試料加熱ホルダー、およびそれを用いた試料加熱方法 |
| CN103782363A (zh) * | 2011-09-14 | 2014-05-07 | 杰富意钢铁株式会社 | 用于使用了电子束的显微镜或者分析装置的试样加热架、以及使用了该试样加热架的试样加热方法 |
| US9679741B2 (en) | 2010-11-09 | 2017-06-13 | Fei Company | Environmental cell for charged particle beam system |
-
1995
- 1995-08-18 JP JP7210607A patent/JPH0963527A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005327901A (ja) * | 2004-05-14 | 2005-11-24 | Hitachi High-Technologies Corp | 電子線描画装置 |
| JP2007149571A (ja) * | 2005-11-30 | 2007-06-14 | Hitachi High-Technologies Corp | 試料測定方法、及び荷電粒子線装置 |
| JP2010518583A (ja) * | 2007-02-06 | 2010-05-27 | エフ・イ−・アイ・カンパニー | 高圧荷電粒子ビーム・システム |
| US8921811B2 (en) | 2007-02-06 | 2014-12-30 | Fei Company | High pressure charged particle beam system |
| JP2013012454A (ja) * | 2010-09-16 | 2013-01-17 | Jfe Steel Corp | 電子線を用いた顕微鏡あるいは分析装置用の試料加熱ホルダー、およびそれを用いた試料加熱方法 |
| US9679741B2 (en) | 2010-11-09 | 2017-06-13 | Fei Company | Environmental cell for charged particle beam system |
| CN103782363A (zh) * | 2011-09-14 | 2014-05-07 | 杰富意钢铁株式会社 | 用于使用了电子束的显微镜或者分析装置的试样加热架、以及使用了该试样加热架的试样加热方法 |
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