JPS6059643A - 電子顕微鏡の試料室内壁の清浄方法および装置 - Google Patents
電子顕微鏡の試料室内壁の清浄方法および装置Info
- Publication number
- JPS6059643A JPS6059643A JP58165087A JP16508783A JPS6059643A JP S6059643 A JPS6059643 A JP S6059643A JP 58165087 A JP58165087 A JP 58165087A JP 16508783 A JP16508783 A JP 16508783A JP S6059643 A JPS6059643 A JP S6059643A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample chamber
- gas
- discharge
- glow discharge
- electron microscope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/38—Exhausting, degassing, filling, or cleaning vessels
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、電子顕微鏡の試料室内壁の清浄方法および
装置に関するものである。
装置に関するものである。
電子顕微鏡においては、拡散ポンプの油や真空シール用
のゴムやグリース或いは組立時に用いられる有機溶剤の
ため種々の炭水化物の蒸気が存在しており、この蒸気分
子が試料表面に付着し、そして電子照射によシ重合して
試相汚東の原因となっている。従来試料室内を清浄化す
る方法上しては組立て後長時間真空排気する方法および
精密な電子顕微鏡本体の加工精度を狂わせない程度に弱
い加熱(100℃以内)を行なう方法しかなされていな
い。そのため、試料室周辺の壁からの汚染のため観察中
、試料表面を充分に’f[lI浄に保ち1;Iない欠点
があった。特に、試料表面を超高真空(或いは清浄真空
)で生成して吸着層のない状態で次面観察しようとする
場合、試料室内壁の汚染社著しく悪影響を及ばずことに
なる。
のゴムやグリース或いは組立時に用いられる有機溶剤の
ため種々の炭水化物の蒸気が存在しており、この蒸気分
子が試料表面に付着し、そして電子照射によシ重合して
試相汚東の原因となっている。従来試料室内を清浄化す
る方法上しては組立て後長時間真空排気する方法および
精密な電子顕微鏡本体の加工精度を狂わせない程度に弱
い加熱(100℃以内)を行なう方法しかなされていな
い。そのため、試料室周辺の壁からの汚染のため観察中
、試料表面を充分に’f[lI浄に保ち1;Iない欠点
があった。特に、試料表面を超高真空(或いは清浄真空
)で生成して吸着層のない状態で次面観察しようとする
場合、試料室内壁の汚染社著しく悪影響を及ばずことに
なる。
この発明の目的は、とのような欠点や不都合を解消する
ため、試料案内壁のやr規の清沖方法および装置を提供
することにある。
ため、試料案内壁のやr規の清沖方法および装置を提供
することにある。
従って、この目的を達成するために、この発明による方
法は、電子顕微鏡の試料室内にグキー放電を起させる圧
力まで高純度のガスを導入し、試料室内に挿置した放電
電極によ)試料室にグロー放電を発生させ、試料室内壁
面が清浄になるまでガス純度を維持しながらグロー放電
を維持することを%徴としている。
法は、電子顕微鏡の試料室内にグキー放電を起させる圧
力まで高純度のガスを導入し、試料室内に挿置した放電
電極によ)試料室にグロー放電を発生させ、試料室内壁
面が清浄になるまでガス純度を維持しながらグロー放電
を維持することを%徴としている。
またこの発明による装置は、電子顕微鏡の試料室内にグ
ロー放電を生じさせる高純度のガスを導入する装置と、
上記装置によって導入されたガスでグロー放電を発生さ
せるため、試料室内の作動位置と非作動位置との間で動
くことができるように設けられた放電電極とを有し、試
料室内壁が清浄になるまでグロー放電を維持すると共に
グロー放電中ガス純度を維持するように構成したことを
特徴としている。
ロー放電を生じさせる高純度のガスを導入する装置と、
上記装置によって導入されたガスでグロー放電を発生さ
せるため、試料室内の作動位置と非作動位置との間で動
くことができるように設けられた放電電極とを有し、試
料室内壁が清浄になるまでグロー放電を維持すると共に
グロー放電中ガス純度を維持するように構成したことを
特徴としている。
以下、この発明を、添附図面を参照して一実施例につい
て説明する。
て説明する。
図面にはこの発明による装置の一実施例を概略的に示し
、lは電子顕微鏡の試料室2を構成しているゲージング
で、とのケーシングl内には試料台3および試料筒弘が
配置されている。j、乙は対物レンズ磁極片であり、7
は試料室コ内への試料の挿入口であり、エアロツク(図
示してない)が組込まれている。またざはヘリウム、ア
ルゴン、ネオン、キセノン等の希ガス或いはN2ガス等
のグロー放電を発生させ得るカスの供給源であり、この
供給源rは導管2によシ試料室λ内に連通している。試
料室λ内には、導管7を介して供給される希ガスで試料
室λ内にグロー放電を発生さぜる放電電極10が設けら
れ、この放電’@、極10は放電洗浄時板外には試料室
−の妨げとなりない位置に移動できるように取付けられ
ている。すなわち図・不実施例ではケーシングlに設け
た開口部l/に例えばベローズから成る伸縮可能なケー
シングl−2を取付け、このケーシング12の外方端t
illからケーシングl−2内に軸方向にのびる内筒1
3内に電極ioを絶縁部材l≠を介して取イテ」け、矢
印で示すように直線移動できるように構成きれ、そして
この電極10は直流電源または高周波電源に接続され得
る。導管りを介して供給されるガスの圧力および放電電
極10に印加される放電電圧は、発生されるグロー放電
の放電暗部がo、r−〜数■程度で実質的に試料室全体
が放電によるプラズマで充満するように選ばれる。また
放電中、ガス純度を維持するために高純度ガスの導入と
排気を続けるか、または高純度ガスを試料室λに充填し
た後、強力なゲッター材を用いて汚染ガスを選択的に吸
着排気するようにされ得る。−例として例えば汚れがひ
どいときにはアルゴンガスを使用してガス圧λX ”−
” TorrでDC30分の放電で清浄でき、またアル
ゴンガスのガス圧をjX/θ−’Torrにして/ 、
3.! A MH,の高周波を用いてl!分の放電で清
浄することができた。
、lは電子顕微鏡の試料室2を構成しているゲージング
で、とのケーシングl内には試料台3および試料筒弘が
配置されている。j、乙は対物レンズ磁極片であり、7
は試料室コ内への試料の挿入口であり、エアロツク(図
示してない)が組込まれている。またざはヘリウム、ア
ルゴン、ネオン、キセノン等の希ガス或いはN2ガス等
のグロー放電を発生させ得るカスの供給源であり、この
供給源rは導管2によシ試料室λ内に連通している。試
料室λ内には、導管7を介して供給される希ガスで試料
室λ内にグロー放電を発生さぜる放電電極10が設けら
れ、この放電’@、極10は放電洗浄時板外には試料室
−の妨げとなりない位置に移動できるように取付けられ
ている。すなわち図・不実施例ではケーシングlに設け
た開口部l/に例えばベローズから成る伸縮可能なケー
シングl−2を取付け、このケーシング12の外方端t
illからケーシングl−2内に軸方向にのびる内筒1
3内に電極ioを絶縁部材l≠を介して取イテ」け、矢
印で示すように直線移動できるように構成きれ、そして
この電極10は直流電源または高周波電源に接続され得
る。導管りを介して供給されるガスの圧力および放電電
極10に印加される放電電圧は、発生されるグロー放電
の放電暗部がo、r−〜数■程度で実質的に試料室全体
が放電によるプラズマで充満するように選ばれる。また
放電中、ガス純度を維持するために高純度ガスの導入と
排気を続けるか、または高純度ガスを試料室λに充填し
た後、強力なゲッター材を用いて汚染ガスを選択的に吸
着排気するようにされ得る。−例として例えば汚れがひ
どいときにはアルゴンガスを使用してガス圧λX ”−
” TorrでDC30分の放電で清浄でき、またアル
ゴンガスのガス圧をjX/θ−’Torrにして/ 、
3.! A MH,の高周波を用いてl!分の放電で清
浄することができた。
こうして放電洗浄処理した後、清浄な真空状態にある試
料室λ内に清浄な試料観゛察表面が挿入される。この場
合、真空蒸着(エピタキシャル成長)、ス/ぐツタ蒸着
、気相成長、或い拡超微粉発生・移送成長等を、連結し
た試料準備室(図示してない)で実施した後、同じ清浄
度を維持したまま試料を試料室λ内に挿入する真空ロッ
クを用いるか或いはまた試料室λ内の試料地地表面に直
接分子線状のビームを発生させて試料表面に堆積させる
方法を用いることができる。
料室λ内に清浄な試料観゛察表面が挿入される。この場
合、真空蒸着(エピタキシャル成長)、ス/ぐツタ蒸着
、気相成長、或い拡超微粉発生・移送成長等を、連結し
た試料準備室(図示してない)で実施した後、同じ清浄
度を維持したまま試料を試料室λ内に挿入する真空ロッ
クを用いるか或いはまた試料室λ内の試料地地表面に直
接分子線状のビームを発生させて試料表面に堆積させる
方法を用いることができる。
以上説明してきたようにこの発明によれは、希ガスやN
2ガスのようなガスによるグロー放電を利用することに
よって試料室内壁を十分に清浄化することかで簀、観察
すべき試料表面を観察中充分に清浄な状態に保つことが
できる。
2ガスのようなガスによるグロー放電を利用することに
よって試料室内壁を十分に清浄化することかで簀、観察
すべき試料表面を観察中充分に清浄な状態に保つことが
できる。
図面はこの発明を実施している電子顕微鏡の試料室部分
を示す概略断面図である。 図中、−2=試料室、tはガス供給源、10:放電電極
。
を示す概略断面図である。 図中、−2=試料室、tはガス供給源、10:放電電極
。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 t 電子顕微鏡の試料室内にグロー放電を起させる圧力
まで高純度のガスを一導入し、試料室内に挿置した放電
電極によシ試料室にグロー放電を発生させ、試料室内壁
面が清浄になるまでガス純度を維持しながらグロー放電
を維持することを特徴とする電子顕微鏡の試料室内壁の
清浄方法。 2 電子顕微鏡の試料室内にグロー放電を生じさせる高
純度のガスを導入する装置と、上記装置によって導入さ
れたガスでグロー放電を発生させるため、試料室内の作
動位置と非作動位置との間で動くことができるように設
けられた放電電極とを有し、試料室内壁が清浄になるま
でグロー放電を維持すると共にグロー放電中ガス純度を
維持するように構成したことを特徴とする電子顕微鏡の
試料内壁の清浄装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58165087A JPS6059643A (ja) | 1983-09-09 | 1983-09-09 | 電子顕微鏡の試料室内壁の清浄方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58165087A JPS6059643A (ja) | 1983-09-09 | 1983-09-09 | 電子顕微鏡の試料室内壁の清浄方法および装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6059643A true JPS6059643A (ja) | 1985-04-06 |
Family
ID=15805630
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58165087A Pending JPS6059643A (ja) | 1983-09-09 | 1983-09-09 | 電子顕微鏡の試料室内壁の清浄方法および装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6059643A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62121709A (ja) * | 1985-11-21 | 1987-06-03 | Mitsui Petrochem Ind Ltd | 低結晶性エチレン系ランダム共重合体およびその用途 |
JPS62121711A (ja) * | 1985-11-21 | 1987-06-03 | Mitsui Petrochem Ind Ltd | 低結晶性エチレン系ランダム共重合体 |
JPH04306546A (ja) * | 1991-04-01 | 1992-10-29 | Kokusai Electric Co Ltd | 直流グロー放電洗浄用電極 |
JPH05270629A (ja) * | 1992-03-26 | 1993-10-19 | Akira Hatakeyama | エプロンコンベア |
CN112557130A (zh) * | 2021-02-28 | 2021-03-26 | 中国工程物理研究院核物理与化学研究所 | 一种气体探测器充入气体的方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57170493A (en) * | 1981-04-14 | 1982-10-20 | Nihon Fuijitetsuku Kiki Kk | Vacuum containing with low voltage arc discharger |
-
1983
- 1983-09-09 JP JP58165087A patent/JPS6059643A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57170493A (en) * | 1981-04-14 | 1982-10-20 | Nihon Fuijitetsuku Kiki Kk | Vacuum containing with low voltage arc discharger |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62121709A (ja) * | 1985-11-21 | 1987-06-03 | Mitsui Petrochem Ind Ltd | 低結晶性エチレン系ランダム共重合体およびその用途 |
JPS62121711A (ja) * | 1985-11-21 | 1987-06-03 | Mitsui Petrochem Ind Ltd | 低結晶性エチレン系ランダム共重合体 |
JPH0580493B2 (ja) * | 1985-11-21 | 1993-11-09 | Mitsui Petrochemical Ind | |
JPH04306546A (ja) * | 1991-04-01 | 1992-10-29 | Kokusai Electric Co Ltd | 直流グロー放電洗浄用電極 |
JPH05270629A (ja) * | 1992-03-26 | 1993-10-19 | Akira Hatakeyama | エプロンコンベア |
CN112557130A (zh) * | 2021-02-28 | 2021-03-26 | 中国工程物理研究院核物理与化学研究所 | 一种气体探测器充入气体的方法 |
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