JPH06285721A - 電解複合研磨装置 - Google Patents
電解複合研磨装置Info
- Publication number
- JPH06285721A JPH06285721A JP10017693A JP10017693A JPH06285721A JP H06285721 A JPH06285721 A JP H06285721A JP 10017693 A JP10017693 A JP 10017693A JP 10017693 A JP10017693 A JP 10017693A JP H06285721 A JPH06285721 A JP H06285721A
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- Japan
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- polishing
- tool
- electrolytic
- electrode
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- Pending
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- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 被加工体の被加工面に機械的な研磨作用と電
解作用とを有効に作用させ、研磨効率を向上する。 【構成】 被加工体１に対し相対的に移行し被加工体１
を研磨する研磨工具１０，１８，１９と、研磨工具１
０，１８，１９とは別体で研磨工具１０，１８，１９の
研磨に先立った加工位置に設けられ，被加工体１に所定
の間隙を保って配設された電極１２と、間隙に供給する
電解液９と、被加工体１を陽極側，電極１２を陰極側に
接続して給電する電解用電源２とを備える。
解作用とを有効に作用させ、研磨効率を向上する。 【構成】 被加工体１に対し相対的に移行し被加工体１
を研磨する研磨工具１０，１８，１９と、研磨工具１
０，１８，１９とは別体で研磨工具１０，１８，１９の
研磨に先立った加工位置に設けられ，被加工体１に所定
の間隙を保って配設された電極１２と、間隙に供給する
電解液９と、被加工体１を陽極側，電極１２を陰極側に
接続して給電する電解用電源２とを備える。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、金属表面を研磨する電
解複合研磨装置に関する。
解複合研磨装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、研削，研磨は砥石や各種研磨材
を用いた研削，研磨工具を単独使用しており、研削，研
磨を実施する際、工具に用いる研削，研磨材の砥粒をい
かに被加工体の被加工面に有効に作用させるかが、研
削，研磨の生産性を高める上で重要である。また一部に
は、メタルボンド砥石やグラファイト等をベースとした
砥石による研削と電解作用を合体した工具による電解複
合研削或いは不織布研磨材による研磨と電解作用を合体
した工具による電解複合研磨が実施されている。
を用いた研削，研磨工具を単独使用しており、研削，研
磨を実施する際、工具に用いる研削，研磨材の砥粒をい
かに被加工体の被加工面に有効に作用させるかが、研
削，研磨の生産性を高める上で重要である。また一部に
は、メタルボンド砥石やグラファイト等をベースとした
砥石による研削と電解作用を合体した工具による電解複
合研削或いは不織布研磨材による研磨と電解作用を合体
した工具による電解複合研磨が実施されている。
【０００３】つぎに、従来の電解複合研削装置について
図７を参照して説明する。１は電解用電源２の陽極に接
続された被加工体、３は電極４とメタルボンド又はグラ
ファイトをベースとした砥石５とからなる電解複合研削
工具、６は電解用電源２の陰極側に接続され，回転軸７
に摺接したブラシ、８は被加工体１の被加工面に電解液
９を供給する供給管である。
図７を参照して説明する。１は電解用電源２の陽極に接
続された被加工体、３は電極４とメタルボンド又はグラ
ファイトをベースとした砥石５とからなる電解複合研削
工具、６は電解用電源２の陰極側に接続され，回転軸７
に摺接したブラシ、８は被加工体１の被加工面に電解液
９を供給する供給管である。
【０００４】つぎに動作について説明する。被加工体１
の被加工面に工具３を圧接し、被加工体１を陽極，ブラ
シ６を陰極に接続して電解用電源２により給電し、回転
軸７を高速回転させるとともに、被加工体１の被加工面
に電解液９を供給し、電解溶出を行い、高速回転の工具
３の研削により陽極被膜を除去し、送り機構により工具
３に送りを与え、研削加工を行う。
の被加工面に工具３を圧接し、被加工体１を陽極，ブラ
シ６を陰極に接続して電解用電源２により給電し、回転
軸７を高速回転させるとともに、被加工体１の被加工面
に電解液９を供給し、電解溶出を行い、高速回転の工具
３の研削により陽極被膜を除去し、送り機構により工具
３に送りを与え、研削加工を行う。
【０００５】
【考案が解決しようとする課題】従来の前記電解複合研
削装置の場合、工具３と加工作用の制約から１〜２μＲ
ｍａｘの仕上面に止まり、研削効率が低い。また電解複
合研磨装置の場合、０．１μＲｍａｘ以下の鏡面研磨は
可能であるが、一工具内に機械的な研磨作用を行う研磨
材と電解作用を行う電極とが構成されているため、機械
研磨条件と電解条件の制約を受けて両作用の最適値を独
自に設定するのが困難であり、研磨効率が低いという問
題点がある。本発明は、前記の点に留意し、被加工体の
被加工面に機械的な研磨作用と電解作用とを有効に作用
させ、研磨効率を向上するようにした電解複合研磨装置
を提供することを目的とする。
削装置の場合、工具３と加工作用の制約から１〜２μＲ
ｍａｘの仕上面に止まり、研削効率が低い。また電解複
合研磨装置の場合、０．１μＲｍａｘ以下の鏡面研磨は
可能であるが、一工具内に機械的な研磨作用を行う研磨
材と電解作用を行う電極とが構成されているため、機械
研磨条件と電解条件の制約を受けて両作用の最適値を独
自に設定するのが困難であり、研磨効率が低いという問
題点がある。本発明は、前記の点に留意し、被加工体の
被加工面に機械的な研磨作用と電解作用とを有効に作用
させ、研磨効率を向上するようにした電解複合研磨装置
を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明の電解複合研磨装置は、被加工体に対し相対
的に移行し被加工体を研磨する研磨工具と、研磨工具と
は別体で研磨工具の研磨に先立った加工位置に設けら
れ，被加工体に所定の間隙を保って配設された電極と、
間隙に供給する電解液と、被加工体を陽極側，電極を陰
極側に接続して給電する電解用電源とを備えたものであ
る。
に、本発明の電解複合研磨装置は、被加工体に対し相対
的に移行し被加工体を研磨する研磨工具と、研磨工具と
は別体で研磨工具の研磨に先立った加工位置に設けら
れ，被加工体に所定の間隙を保って配設された電極と、
間隙に供給する電解液と、被加工体を陽極側，電極を陰
極側に接続して給電する電解用電源とを備えたものであ
る。
【０００７】
【作用】前記のように構成された本発明の電解複合研磨
装置は、被加工体に対し相対的に移行する研磨工具によ
り被加工体を研磨し、被加工体に所定の間隙を保って配
設された電極を、研磨工具とは別体で研磨工具の研磨に
先立った加工位置に設けるようにしたため、機械的研磨
作用と電解作用の最適値が独自に設定可能になり、さら
に微弱な電解作用を付加し、微視的な表面改質が行わ
れ、砥粒を被加工体に有効に作用させているので、研磨
効率が向上し、卓越した工業的利用が可能となる。
装置は、被加工体に対し相対的に移行する研磨工具によ
り被加工体を研磨し、被加工体に所定の間隙を保って配
設された電極を、研磨工具とは別体で研磨工具の研磨に
先立った加工位置に設けるようにしたため、機械的研磨
作用と電解作用の最適値が独自に設定可能になり、さら
に微弱な電解作用を付加し、微視的な表面改質が行わ
れ、砥粒を被加工体に有効に作用させているので、研磨
効率が向上し、卓越した工業的利用が可能となる。
【０００８】
【実施例】実施例について図１ないし図６を参照して説
明する。それらの図において図７と同一符号は同一もし
くは相当するものを示す。 （実施例１）まず、実施例１を示した図１ないし図３に
ついて説明する。１０は回転軸７に固着された砥石，弾
性砥石，不織布研磨材等の研磨材１１を備えた研磨工具
であり、被加工体１に対し相対的に移行し、被加工体１
を研磨する。１２は被加工体１に所定の間隙を保って配
設された電極であり、工具１０とは別体で工具１０の研
磨に先立った加工位置に設けられ、工具１０と同期して
動く。１３は電極１２に透設された電解液９の供給孔で
あり、前記間隙に微弱電流が流せる水溶性研削液に若干
の電解質を添加した電解液９が供給される。
明する。それらの図において図７と同一符号は同一もし
くは相当するものを示す。 （実施例１）まず、実施例１を示した図１ないし図３に
ついて説明する。１０は回転軸７に固着された砥石，弾
性砥石，不織布研磨材等の研磨材１１を備えた研磨工具
であり、被加工体１に対し相対的に移行し、被加工体１
を研磨する。１２は被加工体１に所定の間隙を保って配
設された電極であり、工具１０とは別体で工具１０の研
磨に先立った加工位置に設けられ、工具１０と同期して
動く。１３は電極１２に透設された電解液９の供給孔で
あり、前記間隙に微弱電流が流せる水溶性研削液に若干
の電解質を添加した電解液９が供給される。
【０００９】そして、従来例と同様、被加工体１の被加
工面に工具１０を圧接し、被加工体１を陽極，電極１２
を陰極に接続して電源２により給電し、工具１０を回転
させるとともに、供給孔１３より工具１０の先立った位
置の被加工体１の被加工面に電解液９を供給し、電解作
用で活性化、即ち微視的な表面改質を行い、送り機構に
より工具１０及び電極１２を同図の矢印方向に移動さ
せ、研磨加工を行う。この時、図２に示すように、０．
１〜１Ａ／ｃｍ2 の電解電流密度において工具１０の回
転負荷電力が増大し、さらに、図３に示すように研磨の
除去量が増大しており、両図から被加工体１の被加工面
に微弱な電解を与えることにより工具１０の砥粒が有効
に作用していることがわかる。
工面に工具１０を圧接し、被加工体１を陽極，電極１２
を陰極に接続して電源２により給電し、工具１０を回転
させるとともに、供給孔１３より工具１０の先立った位
置の被加工体１の被加工面に電解液９を供給し、電解作
用で活性化、即ち微視的な表面改質を行い、送り機構に
より工具１０及び電極１２を同図の矢印方向に移動さ
せ、研磨加工を行う。この時、図２に示すように、０．
１〜１Ａ／ｃｍ2 の電解電流密度において工具１０の回
転負荷電力が増大し、さらに、図３に示すように研磨の
除去量が増大しており、両図から被加工体１の被加工面
に微弱な電解を与えることにより工具１０の砥粒が有効
に作用していることがわかる。
【００１０】（実施例２）つぎに実施例２を示した図４
について説明する。同図において、図１と異なる点は、
工具１０の左側，右側にそれぞれ電極１２を配設し、両
電極１２を切換器１４のそれぞれの接点１５を介して電
源２の陰極に接続し、工具１０が同図に示す左方向の矢
印Ａに移動する場合は、一方の接点１５を閉じて左側の
電極１２に給電し、工具１０が同図に示す右方向の矢印
Ｂに移動した場合は、他方の接点１５を閉じて右側の電
極１２に給電し、前記と同様に研磨加工を行う。
について説明する。同図において、図１と異なる点は、
工具１０の左側，右側にそれぞれ電極１２を配設し、両
電極１２を切換器１４のそれぞれの接点１５を介して電
源２の陰極に接続し、工具１０が同図に示す左方向の矢
印Ａに移動する場合は、一方の接点１５を閉じて左側の
電極１２に給電し、工具１０が同図に示す右方向の矢印
Ｂに移動した場合は、他方の接点１５を閉じて右側の電
極１２に給電し、前記と同様に研磨加工を行う。
【００１１】（実施例３）つぎに、実施例３を示した図
５について説明する。同図において、図１と異なる点
は、回転軸７に固着されたディスク１６にディスク状の
砥石または研磨材１７が装着されたディスク状研磨工具
１８を用いた点であり、ディスク状研磨工具１９を回転
させ、同図の矢印方向に工具１８，電極１２を移動さ
せ、前記と同様に研磨加工を行う。
５について説明する。同図において、図１と異なる点
は、回転軸７に固着されたディスク１６にディスク状の
砥石または研磨材１７が装着されたディスク状研磨工具
１８を用いた点であり、ディスク状研磨工具１９を回転
させ、同図の矢印方向に工具１８，電極１２を移動さ
せ、前記と同様に研磨加工を行う。
【００１２】（実施例４）つぎに、実施例４を示した図
６について説明する。同図において、１９は被加工体１
の被加工面に圧接され，被加工面を研磨するベル状研磨
工具であり、大径の回転体２０，小径の回転体２１及び
両回転体２０，２１に巻回されたベルト状研磨材２２か
らなる。そして、ベルト状研磨工具１９の大径の回転体
２０をベルト状研磨材２３を介して被加工体１の被加工
面に圧接させ、大径の回転体２０を同図に示すように左
回転させ、前記と同様に研磨加工を行う。
６について説明する。同図において、１９は被加工体１
の被加工面に圧接され，被加工面を研磨するベル状研磨
工具であり、大径の回転体２０，小径の回転体２１及び
両回転体２０，２１に巻回されたベルト状研磨材２２か
らなる。そして、ベルト状研磨工具１９の大径の回転体
２０をベルト状研磨材２３を介して被加工体１の被加工
面に圧接させ、大径の回転体２０を同図に示すように左
回転させ、前記と同様に研磨加工を行う。
【００１３】このように前記各実施例では、研磨に最適
な研磨工具１０，１８，１９，電解作用に最適な電極面
積及び被加工体１との間隙，電解液組成，濃度を独自に
選択し、電解溶出を自主的とするのではなく、被加工体
１の被加工面を微視的な表面改質を行うようにしたた
め、定圧研磨においては除去深さ、即ち単位時間当りの
除去量を大幅に増大することができ、定寸切込みの研磨
においては送り速度の限界値を大幅に増大することがで
きる。また、電解液９に微弱電流が流せる水溶性研削液
に若干の電解質を添加するだけでよいので、電解複合研
磨装置の防錆等の配慮が不要になる。
な研磨工具１０，１８，１９，電解作用に最適な電極面
積及び被加工体１との間隙，電解液組成，濃度を独自に
選択し、電解溶出を自主的とするのではなく、被加工体
１の被加工面を微視的な表面改質を行うようにしたた
め、定圧研磨においては除去深さ、即ち単位時間当りの
除去量を大幅に増大することができ、定寸切込みの研磨
においては送り速度の限界値を大幅に増大することがで
きる。また、電解液９に微弱電流が流せる水溶性研削液
に若干の電解質を添加するだけでよいので、電解複合研
磨装置の防錆等の配慮が不要になる。
【００１４】さらに、従来に比して大電流を流す必要も
なく、回転軸７へ給電する必要もないため、装置は一般
的な機械仕様の状態で使用することができる。なお、前
記各実施例では、被加工体１を固定し、電極１２を工具
１０，１８，１９と同期させて送り方向に送る場合を例
にとって説明したが、電極１２を工具１０，１８，１９
と一体結合して固定し、被加工体１を移行するようにし
てもよい。
なく、回転軸７へ給電する必要もないため、装置は一般
的な機械仕様の状態で使用することができる。なお、前
記各実施例では、被加工体１を固定し、電極１２を工具
１０，１８，１９と同期させて送り方向に送る場合を例
にとって説明したが、電極１２を工具１０，１８，１９
と一体結合して固定し、被加工体１を移行するようにし
てもよい。
【００１５】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているため、つぎに記載する効果を奏する。本発明の電
解複合研磨装置は、被加工体１に対し相対的に移行する
研磨工具１０，１８，１９により被加工体１を研磨し、
被加工体１に所定の間隙を保って配設された電極１２
を、研磨工具１０，１８，１９とは別体で研磨工具１
０，１８，１９の研磨に先立った加工位置に設けるよう
にしたため、機械的研磨作用と電解作用の最適値を独自
に設定することができ、さらに微弱な電解作用を付加
し、微視的な表面改質を行い、砥粒を被加工体１に有効
に作用させているので、研磨効率を向上させ、卓越した
工業的利用ができる。
ているため、つぎに記載する効果を奏する。本発明の電
解複合研磨装置は、被加工体１に対し相対的に移行する
研磨工具１０，１８，１９により被加工体１を研磨し、
被加工体１に所定の間隙を保って配設された電極１２
を、研磨工具１０，１８，１９とは別体で研磨工具１
０，１８，１９の研磨に先立った加工位置に設けるよう
にしたため、機械的研磨作用と電解作用の最適値を独自
に設定することができ、さらに微弱な電解作用を付加
し、微視的な表面改質を行い、砥粒を被加工体１に有効
に作用させているので、研磨効率を向上させ、卓越した
工業的利用ができる。
【図１】本発明の実施例１の一部切断正面図である。
【図２】電解電流密度と工具回転負荷電力との関係図で
ある。
ある。
【図３】電解電流密度と除去量との関係図である。
【図４】本発明の実施例２の一部切断正面図である。
【図５】本発明の実施例３の一部切断正面図である。
【図６】本発明の実施例４の一部切断正面図である。
【図７】従来例の一部切断正面図である。
１ 被加工体 ２ 電解用電源 ９ 電解液 １０ 研磨工具 １２ 電極 １８ 研磨工具 １９ 研磨工具
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小林 栄治 大阪市此花区西九条５丁目３番28号 日立 造船株式会社内 (72)発明者 田宮 勝恒 大阪市此花区西九条５丁目３番28号 日立 造船株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 被加工体に対し相対的に移行し被加工体
を研磨する研磨工具と、該研磨工具とは別体で前記研磨
工具の研磨に先立った加工位置に設けられ，前記被加工
体に所定の間隙を保って配設された電極と、前記間隙に
供給する電解液と、前記被加工体を陽極側，前記電極を
陰極側に接続して給電する電解用電源とを備えた電解複
合研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10017693A JPH06285721A (ja) | 1993-04-01 | 1993-04-01 | 電解複合研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10017693A JPH06285721A (ja) | 1993-04-01 | 1993-04-01 | 電解複合研磨装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06285721A true JPH06285721A (ja) | 1994-10-11 |
Family
ID=14267009
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10017693A Pending JPH06285721A (ja) | 1993-04-01 | 1993-04-01 | 電解複合研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06285721A (ja) |
-
1993
- 1993-04-01 JP JP10017693A patent/JPH06285721A/ja active Pending
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