JPH06282663A

JPH06282663A - データ演算処理記録、検索、及び表示方法

Info

Publication number: JPH06282663A
Application number: JP5068286A
Authority: JP
Inventors: Jiyunsuke Kominato; 順介古水戸
Original assignee: Shibaura Engineering Works Co Ltd
Current assignee: Shibaura Mechatronics Corp
Priority date: 1993-03-26
Filing date: 1993-03-26
Publication date: 1994-10-07

Abstract

(57)【要約】【目的】測定データ等の特徴的内容（平均値、最小値
等）を即座に読出して、この特徴的内容の検討等を即座
に行うことができるようにすることにある。【構成】データ演算処理装置を用いてデータを順次記
録媒体の指定領域に記録する際、このデータの少なくと
も一部を抽出し、この抽出したデータを記録媒体の別領
域にそのまま記録するか、若しくは、この抽出したデー
タに演算処理を施して新なデータを作成しこの新なデー
タを記録媒体の別領域に記録することを特徴としてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、測定データ等の特徴的
内容（平均値、最小値等）を即座に読出して、この特徴
的内容の検討等を即座に行うことができるデータ演算処
理記録方法、データ演算処理検索方法、及びデータ演算
処理表示方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、化学的処理装置、測定装置等に
おいては、測定したデータをリアルタイムに記録するこ
とが行われている。具体的には、測定データをＡ／Ｄ変
換し、リアルタイムで順次パーソナルコンピュータ等に
入力し、これに付設されたハードディスク、ＭＯディス
ク等に記録している。したがって、ハードディスク等に
は、例えば、〇月〇日〇時〇分〇秒には、測定データの
第１項目が〇×〇であり、第２項目が〇××であり、第
３項目が………というように、経時的に各種項目の測定
データが記録されている。

【０００３】このようにしてリアルタイムに記録された
測定データを相互に関連付けながらこれらのデータを解
析する場合には、例えば、〇月〇日〇時〇分〇秒から〇
月〇日×時×分×秒の間における、測定データの第１項
目、第２項目……についての平均値、最小値、最大値等
の特徴的内容をパーソナルコンピュータ等の演算処理に
より抽出し、このようにして得られた特徴的内容を適宜
記録すると共に画像表示する等して、特徴的内容につい
てその傾向を観察・検討することが行われている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、最初に
リアルタイムでハードディスク等に記録される測定デー
タが膨大である場合、例えば、測定時間の間隔が非常に
短い場合、若しくは、測定する項目が多数である場合に
は、測定データを解析するために行うコンピュータの演
算処理に非常に膨大な時間が費やさなければならないと
いったことがある。具体的には、ドライエッチング装置
においては、エッチングレート等の測定データから特徴
的内容（平均値、最小値等）をコンピュータの演算処理
により読出す場合には、２日から３日かかってしまうこ
とがある。

【０００５】このように演算処理に膨大な時間を要する
結果、特徴的内容について検討を行う場合、検討をアッ
プツウデートに行うことができないといった問題があっ
た。具体的には、ドライエッチング装置において、エッ
チング不良等が発生した場合、この原因を究明したいと
きに、演算処理に時間を費やしてしまい、肝心の測定デ
ータの特徴的内容（平均値、最小値等）の検討を即座に
行うことができなかった。

【０００６】したがって、従来、測定して得られたデー
タから即座に特徴的内容を読出し、特徴的内容の検討を
即座に行いたいという要望が非常に強かった。

【０００７】また、このような要望は、化学的処理装
置、測定装置等に限らず、種々の分野においても同様に
必要とされている。

【０００８】本発明の目的は、測定データ等の特徴的内
容（平均値、最小値等）を即座に読出して、この特徴的
内容の検討等を即座に行うことができるデータ演算処理
記録方法、データ演算処理検索方法、及びデータ演算処
理表示方法を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この目的達成のため、本
発明の請求項１は、データ演算処理装置を用いてデータ
を順次記録媒体の指定領域に記録する際、このデータの
少なくとも一部を抽出し、この抽出したデータを記録媒
体の別領域にそのまま記録するか、若しくは、この抽出
したデータに演算処理を施して新なデータを作成しこの
新なデータを記録媒体の別領域に記録することを特徴と
している。

【００１０】また、請求項２は、データ演算処理装置を
用いてデータを順次記録媒体の指定領域に記録する際、
このデータの少なくとも一部を抽出して演算処理を施
し、抽出したデータから特徴的内容を有する新なデータ
を作成して記録媒体の別領域に記録し、その後、この特
徴的内容を有する新なデータを読出して、目的のデータ
を検索することを特徴としている。

【００１１】さらに、請求項３は、データ演算処理装置
を用いてデータを順次記録媒体の指定領域に記録する
際、このデータの少なくとも一部を抽出して演算処理を
施し、抽出したデータから特徴的内容を有する新なデー
タを作成して記録媒体の別領域に記録し、その後、記録
した新なデータを画像表示手段により表示し、これによ
り、表示された特徴的内容から目的のデータを把握でき
ることを特徴としている。

【００１２】

【作用】本発明の請求項１乃至請求項３では、具体的に
は、データを順次記録する際、このデータの少なくとも
一部を抽出して演算処理を施し、抽出したデータから特
徴的内容（平均値、最小値等）を有する新なデータを作
成して記録媒体の別領域に記録している。このように、
測定データ等を記録する時点で、特徴的内容を抽出して
記録する作業を行っているため、従来のように、特徴的
内容を必要とする時に、測定データ等から特徴的内容を
抽出する膨大な演算処理を行う必要がなくなり、このた
めの時間を短縮できる。

【００１３】したがって、特徴的内容の必要時に、測定
データ等の特徴的内容を即座に読出して、目的のデータ
の検索、特徴的内容の検討等を即座に行うことができ
る。また、特徴的内容を画像表示手段により表示し、こ
れにより、データ間の傾向を瞬時に把握することができ
る。さらに、このように、特徴的内容を画像表示手段に
より表示することにより、膨大な測定データ等が存在す
る場合でも、目的のデータを瞬時に検索することができ
る。

【００１４】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を参照しつつ
説明する。

【００１５】本実施例では、化学処理装置を例に挙げ説
明する。図１は、この化学処理装置の処理状態のデータ
を取り出して、本実施例によりデータ処理する際のフロ
ーチャートを示している。この図１に示すように、ステ
ップ１として、化学処理装置から測定データを経時的に
順次取り出し、Ａ／Ｄ変換してコンピュータに送る。す
なわち、×月×日×時×分×秒には、測定データの第１
項目が×○○であり、第２項目が○××であり、第３項
目が………であるというように、測定データを取り出し
ている。

【００１６】ステップ２では、この測定データを情報記
録媒体の指定領域に記録している。この生の測定データ
の記録は、例えば、図２，３に示すようにしている。す
なわち、一定の測定時間について名称付けし、０．１秒
ごとに測定データを抽出している。即ち、図２に示すよ
うに、×月×日×時０１分台の測定データを「ＡＢＣ０
０１」と名称付けし、×時０１分０．１秒における第１
項目のデータは、「１１」であり、第２項目のデータ
は、「８」であるというように順次記録し、×時０１分
０．２秒における第１項目のデータは、「１０」であ
り、第２項目のデータは、「８」であるというように順
次記録し、このように、×月×日×時０１分台の測定デ
ータを順次記録している。

【００１７】次に、図３に示すように、×月×日×時０
２分台の測定データを「ＡＢＣ００２」と名称付けし、
先の場合と同様に、０．１秒ごとに各項目について測定
データを取り出して順次記録している。この後も、この
ような経時的な測定データを順次記録している。

【００１８】本実施例では、このステップ２における作
業と同時に又は並列的に、ステップ３及びステップ４に
おける、測定データから特徴的内容のデータを演算処理
により抽出して、情報記録媒体の別領域に記録する作業
を行っている。具体的には、図４に示すように、×月×
日×時０１分台の測定データ「ＡＢＣ００１」から、こ
の０１分台における第１項目の最大値「１１」、最小値
「１０」、平均値「１０．５」を求め記録している。同
様に、第２項目、第３項目、…………についても、最大
値、最小値、平均値を求め記録している。さらに、×月
×日×時０２分台の測定データ「ＡＢＣ００２」から、
最大値、最小値、平均値を求め記録している。

【００１９】このように、ステップ３及びステップ４に
おいては、測定データから各名称ごとに特徴的内容（最
大値、最小値、平均値等）を演算処理により抽出し、情
報記録媒体の別領域に記録している。そのため、このス
テップ３及びステップ４におけるデータには、測定デー
タの特徴的内容が整理した形で記録されていることにな
る。

【００２０】次に、ステップ５では、特徴的内容のデー
タを検討する時等に、特徴的内容を画像表示手段により
表示している。これにより、特徴的内容のデータ間の傾
向を瞬時に把握することができる。

【００２１】さらに、ステップ６では、この画像表示し
た特徴的内容のデータを検索することにより、膨大な測
定データ等が存在する場合でも、目的のデータを即座に
検索することができる。

【００２２】このように、本実施例では、測定データを
取出して記録する時点で、これと同時に又は並列的に特
徴的内容を抽出して記録する作業を行っているため、従
来のように、特徴的内容を必要とする時に、測定データ
等から特徴的内容を抽出する膨大な演算処理を行う必要
がなくなり、このための時間を短縮できる。その結果、
上記のように、特徴的内容の必要時に、測定データ等の
特徴的内容を即座に読出して、目的のデータの検索、特
徴的内容の検討等を即座に行うことができる。

【００２３】次に、図５を参照して、本発明をドライエ
ッチング装置に適用した例について説明する。

【００２４】このエッチング装置では、真空→エッチン
グ処理→大気開放の工程で、１サイクルの処理を終えて
いる。図５には、このエッチング処理における経過時間
とエッチングレートとの関係が示してある。

【００２５】本発明をこのエッチング装置に適用した場
合、ステップ２の測定データの記録工程としては、測定
項目をエッチングレート一つとして、このエッチングレ
ートを経時的に記録している。

【００２６】ステップ３及びステップ４の特徴的内容を
抽出して記録する工程としては、このエッチングレート
から求められる「エッチング時間」「ジャスト時間」
「ピーク時間」「アベレージ」「エンドレベル」などを
特徴的内容として、１サイクルごとに抽出して記録して
いる。

【００２７】したがって、ドライエッチング装置におい
て、エッチング不良等が発生した場合、この原因を究明
したいときに、従来のように、生の測定データである
「エッチングレート」の記録を調べるのではなく、この
特徴的内容のデータである「エッチング時間」「ジャス
ト時間」「ピーク時間」等のみを検索して検討すればよ
い。そのため、特徴的内容の検討を即座に行うことがで
き、エッチング不良等の原因を即座に究明することがで
きる。

【００２８】なお、本発明は、上述した実施例に限定さ
れるものではなく、種々変形可能であることは勿論であ
る。特に、本発明は、化学的処理装置（エッチング装
置）、測定装置等に限らず、種々の分野に適用すること
ができる。

【００２９】

【発明の効果】以上述べたように、本発明では、測定デ
ータ等を記録する時点で、特徴的内容を抽出して記録す
る作業を行っているため、従来のように、特徴的内容を
必要とする時に、測定データ等から特徴的内容を抽出す
る膨大な演算処理を行う必要がなくなり、このための時
間を短縮できる。したがって、特徴的内容の必要時に、
測定データ等の特徴的内容を即座に読出して、目的のデ
ータの検索、特徴的内容の検討等を即座に行うことがで
きる。また、特徴的内容を画像表示手段により表示し、
これにより、データ間の傾向を瞬時に把握することがで
きる。さらに、このように、特徴的内容を画像表示手段
により表示することにより、膨大な測定データ等が存在
する場合でも、目的のデータを瞬時に検索することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例によりデータ処理する際のフ
ローチャート。

【図２】本発明の一実施例により記録される測定データ
のデータ表。

【図３】本発明の一実施例により記録される測定データ
のデータ表。

【図４】本発明の一実施例により記録される特徴的内容
のデータ表。

【図５】本発明の一実施例に係り、エッチング処理にお
ける経過時間とエッチングレートとの関係を示すグラ
フ。

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成５年１０月２６日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正内容】

【書類名】明細書

【発明の名称】データ演算処理記録、検索、及び表
示方法

【特許請求の範囲】

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【０００２】

【従来の技術】例えば、化学的処理装置、測定装置等に
おいては、測定したデータをリアルタイムに記録するこ
とが行われている。具体的には、測定データをＡ／Ｄ変
換し、リアルタイムで順次パーソナルコンピュータ等に
入力し、これに付設されたハードディスク、ＭＯディス
ク等に記録している。したがって、ハードディスク等に
は、例えば、○月○日○時○分○秒には、測定データの
第１項目が○×○であり、第２項目が○××であり、第
３項目が………というように、経時的に各種項目の測定
データが記録されている。

【０００３】このようにしてリアルタイムに記録された
測定データを相互に関連付けながらこれらのデータを解
析する場合には、例えば、○月○日○時○分○秒から○
月○日×時×分×秒の間における、測定データの第１項
目、第２項目……についての平均値、最小値、最大値等
の特徴的内容をパーソナルコンピュータ等の演算処理に
より抽出し、このようにして得られた特徴的内容を適宜
記録すると共に画像表示する等して、特徴的内容につい
てその傾向を観察・検討することが行われている。

【０００４】

【０００９】

【００１２】

【００１４】

【００１５】本実施例では、化学処理装置を例に挙げ説
明する。図１は、この化学処理装置の処理状態のデータ
を取り出して、本実施例によりデータ処理する際のフロ
ーチャートを示している。この図１に示すように、ステ
ップ１として、化学処理装置から測定データを経時的に
順次取り出し、Ａ／Ｄ変換してコンピュータに送る。す
なわち、×月×日×時×分×秒には、測定データの第１
項目が×○○であり、第２項目が○××であり、第３項
目が……であるというように、測定データを取り出して
いる。

【００１６】

【表１】

【００１７】

【表２】

【００１８】ステップ２では、この測定データを情報記
録媒体の指定領域に記録している。この生の測定データ
の記録は、例えば、表１，表２に示すようにしている。
すなわち、一定の測定時間について名称付けし、０．１
秒ごとに測定データを抽出している。即ち、表１に示す
ように、×月×日×時０１分台の測定データを「ＡＢＣ
００１」と名称付けし、×時０１分０．１秒における第
１項目のデータは、「１１」であり、第２項目のデータ
は、「８」であるというように順次記録し、×時０１分
０．２秒における第１項目のデータは、「１０」であ
り、第２項目のデータは、「８」であるというように順
次記録し、このように、×月×日×時０１分台の測定デ
ータを順次記録している。

【００１９】次に、表２に示すように、×月×日×時０
２分台の測定データを「ＡＢＣ００２」と名称付けし、
先の場合と同様に、０．１秒ごとに各項目について測定
データを取り出して順次記録している。この後も、この
ような経時的な測定データを順次記録している。

【００２０】

【表３】

【００２１】本実施例では、このステップ２における作
業と同時に又は並列的に、ステップ３及びステップ４に
おける、測定データから特徴的内容のデータを演算処理
により抽出して、情報記録媒体の別領域に記録する作業
を行っている。具体的には、表３に示すように、×月×
日×時０１分台の測定データ「ＡＢＣ００１」から、こ
の０１分台における第１項目の最大値「１１」、最小値
「１０」、平均値「１０．５」を求め記録している。同
様に、第２項目、第３項目、…………についても、最大
値、最小値、平均値を求め記録している。さらに、×月
×日×時０２分台の測定データ「ＡＢＣ００２」から、
最大値、最小値、平均値を求め記録している。

【００２２】このように、ステップ３及びステップ４に
おいては、測定データから各名称ごとに特徴的内容（最
大値、最小値、平均値等）を演算処理により抽出し、情
報記録媒体の別領域に記録している。そのため、このス
テップ３及びステップ４におけるデータには、測定デー
タの特徴的内容が整理した形で記録されていることにな
る。

【００２３】次に、ステップ５では、特徴的内容のデー
タを検討する時等に、特徴的内容を画像表示手段により
表示している。これにより、特徴的内容のデータ間の傾
向を瞬時に把握することができる。

【００２４】さらに、ステップ６では、この画像表示し
た特徴的内容のデータを検索することにより、膨大な測
定データ等が存在する場合でも、目的のデータを即座に
検索することができる。

【００２５】このように、本実施例では、測定データを
取出して記録する時点で、これと同時に又は並列的に特
徴的内容を抽出して記録する作業を行っているため、従
来のように、特徴的内容を必要とする時に、測定データ
等から特徴的内容を抽出する膨大な演算処理を行う必要
がなくなり、このための時間を短縮できる。その結果、
上記のように、特徴的内容の必要時に、測定データ等の
特徴的内容を即座に読出して、目的のデータの検索、特
徴的内容の検討等を即座に行うことができる。

【００２６】次に、図２を参照して、本発明をドライエ
ッチング装置に適用した例について説明する。

【００２７】このエッチング装置では、真空→エッチン
グ処理→大気開放の工程で、１サイクルの処理を終えて
いる。図２には、このエッチング処理における経過時間
とエッチングレートとの関係が示してある。

【００２８】本発明をこのエッチング装置に適用した場
合、ステップ２の測定データの記録工程としては、測定
項目をエッチングレート一つとして、このエッチングレ
ートを経時的に記録している。

【００２９】ステップ３及びステップ４の特徴的内容を
抽出して記録する工程としては、このエッチングレート
から求められる「エッチング時間」「ジャスト時間」
「ピーク時間」「アベレージ」「エンドレベル」などを
特徴的内容として、１サイクルごとに抽出して記録して
いる。

【００３０】したがって、ドライエッチング装置におい
て、エッチング不良等が発生した場合、この原因を究明
したいときに、従来のように、生の測定データである
「エッチングレート」の記録を調べるのではなく、この
特徴的内容のデータである「エッチング時間」「ジャス
ト時間」「ピーク時間」等のみを検索して検討すればよ
い。そのため、特徴的内容の検討を即座に行うことがで
き、エッチング不良等の原因を即座に究明することがで
きる。

【００３１】なお、本発明は、上述した実施例に限定さ
れるものではなく、種々変形可能であることは勿論であ
る。特に、本発明は、化学的処理装置（エッチング装
置）、測定装置等に限らず、種々の分野に適用すること
ができる。

【００３２】

【図面の簡単な説明】

【図２】本発明の一実施例に係り、エッチング処理にお
ける経過時間とエッチングレートとの関係を示すグラ
フ。

【手続補正２】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】全図

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１】

【図２】

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】データ演算処理装置を用いてデータを順次
記録媒体の指定領域に記録する際、このデータの少なく
とも一部を抽出し、この抽出したデータを記録媒体の別
領域にそのまま記録するか、若しくは、この抽出したデ
ータに演算処理を施して新なデータを作成しこの新なデ
ータを記録媒体の別領域に記録することを特徴とするデ
ータ演算処理記録方法。
【請求項２】データ演算処理装置を用いてデータを順次
記録媒体の指定領域に記録する際、このデータの少なく
とも一部を抽出して演算処理を施し、抽出したデータか
ら特徴的内容を有する新なデータを作成して記録媒体の
別領域に記録し、その後、この特徴的内容を有する新なデータを読出し
て、目的のデータを検索することを特徴とするデータ演
算処理検索方法。
【請求項３】データ演算処理装置を用いてデータを順次
記録媒体の指定領域に記録する際、このデータの少なく
とも一部を抽出して演算処理を施し、抽出したデータか
ら特徴的内容を有する新なデータを作成して記録媒体の
別領域に記録し、その後、記録した新なデータを画像表示手段により表示
し、これにより、表示された特徴的内容から目的のデー
タを把握できることを特徴とするデータ演算処理表示方
法。