JPH06281000A - ベローズ製造方法 - Google Patents
ベローズ製造方法Info
- Publication number
- JPH06281000A JPH06281000A JP6158493A JP6158493A JPH06281000A JP H06281000 A JPH06281000 A JP H06281000A JP 6158493 A JP6158493 A JP 6158493A JP 6158493 A JP6158493 A JP 6158493A JP H06281000 A JPH06281000 A JP H06281000A
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- JP
- Japan
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- bellows
- nozzle
- heat treatment
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- Pending
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- Diaphragms And Bellows (AREA)
- Heat Treatments In General, Especially Conveying And Cooling (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 熱処理時の拡散接合を防止することを可能と
する。 【構成】 内層１とこれを空間部４を隔てて覆う外層２
とからなる複数層のベローズ３を成形した後、これを熱
処理するに際し、上記ベローズ３にノズル１２を取り付
け、上記熱処理時に内層１と外層２との間の空間部内圧
力を上記ノズル１２から大気開放するようにしたことを
特徴としている。
する。 【構成】 内層１とこれを空間部４を隔てて覆う外層２
とからなる複数層のベローズ３を成形した後、これを熱
処理するに際し、上記ベローズ３にノズル１２を取り付
け、上記熱処理時に内層１と外層２との間の空間部内圧
力を上記ノズル１２から大気開放するようにしたことを
特徴としている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はベローズ製造方法に係
り、特に熱処理時に内層と外層とが接合することを防止
できるベローズ製造方法に関するものである。
り、特に熱処理時に内層と外層とが接合することを防止
できるベローズ製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】容器とこれに接続される貫通管との間に
は熱膨張を許容するステンレス製多層ベローズが介設さ
れているケースは知られている。このベローズは同板厚
の一層のベローズに比べ内圧が高いにも拘らずバネ定数
を小さくしたいときに内圧に対する応力は同じでもバネ
定数を1/4 にすることができる。
は熱膨張を許容するステンレス製多層ベローズが介設さ
れているケースは知られている。このベローズは同板厚
の一層のベローズに比べ内圧が高いにも拘らずバネ定数
を小さくしたいときに内圧に対する応力は同じでもバネ
定数を1/4 にすることができる。
【０００３】例えば、二層のベローズを製造するには先
ず内筒とこれを覆う外筒とからなる二重円筒管の上下端
部を互いに溶接接合し、その二重円筒管を型に嵌めて内
筒に液圧を加えると共に二重円筒管を軸方向に圧縮する
と、図１１に示すように波形の内筒１とこれを覆う波形
の外筒２とからなるベローズ３が成形される。このよう
に成形されたベローズ３は塑性加工による残留応力を除
去するために炉内で熱処理（ＳＨＴ）される。炉内で例
えば1050℃×５〜１０分熱処理された後、ベローズ３は
急冷される。
ず内筒とこれを覆う外筒とからなる二重円筒管の上下端
部を互いに溶接接合し、その二重円筒管を型に嵌めて内
筒に液圧を加えると共に二重円筒管を軸方向に圧縮する
と、図１１に示すように波形の内筒１とこれを覆う波形
の外筒２とからなるベローズ３が成形される。このよう
に成形されたベローズ３は塑性加工による残留応力を除
去するために炉内で熱処理（ＳＨＴ）される。炉内で例
えば1050℃×５〜１０分熱処理された後、ベローズ３は
急冷される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、冷却水によ
る冷却の際にベローズ３の内外層１，２間に冷却水が浸
入することを防止するために、ベローズ３の内層１と外
層２との間の空間部４は完全に密封され、その密閉状態
で熱処理される。内層１と外層２との間が密閉されると
熱処理時においては内外層１，２間の内圧が上昇するこ
とになる。
る冷却の際にベローズ３の内外層１，２間に冷却水が浸
入することを防止するために、ベローズ３の内層１と外
層２との間の空間部４は完全に密封され、その密閉状態
で熱処理される。内層１と外層２との間が密閉されると
熱処理時においては内外層１，２間の内圧が上昇するこ
とになる。
【０００５】一方、ベローズ３の内層１および外層２の
板厚を薄くし、これら内層１および外層２に形成される
山高を大きくすると、熱処理時においては内外層１，２
間の圧力上昇により内層１と外層２とが互いに押し付け
合って接合するという拡散接合が生じる。すなわち、図
８、図９および図１０に内層１と外層２との間に内圧を
加えたときに板厚および山高の異なる３種類のベローズ
３ａ，３ｂ，３ｃの変形を示すと、図８に示す板厚ｔ1
×２層のベローズ３ａにおいては拡散接合が生じ、図９
に示す板厚ｔ2 ×２層のベローズ３ｂにおいても拡散接
合が生じる。ｔ1 ＜ｔ2 であり、５は接合部である。こ
れに対し、図１０に示す板厚ｔ2 ×２層のベローズ３ｃ
にあっては山高が小さいために内外層１，２間は略平行
に離反されており、拡散接合は生じない。
板厚を薄くし、これら内層１および外層２に形成される
山高を大きくすると、熱処理時においては内外層１，２
間の圧力上昇により内層１と外層２とが互いに押し付け
合って接合するという拡散接合が生じる。すなわち、図
８、図９および図１０に内層１と外層２との間に内圧を
加えたときに板厚および山高の異なる３種類のベローズ
３ａ，３ｂ，３ｃの変形を示すと、図８に示す板厚ｔ1
×２層のベローズ３ａにおいては拡散接合が生じ、図９
に示す板厚ｔ2 ×２層のベローズ３ｂにおいても拡散接
合が生じる。ｔ1 ＜ｔ2 であり、５は接合部である。こ
れに対し、図１０に示す板厚ｔ2 ×２層のベローズ３ｃ
にあっては山高が小さいために内外層１，２間は略平行
に離反されており、拡散接合は生じない。
【０００６】本来、二層ベローズは内層１と外層２が互
いに離反され伸縮させたときにそれぞれ独立した動きに
なる。したがって、内外層１，２間が接合してしまう
と、その接合部分５はベローズ３を伸縮させた際に曲げ
られるのでベローズ３の曲げ剛性を高めてしまうことに
なる。例えば、板厚ｔ1 ×２層のベローズ３ａにおいて
は接合部５の厚さが２ｔ1 となるため、接合部５では２
ｔ1 ×１層の動きとなる。曲げ剛性は板厚の３乗に比例
するので、（ｔ1 ）3 ×２層の曲げ剛性が接合部５にお
いては（２ｔ1 ）3 ×１層の４倍の曲げ剛性となり、伸
縮性に富んだ柔軟なベローズ３が得られないことにな
る。
いに離反され伸縮させたときにそれぞれ独立した動きに
なる。したがって、内外層１，２間が接合してしまう
と、その接合部分５はベローズ３を伸縮させた際に曲げ
られるのでベローズ３の曲げ剛性を高めてしまうことに
なる。例えば、板厚ｔ1 ×２層のベローズ３ａにおいて
は接合部５の厚さが２ｔ1 となるため、接合部５では２
ｔ1 ×１層の動きとなる。曲げ剛性は板厚の３乗に比例
するので、（ｔ1 ）3 ×２層の曲げ剛性が接合部５にお
いては（２ｔ1 ）3 ×１層の４倍の曲げ剛性となり、伸
縮性に富んだ柔軟なベローズ３が得られないことにな
る。
【０００７】本発明は上記問題点を有効に解決すべく創
案されたものである。
案されたものである。
【０００８】本発明は熱処理時の拡散接合を防止できる
ベローズ製造方法を提供することを目的とする。
ベローズ製造方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は内層とこれを空
間部を隔てて覆う外層とからなる複数層のベローズを成
形した後、これを熱処理するに際し、上記ベローズにノ
ズルを取り付け、上記熱処理時に内層と外層との間の空
間部内圧力を上記ノズルから大気開放するようにしたも
のである。この場合、内外層間の内部圧力はノズルを介
してベローズの内外層間の空間部容積より充分に大きな
容積を有する密閉容器内に開放するようにしてもよい。
間部を隔てて覆う外層とからなる複数層のベローズを成
形した後、これを熱処理するに際し、上記ベローズにノ
ズルを取り付け、上記熱処理時に内層と外層との間の空
間部内圧力を上記ノズルから大気開放するようにしたも
のである。この場合、内外層間の内部圧力はノズルを介
してベローズの内外層間の空間部容積より充分に大きな
容積を有する密閉容器内に開放するようにしてもよい。
【００１０】また、上記ベローズに一端部が取り付けら
れたノズルの他端部をベローズ据付後に内外層間のガス
サンプリングの配管に接続するようにしたものである。
さらに、ベローズに複数のノズルを取り付けると共にそ
のノズルを経由して内外層間の内部ガスを不活性ガスに
置換し、熱処理時にノズルの他端部を水槽に浸漬させる
ようにしたものである。
れたノズルの他端部をベローズ据付後に内外層間のガス
サンプリングの配管に接続するようにしたものである。
さらに、ベローズに複数のノズルを取り付けると共にそ
のノズルを経由して内外層間の内部ガスを不活性ガスに
置換し、熱処理時にノズルの他端部を水槽に浸漬させる
ようにしたものである。
【００１１】また、上記ベローズの板厚ｔ、山高Ｗ，ピ
ッチの半分ｈを用いて定義される形状係数をｔ3 ／（ｈ
0.5 ・Ｗ2.5 ）以下とするようにしたものである。
ッチの半分ｈを用いて定義される形状係数をｔ3 ／（ｈ
0.5 ・Ｗ2.5 ）以下とするようにしたものである。
【００１２】
【作用】拡散接合は内外層間を密閉した状態で熱処理す
ることにより生じる。したがって、熱処理時に内外層間
に生じる内圧を大気開放すれば、拡散接合を未然に防止
できることになる。
ることにより生じる。したがって、熱処理時に内外層間
に生じる内圧を大気開放すれば、拡散接合を未然に防止
できることになる。
【００１３】また、上記ベローズに一端部が取り付けら
れたノズルの他端部をベローズ据付後に内外層間のガス
サンプラインに接続すれば、圧力開放用のノズルをガス
サンプリングのために有効利用できる。拡散接合は内外
層の酸化に起因して生じるため、内外層間を不活性ガス
に置換することにより、拡散接合を防止できる。さら
に、ベローズの板厚ｔ、山高Ｗ，ピッチの半分ｈを用い
て定義される形状係数以上のとき拡散接合が発生するた
め、その形状係数以下のベローズを形成するものであ
る。
れたノズルの他端部をベローズ据付後に内外層間のガス
サンプラインに接続すれば、圧力開放用のノズルをガス
サンプリングのために有効利用できる。拡散接合は内外
層の酸化に起因して生じるため、内外層間を不活性ガス
に置換することにより、拡散接合を防止できる。さら
に、ベローズの板厚ｔ、山高Ｗ，ピッチの半分ｈを用い
て定義される形状係数以上のとき拡散接合が発生するた
め、その形状係数以下のベローズを形成するものであ
る。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の一実施例を添付図面に基づい
て詳述する。
て詳述する。
【００１５】図１および図２に示すように、例えば２層
のベローズ３を製造するために、従来通り、内筒とこれ
を空間部を隔てて覆う外筒とからなる二重円筒管の上下
端部を溶接接合し、その二重円筒管を型に嵌めて内筒に
液圧を加えると共に二重円筒管を軸方向に圧縮すると、
波形の内層１とこれを空間部４を隔てて覆う波形の外層
２とからなるベローズ３が成形される。ベローズ３の成
形の後、ベローズ３に形成される耳部１１にはノズル１
２が取り付けられる。
のベローズ３を製造するために、従来通り、内筒とこれ
を空間部を隔てて覆う外筒とからなる二重円筒管の上下
端部を溶接接合し、その二重円筒管を型に嵌めて内筒に
液圧を加えると共に二重円筒管を軸方向に圧縮すると、
波形の内層１とこれを空間部４を隔てて覆う波形の外層
２とからなるベローズ３が成形される。ベローズ３の成
形の後、ベローズ３に形成される耳部１１にはノズル１
２が取り付けられる。
【００１６】このように塑性加工されたベローズ３はそ
の残留応力を除去するために炉１３内で熱処理（ＳＨ
Ｔ）される。炉１３内で例えば1050℃×５〜１０分熱処
理された後、ベローズ３は冷却水で急冷される。
の残留応力を除去するために炉１３内で熱処理（ＳＨ
Ｔ）される。炉１３内で例えば1050℃×５〜１０分熱処
理された後、ベローズ３は冷却水で急冷される。
【００１７】特に、熱処理時においてはベローズ３に一
端部が取り付けられたノズル１２の他端部が炉１３外に
延出されて大気開放されているために、温度上昇に伴い
内層１と外層２との間の内圧が高くなっても、その内圧
はバルブ１４を開放することによりノズル１２を介して
開放されることになる。したがって、内圧上昇による内
外層１，２が接触し、それによる拡散接合を防止でき、
内層１と外層２とは互いに離反された状態で加熱処理さ
れることになる。
端部が取り付けられたノズル１２の他端部が炉１３外に
延出されて大気開放されているために、温度上昇に伴い
内層１と外層２との間の内圧が高くなっても、その内圧
はバルブ１４を開放することによりノズル１２を介して
開放されることになる。したがって、内圧上昇による内
外層１，２が接触し、それによる拡散接合を防止でき、
内層１と外層２とは互いに離反された状態で加熱処理さ
れることになる。
【００１８】図３はベローズ（供試体Ａ）３の内外層
１，２間を密封した状態で加熱処理する場合を示すもの
であり、図４はベローズ（供試体Ｂ）３の内外層１，２
間を圧力開放した状態で加熱処理する場合を示すもので
ある。
１，２間を密封した状態で加熱処理する場合を示すもの
であり、図４はベローズ（供試体Ｂ）３の内外層１，２
間を圧力開放した状態で加熱処理する場合を示すもので
ある。
【００１９】図３は炉１３内のベローズ３の耳部１１に
一端部が取り付けられたノズル１２の他端部を炉１３外
に引き出し、そのノズル１２に圧力計１５および開閉弁
１４を取り付け、開閉弁１４を閉じて熱処理時状態にお
ける層間内圧力を測定したものである。他方、図４は同
様にベローズ３の耳部１１に等間隔に複数個のノズル１
２の一端部を取り付け、炉１３外に引き出されるノズル
１２の他端部を水槽１６に入れ、開閉弁１４を開放して
昇温時、保持時の空気の流れを確認するようにしたもの
である。
一端部が取り付けられたノズル１２の他端部を炉１３外
に引き出し、そのノズル１２に圧力計１５および開閉弁
１４を取り付け、開閉弁１４を閉じて熱処理時状態にお
ける層間内圧力を測定したものである。他方、図４は同
様にベローズ３の耳部１１に等間隔に複数個のノズル１
２の一端部を取り付け、炉１３外に引き出されるノズル
１２の他端部を水槽１６に入れ、開閉弁１４を開放して
昇温時、保持時の空気の流れを確認するようにしたもの
である。
【００２０】このように熱処理されて得られた供試体
Ａ，Ｂを伸縮させたときの荷重と変位との関係を図５に
示す。この図において傾きがバネ定数である。この図か
ら両者の剛性を比較すると、内外層１，２間の内圧があ
る場合（供試体Ａ）のバネ定数に対し、内圧を除去した
場合（供試体Ｂ）のバネ定数が小さいことは明らかであ
る。供試体Ａは熱処理した場合に内外層１，２の全てが
接合されると，圧力開放された供試体Ｂの４倍のバネ定
数となる。上述したように、実際には内外層１，２の全
てが接合されるのではなく一部が互いに接合し、その場
合においても供試体Ａのバネ定数は供試体Ｂに比べると
略2.5 倍と高くなる。
Ａ，Ｂを伸縮させたときの荷重と変位との関係を図５に
示す。この図において傾きがバネ定数である。この図か
ら両者の剛性を比較すると、内外層１，２間の内圧があ
る場合（供試体Ａ）のバネ定数に対し、内圧を除去した
場合（供試体Ｂ）のバネ定数が小さいことは明らかであ
る。供試体Ａは熱処理した場合に内外層１，２の全てが
接合されると，圧力開放された供試体Ｂの４倍のバネ定
数となる。上述したように、実際には内外層１，２の全
てが接合されるのではなく一部が互いに接合し、その場
合においても供試体Ａのバネ定数は供試体Ｂに比べると
略2.5 倍と高くなる。
【００２１】したがって、熱処理時に内外層１，２間を
圧力開放することにより、内外層１，２がそれぞれ独立
して伸縮し、かつ、内圧には強く本来の剛性を有するベ
ローズを得ることができる。
圧力開放することにより、内外層１，２がそれぞれ独立
して伸縮し、かつ、内圧には強く本来の剛性を有するベ
ローズを得ることができる。
【００２２】また、圧力開放のために取り付けられたノ
ズル１２は容器とこれに接続される貫通管との間にベロ
ーズ３を据付る際に途中で切断され、その切断部には内
外層１，２間のガスサンプリングのための配管が接続さ
れる。万一、ベローズ３に破損が生じた場合にはリーク
ガスをノズル１２を経由してガスサンプリングラインで
検出できることになる。したがって、ベローズ３に取り
付けられるノズル１２は熱処理時には圧力開放用として
使用され、ベローズ３の据付時にはガスリーク検出ライ
ンとして有効に利用できる。
ズル１２は容器とこれに接続される貫通管との間にベロ
ーズ３を据付る際に途中で切断され、その切断部には内
外層１，２間のガスサンプリングのための配管が接続さ
れる。万一、ベローズ３に破損が生じた場合にはリーク
ガスをノズル１２を経由してガスサンプリングラインで
検出できることになる。したがって、ベローズ３に取り
付けられるノズル１２は熱処理時には圧力開放用として
使用され、ベローズ３の据付時にはガスリーク検出ライ
ンとして有効に利用できる。
【００２３】また、図４において内外層１，２間の内部
ガスをＨｅ等の不活性ガスに置換し、熱処理時に外部空
気が内外層１，２内に混入することを防止するようにし
てもよい。すなわち、ベローズ３に取り付けられた複数
のノズル１２を利用して不活性ガスを導入すると共に内
部ガスを排出し、内外層１，２内を不活性ガス雰囲気に
置換する。高温かつ長時間の熱処理、内圧の上昇による
他、内外層１，２の酸化に起因して管拡散接合が発生す
るため、不活性雰囲気にすることにより、拡散接合を防
止できる。
ガスをＨｅ等の不活性ガスに置換し、熱処理時に外部空
気が内外層１，２内に混入することを防止するようにし
てもよい。すなわち、ベローズ３に取り付けられた複数
のノズル１２を利用して不活性ガスを導入すると共に内
部ガスを排出し、内外層１，２内を不活性ガス雰囲気に
置換する。高温かつ長時間の熱処理、内圧の上昇による
他、内外層１，２の酸化に起因して管拡散接合が発生す
るため、不活性雰囲気にすることにより、拡散接合を防
止できる。
【００２４】図６はベローズ３に一端部が接続されたノ
ズル１２の他端部を炉１３内に設置された密閉容器１６
に接続するようにしたものである。この密閉容器１６は
ベローズ３の内外層１，２間に形成される空間部４の容
積より充分に大きな容積を有する。熱処理時においては
内外層１，２間の内部ガスないし不活性ガスが密閉容器
１６に導入されて熱処理時の圧力上昇を実質的に大気開
放と同レベルに抑えることができる。
ズル１２の他端部を炉１３内に設置された密閉容器１６
に接続するようにしたものである。この密閉容器１６は
ベローズ３の内外層１，２間に形成される空間部４の容
積より充分に大きな容積を有する。熱処理時においては
内外層１，２間の内部ガスないし不活性ガスが密閉容器
１６に導入されて熱処理時の圧力上昇を実質的に大気開
放と同レベルに抑えることができる。
【００２５】また、図８、図９および図１０に示すよう
に、内外層１，２に、熱処理中に内圧により接触する部
位が生じるのは山高が大きく、板厚が薄い場合である。
ここで、図７においてベローズのバネ定数は次式で表さ
れる。
に、内外層１，２に、熱処理中に内圧により接触する部
位が生じるのは山高が大きく、板厚が薄い場合である。
ここで、図７においてベローズのバネ定数は次式で表さ
れる。
【００２６】Ｋ＝（４・Ｅ・Ｄｍ・ｔ3 ・Ｃ）／（３・
ｈ0.5 ・Ｗ2.5 ・Ｎｄ） 上式において、Ｋ：バネ定数、Ｅ：ヤング率，Ｄｍ：ベ
ローズの有効径、ｔ：板厚、Ｃ：ベローズの層数、ｈ：
ピッチ／２、Ｗ：ベローズの山高、Ｎｄ：定数＝２であ
る。
ｈ0.5 ・Ｗ2.5 ・Ｎｄ） 上式において、Ｋ：バネ定数、Ｅ：ヤング率，Ｄｍ：ベ
ローズの有効径、ｔ：板厚、Ｃ：ベローズの層数、ｈ：
ピッチ／２、Ｗ：ベローズの山高、Ｎｄ：定数＝２であ
る。
【００２７】上式からベローズの板厚ｔ、山高Ｗ、ピッ
チの半分ｈを用いて ｔ3 ／（ｈ0.5 ・Ｗ2.5 ） で定義される形状係数が３×１０-5以上であれば、図８
および図９に示すような接触部位が発生することが既に
わかっており、ベローズを製造するときは上記形状係数
以下とすることにより、内外層１，２の接合しないベロ
ーズが製造できる。
チの半分ｈを用いて ｔ3 ／（ｈ0.5 ・Ｗ2.5 ） で定義される形状係数が３×１０-5以上であれば、図８
および図９に示すような接触部位が発生することが既に
わかっており、ベローズを製造するときは上記形状係数
以下とすることにより、内外層１，２の接合しないベロ
ーズが製造できる。
【００２８】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次の如き
優れた効果を発揮する。
優れた効果を発揮する。
【００２９】(1) 請求項１においてはベローズに取り付
けられたノズルから熱処理時の内圧を大気開放するよう
にしたので、熱処理時の内外層が互いに接合するという
拡散接合を未然に防止できる。
けられたノズルから熱処理時の内圧を大気開放するよう
にしたので、熱処理時の内外層が互いに接合するという
拡散接合を未然に防止できる。
【００３０】(2) 請求項２においてはベローズに取り付
けられたノズルをガスサンプリングラインとして有効に
利用できる。
けられたノズルをガスサンプリングラインとして有効に
利用できる。
【００３１】(3) 請求項３においてはベローズに取り付
けられたノズルにより、内外層間の内部ガスを不活性ガ
スに置換して外部空気の侵入を防止するため、拡散接合
を未然に防止できる。
けられたノズルにより、内外層間の内部ガスを不活性ガ
スに置換して外部空気の侵入を防止するため、拡散接合
を未然に防止できる。
【００３２】(4) 請求項５においてはベローズの形状係
数を所定値以下にすることにより、拡散接合を未然に防
止できる。
数を所定値以下にすることにより、拡散接合を未然に防
止できる。
【図１】内外層間の圧力開放を示す図である。
【図２】図１のＡ部を示す拡大断面図である。
【図３】内外層間を密閉した状態で熱処理する場合の説
明図である。
明図である。
【図４】内外層間を開放した状態で熱処理する場合の説
明図である。
明図である。
【図５】ベローズの荷重変位特性を示す図である。
【図６】内外層間を密閉容器内に開放した状態で熱処理
する場合を示す図である。
する場合を示す図である。
【図７】ベローズの形状係数を示すための説明図であ
る。
る。
【図８】拡散接合した状態のベローズを示す図である。
【図９】拡散接合した状態のベローズを示す図である。
【図１０】通常状態のベローズを示す図である。
【図１１】ベローズの要部を示す拡大断面図である。
１ 内層 ２ 外層 ３ ベローズ ４ 空間部 １２ ノズル １５ 密閉容器
Claims (5)
- 【請求項１】 内層とこれを空間部を隔てて覆う外層と
からなる複数層のベローズを成形した後、これを熱処理
するに際し、上記ベローズにノズルを取り付け、上記熱
処理時に内層と外層との間の空間部内圧力を上記ノズル
から大気開放するようにしたことを特徴とするベローズ
製造方法。 - 【請求項２】 上記ベローズにノズルの一端部を取り付
けると共に、該ノズルの他端部をベローズ据付後に内外
層間のガスサンプリングの配管に接続することを特徴と
する請求項１のベローズ製造方法。 - 【請求項３】 上記ベローズに複数のノズルの一端部を
取り付けると共に該ノズルを経由して内外層間の内部ガ
スを不活性ガスに置換し、熱処理時にノズルの他端部を
水槽に浸漬させるようにしたことを特徴とする請求項１
のベローズ製造方法。 - 【請求項４】 上記ベローズに一端部が取り付けられた
ノズルの他端部を内外層間の空間容積より充分に大きな
密閉容器に接続し、熱処理時の空間部内圧力を上記密閉
容器内に開放するようにしたことを特徴とする請求項１
のベローズ製造方法。 - 【請求項５】 上記ベローズの板厚ｔ、山高Ｗ，ピッチ
の半分ｈを用いて定義される形状係数がｔ3 ／（ｈ0.5
・Ｗ2.5 ）以下であることを特徴とする請求項１のベロ
ーズ製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6158493A JPH06281000A (ja) | 1993-03-22 | 1993-03-22 | ベローズ製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6158493A JPH06281000A (ja) | 1993-03-22 | 1993-03-22 | ベローズ製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06281000A true JPH06281000A (ja) | 1994-10-07 |
Family
ID=13175342
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6158493A Pending JPH06281000A (ja) | 1993-03-22 | 1993-03-22 | ベローズ製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06281000A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6820317B2 (en) * | 2002-01-08 | 2004-11-23 | Nhk Spring Co., Ltd. | Method of making a metallic bellows |
| WO2012147417A1 (ja) * | 2011-04-26 | 2012-11-01 | イーグル工業株式会社 | 半導体製造装置用溶接ベローズ |
| WO2012147416A1 (ja) * | 2011-04-26 | 2012-11-01 | イーグル工業株式会社 | 半導体製造装置用溶接ベローズ |
-
1993
- 1993-03-22 JP JP6158493A patent/JPH06281000A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6820317B2 (en) * | 2002-01-08 | 2004-11-23 | Nhk Spring Co., Ltd. | Method of making a metallic bellows |
| WO2012147417A1 (ja) * | 2011-04-26 | 2012-11-01 | イーグル工業株式会社 | 半導体製造装置用溶接ベローズ |
| WO2012147416A1 (ja) * | 2011-04-26 | 2012-11-01 | イーグル工業株式会社 | 半導体製造装置用溶接ベローズ |
| US8727355B2 (en) | 2011-04-26 | 2014-05-20 | Eagle Industry Co., Ltd. | Semiconductor fabrication device welded bellows |
| US9147571B2 (en) | 2011-04-26 | 2015-09-29 | Eagle Industry Co., Ltd. | Welded bellows for semiconductor manufacturing device |
| JP5791085B2 (ja) * | 2011-04-26 | 2015-10-07 | イーグル工業株式会社 | 半導体製造装置用溶接ベローズ |
| JP5794456B2 (ja) * | 2011-04-26 | 2015-10-14 | イーグル工業株式会社 | 半導体製造装置用溶接ベローズ |
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