JPH0627740U - Ｉｃハンドラーのｉｃ搬送機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】ＩＣハンドラーにおいて複数のＩＣを同時測定
する場合でもハンドやアライメントステージを要せず、
コンタクトブロックの待ち時間を短縮できるＩＣ搬送機
構を提供する。 【構成】ＩＣを搬送するウォーキングビーム１４を測定
部３付近まで延長し、その駆動源にパルスモータ２６，
２７を使用してビームの搬送ピッチを可変とし、最小ピ
ッチをウォーキングビーム１４上の駒ピッチに合わせ、
他のピッチを駒ピッチの整数倍にしている。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、２個以上のＩＣを同時測定できるＩＣハンドラーに適したＩＣ搬送 機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】

ＩＣハンドラーは、量産されたＩＣを高温または低温状態にして順次データを 測定し、良品と不良品、さらにはデータに応じた分類を自動的に行なう装置であ る。

【０００３】 この種のハンドラーは、ＩＣを供給するローダ部、ＩＣを搬送する搬送部、Ｉ Ｃのデータを測定する測定部、測定後のＩＣが戻ってくる搬送部、ＩＣをデータ 別に分類収納するアンローダ部に大別される。このうちＩＣの搬送には、ウォー キングビームが用いられ、これは中央の固定されたメインビームと両側の可動式 サイドビームから構成されている。一対のサイドビームは、メインビーム上のＩ Ｃの両側を持ち上げて一定ピッチで前進し、下降してメインビームに乗せた後に 再び同ピッチだけ後退し、この動作を繰り返すことによりＩＣを搬送するように なっている。サイドビームの駆動は、モータやエアシリンダとカムを組み合わせ た機構が使用されている。一方、ＩＣを測定部の検査ステージに移送するには、 バキューム式のコンタクトブロックが用いられるが、最近では検査能率を高める ためブロックの吸着ヘッドを複数設けて２個以上のＩＣを同時に吸着するように なっている。

【０００４】 ところがＩＣはウォーキングビーム上を１ピッチずつ順に搬送されてくるのに 対し、コンタクトブロックは一度に複数個のＩＣを吸着するから、ＩＣの処理数 が多いほどコンタクトブロックの待ち時間が長くなる欠点がある。また１列に並 んでいるビーム上のＩＣを一度に吸着するには、コンタクトブロックの吸着ヘッ ドも１列に並べる必要があり、そのサイズが長くなってしまう。

【０００５】 このため従来ではウォーキングビームの終端にハンドとアライメントステージ を設置し、ハンドでＩＣを一旦アライメントステージに集めて整列させてから、 コンタクトブロックでまとめて検査ステージに送り込んでいる。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】

しかし、前述のハンドラーでは、ハンドやアライメントステージ等の部品点数 が多くなると共にＩＣがステージに整列する間はやはりコンタクトブロックに待 ち時間が生じる。また、ＩＣの同時処理数が増加すれば大きなアライメントステ ージを必要とするが、実際にはＩＣハンドラーをそれほど大きくできないので処 理数に制限がある。

【０００７】 本考案は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、複数のＩＣ を同時測定するに際してもハンドやアライメントステージを必要とせず、コンタ クトブロックの待ち時間を短縮できるＩＣハンドラーのＩＣ搬送機構を提供する ことにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するため、本考案のＩＣ搬送機構は、ローダ部のＩＣを測定部 へ搬送するウォーキングビームの終端を測定部付近まで延長し、ウォーキングビ ームの駆動源にパルスモータを使用して該ビームの搬送ピッチを可変とし、最小 の搬送ピッチをウォーキングビーム上の駒ピッチに合わせ、他のピッチを駒ピッ チの整数倍にしている。

【０００９】

【作用】

これらの構成により、ウォーキングビームの１つおきの駒にＩＣを載置し、該 ビームの搬送ピッチを２駒分となるようにパルス制御すれば、コンタクトブロッ クは短時間で２個のＩＣを取り出すことができる。また、ウォーキングビームの 全駒にＩＣを乗せて搬送サイクルを最初の３回は１駒ピッチ、次の１回は３駒ピ ッチとなるように制御すれば、コンタクトブロックは短時間で３個のＩＣ取り出 しが可能となる。

【００１０】

【実施例】

図１及び図２は、各々本考案のＩＣ搬送機構が適用されたＩＣハンドラーの簡 略平面図及び正面図で、このハンドラーは、ローダ部１、搬送部２、測定部３、 戻り搬送部４、アンローダ部５に大別される。

【００１１】 ローダ部１には、供給トレイ６を載置する支持台７、下方にトレイの自動セン タリング機構、支持台７の上方にトレイハンド８とローダハンド９が設置されて いる。供給トレイ６は、多数のＩＣを受容した状態で支持台７に複数積み重ねら れている。支持台７は、４辺に対向して切欠き１０ａと溝１０ｂが形成され、下 方のパルスモータ（図示せず）によりポスト１１に沿って上下動可能となってい る。自動センタリング機構は、トレイ６の両側を把持するＸ方向のチャックガイ ド１２と、トレイ６の前後側を把持するＹ方向の一対のチャックガイド１３に分 かれ、図示してないが下方のエアシリンダと歯車機構によってトレイ６を正規の 位置にチャックするようになっている。

【００１２】 トレイハンド８は、図２に示すように空になったトレイ６をアンローダ５側に 移送するもので、この実施例ではエアシリンダ（図示省略）により開閉動作、モ ータで横移動する。ローダハンド９は、供給トレイ６内の各ＩＣを２個ずつ吸着 して搬送部３のウォーキングビーム１４に載置すると共にトレイ６上のＩＣの有 無をもバキュームチェックする。このためトレイ６のＩＣ収納箇所には各々小孔 （図示せず）が形成されており、ＩＣがない場合にローダハンド９がこれを検出 できるようになっている。

【００１３】 搬送部２には、ウォーキングビーム１４と予熱ヒータ１５が設置され、ハンド やアライメントステージはなく、ビームの終端が測定部３付近まで延びている。 このウォーキングビーム１４は、図３に示すように中央の固定メインビーム１６ と両側の可動サイドビーム１７から成り、これらが長手方向に数組接続される。 メインビーム１６の上面には、ＩＣを載置する凹状の駒１８が等間隔で形成され 、該ビームの両端には孔１９が穿設されている。一方、ベース２０側には、先端 がテーパしたピン２１が立設されており、各ピン２１にメインビーム１６の孔１ ９を嵌合することによってメインビーム１６が固定される。サイドビーム１７は 、内側に駒１８の一部をなす切欠き１８ａが形成され、両端に孔２２とビーム持 ち上げ用のつまみ２３が設けられている。一方、可動台２４上には、前述と同様 のテーパしたピン２５が立設され、各サイドビーム１７をこのプレート部分に載 置すれば孔２２がピン２５に嵌合して固定される。

【００１４】 メインビーム１６とサイドビーム１７は、搬送されるＩＣの種別が変わるとそ れに適した駒のものに換えなければならないが、各ビームはねじ止めでなく嵌合 式であるからワンタッチで交換できる。

【００１５】 サイドビーム１７と可動台２４は、２個のパルスモータ２６，２７によって上 昇、前進、下降、後退のサイクルを繰り返す。具体的にはサイドビーム１７の上 昇で駒１８上の全ＩＣの両側が持ち上げられ、１ピッチ前進して下降するとＩＣ は次の駒１８に進み、その後サイドビーム１７は同じピッチだけ後退して元に戻 る。また、サイドビーム１７の終端３駒に対応する箇所には、横方向に溝２８が 形成され、溝の両側にＩＣの有無を検出する光センサＳが設置されている。

【００１６】 サイドビーム１７を前後動させるパルスモータ２７は、コントローラ（図示せ ず）からのパルス制御によってストローク、即ちＩＣの搬送ピッチを変えられる ようになっている。コントローラ側のプログラムは、最小の搬送ピッチがウォー キングビーム１４の駒ピッチと同じになるように、あとは駒ピッチの整数倍にな るよう設定されている。

【００１７】 図４は駒ピッチが５０ｍｍ，搬送ピッチが５０，１００，１５０ｍｍに設定さ れたウォーキングビーム１４の簡略図で、（ａ）が２個、（ｂ）が３個、（ｃ） が４個、（ｄ）が６個のＩＣを同時処理する例であり、２９は測定部３側のコン タクトブロックである。

【００１８】 ２個の場合は、ローダハンド９（図１）によってウォーキングビーム１４の駒 １８に１つおきにＩＣが（斜線部分）載置され、ビームの搬送ピッチは２駒ピッ チ分、即ち１００ｍｍである。従って、２ヘッド型コンタクトブロック２９のヘ ッド間隔を予め１００ｍｍにしておけば、ウォーキングビーム１４終端のＩＣを ２個同時に吸着することができる。３個の場合は、ウォーキングビーム１４上の 全ての駒１８にＩＣが載置され、送りサイクルのピッチは最初の３回が５０ｍｍ 、４回目が１５０ｍｍとなるように設定される。コンタクトブロック２９のヘッ ド間隔は５０ｍｍである。従って、最初の３回でビーム終端に３個のＩＣがそろ うとコンタクトブロック２９がこれらを取り出し、この後ウォーキングビーム１ ４は残るＩＣ全体を１５０ｍｍだけ前進させ、以下このサイクルを繰り返す。次 に４個の場合は、ＩＣの載置状態とウォーキングビーム１４の搬送ピッチが２個 の場合と同じである。コンタクトブロック２９の吸着ヘッドは並列に２個ずつ配 置され、最初に２個のＩＣを吸着するとウォーキングビーム１４が１００ｍｍ前 進し、次いで残りのヘッドで２個のＩＣを吸着してから測定部３に移動する。ま た、６個の場合、ウォーキングビーム１４の送りサイクルは３個の場合と同じで 、６ヘッドのコンタクトブロック２９はＩＣを３個ずつ二段階で吸着する。

【００１９】 従って、いずれの場合も従来の１ピッチ送りに比べると、ＩＣの送り時間やコ ンタクトブロック２９の待ち時間がかなり短縮され、一度に処理できるＩＣの数 も増加する。また、ＩＣは同種類であればその処理個数が変わってもウォーキン グビーム１４を変える必要がない。

【００２０】 測定部３には、コンタクトブロック２９、検査ステージ３０及びハンド３１が 配置されている。コンタクトブロック２９は、従来の吸着ハンドとヒートブロッ クを一体化したもので、下端にバキューム方式の吸着孔、内部にＩＣ加熱用ヒー タが組み込まれている。検査ステージ３０には、２個のソケット３２が並設され 、その下方にＩＣのデータを測定するテスタ（図示せず）が設置されている。ハ ンド３１も吸着式で測定後のＩＣを戻り側のウォーキングビーム３３に移送し、 コンタクトブロック２９と一体に動作するようになっている。

【００２１】 搬送部４には、戻り用のウォーキングビーム３３がアンローダ側に向かって設 置され、これはＩＣの送り方向が逆になるだけで構造的にはウォーキングビーム １４とほぼ同じである。

【００２２】 アンローダ部５には、アンローダハンド３４、支持台７’及び自動センタリン グ機構、分類ストッカ３５が設置されている。アンローダハンド３４は、吸着式 でローダハンド９と同様であり、ウォーキングビーム３３からのＩＣをデータに 応じてトレイ６’，６”に収納分類する。支持台７’と自動センタリング機構は 、ローダ側のものと全く同じである。分類ストッカ３５上のトレイ６”は、一部 の不良品やデータの異なる良品を収納するもので、１個の固定ガイド３６と１個 のマグネットガイド３７により所定の位置に固定されている。マグネットガイド ３７可動式で、トレイ６”のサイズが変わってもワンタッチで対応できるように なっている。

【００２３】

【考案の効果】

以上詳述したように本考案のＩＣ搬送機構によれば、ウォーキングビーム終端 のハンドやアライメントステージを省略でき、またウォーキングビームの搬送ピ ッチをパルス制御で変えることによりＩＣの送り時間やコンタクトブロックの待 ち時間を短縮することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】ＩＣハンドラーの簡略平面図である。

【図２】ＩＣハンドラーの簡略正面図である。

【図３】ウォーキングビーム及び駆動源の斜視図であ
る。

【図４】各々ＩＣの数に応じたウォーキングビームの送
り状態を示す簡略平面図である。

【符号の説明】

６，６’，６” トレイ ７，７’ 支持台 １４ ウォーキングビーム １６ メインビーム １７ サイドビーム １８ 駒 １９，２２ 孔 ２０ ベース ２１，２５ ピン ２３ つまみ ２４ 可動台 ２６，２７ パルスモータ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】ローダ部１のＩＣを測定部３へ搬送するウ
   ォーキングビーム１４の終端を測定部３付近まで延長
   し、ウォーキングビームの駆動源にパルスモータ２６，
   ２７を使用して該ビームの搬送ピッチを可変とし、最小
   の搬送ピッチをウォーキングビーム上の駒ピッチに合わ
   せ、他のピッチを駒ピッチの整数倍にしたこと、を特徴
   とするＩＣハンドラーのＩＣ搬送機構。