JPH06268532A - Mmicパッケージ - Google Patents

Mmicパッケージ

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JPH06268532A
JPH06268532A JP5078850A JP7885093A JPH06268532A JP H06268532 A JPH06268532 A JP H06268532A JP 5078850 A JP5078850 A JP 5078850A JP 7885093 A JP7885093 A JP 7885093A JP H06268532 A JPH06268532 A JP H06268532A
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JP
Japan
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power booster
matching circuit
chip
circuit
pass filter
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JP5078850A
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Akira Okamoto
明 岡本
Shinya Nakai
信也 中井
Hiroshi Ikeda
博 池田
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TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
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Publication date
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    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
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  • Waveguides (AREA)
  • Microwave Amplifiers (AREA)
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  • Transmitters (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 無線機器の送信用パワーブースタおよびその
周辺回路全体の形状が小さいMMICパッケージを提供
するものである。 【構成】 無線機器の送信用パワーブースタの入力整合
回路、出力整合回路、出力ローパスフィルタ、出力バン
ドパスフィルタの少なくとも1つがセラミック多層基板
に内蔵されているものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、移動無線機器等に使用
される送信用パワーブースタチップ、受信回路のフロン
トエンドに関する。
【0002】
【従来の技術】図3は、一般的な移動無線機器における
送信用パワーブースタチップおよびその周辺の回路と、
受信回路のフロントエンドとを示す図である。
【0003】この図において、送信用パワーブースタチ
ップ12の周辺の回路は、プリアンプPAと、パワーブ
ースタ12の前段に設けられた入力整合回路11と、パ
ワーブースタ12の後段に設けられた出力整合回路13
と、高調波抑制用の出力ローパスフィルタ14とを有す
る。
【0004】図4は、送信用パワーブースタチップおよ
びその周辺の回路を組み立てて形成した従来のMMIC
パッケージ1を示す図である。
【0005】この従来例は、アルミヒートシンク板AH
にアルミナ基板ABを付着し、このアルミナ基板ABの
表面に、パワーブースタ12を構成するGaAsチップ
22用の回路パターンがAgPd等の導体で構成されて
いる。そして、その回路パターンの上に、コンデンサ、
抵抗、インダクタ等のチップ部品CPが半田付けされ、
ボンディングワイヤBW、回路パターンを介して、Ga
Asチップ22がチップ部品CP、外部接続用のリード
ピンLPに接続されている。
【0006】アルミナ基板ABの回路パターンが構成さ
れている表面とは反対の面に、導電性接着剤等によっ
て、アルミヒートシンク板AHが熱的、電気的に接続さ
れている。アルミヒートシンク板AHは、GaAsチッ
プの発熱(3W程度の消費電力、効率50%)を外部に
逃すために、1.5mm厚程度が必要である。
【0007】また、トランスファモールド等で、上記の
構造物を樹脂封止することによって、MMICパッケー
ジ1が完成する。なお、出力ローパスフィルタ14は、
送信用パワーブースタチップ12から必ず出る2次、3
次高調波を抑圧するものであり、同軸誘電体等で構成さ
れており、MMICパッケージ1の別部品として構成さ
れている。
【0008】一方、移動無線機器における受信回路のフ
ロントエンドは、送受切り換え器15と、トップバンド
パスフィルタ16と、初段アンプ17と、段間バンドパ
スフィルタ18と、後段アンプ19と、ミキサMIXと
で構成されている。なお、受信回路のフロントエンド
は、送受切り換え器15を除いたもの、つまり、初段ア
ンプ17と、段間バンドパスフィルタ18と、後段アン
プ19と、ミキサMIXとで構成されていると考えられ
る場合があり、また、移動無線機器における受信回路の
フロントエンドは、送受切り換え器15とミキサMIX
とを除いたもの、つまり、トップバンドパスフィルタ1
6と、初段アンプ17と、段間バンドパスフィルタ18
と、後段アンプ19とで構成されていると考えられる場
合もある。これら、移動無線機器における受信回路のフ
ロントエンドにおける従来の組み方は、上記送信用パワ
ーブースタチップおよびその周辺の回路における従来の
組み立て方と同様である。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】上記従来例において、
送信用パワーブースタチップ12を構成するGaAsチ
ップ22、入力整合回路21、出力整合回路23がアル
ミナ基板ABの上に平面的に組まれているので、アルミ
ナ基板ABの大きさは、上記各回路の占有スペースの合
計スペースを必要とするために、無線機器の送信用パワ
ーブースタチップおよびその周辺回路の出来上がり形状
が大きいという問題がある。また、送信用パワーブース
タチップおよびその周辺の回路としては、アルミヒート
シンクAH、出力ローパスフィルタ14が含まれ、出力
ローパスフィルタ14はMMICパッケージ1とは別部
品であるので、送信用パワーブースタチップおよびその
周辺の回路が必要とする形状はさらに大きくなるという
問題がある。
【0010】本発明は、無線機器の送信用パワーブース
タチップおよびその周辺回路全体の形状が小さいMMI
Cパッケージを提供するものである。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明は、無線機器の送
信用パワーブースタチップの入力整合回路、出力整合回
路、出力ローパスフィルタ、出力バンドパスフィルタの
少なくとも1つがセラミック多層基板に内蔵されている
ものである。
【0012】
【作用】本発明は、無線機器の送信用パワーブースタチ
ップの入力整合回路、出力整合回路、出力ローパスフィ
ルタ、出力バンドパスフィルタの少なくとも1つがセラ
ミック多層基板に内蔵されているので、無線機器の送信
用パワーブースタチップおよびその周辺回路全体の形状
が小さい。
【0013】
【実施例】図1は、本発明の一実施例であるMMICパ
ッケージ2を示す図であり、図1(1)は、その平面図
であり、図1(2)は、図1(1)のI(2)−I
(2)線で縦断し、矢印方向から見た縦断面図である。
図2は、上記実施例の正面図である。
【0014】MMIC(モノリシックマイクロ波集積回
路)パッケージ2は、無線機器の送信用パワーブースタ
チップ32の入力整合回路31と、出力整合回路33
と、出力ローパスフィルタ34とがセラミック多層基板
に内蔵されているものである。
【0015】つまり、セラミックスSの焼成前の薄い板
(グリーンシート)を多数積層することによってセラミ
ックス多層基板が構成され、それらグリーンシートを積
層する途中で、導電性インクを印刷等することによっ
て、必要な導電層を複数形成するとともに、グリーンシ
ートに透孔を設け、この透孔に導電性インクを印刷し、
同じ位置への透孔の設置、導電性インクの印刷を繰り返
すことによって、ヴィアホールVHが形成され、これを
焼成することによって、パッケージが形成され、この上
に送信用パワーブースタチップ32、チップ部品CP等
を実装し、セラミックキャップCCによって封入し、M
MICパッケージ2が形成される。
【0016】この過程で、図1(2)中、パッケージ2
の最下層部分に、出力ローパスフィルタ34が形成さ
れ、この上に、グランド層Gが形成され、このグランド
層Gの上に、入力整合回路31と出力整合回路33とが
形成され、この上に、グランド層Gが形成され、このグ
ランド層Gの上に、パッケージ2の表面で接続できない
破線を引き回す配線層が形成され、この配線層の上に、
送信用パワーブースタチップ32、チップ部品CPが搭
載され、送信用パワーブースタチップ32がボンディン
グワイヤBWによって各配線に接続されている。
【0017】また、入力整合回路31と出力整合回路3
3とは、ストリップライン形伝送線路で形成されるコン
デンサ、インダクタによって構成されている。出力ロー
パスフィルタ34は、ストリップラインによる共振器、
インダクタ、コンデンサ等によって形成されている。
【0018】送信用パワーブースタチップ32のグラン
ド電極はヴィアホールVHによってグランド層Gに接続
され、このグランド層Gは、正面電極1a、1b、ヴィ
アホールVHによって他のグランド層Gに接続され、こ
のようにグランド層Gは、複数層配置されている。
【0019】次に、上記実施例の動作について説明す
る。
【0020】まず、無線機器の送信用パワーブースタチ
ップ32の入力整合回路31と、出力整合回路33と、
出力ローパスフィルタ34とが、セラミックスSで作ら
れたセラミック多層基板に内蔵されており、各回路が縦
方向に載置されているので、無線機器の送信用パワーブ
ースタチップおよびその周辺回路全体の形状を小さくす
ることができる。上記実施例におけるMMICパッケー
ジ1の体積は、従来のMMICパッケージ1の体積と出
力ローパスフィルタ14の体積との合計体積の1/3〜
1/4程度に小さくなる。
【0021】また、上記実施例においては、ある回路と
これに隣接する回路とはグランド層によって仕切られて
いるので、各回路間の絶縁を充分に行うことができる。
【0022】さらに、上記実施例において、送信用パー
ブースタ32を形成するGaAsチップの発熱部がヴィ
アホールVHを介してグランド層Gに接続されているの
で、グランド層Gに熱が分散され、そのグランド層Gが
複数層配置されているので、セラミックスSへの熱分散
が充分に行われ、セラミックスS自体の熱伝導が良好な
ので、ヒートシンクを別設せずに、放熱が充分に行われ
る。また、グランド層Gが正面電極1a、1bに接続さ
れているので、正面電極1a、1bにおいても放熱が行
われる。
【0023】つまり、放熱用金属がセラミック多層基板
に内蔵されているようにしてもよく、また、放熱用金属
がセラミック多層基板の表面電極と接続されているよう
にしてもよい。なお、セラミック多層基板の表面電極
は、送信用パワーブースタチップ32を構成するGaA
sチップが搭載されているMMICパッケージ2の上面
に形成される電極、MMICパッケージ2の正面、側
面、背面、底面に形成される電極を含むものである。
【0024】上記実施例では、無線機器の送信用パワー
ブースタチップ32の入力整合回路31と、出力整合回
路33と、出力ローパスフィルタ34とがセラミック多
層基板に内蔵されているが、このうちで、入力整合回路
31、出力整合回路33、出力ローパスフィルタ34の
少なくとも1つがセラミック多層基板に内蔵されていれ
ばよい。また、出力ローパスフィルタ34の代わりに、
出力バンドパスフィルタを使用するようにしてもよい。
つまり、無線機器の送信用パワーブースタチップ32の
入力整合回路31、出力整合回路33、出力ローパスフ
ィルタ34、出力バンドパスフィルタの少なくとも1つ
がセラミック多層基板に内蔵されていればよい。
【0025】なお、正面電極1a、1bは曲面で構成さ
れているが、この代わりに、平面状の電極を使用しても
よい。
【0026】また、上記実施例は、無線機器の送信用パ
ワーブースタチップおよびその周辺回路に関するもので
あるが、この考えを無線機器の受信回路のフロントエン
ドに応用することができる。つまり、図3における無線
機器の受信回路のフロントエンドのバンドパスフィルタ
16、18をセラミック多層基板に内蔵するようにして
もよく、この場合、バンドパスフィルタ16、18のい
ずれか一方をセラミック多層基板に内蔵するようにして
もよい。この場合も、放熱用金属がセラミック多層基板
に内蔵されているようにしてもよく、また、放熱用金属
がセラミック多層基板の表面電極と接続されているよう
にしてもよい。
【0027】
【発明の効果】本発明によれば、無線機器の送信用パワ
ーブースタチップの入力整合回路、出力整合回路、出力
ローパスフィルタの少なくとも1つがセラミック多層基
板に内蔵されているので、無線機器の送信用パワーブー
スタチップおよびその周辺回路全体の形状を小さくする
ことができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例であるMMICパッケージ2
を示す図であり、図1(1)は、その平面図であり、図
1(2)は、図1(1)のI(2)−I(2)線で縦断
し、矢印方向から見た縦断面図である。
【図2】上記実施例の正面図である。
【図3】一般的な移動無線機器における送信用パワーブ
ースタチップおよびその周辺の回路と、受信回路のフロ
ントエンドとを示す図である。
【図4】送信用パワーブースタチップおよびその周辺の
回路を組み立てて形成した従来のMMICパッケージ1
を示す図である。
【符号の説明】
1a、1b…正面電極、 2…MMICパッケージ、 16…トップバンドパスフィルタ、 18…段間バンドパスフィルタ、 31…入力整合回路、 32…送信用パワーブースタチップ、 33…出力整合回路、 34…出力ローパスフィルタ、 S…セラミックス、 G…グランド層、 BW…ボンディングワイヤ、 VH…ヴィアホール、 CP…チップ部品。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 無線機器の送信用パワーブースタチップ
    の入力整合回路、出力整合回路、出力ローパスフィル
    タ、出力バンドパスフィルタの少なくとも1つがセラミ
    ック多層基板に内蔵されていることを特徴とするMMI
    Cパッケージ。
  2. 【請求項2】 請求項1において、 放熱用金属が上記セラミック多層基板に内蔵されている
    ことを特徴とするMMICパッケージ。
  3. 【請求項3】 請求項2において、 上記放熱用金属が上記セラミック多層基板の表面電極と
    接続されていることを特徴とするMMICパッケージ。
JP5078850A 1993-03-12 1993-03-12 Mmicパッケージ Pending JPH06268532A (ja)

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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001010047A1 (en) * 1999-07-29 2001-02-08 Tdk Corporation Isolator with built-in power amplifier
WO2002017504A1 (fr) * 2000-08-22 2002-02-28 Hitachi Metals, Ltd. Module de commutation stratifié à haute fréquence
EP1085572A3 (en) * 1999-09-16 2006-04-19 Texas Instruments Incorporated Low pass filter integral with semiconductor package
WO2006046713A1 (ja) * 2004-10-28 2006-05-04 Kyocera Corporation 電子部品モジュール及び無線通信機器
WO2009044987A1 (en) * 2007-10-05 2009-04-09 Electronics And Telecommunications Research Institute Ultra wideband hermetically sealed surface mount technology for microwave monolithic integrated circuit package
JP2021523644A (ja) * 2018-05-15 2021-09-02 スウィフトリンク テクノロジーズ インコーポレイテッド ミリ波5g通信用ブロードバンドmimo受信機のための送信/受信(t/r)スイッチ及び受信機フロントエンドのワイドバンドマッチング共設計法

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001010047A1 (en) * 1999-07-29 2001-02-08 Tdk Corporation Isolator with built-in power amplifier
US6462628B2 (en) 1999-07-29 2002-10-08 Tdk Corporation Isolator device with built-in power amplifier and embedded substrate capacitor
EP1085572A3 (en) * 1999-09-16 2006-04-19 Texas Instruments Incorporated Low pass filter integral with semiconductor package
KR100801374B1 (ko) * 1999-09-16 2008-02-05 텍사스 인스트루먼츠 인코포레이티드 반도체 패키지 기판 및 그 제조 방법
WO2002017504A1 (fr) * 2000-08-22 2002-02-28 Hitachi Metals, Ltd. Module de commutation stratifié à haute fréquence
WO2006046713A1 (ja) * 2004-10-28 2006-05-04 Kyocera Corporation 電子部品モジュール及び無線通信機器
JPWO2006046713A1 (ja) * 2004-10-28 2008-05-22 京セラ株式会社 電子部品モジュール及び無線通信機器
US7701728B2 (en) 2004-10-28 2010-04-20 Kyocera Corporation Electronic component module and radio comunications equipment
WO2009044987A1 (en) * 2007-10-05 2009-04-09 Electronics And Telecommunications Research Institute Ultra wideband hermetically sealed surface mount technology for microwave monolithic integrated circuit package
US8362608B2 (en) 2007-10-05 2013-01-29 Electronics And Telecommunications Research Institute Ultra wideband hermetically sealed surface mount technology for microwave monolithic integrated circuit package
JP2021523644A (ja) * 2018-05-15 2021-09-02 スウィフトリンク テクノロジーズ インコーポレイテッド ミリ波5g通信用ブロードバンドmimo受信機のための送信/受信(t/r)スイッチ及び受信機フロントエンドのワイドバンドマッチング共設計法

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Effective date: 20020129