JPH06265381A - フルイディック流量計 - Google Patents
フルイディック流量計Info
- Publication number
- JPH06265381A JPH06265381A JP5198093A JP5198093A JPH06265381A JP H06265381 A JPH06265381 A JP H06265381A JP 5198093 A JP5198093 A JP 5198093A JP 5198093 A JP5198093 A JP 5198093A JP H06265381 A JPH06265381 A JP H06265381A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow
- nozzle
- gas
- wire gauze
- fluid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Measuring Volume Flow (AREA)
- Details Of Flowmeters (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 特に微小流量時の流れを安定させて微小流量
の計測精度を高めたい。 【構成】 ノズル入口整流金網１０にスリット１２、１
２ａを設け、微小な流れはこのスリット１２、１２ａを
経由して流れるように構成する。
の計測精度を高めたい。 【構成】 ノズル入口整流金網１０にスリット１２、１
２ａを設け、微小な流れはこのスリット１２、１２ａを
経由して流れるように構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、フルイディック流量計
に関する。
に関する。
【０００２】
【従来の技術】フルイディック流量計は、フルイディッ
ク発振素子内においてノズルから被計測流体を噴出させ
て流体振動を発生させ、この流体振動を検出して流量を
演算する方式（例えば特開昭５７−６６３１３号公報）
であって、気体流量計として利用されている。
ク発振素子内においてノズルから被計測流体を噴出させ
て流体振動を発生させ、この流体振動を検出して流量を
演算する方式（例えば特開昭５７−６６３１３号公報）
であって、気体流量計として利用されている。
【０００３】しかし、このフルイディック流量計の場
合、小型で可動部分がないこと、耐久性に優れているこ
と等の特徴を有する反面、測定できる流量範囲が５０倍
程度と低い欠点がある。そこで、従来はフローセンサと
フルイディック発振素子とを組み合わせて小流量域での
計測をフローセンサにより行うように構成して、測定範
囲を拡大するようにした提案が公知である（例えば特開
平１−３０８９２１号公報）。
合、小型で可動部分がないこと、耐久性に優れているこ
と等の特徴を有する反面、測定できる流量範囲が５０倍
程度と低い欠点がある。そこで、従来はフローセンサと
フルイディック発振素子とを組み合わせて小流量域での
計測をフローセンサにより行うように構成して、測定範
囲を拡大するようにした提案が公知である（例えば特開
平１−３０８９２１号公報）。
【０００４】又、フルイディック発振素子は、当然のこ
ととして流体の流れに大きく影響されることから、ノズ
ルに入る上流側において被計測流体の流れを整流し、安
定した計測ができるように、ノズルの上流側の流体流入
路に網状体を置き、この網状体の作用で流速分布を均一
化させてノズル内に流体が安定して流入するように工夫
した提案もある（例えば特開平４−１５１５１８号公
報）。
ととして流体の流れに大きく影響されることから、ノズ
ルに入る上流側において被計測流体の流れを整流し、安
定した計測ができるように、ノズルの上流側の流体流入
路に網状体を置き、この網状体の作用で流速分布を均一
化させてノズル内に流体が安定して流入するように工夫
した提案もある（例えば特開平４−１５１５１８号公
報）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記公知例で
あって、整流目的のために網状体を流入路内に組み込む
方式においては、次のような問題がある。
あって、整流目的のために網状体を流入路内に組み込む
方式においては、次のような問題がある。
【０００６】ａ．網状体を流入路に組み込むために、網
状体の両サイド（上下）に支持体を別に取り付け、この
支持体を流路に形成した凹溝に嵌合させている。このた
め、網状体に対する支持体の取り付けに手数及びコスト
がかかり、又一旦取り付けた後でこの網状体を取り外す
場合に取り外しにくいという問題がある。
状体の両サイド（上下）に支持体を別に取り付け、この
支持体を流路に形成した凹溝に嵌合させている。このた
め、網状体に対する支持体の取り付けに手数及びコスト
がかかり、又一旦取り付けた後でこの網状体を取り外す
場合に取り外しにくいという問題がある。
【０００７】ｂ．微小流量の場合、網状体が抵抗にな
る。
る。
【０００８】本発明の目的は、低コストにより整流目的
の金網を流入路内に組み込むことができると共に着脱が
簡単で、微小流量時における流れ抵抗を可及的に小さく
して性能の向上を図るように工夫したフルイディック流
量計を提案することである。
の金網を流入路内に組み込むことができると共に着脱が
簡単で、微小流量時における流れ抵抗を可及的に小さく
して性能の向上を図るように工夫したフルイディック流
量計を提案することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明に係るフルイディ
ック流量計の構成は次のとおりである。
ック流量計の構成は次のとおりである。
【００１０】ノズル流入口の外側にノズル入口整流金網
を取り付けて成るフルイディック流量計において、ノズ
ル入口整流金網とこのノズル入口整流金網を取り付けた
ガス流路の壁との間にスリットを形成したことを特徴と
するフルイディック流量計。
を取り付けて成るフルイディック流量計において、ノズ
ル入口整流金網とこのノズル入口整流金網を取り付けた
ガス流路の壁との間にスリットを形成したことを特徴と
するフルイディック流量計。
【００１１】
【作用】被計測流体は、フルイディック発振素子内の流
体流入路を経由してノズル入口に入り、ノズルから振動
発振室内に噴出する。ノズルから振動発生室内に噴出し
た流体はコアンダ効果によって例えば左側の側壁に沿っ
て流れるが、この流れている流体の一部は帰還流体とな
り、この帰還流体の流体エネルギーの作用によりノズル
から噴出する流体は右側壁側に押されて右側壁に沿って
流れ、流体の噴出が続くかぎりこの左右の付着を繰り返
して流体振動を発生する。この流体振動を例えば圧電膜
センサーにより電気信号として検出し、この値から流量
を演算する。
体流入路を経由してノズル入口に入り、ノズルから振動
発振室内に噴出する。ノズルから振動発生室内に噴出し
た流体はコアンダ効果によって例えば左側の側壁に沿っ
て流れるが、この流れている流体の一部は帰還流体とな
り、この帰還流体の流体エネルギーの作用によりノズル
から噴出する流体は右側壁側に押されて右側壁に沿って
流れ、流体の噴出が続くかぎりこの左右の付着を繰り返
して流体振動を発生する。この流体振動を例えば圧電膜
センサーにより電気信号として検出し、この値から流量
を演算する。
【００１２】上記作用において、ノズル入口に組み込ま
れたノズル入口整流金網は、ノズル内に流入する流速分
布を均一化して安定した流れをつくることにより、流体
振動を安定的に発生させる。特に、流体流入路の形状
が、ノズル入口に至るまでに屈曲していたり、途中に遮
断弁が組み込まれている場合に整流効果を発揮する。
又、流体の流量が小さくなった場合、流体は流体流入路
の側壁に沿って流れる傾向になり、流速が小さい分整流
金網があると抵抗になるが、本発明の場合スリットが設
けられており、側壁部分が空いているため、流体はこの
スリットを経由してスムーズに流れてノズル流入口に至
る。この結果、微小流量の場合でも安定した振動或いは
ノズル部分に組み込まれたフローセンサで流量信号を検
出することができる。
れたノズル入口整流金網は、ノズル内に流入する流速分
布を均一化して安定した流れをつくることにより、流体
振動を安定的に発生させる。特に、流体流入路の形状
が、ノズル入口に至るまでに屈曲していたり、途中に遮
断弁が組み込まれている場合に整流効果を発揮する。
又、流体の流量が小さくなった場合、流体は流体流入路
の側壁に沿って流れる傾向になり、流速が小さい分整流
金網があると抵抗になるが、本発明の場合スリットが設
けられており、側壁部分が空いているため、流体はこの
スリットを経由してスムーズに流れてノズル流入口に至
る。この結果、微小流量の場合でも安定した振動或いは
ノズル部分に組み込まれたフローセンサで流量信号を検
出することができる。
【００１３】次に、ノズルの入口及び流路整流金網を流
体流入路内に組み込む際、これらの整流金網には金網自
体を折り返して形成した嵌合部が形成してあるため、こ
の折り返した部分の弾性作用により、嵌合溝内にきちっ
と納まり、外れにくいと共に掃除や点検のために取り外
す必要性が生じた場合には、嵌合溝内から引き出すだけ
で簡単に取り外すことができる。
体流入路内に組み込む際、これらの整流金網には金網自
体を折り返して形成した嵌合部が形成してあるため、こ
の折り返した部分の弾性作用により、嵌合溝内にきちっ
と納まり、外れにくいと共に掃除や点検のために取り外
す必要性が生じた場合には、嵌合溝内から引き出すだけ
で簡単に取り外すことができる。
【００１４】
【実施例】図１において、１は正面側から見たフルイデ
ィックガスメータ、２はフルイディック振動素子、３は
ガス流入口、４はこのガス流入口３からフルイディック
振動素子２のノズル６のノズル入口７に至るガス流入
路、５はこのガス流入路４に組み込まれた遮断弁、８は
ノズル６の噴出側に形成された振動発生室にして、ノズ
ル６から噴出したガスはこの振動発生室８内においてコ
アンダ効果により流体振動を発生し、ガス流出口９から
ガス機器側に流れて行く。
ィックガスメータ、２はフルイディック振動素子、３は
ガス流入口、４はこのガス流入口３からフルイディック
振動素子２のノズル６のノズル入口７に至るガス流入
路、５はこのガス流入路４に組み込まれた遮断弁、８は
ノズル６の噴出側に形成された振動発生室にして、ノズ
ル６から噴出したガスはこの振動発生室８内においてコ
アンダ効果により流体振動を発生し、ガス流出口９から
ガス機器側に流れて行く。
【００１５】１０はノズル入口７をとり囲むように取り
付けられたノズル入口整流金網にして、この金網１０は
図３に示すようにコ字状を呈し、その下端両サイドの前
端側の一部を突出させてここを外側に折り返して嵌合部
１１、１１ａを形成すると共に奥方両サイドにスリット
１２、１２ａを形成し、奥端上辺に２ケ所の突出嵌合部
１３、１３ａを形成した構成から成り、嵌合部１１、１
１ａをノズル流入口７の両サイドに設けた嵌合溝１４、
１４ａ内に嵌合し、突出嵌合部１３、１３ａをガス流入
路３の側壁に設けた嵌合溝１５、１５ａ内に嵌合してノ
ズル入口７をとり囲むように取り付けられている。
付けられたノズル入口整流金網にして、この金網１０は
図３に示すようにコ字状を呈し、その下端両サイドの前
端側の一部を突出させてここを外側に折り返して嵌合部
１１、１１ａを形成すると共に奥方両サイドにスリット
１２、１２ａを形成し、奥端上辺に２ケ所の突出嵌合部
１３、１３ａを形成した構成から成り、嵌合部１１、１
１ａをノズル流入口７の両サイドに設けた嵌合溝１４、
１４ａ内に嵌合し、突出嵌合部１３、１３ａをガス流入
路３の側壁に設けた嵌合溝１５、１５ａ内に嵌合してノ
ズル入口７をとり囲むように取り付けられている。
【００１６】１６はガス流入路４の途中に組み込まれた
平板状の流路整流金網にして、この流路整流金網１６は
図４に示すように前端上下に突出部を折り返して形成し
た嵌合部１７、１７ａを形成し、上下にスリット１８、
１８ａを形成した構成から成り、ガス流入路３の嵌合溝
１９、１９ａに嵌合部１７、１７ａを嵌合し、後端をガ
ス流入路３の側壁に設けた嵌合溝２０に嵌合してガス流
入路４に取り付けられている。なお、流路整流金網１６
の場合、必ずしもスリット１８、１８ａを設ける必要は
ないが、実用的には設けておく方が良い。
平板状の流路整流金網にして、この流路整流金網１６は
図４に示すように前端上下に突出部を折り返して形成し
た嵌合部１７、１７ａを形成し、上下にスリット１８、
１８ａを形成した構成から成り、ガス流入路３の嵌合溝
１９、１９ａに嵌合部１７、１７ａを嵌合し、後端をガ
ス流入路３の側壁に設けた嵌合溝２０に嵌合してガス流
入路４に取り付けられている。なお、流路整流金網１６
の場合、必ずしもスリット１８、１８ａを設ける必要は
ないが、実用的には設けておく方が良い。
【００１７】上記フルイディック流量計において、ガス
流入口３から流入したガスは先ず流路整流金網１６を通
過することにより流速分布が均一化され、更にノズル入
口７内に入る直前においてノズル入口整流金網１０を通
過することにより再び整流されてからノズル６内に入
り、振動発生室８内に噴出し、流体振動を発生する。
又、ガス流量が微量になった場合、抵抗の少ない流路整
流金網１６のスリット１８、１８ａ及びノズル入口整流
金網１０のスリット１２、１２ａ側を経由して流れ、ノ
ズル入口７に流入するため、安定した流れがノズル６内
において発生し、このノズル６から噴出した流体により
流体振動が発生し、フローセンサ（図示せず）がノズル
６部分に組み込まれている場合にはこのフローセンサに
より流量が検出される。
流入口３から流入したガスは先ず流路整流金網１６を通
過することにより流速分布が均一化され、更にノズル入
口７内に入る直前においてノズル入口整流金網１０を通
過することにより再び整流されてからノズル６内に入
り、振動発生室８内に噴出し、流体振動を発生する。
又、ガス流量が微量になった場合、抵抗の少ない流路整
流金網１６のスリット１８、１８ａ及びノズル入口整流
金網１０のスリット１２、１２ａ側を経由して流れ、ノ
ズル入口７に流入するため、安定した流れがノズル６内
において発生し、このノズル６から噴出した流体により
流体振動が発生し、フローセンサ（図示せず）がノズル
６部分に組み込まれている場合にはこのフローセンサに
より流量が検出される。
【００１８】
【発明の効果】本発明は以上の如き構成から成るため、
次の効果を奏する。
次の効果を奏する。
【００１９】ａ．ノズル入口整流金網にスリットを設け
たことにより、特に微量流量の場合に流れは安定し、確
実に流量の検出を行うことができる。図５はスリットを
設けた場合と設けない場合の器差を比較したグラフにし
て、特に微量流量域での器差をスリットを設けない場合
に比較して約１／２に縮小できる。
たことにより、特に微量流量の場合に流れは安定し、確
実に流量の検出を行うことができる。図５はスリットを
設けた場合と設けない場合の器差を比較したグラフにし
て、特に微量流量域での器差をスリットを設けない場合
に比較して約１／２に縮小できる。
【００２０】ｂ．整流金網は直接折り返して嵌合部とし
たことにより、加工が簡単であると共に金網の弾性作用
により嵌合は確実で、取り外す必要が生じた場合には金
網を摘んで引き出すだけで簡単に行うことができる。
たことにより、加工が簡単であると共に金網の弾性作用
により嵌合は確実で、取り外す必要が生じた場合には金
網を摘んで引き出すだけで簡単に行うことができる。
【図１】本発明に係るフルイディック流量計の正面図。
【図２】ノズル入口及びガス流入路に組み込まれた整流
金網の説明図。
金網の説明図。
【図３】ノズル入口整流金網をノズル入口部分に組み込
む状況の説明図。
む状況の説明図。
【図４】流路整流金網をガス流入路に組み込む状況の説
明図。
明図。
【図５】ノズル入口整流金網にスリットを設けた場合と
設けない場合の器差を示すグラフ。
設けない場合の器差を示すグラフ。
１ フルイディック流量計 ３ ガス流入路 ６ ノズル ７ ノズル入口 ８ 振動発生室 １０ ノズル入口整流金網 １２、１２ａ スリット １６ 流路整流金網 １８、１８ａ スリット
Claims (3)
- 【請求項１】 ノズル流入口の外側にノズル入口整流金
網を取り付けて成るフルイディック流量計において、ノ
ズル入口整流金網とこのノズル入口整流金網を取り付け
たガス流路の壁との間にスリットを形成したことを特徴
とするフルイディック流量計。 - 【請求項２】 ガス流入路に取り付けられた流路整流金
網の上下端にスリットを形成して成る請求項１記載のフ
ルイディック流量計。 - 【請求項３】 ノズル入口及び流路整流金網の上下又は
両サイドに突出部を形成し、この突出部を折り返して嵌
合部を形成し、この嵌合部をガス流入路の側壁に形成し
た嵌合溝内に着脱自在に取り付けたことを特徴とする請
求項１又は２記載のフルイディック流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05198093A JP3169733B2 (ja) | 1993-03-12 | 1993-03-12 | フルイディック流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05198093A JP3169733B2 (ja) | 1993-03-12 | 1993-03-12 | フルイディック流量計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06265381A true JPH06265381A (ja) | 1994-09-20 |
| JP3169733B2 JP3169733B2 (ja) | 2001-05-28 |
Family
ID=12902015
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05198093A Expired - Fee Related JP3169733B2 (ja) | 1993-03-12 | 1993-03-12 | フルイディック流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3169733B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6446503B1 (en) * | 1997-12-15 | 2002-09-10 | Tokyo Gas Co., Ltd. | Flow velocity measuring apparatus and methods using sensors for measuring larger and smaller flow quantities |
-
1993
- 1993-03-12 JP JP05198093A patent/JP3169733B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6446503B1 (en) * | 1997-12-15 | 2002-09-10 | Tokyo Gas Co., Ltd. | Flow velocity measuring apparatus and methods using sensors for measuring larger and smaller flow quantities |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3169733B2 (ja) | 2001-05-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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