JP3280807B2 - フルイディック式流量計 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、流体の流れの中に配置
したターゲットにより、左右に分流した流れの圧力振動
の周波数を計測することにより、流体の流量を計測する
フルイディック式流量計に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、都市ガスの流量の計測は、機械式
の膜式ガスメータが広く使用されている。しかし、膜式
ガスメータは、大きく、デザインも古いイメージであ
り、コストも高く問題があるため、膜式ガスメータに代
わるガスメータとして、フルイディック式流量計の開発
が進められている。ここで、フルイディック式流量計の
原理を説明する。はじめに、従来のフルイディック式流
量計の構成を説明する。図１１に示すように、ノズル１
０１から流入した流体Ｆの流れの中心位置に、ターゲッ
ト１０２が配置されている。ターゲット１０２の左右に
は、左サイドウォール１０８と右サイドウォール１０７
が配置されている。

【０００３】フルイディック式流量計では、流体Ｆは図
１１と図１２に示すように、ターゲット１０２の左右に
交互に流れることが知られている。分流された流体Ｆ
１，Ｆ２の流れの衝突する位置にリターンガイド１０３
が配置されている。そして、右側に分流された流体Ｆ１
がリターンガイド１０３に衝突する位置に右差圧検出セ
ンサ１０４が取り付けられ、左側に分流された流体Ｆ２
がリターンガイド１０３に衝突する位置に左差圧検出セ
ンサ１０５が取り付けられている。フルイディック式流
量計では、流体Ｆが左右に交互に流れることにより、差
圧検出センサ１０４，１０５では、周期的な微小圧力変
化が生じる。そして、この微小圧力変化の周波数は、図
１３に示すように、ガスの流量に比例している。フルイ
ディック式流量計は、この微小圧力変化の周波数を検出
することにより、流量を計測するものである。

【０００４】フルイディック式流量計の計測用ノズルの
形状は、実験的にアスペクト比として、最適値が求めら
れており、ガスメータ用としては、例えば、幅３．２ｍ
ｍ高さ２２ｍｍの計測用ノズルが使用されている。一
方、フルイディック式流量計の計測範囲は、３〜６００
０リットル／時であり、計測できる流量が限られている
ため、ガスメータ等で大きい流量を計測することができ
なかった。そのため、本出願人らは、特開平６−７４７
９８号公報において、バイパス通路を設けることを提案
している。すなわち、計測する流量に応じて、バイパス
通路の断面積の異なる複数種類のフルイディック式流量
計を製作し、その中から適切なフルイディック式流量計
を選択し、使用していた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
フルイディック式流量計には、次のような問題があっ
た。 （１）流路に仕切板を設けて、仕切板のはじめで計測用
ノズルへの流れと、バイパス通路への流れとに分流し、
フルイディック式流量計で計測した後仕切板の終わり
で、再び合流させているが、分流するとき及び合流する
ときに、バイパス通路を流れる流体がフルイディック式
流量計を流れる流体に影響を与えるため、フルイディッ
ク式流量計の流量計測値に誤差が発生する問題があっ
た。すなわち、図１４に示すように、従来のフルイディ
ック式流量計では、１０００リットル／ｈ以下の小流量
時、及び３０００リットル／ｈ以上の大流量時に器差が
一点鎖線で示した目標値枠から外れてしまう問題があっ
た。図１４では、横軸にフルイディック式流量計を流れ
る流量を示し、縦軸に器差を示している。ここで、器差
とは、使用した測定器の製作上の欠点のため、測定に現
れる誤差であって、測定器の示す値から示されるべき値
を引いた差をいう。小流量時及び大流量時に器差が大き
いのは、流体がバイパス通路に多く流れることが原因で
あると考えられる。

【０００６】（２）特開平６−７４７９８号公報で提案
したフルイディック式流量計では、バイパス通路の断面
積の異なる流量計を製作する必要があり、コストアップ
を生じていた。

【０００７】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、バイパス通路を設けても計測に
影響の少ないフルイディック式流量計を提供することを
目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、 （１）本発明のフルイディック式流量計は、計測用ノズ
ルの下流に配置され、流体を左右に分流して流体に圧力
振動を発生させるターゲットと、ターゲットにより分流
された流体の圧力を計測する圧電素子と、圧電素子によ
り計測した流体の圧力振動の周波数より流速を算定する
流速算定手段とを有するものであって、計測用ノズルの
上流にあって流体を流量計測部とバイパス通路とに分流
する仕切板を有し、分流された流体が合流する合流口に
網状の合流口整流部材を取り付けている。 （２）本発明のフルイディック式流量計は、計測用ノズ
ルの下流に配置され、流体を左右に分流して流体に圧力
振動を発生させるターゲットと、ターゲットにより分流
された流体の圧力を計測する圧電素子と、圧電素子によ
り計測した流体の圧力振動の周波数より流速を算定する
流速算定手段とを有するものであって、計測用ノズルの
上流にあって流体を流量計測部とバイパス通路とに分流
する仕切板を有し、バイパス通路の上流に網状のバイパ
ス入口整流部材を取り付けている。

【０００９】（３）本発明のフルイディック式流量計
は、計測用ノズルの下流に配置され、流体を左右に分流
して流体に圧力振動を発生させるターゲットと、ターゲ
ットにより分流された流体の圧力を計測する圧電素子
と、圧電素子により計測した流体の圧力振動の周波数よ
り流速を算定する流速算定手段とを有するものであっ
て、計測用ノズルの上流にあって流体を流量計測部とバ
イパス通路とに分流する仕切板を有し、バイパス通路の
流路内にじゃま板を取り付けている。 （４）本発明のフルイディック式流量計は、（１）のも
のにおいて、合流口整流部材が線径が０．２ｍｍ以下で
９０メッシュ以上の網であることを特徴とする。 （５）本発明のフルイディック式流量計は、（１）のも
のにおいて、バイパス通路の上流に網状のバイパス入口
整流部材を取り付けたことを特徴とする。 （６）本発明のフルイディック式流量計は、（５）のも
のにおいて、バイパス通路の流路内にじゃま板を取り付
けたことを特徴とする。

【００１０】

【作用】上記構成を有する本発明のフルイディック式流
量計の仕切板は、流体を分流して、一方を流量計測部に
流し、他方をバイパス通路に流す。流量計測部の入口に
ある計測用ノズルは、ターゲットに向けて流体を噴出す
る。ターゲットは、計測用ノズルから噴出した流体を左
右に交互に流して流体に圧力振動を発生させる。圧電素
子は、ターゲットの左右での圧力の差圧を測定すること
により、流体に発生した圧力振動を測定する。流速算定
手段は、圧電素子により計測した流体の圧力振動の周波
数分析を行い、その周波数より流速を算定する。一方、
仕切板によりバイパス通路に分流された流体は、網状の
バイパス入口整流部材を通過してバイパス通路に入り、
流路内設けられたじゃま板に衝突して向きが変化させら
れた後、合流口で網状の合流口整流部材を通過して、計
測用ノズル側に別れた流体と合流する。

【００１１】フルイディック式流量計に流れる流体が小
流量のとき、網状のバイパス入口整流部材及び網状の合
流口整流部材が、バイパス通路側に流れる流体の抵抗と
なって、流量計測部へ分流される流体の流量を増加す
る。これにより、小流量のときの器差がプラスされ、目
標枠内に納まることとなる。ここで、バイパス通路の流
路内に設けられたじゃま板は、小流量のときには、ほと
んど流体の抵抗とならないことは実験により確認してい
る。一方、フルイディック式流量計に流れる流体が大流
量のとき、網状の整流部材は、ほとんど抵抗とならない
ことは実験により確認している。バイパス通路の流路に
設けられたじゃま板が流体の抵抗となって、流量計測部
へ分流される流体の流量を増加する。これにより、大流
量のときの器差がプラスされ、目標枠内に納まることと
なる。

【００１２】

【実施例】以下、本発明の一実施例であるフルイディッ
ク式流量計について図面を参照して詳細に説明する。図
１に流量計本体１９の側面図を示し、図３に底面図、図
２に平面図を示す。図１に示すように、流量計本体１９
は、仕切板３５により上下に分割されている。仕切板３
５の上側（図中右側）には、図２に示すようにバイパス
通路３６が形成され、仕切板３５の下側（図中左側）に
は、図３に示すように流量計部３７が形成されている。
また、流量計入口整流網２１の左側には、リゲイン網２
９に仕切られることにより、フローセンサ用入口３８が
形成されている。バイパス通路３６の入口には、バイパ
ス入口整流網２０が取り付けられている。また、流量計
部３７の入口には、流量計入口整流網２１が取り付けら
れている。

【００１３】次に、流量計部３７の構成を図３により説
明する。図３は、図１を左側から見た底面図である。計
測用ノズル１１の流路の延長上に、第一ターゲット１２
が配置されている。第一ターゲット１２は、ハート形状
をしており、凹部が上流側にくるように配置されてい
る。第一ターゲット１２の左側には、左サイドウォール
１８が配置され、右側には、右サイドウォール１７が配
置されている。また、第一ターゲット１２の下流には、
第二ターゲット１６が配置されている。また、計測用ノ
ズル１１の下面にリゲイン網２９が取り付けられてい
る。本実施例では、リゲイン網２９として、線径０．１
８ｍｍ、５０メッシュの金網を使用している。リゲイン
網２９は、流量計部３７とフローセンサ用入口３８とを
分離するためのものである。また、流量計部３７の入口
には、流量計入口整流網２１が取り付けられている。本
実施例では、流量計入口整流網２１として、線径０．１
８ｍｍ、５０メッシュの金網を使用している。

【００１４】フルイディック式流量計では、流体Ｆは、
第一ターゲット１２及び第二ターゲット１６の左右に交
互に流れることが知られている。分流された流体の流れ
Ｆ１，Ｆ２の衝突する位置にリターンガイド１３が配置
されている。そして、計測用ノズル１１の下流端の両側
に圧電素子である右差圧検出センサ１４と左差圧検出セ
ンサ１５が取り付けられている。フルイディック式流量
計では、流体Ｆが左右に交互に流れるため、右差圧検出
センサ１４と左差圧検出センサ１５の差圧を取ることに
より、周期的な微小圧力変化が計測される。そして、こ
の微小圧力変化の周波数は、ガスの流量に比例している
ことが知られている。フルイディック式流量計は、この
微小圧力変化の周波数を検出することにより、流量を計
測するものである。計測用ノズル１１の断面形状を、図
４に図３の矢印方向から見たＺＺ断面図で示す。本実施
例では、幅Ｗ＝３．２ｍｍ、高さＨ＝２２ｍｍである。
この値は、実験により求めたアスペクト比の最適値を使
用している。

【００１５】次に、バイパス通路３６について、図２、
図６及び図７により説明する。図２は、図１を右から見
た平面図である。仕切板３５の入口部の両端に一対の側
板２８が形成されている。また、側板２８の間には、バ
イパス入口整流網２０が着脱自在に取り付けられてい
る。本実施例では、入口整流網２０として、４０メッシ
ュの金網を使用している。また、仕切板３５の中央で流
路を遮る位置にじゃま板２５が着脱自在に取り付けられ
ている。じゃま板２５は、大流量が流れるときに圧力損
失となり、流量計部３７側へ流体を流すためのものであ
る。じゃま板２５の下流には、両端部に遮断板２４を備
え、バイパス通路３６を流れる流体を流量計部３７を流
れる流体に合流させるための合流口３９に合流整流網２
２が取り付けられた合流部材２３が、仕切板３５に形成
された取付孔２７に嵌合固定されている。合流整流網２
２は、合流口３９を覆っており、バイパス通路３６を流
れた流体は、すべて合流整流網２２を通過して、流量計
部３７を流れてきた流体と合流する。本実施例では、合
流整流網として、線径が０．１０ｍｍで、９０メッシュ
の金網を使用している。

【００１６】以上構成を説明した流量計本体１９は、図
６に分解斜視図で示すように、メータ本体３１の流量計
取付部３０に取り付けられる。流量計取付部３０に流量
計本体１９が取り付けられた状態を図５に示す。また、
メータ本体３１には、流体入力ポート３２と流体出力ポ
ート３３とが設けられている。計測する流体は、流体入
力ポート３２からメータ本体３１に入って、すべて流体
出力ポート３３から流出する。流体入力ポート３２から
流入した流体Ｆは、流速分布を平均化するための整流室
４０，４１を通過した後、流量計取付部３０に取り付け
られた流量計本体１９に流入する。

【００１７】次に、上記説明した構成を有するフルイデ
ィック式流量計の作用を説明する。流量計本体１９に流
入した流体Ｆは、仕切板３５及びリゲイン網２９によ
り、バイパス通路３６へ流れる流体、流量計部３７へ流
れる流体、及びフローセンサ用入口３８へ流れる流体に
分流される。始めに流量計部３７へ流れた流体について
説明する。計測用ノズル１１は、第一ターゲット１２及
び第二ターゲット１６に向けて流体を噴出する。第一タ
ーゲット１２及び第二ターゲット１６は、計測用ノズル
１１から噴出した流体を左側Ｆ２と、右側Ｆ１とに交互
に流す。これにより、流体の圧力を定点で観測すれば、
流体の圧力振動が発生している。計測用ノズル１１の出
口両側に設置された右差圧検出センサ１４及び左差圧検
出センサ１５により、計測用ノズル１１の出口両側で発
生する差圧を測定することにより、流体に発生した圧力
振動を測定している。そして、図示しない流速算定手段
であるマイコンにより、右差圧検出センサ１４と左差圧
検出センサ１５により計測した流体の圧力振動の周波数
分析を行い、求めた周波数より流速を算定している。

【００１８】次に、フローセンサ用入口３８へ流れた流
体について説明する。フルイディック式流量計の実用計
測範囲は、１５０〜３０００リットル／ｈである。この
ため、小流量の３〜１５０リットル／ｈにおいては、フ
ローセンサ用入口３８に取り付けた図示しない熱線式流
量計であるＩＣフローセンサにより流量計測を行ってい
る。全ての領域でＩＣフローセンサによる流量計測を行
うことをしていないのは、熱線式流量計であるため、消
費電力が大きく、リチウム電池１本で１０年間の電源を
供給しようとするガスメータでは、できるだけ消費電力
の小さいフルイディック式流量計に切り替える必要があ
るからである。

【００１９】一方、仕切板によりバイパス通路３６に分
流された流体は、網状のバイパス入口整流網２０を通過
して、流路内設けられたじゃま板２５に衝突して向きが
変化させられた後、合流口３９で網状の合流整流網２２
を通過して、計測用ノズル１１側に別れた流体と合流す
る。分流式のフルイディック式流量計では、流量計部３
７に流れる流量とバイパス通路３６に流れる流量の比が
常に一定であることが、流量を正確に計測するための条
件であるが、例えば、ガスメータ等では小流量から大流
量まで流量が変化する。ここで、小流量とは、１０００
リットル／ｈ以下の流量を言い、大流量とは、３０００
リットル／ｈ以上の流量を言う。

【００２０】流体入力ポート３２から流れ込む流体が小
流量のとき、網状のバイパス入口整流網２０及び網状の
合流整流網２２が、バイパス通路３６側に流れる流体の
抵抗となって、計測用ノズル１１へ分流される流体の流
量を増加する。これにより、小流量のときの器差がプラ
スされ、目標枠内に納まることとなる。ここで、バイパ
ス通路の流路内に設けられたじゃま板は、小流量のとき
には、ほとんど流体の抵抗とならないことは実験により
確認している。これを実験した結果を図を用いて説明す
る。図１０は、合流整流網２２をつけてバイパス入口整
流網２０を付けなかった場合である。じゃま板２５は取
り付けている。

【００２１】図１４で示した従来のフルイディック式流
量計の器差と比較して、小流量における器差が改善され
ていることがわかる。さらに、バイパス入口整流網２０
を取り付けた時の器差データを図８に示す。小流量にお
ける器差がさらに０に近づいて改善されていることがわ
かる。ここでバイパス入口整流網２０では、線径０．１
８ｍｍで、４０メッシュの金網を使用している。また、
バイパス入口整流網２０を線径０．１８ｍｍで、５０メ
ッシユの金網に替えたときのデータを図９に示す。これ
によれば、図８の場合と比較して小流量において、器差
がプラスに行き過ぎる傾向が出てきたことを示してい
る。従って、バイパス入口整流網２０としては、４０メ
ッシュが最適である。

【００２２】一方、フルイディック式流量計に流れる流
体が大流量のとき、４０〜９０メッシユ程度の金網は、
ほとんど抵抗とならないことは実験により確認してい
る。バイパス通路の流路に設けられたじゃま板が流体の
抵抗となって、計測用ノズルへ分流される流体の流量を
増加する。これにより、小流量のときの器差がプラスさ
れ、目標枠内に納まることとなる。これを実験した結果
を図を用いて説明する。図８、図９、図１０のいずれに
おいても、図１４で示した従来のフルイディック式流量
計の器差と比較して、大流量における器差が改善されて
いることがわかる。

【００２３】以上本実施例のフルイディック式流量計に
ついて詳細に説明したが、本実施例のフルイディック式
流量計によれば、計測用ノズル１１の上流にあって流体
を計測用ノズル１１とバイパス通路３６とに分流する仕
切板３５を有し、分流された流体が合流する合流口３９
に網状の合流整流網２２を取り付けているので、１００
０リットル／ｈ以下の小流量の流体が流れるとき、合流
整流網２２が抵抗となるため、流量計部３７へ流れる流
体が増加するため、２０００リットル／ｈ程度の中流量
時に計測用ノズル１１側を流れる流量とバイパス通路３
６側を流れる流量の比をほぼ等しくでき、器差を減少さ
せることができる。ここで、合流整流網２２の条件とし
て、線径が０．２ｍｍ以下で、９０メッシュ以上の金網
を使用すると、器差がより改善されることを実験により
確認している。

【００２４】また、本実施例のフルイディック式流量計
によれば、計測用ノズル１１の上流にあって流体を計測
用ノズル１１とバイパス通路３６とに分流する仕切板３
５を有し、バイパス通路３６の上流に網状のバイパス入
口整流網２０を取り付けているので、１０００リットル
／ｈ以下の小流量の流体が流れるとき、バイパス入口整
流網２０が抵抗となるため、流量計部３７へ流れる流体
が増加するため、２０００リットル／ｈ程度の中流量時
に計測用ノズル１１側を流れる流量とバイパス通路３６
側を流れる流量の比をほぼ等しくでき、器差を減少させ
ることができる。

【００２５】また、本実施例のフルイディック式流量計
によれば、計測用ノズル１１の上流にあって流体を計測
用ノズル１１とバイパス通路３６とに分流する仕切板３
５を有し、バイパス通路の流路内にじゃま板２５を取り
付けているので、３０００リットル／ｈ以上の大流量の
流体が流れるとき、じゃま板２５が抵抗となるため、流
量計部３７へ流れる流体が増加するため、２０００リッ
トル／ｈ程度の中流量時に計測用ノズル１１側を流れる
流量とバイパス通路３６側を流れる流量の比をほぼ等し
くでき、器差を減少させることができる。

【００２６】なお、前記実施例は本発明を何ら限定する
ものでなく、その要旨を逸脱しない範囲内において、種
々の変形、改良が可能であることは勿論である。例え
ば、本実施例においては、網状の整流部材として金網を
使用しているが、他の材質であるプラスチック製の網等
を使用しても同様である。また、本実施例では、ガスメ
ータの流量として３〜６０００リットル／ｈ程度の流量
の場合について説明したが、計測範囲が変化した場合で
も同様である。

【００２７】

【発明の効果】以上説明したことから明かなように本発
明のフルイディック式流量計によれば、計測用ノズルの
上流にあって流体を計測用ノズルとバイパス通路とに分
流する仕切板を有し、分流された流体が合流する合流口
に網状の合流整流部材を取り付けているので、小流量の
流体が流れるとき、網状の合流整流部材が抵抗となるた
め、流量計測部へ流れる流体が増加するため、中流量時
に流量計部側を流れる流量とバイパス通路側を流れる流
量の比をほぼ等しくでき、器差を減少させることができ
る。

【００２８】また、本発明のフルイディック式流量計に
よれば、流量計部の上流にあって流体を計測用ノズルと
バイパス通路とに分流する仕切板を有し、バイパス通路
の上流に網状のバイパス入口整流部材を取り付けている
ので、小流量の流体が流れるとき、網状のバイパス入口
整流部材が抵抗となるため、流量計測部へ流れる流体が
増加するため、中流量時に流量計測部側を流れる流量と
バイパス通路側を流れる流量の比をほぼ等しくでき、器
差を減少させることができる。

【００２９】また、本発明のフルイディック式流量計に
よれば、流量計部の上流にあって流体を計測用ノズルと
バイパス通路とに分流する仕切板を有し、バイパス通路
の流路内にじゃま板を取り付けているので、大流量の流
体が流れるとき、じゃま板が抵抗となるため、流量計部
へ流れる流体が増加するため、中流量時に流量計部側を
流れる流量とバイパス通路側を流れる流量の比をほぼ等
しくでき、器差を減少させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例であるフルイディック式流量
計の本体部の構成を示す側面図である。

【図２】図１の平面図である。

【図３】図１の底面図である。

【図４】計測用ノズル１１の断面図である。

【図５】フルイディック式流量計での流れを示す説明図
である。

【図６】フルイディック式流量計の構成を示す分解斜視
図である。

【図７】流量計本体１９の組立図である。

【図８】本実施例のフルイディック式流量計の器差を示
す第一実験データ図である。

【図９】本実施例のフルイディック式流量計の器差を示
す第二実験データ図である。

【図１０】本実施例のフルイディック式流量計の器差を
示す第三実験データ図である。

【図１１】従来のフルイディック式流量計の原理を説明
するための第一説明図である。

【図１２】従来のフルイディック式流量計の原理を説明
するための第二説明図である。

【図１３】振動周波数とガス流量の関係を示すデータ図
である。

【図１４】従来のフルイディック式流量計の器差を示す
実験データ図である。

【符号の説明】

１１ 計測用ノズル １２ 第一ターゲット １３ リターンガイド １６ 第二ターゲット １７ 右サイドウォール １８ 左サイドウォール １９ 流量計本体 ２０ バイパス入口整流網 ２２ 合流整流網 ２８ 側板 ２９ リゲイン網 ３５ 仕切板 ３８ フローセンサ用入口 ３９ 合流口

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (73)特許権者 000116633 愛知時計電機株式会社 愛知県名古屋市熱田区千年１丁目２番70 号 (73)特許権者 000156813 関西ガスメータ株式会社 京都府京都市下京区中堂寺鍵田町10 (73)特許権者 000142425 株式会社金門製作所 東京都板橋区大原町13番１号 (73)特許権者 000150109 株式会社竹中製作所 大阪府大阪市生野区中川西１丁目１番51 号 (73)特許権者 000222211 東洋ガスメーター株式会社 富山県新湊市本江2795番地 (72)発明者 木村 幸雄 愛知県東海市新宝町507−２ 東邦瓦斯 株式会社総合技術研究所内 (72)発明者 佐藤 孝人 愛知県東海市新宝町507−２ 東邦瓦斯 株式会社総合技術研究所内 (72)発明者 水越 靖 富山県新湊市本江2795番地 東洋ガスメ ーター株式会社内 (72)発明者 温井 一光 神奈川県藤沢市みその台９−10 (72)発明者 岡村 繁憲 大阪府大阪市中央区平野町四丁目１番２ 号 大阪瓦斯株式会社内 (72)発明者 神田 廣一 愛知県名古屋市熱田区千年一丁目２番70 号 愛知時計電機株式会社内 (72)発明者 波元 政信 大阪府大阪市東成区東小橋２丁目10番16 号 関西ガスメータ株式会社内 (72)発明者 一色 尚志 東京都板橋区志村１丁目２番３号 株式 会社金門製作所 中央研究所内 (72)発明者 上手 峰幸 千葉県船橋市旭町３丁目15番地７号 (56)参考文献 特開 平４−326020（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−326019（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01F 1/20 G01F 1/72

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 計測用ノズルの下流に配置され、流体を
   左右に分流して流体に圧力振動を発生させるターゲット
   と、ターゲットにより分流された流体の圧力を計測する
   圧電素子と、圧電素子により計測した流体の圧力振動の
   周波数より流速を算定する流速算定手段とを有するフル
   イディック式流量計において、 前記計測用ノズルの上流にあって、前記流体を流量計測
   部とバイパス通路とに分流する仕切板を有し、 前記分流された流体が合流する合流口に網状の合流口整
   流部材を取り付けたことを特徴とするフルイディック式
   流量計。
2. 【請求項２】 計測用ノズルの下流に配置され、流体を
   左右に分流して流体に圧力振動を発生させるターゲット
   と、ターゲットにより分流された流体の圧力を計測する
   圧電素子と、圧電素子により計測した流体の圧力振動の
   周波数より流速を算定する流速算定手段とを有するフル
   イディック式流量計において、 前記計測用ノズルの上流にあって、前記流体を流量計測
   部とバイパス通路とに分流する仕切板を有し、 前記バイパス通路の上流に網状のバイパス入口整流部材
   を取り付けたことを特徴とするフルイディック式流量
   計。
3. 【請求項３】 計測用ノズルの下流に配置され、流体を
   左右に分流して流体に圧力振動を発生させるターゲット
   と、ターゲットにより分流された流体の圧力を計測する
   圧電素子と、圧電素子により計測した流体の圧力振動の
   周波数より流速を算定する流速算定手段とを有するフル
   イディック式流量計において、 前記計測用ノズルの上流にあって、前記流体を流量計測
   部とバイパス通路とに分流する仕切板を有し、 前記バイパス通路の流路内にじゃま板を取り付けたこと
   を特徴とするフルイディック式流量計。
4. 【請求項４】 請求項１に記載するものにおいて、 前記合流口整流部材が線径が０．２ｍｍ以下で９０メッ
   シュ以上の網であることを特徴とするフルイディック式
   流量計。
5. 【請求項５】 請求項１に記載するものにおいて、 前記バイパス通路の上流に網状のバイパス入口整流部材
   を取り付けたことを特徴とするフルイディック式流量
   計。
6. 【請求項６】 請求項５に記載するものにおいて、 前記バイパス通路の流路内にじゃま板を取り付けたこと
   を特徴とするフルイディック式流量計。