JPH06260479A - ウエットエッチング終点検出用装置 - Google Patents
ウエットエッチング終点検出用装置Info
- Publication number
- JPH06260479A JPH06260479A JP4254593A JP4254593A JPH06260479A JP H06260479 A JPH06260479 A JP H06260479A JP 4254593 A JP4254593 A JP 4254593A JP 4254593 A JP4254593 A JP 4254593A JP H06260479 A JPH06260479 A JP H06260479A
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- Japan
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- etching
- etched
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 エッチング液中に含まれるイオン濃度を監視
しておき，その濃度が飽和状態となったとき試料を引き
上げることによりエッチング時間の短縮化をはかる。 【構成】 エッチング液が入れられた容器と，前記エッ
チング液に浸漬されたエッチングすべき試料と，前記エ
ッチング液の一部を導入して加熱分解してイオン化する
加熱手段と，該イオンを取入れて該イオンの量をカウン
トするイオン検出手段と，該検出手段からの出力に基づ
いてエッチングの終点を判断する終点検出手段と，該終
点検出手段からの出力信号に基づいて前記試料を前記エ
ッチング液から引き上げる駆動手段とを備えている。
しておき，その濃度が飽和状態となったとき試料を引き
上げることによりエッチング時間の短縮化をはかる。 【構成】 エッチング液が入れられた容器と，前記エッ
チング液に浸漬されたエッチングすべき試料と，前記エ
ッチング液の一部を導入して加熱分解してイオン化する
加熱手段と，該イオンを取入れて該イオンの量をカウン
トするイオン検出手段と，該検出手段からの出力に基づ
いてエッチングの終点を判断する終点検出手段と，該終
点検出手段からの出力信号に基づいて前記試料を前記エ
ッチング液から引き上げる駆動手段とを備えている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は，半導体基板等の所定の
箇所を部分的にエッチングするための装置に関し，エッ
チングの終点を検出するウエットエッチング終点検出用
装置に関するものである。
箇所を部分的にエッチングするための装置に関し，エッ
チングの終点を検出するウエットエッチング終点検出用
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のウエットエッチングにおける終点
検出はエッチング速度と膜厚を勘案し，計算により一定
の時間試料をエッチング液に浸漬する方法がとられてい
る。
検出はエッチング速度と膜厚を勘案し，計算により一定
の時間試料をエッチング液に浸漬する方法がとられてい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら，上記の
方法においては，膜厚がわからない場合や，エッチング
液が劣化した場合等ではおおよその見当をつけて早めに
引き上げ，顕微鏡で確認しながら複数回出し入れを行う
こともあり，時間がかかるとともに適切なエッチング条
件で終了することが難しいという問題があった。本発明
は上記従来技術の問題点を解決するために成されたもの
で，エッチング液中に含まれるイオン濃度を監視してお
き，その濃度が飽和状態となった試料を引き上げること
によりエッチング時間の短縮化をはかったウエットエッ
チング終点検出用装置を提供することを目的とする。
方法においては，膜厚がわからない場合や，エッチング
液が劣化した場合等ではおおよその見当をつけて早めに
引き上げ，顕微鏡で確認しながら複数回出し入れを行う
こともあり，時間がかかるとともに適切なエッチング条
件で終了することが難しいという問題があった。本発明
は上記従来技術の問題点を解決するために成されたもの
で，エッチング液中に含まれるイオン濃度を監視してお
き，その濃度が飽和状態となった試料を引き上げること
によりエッチング時間の短縮化をはかったウエットエッ
チング終点検出用装置を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明は，エッチング液が入れられた容器と，前記エ
ッチング液に浸漬されたエッチングすべき試料と，前記
エッチング液の一部を導入して加熱分解してイオン化す
る加熱手段と，該イオンを取入れて該イオンの量をカウ
ントするイオン検出手段と，該検出手段からの出力に基
づいてエッチングの終点を判断する終点検出手段と，該
終点検出手段からの出力信号に基づいて前記試料を前記
エッチング液から引き上げる駆動手段とを備えたことを
特徴とするものである。
に本発明は，エッチング液が入れられた容器と，前記エ
ッチング液に浸漬されたエッチングすべき試料と，前記
エッチング液の一部を導入して加熱分解してイオン化す
る加熱手段と，該イオンを取入れて該イオンの量をカウ
ントするイオン検出手段と，該検出手段からの出力に基
づいてエッチングの終点を判断する終点検出手段と，該
終点検出手段からの出力信号に基づいて前記試料を前記
エッチング液から引き上げる駆動手段とを備えたことを
特徴とするものである。
【０００５】
【作用】試料がエッチング液に浸漬されると被エッチン
グ部分がエッチングされてエッチング液中に拡散する。
加熱手段はそのエッチング液を導入してイオン化してイ
オン検出手段に送出する。終点検出手段はエッチング液
中のイオン濃度を監視しておき飽和状態になったところ
をエッチングの終点と判断して終点検出信号を出力す
る。駆動手段は終点検出手段からの出力に基づいて試料
をエッチング液から引き上げる。
グ部分がエッチングされてエッチング液中に拡散する。
加熱手段はそのエッチング液を導入してイオン化してイ
オン検出手段に送出する。終点検出手段はエッチング液
中のイオン濃度を監視しておき飽和状態になったところ
をエッチングの終点と判断して終点検出信号を出力す
る。駆動手段は終点検出手段からの出力に基づいて試料
をエッチング液から引き上げる。
【０００６】
【実施例】以下図面を用いて本発明を説明する。図１は
本発明のウエットエッチング終点検出用装置の一実施例
を示す要部構成図である。図において１はエッチング液
２が入れられた容器であり，そのエッチング溶液２中に
はバスケット３に所定の間隔をおいて試料４が配置され
ている。６は駆動手段で支持棒７を介してバスケット３
に接続されており，矢印Ａ方向に支持棒を駆動してバス
ケット３をエッチング液中に浸漬し若しくは引き上げ
る。
本発明のウエットエッチング終点検出用装置の一実施例
を示す要部構成図である。図において１はエッチング液
２が入れられた容器であり，そのエッチング溶液２中に
はバスケット３に所定の間隔をおいて試料４が配置され
ている。６は駆動手段で支持棒７を介してバスケット３
に接続されており，矢印Ａ方向に支持棒を駆動してバス
ケット３をエッチング液中に浸漬し若しくは引き上げ
る。
【０００７】８はエッチング液中に一端が挿入された配
管，９は配管８を介してエッチング液を加熱手段１０に
送出するポンプである。１２は例えば誘導結合プラズマ
質量分析装置１２ａ及び検出器１２ｂの様なイオン検出
手段であり，１４は例えばＣＰＵからなる終点検出手段
で，イオン検出手段からの信号に基づいてイオン数をカ
ウントし，その変化率を演算する。そしてこのＣＰＵは
カウント数の変化率が予め定めた値になった時駆動手段
６に信号を発する。
管，９は配管８を介してエッチング液を加熱手段１０に
送出するポンプである。１２は例えば誘導結合プラズマ
質量分析装置１２ａ及び検出器１２ｂの様なイオン検出
手段であり，１４は例えばＣＰＵからなる終点検出手段
で，イオン検出手段からの信号に基づいてイオン数をカ
ウントし，その変化率を演算する。そしてこのＣＰＵは
カウント数の変化率が予め定めた値になった時駆動手段
６に信号を発する。
【０００８】上記の構成において，はじめにエッチング
すべき基板をバスケットに並べ，支持棒７の先端に固定
してエッチング液２中に浸漬する。エッチング液にはエ
ッチングされた試料（基板）からの被エッチング部材が
拡散する。この被エッチング部材が拡散したエッチング
液は配管８を介してポンプ９で吸引され加熱手段１０へ
送出される。加熱手段１０は送られてきたエッチング液
を加熱して液中に含まれる被エッチング部材をイオン化
する。イオン化された被エッチング部材は質量分析手段
によって分析されその数がイオン検出器１３によりカウ
ントさる。
すべき基板をバスケットに並べ，支持棒７の先端に固定
してエッチング液２中に浸漬する。エッチング液にはエ
ッチングされた試料（基板）からの被エッチング部材が
拡散する。この被エッチング部材が拡散したエッチング
液は配管８を介してポンプ９で吸引され加熱手段１０へ
送出される。加熱手段１０は送られてきたエッチング液
を加熱して液中に含まれる被エッチング部材をイオン化
する。イオン化された被エッチング部材は質量分析手段
によって分析されその数がイオン検出器１３によりカウ
ントさる。
【０００９】その値はＣＰＵへ送られてその変化率が殆
どゼロになった時，駆動装置６に対して駆動信号を出力
し，駆動装置６は支持棒７を上方へ駆動して試料を引き
上げる。図２はエッチング時間とエッチングされた元素
（被測エッチング部材）の関係を示すものである。図に
示す様にカウントされる元素の量はある時間までは所定
の速度で増え続けるが，一定時間経過後はエッチング速
度が極端に低下する。従ってＣＰＵではこの変化率を監
視しておく。なお，配管の先端は図示の例に限ることな
最もよくエッチングの状態をあらわす位置に配置するも
のとし，ポンプや配管は出来るだけ早くエッチング液を
送出来る様に構成するものとする。
どゼロになった時，駆動装置６に対して駆動信号を出力
し，駆動装置６は支持棒７を上方へ駆動して試料を引き
上げる。図２はエッチング時間とエッチングされた元素
（被測エッチング部材）の関係を示すものである。図に
示す様にカウントされる元素の量はある時間までは所定
の速度で増え続けるが，一定時間経過後はエッチング速
度が極端に低下する。従ってＣＰＵではこの変化率を監
視しておく。なお，配管の先端は図示の例に限ることな
最もよくエッチングの状態をあらわす位置に配置するも
のとし，ポンプや配管は出来るだけ早くエッチング液を
送出来る様に構成するものとする。
【００１０】
【発明の効果】以上実施例とともに具体的に説明したよ
うに本発明によれば，エッチング液中に含まれるイオン
濃度を監視しておき，その濃度が飽和状態となったとき
試料を引き上げる様にしたので，常に適切なエッチング
時間でエッチングを終了させることができ，歩留まりの
向上をはかることができる。また，エッチング速度の変
化率を監視しているので，複数回使用したエッチング液
であっても使用することが出来，エッチングの自動化も
可能となる。
うに本発明によれば，エッチング液中に含まれるイオン
濃度を監視しておき，その濃度が飽和状態となったとき
試料を引き上げる様にしたので，常に適切なエッチング
時間でエッチングを終了させることができ，歩留まりの
向上をはかることができる。また，エッチング速度の変
化率を監視しているので，複数回使用したエッチング液
であっても使用することが出来，エッチングの自動化も
可能となる。
【図１】本発明のウエットエッチング終点検出用装置の
一実施例を示す構成図である。
一実施例を示す構成図である。
【図２】エッチング時間とエッチングされた元素（被エ
ッチング部材）の関係を示す図である。
ッチング部材）の関係を示す図である。
【符号の説明】 １ 容器 ２ エッチング液 ３ バスケット ４ 試料 ６ 駆動手段 ７ 支持棒 ８ 配管 ９ ポンプ １０ 加熱手段 １２ イオン検出手段 １４ コンピュータ
Claims (1)
- 【請求項１】 エッチング液が入れられた容器と，前記
エッチング液に浸漬されたエッチングすべき試料と，前
記エッチング液の一部を導入して加熱分解してイオン化
する加熱手段と，該イオンを取入れて該イオンの量をカ
ウントするイオン検出手段と，該検出手段からの出力に
基づいてエッチングの終点を判断する終点検出手段と，
該終点検出手段からの出力信号に基づいて前記試料を前
記エッチング液から引き上げる駆動手段とを備えたこと
を特徴とするウエットエッチング終点検出用装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05042545A JP3116336B2 (ja) | 1993-03-03 | 1993-03-03 | ウエットエッチング終点検出用装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05042545A JP3116336B2 (ja) | 1993-03-03 | 1993-03-03 | ウエットエッチング終点検出用装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06260479A true JPH06260479A (ja) | 1994-09-16 |
| JP3116336B2 JP3116336B2 (ja) | 2000-12-11 |
Family
ID=12639034
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05042545A Expired - Fee Related JP3116336B2 (ja) | 1993-03-03 | 1993-03-03 | ウエットエッチング終点検出用装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3116336B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006120708A (ja) * | 2004-10-19 | 2006-05-11 | Tokyo Electron Ltd | 処理方法および処理装置 |
| JP2010153887A (ja) * | 2010-02-05 | 2010-07-08 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6018723B1 (ja) * | 2016-07-29 | 2016-11-02 | 株式会社Ｎａａエレテック | Ｘ線検査用手荷物制限カーテン |
-
1993
- 1993-03-03 JP JP05042545A patent/JP3116336B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006120708A (ja) * | 2004-10-19 | 2006-05-11 | Tokyo Electron Ltd | 処理方法および処理装置 |
| JP2010153887A (ja) * | 2010-02-05 | 2010-07-08 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3116336B2 (ja) | 2000-12-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |