JPH06254493A - ランジュバン型超音波振動子 - Google Patents
ランジュバン型超音波振動子Info
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- JPH06254493A JPH06254493A JP6926693A JP6926693A JPH06254493A JP H06254493 A JPH06254493 A JP H06254493A JP 6926693 A JP6926693 A JP 6926693A JP 6926693 A JP6926693 A JP 6926693A JP H06254493 A JPH06254493 A JP H06254493A
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- type ultrasonic
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Abstract
型超音波振動子の提供を目的とする。 【構成】 圧電素子2a,2bの両端部に当接する金属
ブロック3,4の長さ寸法を夫々約半波長に設定して中
心ボルト5で固定すると共に、金属ブロック3,4の当
接面の直径を圧電素子2a,2bの直径と一致させ、そ
の周面に当接面から約1/4波長位置に至る円錐面6を
形成したから、実験で明らかなように、金属ブロック
3,4の外端面fの振動振幅変位分布が平坦化し、かつ
大きな振幅を得ることができ、100kHz以上の共振
周波数で動作する螺子締めランジュバン型超音波振動子
において最適な構成となる。
Description
溶着、金属線の超音波ボンディング、高周波超音波機器
等の強力超音波応用の振動系に用いられるねじ締めラン
ジュバン型超音波振動子に関するものである。
5に示すように圧電素子11,11の直径と等しい一対
の円柱状金属ブロックからなる金属ブロック12,13
で圧電素子11を挟持し、これらを中心ボルト14によ
って一体に結合したものが通常用いられている。
した振動波形からもみられるように、所定の共振周波数
の約半波長と相等しくしている。
の溶接用超音波振動子として、その溶着箇所のみを、よ
り確実に超音波接合するため、共振周波数の高周波化が
計られているが、前述した従来構成の振動子にあって
は、100kHz以上の共振周波数で動作するように設計する
と、全長が略20mm程度と短くなり、従って圧電素子を強
固に締着固定できないだけでなく、電気入力パワーもせ
いぜい10Wまでが限度であり、高出力で耐久性のある振
動子を得ることができなかった。
るためには、分極方向を互いに逆向きに積層してなる二
個の圧電素子の各厚み寸法を約1/4波長に、両端部に
当接する金属ブロックの長さ寸法を夫々約半波長に設定
して中心ボルトで固定して、圧電素子の厚み方向の共振
を利用し、圧電素子に肉厚の厚いものを使用することが
できるようにした構成が提案された。
と、金属ブロックの直径とが同一であると、両者の波動
インピーダンスsρc(表面積×密度×音速)の相違か
ら、金属ブロックと圧電素子面で音波の反射を生じてエ
ネルギー損失が大きくなるという問題があり、そこで、
両者の波動インピーダンスを等しくし、これにより圧電
素子に比して、金属ブロックの直径を径大とした異径構
造のものが提案された。ところで、かかる構成にあって
は、その振動端面の振幅が不均一となるという問題が確
認された。
振動端面が一様に振動振幅するランジュバン型超音波振
動子の提供を目的とするものである。
いに逆向きに積層してなる二個の圧電素子の各厚み寸法
を約1/4波長に、両端部に当接する金属ブロックの長
さ寸法を夫々約半波長に設定して中心ボルトで固定する
と共に、両金属ブロックの外端面の直径を、圧電素子と
波動インピーダンスsρc(表面積×密度×音速)がほ
ぼ等しくなるように設定し、かつ該金属ブロックの当接
面の直径を圧電素子の直径と一致させ、その周面に前記
当接面から約1/4波長位置に至る円錐面を形成し、さ
らに該位置から外端面にかけて円柱面としたものであ
る。
金属ブロックの端面にかけて、その外周形状が連続状と
なり、後述する実験で明らかなように、金属ブロックの
外端面の振動振幅変位分布が平坦化し、一様に振動す
る。
振動子1の一実施例を説明する。
が互いに逆向きとなるように端子板9,9を介して積層
される。この圧電素子2a,2bの両端には、アルミニ
ュームからなる金属ブロック3,4が配設される。かか
る構成にあって、金属ブロック3,4は、後述するよう
に、一方の端面の直径を圧電素子2a,2bと同一と
し、他方の端面を径大として、円錐面6と円柱面7とを
連続させた構成としている。
を電気絶縁的に挿通し、その両端を前記金属ブロック
3,4の中心に形成した螺子孔8,8に螺合する中心ボ
ルト5により連結している。
厚み寸法を約1/4波長に、両端部に当接する金属ブロ
ック3,4の厚み寸法を夫々約半波長に設定している。
の直径は、金属ブロック3,4と圧電素子2a,2b間
でのエネルギー損失を小さくするために、波動インピー
ダンスsρc(表面積×密度×音速)がほぼ等しくなる
ように設定している。そして、前記圧電素子2a,2b
に比して、金属ブロック3,4は密度ρが小さいから、
その外端面fの面積を圧電素子2a,2bよりも径大と
している。
円錐面6と円柱面7により構成されるが、前記円錐面6
はその当接面から約1/4波長位置に至るものである。
すなわち、円錐面6と、円柱面7とは、夫々約1/4波
長の長さを有することとなる。
構成することにより、図1の側傍で示すように、厚み方
向の共振波形がその長さ方向に沿って生ずる。このた
め、高周波領域にあっても、その全長を図5の構成に比
して長くすることができ、圧電素子2a,2bを中心ボ
ルト5により強固に締着固定でき、耐久性のある振動子
を得ることができる。
円錐面6と、円柱面7とを上述のように夫々約1/4波
長の長さとすることにより、金属ブロック3,4の外端
面fで振動振幅変位分布が平坦化し、一様に振動するこ
ととなる。
mm(約半波長)に維持し、円錐面6の長さL(図1参
照)を 0,1.5 ,2.5 ,3.5 ,4.5 ,5.5 (mm)で設
定して試料を作成し、200kHz帯或で、圧電素子2
a,2bに交番電圧を印加し、外端面fの振幅分布をホ
トニックセンサで測定した。図3は、各試料につき金属
ブロック3,4の外端面fの中心からの各部位での振幅
を示すものである。この図から明らかなように、円錐面
6の長さLをほぼ1/4波長である5.5mm とした時に、
外端面fの各部位でほぼ等しい振動振幅を生じ、振動が
平坦化されることが確認された。
ドミタンスの関係を示すものであり、 0mm(円柱体)
の場合に比して、前記円錐面6を形成することにより、
急激にアドミタンスが小さくなり、さらにはほぼ1/4
波長である5.5mm とすることにより、円錐面6を設けな
い場合と同様のアドミタンスとなった。これにより、ほ
ぼ1/4波長では、大きな振幅を得ることができること
が確認された。
面6の長さをほぼ1/4波長とすることにより、振動振
幅がその径方向にわたって均一化し、かつ大きな振幅を
得ることが理解される。
面7間の部位は、振動のノード位置であり振幅が零とな
る。そこで、図2で示すように一方の金属ブロック4の
この部位にフランジ20を設けて、該フランジ20によ
りランジュバン型超音波振動子1を所要部に取付けるこ
とにより、外端面fの振動を阻害することなく、その保
持を可能とすることができる。
に当接する金属ブロック3,4の長さ寸法を夫々約半波
長に設定して中心ボルト5で固定すると共に、金属ブロ
ック3,4の当接面の直径を圧電素子2a,2bの直径
と一致させ、その周面に当接面から約1/4波長位置に
至る円錐面6を形成したから、実験で明らかなように、
金属ブロック3,4の外端面fの振動振幅変位分布が平
坦化し、かつ大きな振幅を得ることができ、100kH
z以上の共振周波数で動作する螺子締めランジュバン型
超音波振動子において最適な構成となる等の優れた効果
がある。
一部切欠側面図である。
動子1の側面図である。
中心からの各部位での振幅を示すグラフである。
グラフである。
0の斜視図である。
Claims (2)
- 【請求項1】 分極方向を互いに逆向きに積層してなる
二個の圧電素子の各厚み寸法を約1/4波長に、両端部
に当接する金属ブロックの長さ寸法を夫々約半波長に設
定して中心ボルトで固定すると共に、両金属ブロックの
外端面の直径を、圧電素子と波動インピーダンスsρc
(表面積×密度×音速)がほぼ等しくなるように設定
し、かつ該金属ブロックの当接面の直径を圧電素子の直
径と一致させ、その周面に前記当接面から約1/4波長
位置に至る円錐面を形成し、さらに該位置から外端面に
かけて円柱面としたことを特徴とするランジュバン型超
音波振動子。 - 【請求項2】 一方の金属ブロックの圧電素子との当接
面から約1/4波長位置を、取付位置としたことを特徴
とする請求項1記載のランジュバン型超音波振動子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP06926693A JP3410759B2 (ja) | 1993-03-03 | 1993-03-03 | ランジュバン型超音波振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP06926693A JP3410759B2 (ja) | 1993-03-03 | 1993-03-03 | ランジュバン型超音波振動子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06254493A true JPH06254493A (ja) | 1994-09-13 |
JP3410759B2 JP3410759B2 (ja) | 2003-05-26 |
Family
ID=13397720
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP06926693A Expired - Fee Related JP3410759B2 (ja) | 1993-03-03 | 1993-03-03 | ランジュバン型超音波振動子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3410759B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007117934A (ja) * | 2005-10-31 | 2007-05-17 | Nec Tokin Corp | ボルト締めランジュバン型振動子 |
CN102601032A (zh) * | 2012-03-28 | 2012-07-25 | 张家港睿能科技有限公司 | 一种超声波振动棒 |
-
1993
- 1993-03-03 JP JP06926693A patent/JP3410759B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007117934A (ja) * | 2005-10-31 | 2007-05-17 | Nec Tokin Corp | ボルト締めランジュバン型振動子 |
CN102601032A (zh) * | 2012-03-28 | 2012-07-25 | 张家港睿能科技有限公司 | 一种超声波振动棒 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3410759B2 (ja) | 2003-05-26 |
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