JPH06249607A - 回転角度センサ - Google Patents

回転角度センサ

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JPH06249607A
JPH06249607A JP6268393A JP6268393A JPH06249607A JP H06249607 A JPH06249607 A JP H06249607A JP 6268393 A JP6268393 A JP 6268393A JP 6268393 A JP6268393 A JP 6268393A JP H06249607 A JPH06249607 A JP H06249607A
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幹生 浜田
Tsutomu Ikeda
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 無接触型の回転角度センサにおいて、磁石部
材に対し適切な関係となるように磁気シールドケースを
設けることにより外部磁界の影響を極力抑え、磁石部材
により強磁性磁気抵抗素子を含む所定の磁界を確保し得
るようにする。 【構成】 磁石部材(20)をシャフト(2)に設け、
強磁性磁気抵抗素子(12)を含む磁界を形成するよう
に配置する。磁石部材(20)及び強磁性磁気抵抗素子
(12)を収容する強磁性体の磁気シールドケース(4
0)を設け、両者の関係を、磁石部材(20)による強
磁性磁気抵抗素子(12)を含む磁界の強さが、磁気シ
ールドケース(40)内に到達する外部磁界の強さ以上
となるように設定する。而して、強磁性磁気抵抗素子
(12)に対するシャフト(2)の回転に伴う磁束変化
によりシャフト(2)の回転角度を検出する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、シャフトの回転角度を
検出する回転角度センサに関し、特に強磁性磁気抵抗素
子を用いた無接触型の回転角度センサに係る。
【0002】
【従来の技術】近時、回転角度あるいは回転位置を検出
するセンサに関し、無接触機構を構成し、あるいはシャ
フトの慣性損失を小さくする等の要請から磁気センサの
利用が注目されている。この磁気センサには磁気抵抗素
子が用いられ、シャフトの先端に装着された永久磁石に
素子の板面が対向するように配置されている。
【0003】上記磁気抵抗素子としては半導体磁気抵抗
素子と強磁性磁気抵抗素子が知られている。前者は半導
体の電気抵抗が磁界中で変化する性質を利用したもので
ある。後者は磁界中の強磁性体に関し磁化方向と電流方
向のなす角度によって抵抗が異方的に変化する性質を利
用したものである。これは異方性磁気抵抗効果と呼ば
れ、磁界の大きさによる負性磁気抵抗効果と区別され
る。即ち、通常の強磁性体にあっては、異方性磁気抵抗
効果により電流と磁化方向が平行になった時に抵抗が最
大となり、直交した時に最小となる。而して、この効果
を利用すべく、例えば特開平2−298815号公報に
記載のように、基板の板面に薄膜の強磁性磁気抵抗素子
を折線状に付着して強磁性磁気抵抗素子を構成し、磁石
部材と強磁性磁気抵抗素子の何れか一方をシャフトに装
着し他方をシャフトに対し所定の位置に固定した回転角
度センサが知られている。
【0004】また、特開昭62−229026号公報に
おいては、磁気円板と磁気センサ部を備えた磁気式回転
検出器に関し、磁気センサ部への外部磁界の影響を遮断
するため、強磁性材のカバーをプリント基板と固定部材
との間に位置し磁気センサ部の外周部を覆うこととして
いる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】前述の強磁性磁気抵抗
素子を用いた回転角度センサに対しても、外部磁界の影
響を抑えるため強磁性体により磁気シールド(磁気遮
蔽)することが必要となる。しかし、小型、軽量化の要
請から例えば磁気シールドケースの板厚を薄くすると磁
気シールド機能が十分でなくなる場合がある。また、磁
石部材近傍に強磁性体の磁気シールドケースが存在する
と、磁石部材からの磁束が強磁性体に吸収されるので、
それだけ強磁性磁気抵抗素子に印加される磁束量が減少
することになり感度が悪くなる。
【0006】そこで、本発明は無接触型の回転角度セン
サにおいて、磁石部材に対し適切な関係となるように磁
気シールドケースを設けることにより外部磁界の影響を
極力抑え、磁石部材により強磁性磁気抵抗素子を含む所
定の磁界を確保し得るようにすることを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明は、強磁性磁気抵抗素子に対するシャフトの
回転に伴う磁束変化により該シャフトの回転角度を検出
する回転角度センサにおいて、少くとも前記シャフトに
設け前記強磁性磁気抵抗素子を含む磁界を形成する磁石
部材と、該磁石部材及び前記強磁性磁気抵抗素子を収容
する強磁性体の磁気シールドケースを備え、該磁気シー
ルドケースと前記磁石部材との関係を、前記磁石部材に
よる前記強磁性磁気抵抗素子を含む磁界の強さが、前記
磁気シールドケース内に到達する外部磁界の強さ以上と
なるように設定したことこととしたものである。
【0008】また、本発明は、強磁性磁気抵抗素子に対
するシャフトの回転に伴う磁束変化により該シャフトの
回転角度を検出する回転角度センサにおいて、非磁性体
で形成したシャフトと、少くとも該シャフトに前記強磁
性磁気抵抗素子に対向するように設け前記強磁性磁気抵
抗素子を含む磁界を形成する磁石部材と、強磁性体によ
って有底容器状に形成すると共に底部に前記シャフトよ
り大径の挿通孔を穿設した磁気シールドケースを備え、
該磁気シールドケースの前記挿通孔に対して所定の間隙
を以て前記磁石部材及び前記シャフトを挿通し、前記磁
石部材及び前記強磁性磁気抵抗素子を前記磁気シールド
ケース内に収容して配設したものとしてもよい。
【0009】
【作用】上記の構成になる回転角度センサにおいては、
磁石部材により強磁性磁気抵抗素子を含む所定の磁界が
形成され、シャフトが回転すると、磁石部材が強磁性磁
気抵抗素子に対して相対的に回転する。この相対的な回
転に応じ、強磁性磁気抵抗素子を含む磁界が変化するの
でその抵抗値が変化し、シャフトの回転に応じた信号が
強磁性磁気抵抗素子から出力される。この場合におい
て、磁石部材及び強磁性磁気抵抗素子は磁気シールドケ
ース内に収容されており、例えば磁気シールドケースの
厚さ及び磁石部材の大きさを所定の関係に設定すること
により、磁石部材による強磁性磁気抵抗素子を含む磁界
の強さが、磁気シールドケース内に到達する外部磁界の
強さ以上とされているので、強磁性磁気抵抗素子を含む
所定の磁界が形成される。
【0010】また、有底容器状の磁気シールドケースの
底部に穿設した挿通孔を介してシャフトを挿通したもの
にあっては、シャフトが非磁性体で形成されると共に、
挿通孔に対し所定の間隙を以て挿通されているので、強
磁性磁気抵抗素子を含む所定の磁界が形成されると共
に、磁気シールドケースによる所定の磁気シールド機能
が確保される。
【0011】
【実施例】以下、本発明の回転角度センサを内燃機関の
スロットルポジションセンサに適用した実施例について
図面を参照して説明する。電子制御燃料噴射装置を搭載
した内燃機関においては、スロットルポジションセンサ
が装着され、その出力信号が燃料噴射制御等に供されて
いる。このスロットルポジションセンサはスロットルバ
ルブシャフトに連結され、通常、スロットルバルブ開度
(以下、スロットル開度という)に応じて変化するスロ
ットル開度信号と、アイドル域か出力域かによりオンオ
フするアイドル信号が出力される。このスロットルポジ
ションセンサとして、無接触型の回転角度センサが用い
られている。
【0012】図1及び図2は本発明の一実施例に係るス
ロットルポジションセンサ1を示すもので、図示しない
スロットルボデーに装着され、シャフト2が図示しない
スロットルシャフトに連動して回動するように支持され
ている。即ち、スロットルポジションセンサ1は隣接す
る二つの凹部3a,3bを有する合成樹脂製のハウジン
グ3を備え、これら凹部3a,3b間の隔壁3cに、軸
受4を介して非磁性体のシャフト2が回動自在に支持さ
れている。尚、軸受4は常磁性体、あるいは耐磨耗性を
有する樹脂によって形成するとよい。
【0013】シャフト2の一端にはハウジング3の一方
の凹部3a内に収容されたレバー5が固着されており、
レバー5は図示しないスロットルシャフトに連結されて
いる。ハウジング3とレバー5との間にはリターンスプ
リング6が介装されており、レバー5が所定の初期位置
方向に付勢されている。従って、図示しないスロットル
バルブの開作動に伴い、スロットルシャフトに連動する
レバー5がリターンスプリング6の付勢力に抗して駆動
され、シャフト2が回動するように構成されている。シ
ャフト2の他端には磁石部材たるロータマグネット20
が装着され、ハウジング3の他方の凹部3b内に収容さ
れている。
【0014】即ち、シャフト2の他端の端面の中心に略
正方形の凹部2aが形成されており、この凹部2aにロ
ータマグネット20が収容され、これを囲繞するように
蓋体21が装着されている。本実施例のロータマグネッ
ト20としては略直方体の、安価で良好な磁気特性が得
られるフェライト磁石が用いられているが、これに限る
ものではなく、また平面形状は正方形に限らず、円形等
どのような形状であってもよい。蓋体21はどのような
材質でもよいが、本実施例ではアルミニウム製とされて
いる。而して、ロータマグネット20はシャフト2の軸
心に適切に取付けられ、ロータマグネット20回りに磁
界が形成される。
【0015】ハウジング3の凹部3b内には磁気シール
ドケース40が配設されており、この中に磁気センサ1
0がロータマグネット20に対向するように配設されて
いる。本実施例の磁気センサ10は、矩形の素子基板1
1を有し、その板面に帯状のNi−Co合金等の薄膜強
磁性合金から成る強磁性磁気抵抗素子12(以下、単に
磁気抵抗素子12という)が付着されている。磁気抵抗
素子12は高抵抗化を図るため帯状の薄膜強磁性合金が
折曲され、図3に示すようなパターン形状に形成されて
いる。即ち、磁気抵抗素子12のパターンは長手方向が
水平な素子を中心とするブロックと長手方向が垂直な素
子を中心とするブロックとが交互に接続され、四つのブ
ロックが構成されている。そして、各ブロック間の接続
点には端子12a乃至12dが形成されている。端子1
2a,12bは所謂電流端子で、端子12aは電源Vc
に接続され、端子12bは接地されている。端子12
c,12dは所謂電圧端子であり、これらから検出信号
が出力される。尚、素子基板11の形状は矩形に限ら
ず、どのような形状であってもよい。
【0016】磁気センサ10はハイブリッドIC基板3
0(以下、単にIC基板30という)に実装され、その
端部には複数のターミナル7が接続されている。ターミ
ナル7はハウジング3内に埋設されており、側方に延出
してハウジング3と一体にコネクタ8が形成されてい
る。IC基板30は、ハウジング3の凹部3b内に配設
された磁気シールドケース40内に収容され、凹部3b
はゴム製のシール部材19を介して強磁性体のカバー9
により密閉されている。尚、IC基板30には磁気セン
サ10の出力信号を処理する検出回路素子等が実装され
ているが、周知であるので説明は省略する。
【0017】磁気センサ10はIC基板30の一方の面
に付着されており、その素子基板11に例えばフェライ
ト磁石のバイアスマグネット13が接着等によって固着
される。この後、IC基板30全体を合成樹脂によりモ
ールドすることとしてもよい。而して、バイアスマグネ
ット13は磁気抵抗素子12に対して所定位置に固定さ
れ、磁気抵抗素子12にはロータマグネット20とバイ
アスマグネット13の両磁石部材の合成磁界が印加され
る。尚、バイアスマグネット13は省略することとして
もよい。
【0018】磁気シールドケース40は、図4に拡大し
て示すように、強磁性体(例えば電磁軟鉄)によって有
底容器状に形成され、シャフト2が所定の間隙を以て挿
通し得るように、底部にシャフト2より大径の挿通孔4
1が穿設されている。例えば、シャフト2の直径が6m
mで挿通孔41の直径が13mmに設定される。磁気シ
ールドケース40の板厚と、磁石部材たるロータマグネ
ット20及びバイアスマグネット13によって形成され
る磁界の強さとの関係は、外部磁界の強さに応じて例え
ば図5及び図6に示すように設定される。即ち、図5に
おいて例えば板厚a(横軸)とした場合の、磁気シール
ドケース40内に漏洩し始める外部磁界の強さ(縦軸)
はAとなる。そして、例えば磁気シールドケース40の
板厚がaであって外部磁界の強さがA以上となる場合に
は、外部磁界の強さに応じて、図6に示すようにロータ
マグネット20及びバイアスマグネット13の磁界の強
さMと、外部磁界が磁気シールドケース40内に漏洩し
た磁束によって形成される磁界の強さLとの比(M/
L)が1以上に設定される。即ち、前者の磁界の強さM
が後者の磁界の強さL以上となるように設定される。同
様に、板厚bで外部磁界の強さがB以上である場合に
も、図6に示すように外部磁界に応じてM/Lが1以上
の値となるように設定される。
【0019】上記の構成になる本実施例のスロットルポ
ジションセンサ1において、図示しないスロットルバル
ブに連動して図1に示すレバー5が駆動されシャフト2
が軸受4内で回動する。このシャフト2の回動に伴いロ
ータマグネット20による磁界も回転し、磁気抵抗素子
12に対してこれを含む平行磁束の磁界の方向が変化す
る。即ち、ロータマグネット20の磁界とバイアスマグ
ネット13のバイアス磁界との合成磁界の方向が変化す
る。而して、異方性磁気抵抗効果により磁気抵抗素子1
2の抵抗値R1乃至R4が変化し、磁気センサ10から
シャフト2の回転に応じた信号が出力され、シャフト2
の回転角に対する磁気センサ10の出力特性は広範囲の
リニアリティを有する特性となる。
【0020】以上のように、本実施例においては、ロー
タマグネット20及びバイアスマグネット13による磁
気抵抗素子12を含む平行磁界は、磁気シールドケース
40によって外部磁界から遮蔽されており、前者の磁界
の強さがこれに到達する外部磁界の強さ以上となるよう
に設定されているので、磁気抵抗素子12に対する所定
の磁界が確保される。
【0021】また、前述のようにシャフト2は非磁性体
で形成されると共に、磁気シールドケース40の底部に
穿設された大径の挿通孔41を挿通し、所定の間隙を以
て配設されている。このため、ロータマグネット20か
らシャフト2を介して磁気シールドケース40側に漏洩
する磁束量が抑えられる。即ち、図4にLFで示す磁束
が減ぜられ、MFで示す磁束が確保される。従って、磁
気シールドケース40に吸収される外部磁界の磁束の許
容量が減少することはなく、磁気シールドケース40の
外部磁界に対する所定の磁気シールド機能が確保され
る。尚、シャフト2の径を一定としたときの挿通孔41
の孔径と磁気センサ10の検出感度との関係は図7に示
すとおりであり、挿通孔41が大径となりシャフト2と
の間隙が大となると磁気センサ10の感度が良好とな
る。
【0022】
【発明の効果】本発明は上述のように構成されているの
で以下に記載の効果を奏する。即ち、本発明の回転角度
センサにおいては、強磁性磁気抵抗素子を含む磁界を形
成する磁石部材がシャフトに設けられ、磁石部材及び強
磁性磁気抵抗素子は磁気シールドケース内に収容される
と共に、磁石部材による強磁性磁気抵抗素子を含む磁界
の強さが、磁気シールドケース内に到達する外部磁界の
強さ以上となるように設定されているので、強磁性磁気
抵抗素子を含む所定の磁界を確保しつつ、小型、軽量に
構成することができる。
【0023】更に、有底容器状の磁気シールドケースの
底部に穿設した挿通孔を介して非磁性体のシャフトを挿
通したものにあっては、適切な磁気シールド機能により
外部磁界の影響を抑え、良好な感度を確保することがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の回転角度センサの一実施例に係るスロ
ットルポジションセンサの縦断面図である。
【図2】本発明の回転角度センサの一実施例に係るスロ
ットルポジションセンサのカバーを外した状態を示す平
面図である。
【図3】本発明の一実施例に係るスロットルポジション
センサに用いられる磁気センサの平面図である。
【図4】本発明の回転角度センサの一実施例における磁
気シールドケース部分の拡大断面図である。
【図5】本発明の一実施例における磁気シールドケース
の板厚と磁気シールドケース内へ漏洩し始める外部磁界
の強さとの関係を示すグラフである。
【図6】本発明の一実施例において所定の磁気シールド
ケースの板厚に対する磁石部材による磁界の強さと外部
磁界が磁気シールドケース内に漏洩した磁界の強さとの
比(M/L)と、外部磁界の強さとの関係を示すグラフ
である。
【図7】本発明の一実施例においてシャフトの径を一定
としたときの挿通孔の孔径と検出感度との関係を示すグ
ラフである。
【符号の説明】
1 スロットルポジションセンサ(回転角度センサ) 2 シャフト 10 磁気センサ 11 素子基板 12 強磁性磁気抵抗素子 13 バイアスマグネット 20 ロータマグネット(磁石部材) 30 ハイブリットIC基板 40 磁気シールドケース

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 強磁性磁気抵抗素子に対するシャフトの
    回転に伴う磁束変化により該シャフトの回転角度を検出
    する回転角度センサにおいて、少くとも前記シャフトに
    設け前記強磁性磁気抵抗素子を含む磁界を形成する磁石
    部材と、該磁石部材及び前記強磁性磁気抵抗素子を収容
    する磁気シールドケースを備え、該磁気シールドケース
    と前記磁石部材との関係を、前記磁石部材による前記強
    磁性磁気抵抗素子を含む磁界の強さが、前記磁気シール
    ドケース内に到達する外部磁界の強さ以上となるように
    設定したことを特徴とする回転角度センサ。
  2. 【請求項2】 強磁性磁気抵抗素子に対するシャフトの
    回転に伴う磁束変化により該シャフトの回転角度を検出
    する回転角度センサにおいて、非磁性体で形成したシャ
    フトと、少くとも該シャフトに前記強磁性磁気抵抗素子
    に対向するように設け、前記強磁性磁気抵抗素子を含む
    磁界を形成する磁石部材と、強磁性体によって有底容器
    状に形成すると共に底部に前記シャフトより大径の挿通
    孔を穿設した磁気シールドケースを備え、該磁気シール
    ドケースの前記挿通孔に対して所定の間隙を以て前記磁
    石部材及び前記シャフトを挿通し、前記磁石部材及び前
    記強磁性磁気抵抗素子を前記磁気シールドケース内に収
    容して配設したことを特徴とする回転角度センサ。
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Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009229395A (ja) * 2008-03-25 2009-10-08 Ntn Corp 回転センサユニット
JP2010139351A (ja) * 2008-12-11 2010-06-24 Tokyo Cosmos Electric Co Ltd 回転角度センサ
JP2010271298A (ja) * 2009-04-23 2010-12-02 Panasonic Corp 角度センサ及びこれを用いた回転角度検出装置
JP2011043345A (ja) * 2009-08-19 2011-03-03 Nidec Sankyo Corp 磁気式回転検出装置
JP2011508894A (ja) * 2008-01-07 2011-03-17 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング センサ装置
KR101370122B1 (ko) * 2012-09-26 2014-03-04 주식회사기원전자 노이즈를 최소화한 포텐쇼미터
KR101537903B1 (ko) * 2013-05-16 2015-07-17 아즈빌주식회사 회전 각도 검출기
JP2018503841A (ja) * 2015-01-28 2018-02-08 フラバ ベスローテン ヴェンノーツハップFraba B.V. 磁石式角変位計測システム
WO2019202643A1 (ja) * 2018-04-16 2019-10-24 三菱電機株式会社 エンコーダ及びモータ
KR102226672B1 (ko) * 2019-09-18 2021-03-11 주식회사 유라테크 위치센서
WO2022149689A1 (ko) * 2021-01-07 2022-07-14 주식회사 유라테크 모터의 위치센서

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101188414B1 (ko) 2011-03-09 2012-10-08 주식회사 케피코 비접촉식 각도 센서
JP2023109265A (ja) 2022-01-27 2023-08-08 三菱電機株式会社 回転角度検出装置及びそれを用いた回転電機

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011508894A (ja) * 2008-01-07 2011-03-17 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング センサ装置
JP2009229395A (ja) * 2008-03-25 2009-10-08 Ntn Corp 回転センサユニット
JP2010139351A (ja) * 2008-12-11 2010-06-24 Tokyo Cosmos Electric Co Ltd 回転角度センサ
JP2010271298A (ja) * 2009-04-23 2010-12-02 Panasonic Corp 角度センサ及びこれを用いた回転角度検出装置
JP2011043345A (ja) * 2009-08-19 2011-03-03 Nidec Sankyo Corp 磁気式回転検出装置
KR101370122B1 (ko) * 2012-09-26 2014-03-04 주식회사기원전자 노이즈를 최소화한 포텐쇼미터
KR101537903B1 (ko) * 2013-05-16 2015-07-17 아즈빌주식회사 회전 각도 검출기
JP2018503841A (ja) * 2015-01-28 2018-02-08 フラバ ベスローテン ヴェンノーツハップFraba B.V. 磁石式角変位計測システム
US10605624B2 (en) 2015-01-28 2020-03-31 Fraba B.V. Magnet-based angular displacement measuring system
WO2019202643A1 (ja) * 2018-04-16 2019-10-24 三菱電機株式会社 エンコーダ及びモータ
KR102226672B1 (ko) * 2019-09-18 2021-03-11 주식회사 유라테크 위치센서
WO2022149689A1 (ko) * 2021-01-07 2022-07-14 주식회사 유라테크 모터의 위치센서

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