JPH0623405B2 - 球状銅微粉の製造方法 - Google Patents

球状銅微粉の製造方法

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JPH0623405B2 JP60203514A JP20351485A JPH0623405B2 JP H0623405 B2 JPH0623405 B2 JP H0623405B2 JP 60203514 A JP60203514 A JP 60203514A JP 20351485 A JP20351485 A JP 20351485A JP H0623405 B2 JPH0623405 B2 JP H0623405B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、平均粒径が0.1μmから数μmの範囲にあ
る球状の銅微粉の製造方法に関するもので、これらの粉
末は導電性ペーストの主成分たる導電性粉末として利用
される。
〔従来の技術〕
粒度分布が狭く、平均粒径が0.1〜数μmの範囲にあ
り、球状をなす銅微粉は、ペースト性状が良好でかつ電
子回路に用いた時の導体形成が微細にでき、また球状を
なす銅微粉は高密度の焼成膜の成形が可能であり電気抵
抗を小さくすることができることからこのような銅微粉
が要請されている[電子材料、vol.22、No.5,p4
5〜(1983)参照]。
このような銅微粉の製造方法は種々あるが、工業的にも
実施されている方法として、液相還元析出法があげられ
る。このような方法は、銅イオンを含む液相中に還元剤
を加え、撹拌することにより、直接液相中に金属粉を析
出させるもので、例えば、ホルマリン(特公昭55−7
6003)、ヒドラジン(特公昭57−15530
2)、水素化ホウ素ナトリウムまたはジメチルアミンボ
ラン(特公昭58−224103)等の還元剤を用いる
場合や、水素ガスで加圧状態で還元する方法(特公昭4
3−22395,特公昭44−26727)などがあ
り、いずれも数百mμmから数μmまでの球状ないし粒
状粉末が得られている。
これらの方法によって製造された銅微粉は粒度分布もか
なり狭く、ペースト化に好適な粉末が得られる場合が多
いが、問題点は粒度及び形状制御性が良い方法程還元剤
が高価であり、また反応器が回分式であるため、製造価
格が高いという点である。
また酸化物を固体状態で還元する方法もあるが、一般に
粒径は大きく、酸化物の形状に影響を受けるので上記の
ような特性をもつ粉末の製造は困難である。
最近では、ガス中蒸発法や水素アークプラズマを用いた
溶融金属反応法による超微粉製造法があるが、これらは
最大0.1μm程度の超微粉に関するものであり、粉末
が微細過ぎるとペースト化しにくいという欠点がある。
また金属ハロゲン化物を還元する方法(気相化学反応
法)で微粉を製造する方法(特公昭59−7765)も
あるが、これによると0.1μm以上の微粉域では粒状
(多くは立方体状)となってしまう。ただ気相化学反応
法は反応器が連続式であるという利点を有している。
〔発明が解決しようとする問題点〕
本発明は上記のような良好な特性を有する銅粉を製造す
る方法において、量産に適している化学気相反応法を用
い、連続式反応器を用いる方法をさらに改善することを
目的とし、超微粉域(0.1μm未満)においても、微
粉域(0.1μm以上)においても球状の粉末を得られ
る方法を提供し、問題点を解決しようとするものであ
る。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明は塩化第1銅を蒸発させ、これをそれ自身の蒸気
圧によるかまたは不活性ガスをキャリアとして反応部に
送り、反応部において塩化第1銅と還元性ガス(水素)
を接触・混合させる。この反応部は通常、管型反応器内
中央部にノズルを設け、ノズルの出口で両ガスが接触
し、以降、混合反応して粉末を析出しながら出口に向う
ようになっている。その際に両ガスが混合する空間を9
00℃以上1083℃未満の温度に保持しておき、次い
でその後流側に強制冷却部を設けておく。
〔作用〕
気相化学反応法においては粒子の成長は次のように考え
られている。(粉体工学会誌Vol.21,759p〜
767p(1984)) 金属ハロゲン化物蒸気と還元ガスとが接触した瞬間に金
属原子またはクラスターのモノマーが生成し、モノマー
の衝突凝集により、超微粒子が生成される。さらに粒子
成長が起こるのは超微粒子同志の衝突凝集・合体であ
る。超微粒子は球状であるが、よく観察すると稜や角の
ない多面体であることも多い。とくに粒子が微粉域にな
ってくると表面エネルギーの割合も減少し晶癖が現われ
てくることが多く、気相化学反応法では0.1ミクロン
以上になると立方体状になると報告されていたが、本発
明では製造しようとする物質に対応した反応温度を選ぶ
ことにより、球状の微粉を得ることに成功したものであ
る。
塩化第1銅の水素による還元反応は、塩化第1銅の融点
である425℃においても可能であり、従来500〜7
00℃程度の温度で還元されていたが、ここで900℃
以上と限定したのは、反応を気相で行わせ、粒子の成長
を溶融状態ないしそれに近い状態で行わせるための条件
として実験的に定めたものである。900℃未満での反
応温度において得られる粉末は0.1ミクロン以下の超
微粉であり、しかも反応率が低いため塩化銅をかなりの
量含有していることからも900℃以上とすることに意
味がある。
塩化第1銅の水素還元反応は発熱反応なので反応器外壁
の温度は銅の融点(1083℃)より低くても、ガスの
温度は反応により上昇し融点以上の温度となる可能性が
ある。
融点ないしそれに近い温度で反応を進行させると、粒子
の凝集による成長も球状で進行するので、冷却時も球形
を保っていることになる。
一方、反応温度の上限を1083℃(銅の融点)とした
のは、その温度以上で反応させると十分に成長した粒子
も液滴であるため、大きい粒子同志の合体がおこったと
きは平均粒径に対しては巨大といえる粒子まで生成して
しまい、粒度分布が広がってしまうことを避けるためで
ある。また、反応の平衡は高温ほど銅への転換に不利で
あり、反応率も低下しはじめる温度でもある。
また粒径を成長させるためには塩化銅の蒸発温度を十分
高くして、塩化銅の蒸気濃度を高めなければならない。
反応により生成した超微粒子はブラウン運動により衝突
して合体しながら成長し、その過程において、微粉域に
近づいても成長を持続させ、次いで強制的に冷却するこ
とにより球状のままの銅微粉となる。なお、平均粒径の
制御は主として塩化第1銅の蒸発温度により行い、0.
1μm以上とするには、キャリアガス流量にも依存する
が、800℃以上の蒸発温度が必要である。
〔実施例〕
実施例1 第1図に示されるような反応器1を用い蒸発部2の石英
ボート3には約5gの塩化第1銅を入れ、900℃で蒸
発させ、4/分のアルゴンガスをキャリアガス4とし
て1000℃の反応部5に送り込み、中央ノズル6から
水素ガス7を2/分で送った。発生した銅微粉9は水
冷部8を通過した後、円筒濾紙で回収し、1.35gの
銅微粉を得た。銅微粉の比表面積は4.8m2/gで、電
子顕微鏡観察によれば、平均粒径が0.1μmの球状微
粉であった。
実施例2 上記実施例1で蒸発温度・反応温度をともに1000
℃、キャリアガス4の流量1/分、水素ガス7の流量
0.5/分で実施したところ、得られた銅微粉は比表
面積3.0m2/g、電子顕微鏡観察から求めた平均粒径
は0.2μmであった。これを第2図、第3図にそれぞ
れ走査型顕微鏡写真、透過型電子顕微鏡写真で示す。銅
粉末は球形をしており粒度分布も狭いことがわかる。こ
の粉末はペースト用粉末に極めて好適である。
比較例1 蒸発温度、反応温度ともに1000℃、アルゴン流量2
/min 、水素流量1/min の条件で第1図における
水冷部8のない反応器を用い、銅粉末を試作した。平均
粒径は0.3μmであり、粉末の透過電子顕微鏡写真は
第4図のようで晶癖を示す粒状粒子であった。
比較例2 上記実施例と同装置において他の条件は同一とし反応温
度のみを800℃として同微粉を製造し、比表面積13
m2/gという超微粉(0.1μm以下)を得た。この粉
末はX線回析によれば、かなりの塩化銅を含んでいた。
比較例3 上記、実施例と同装置において反応温度を1100℃と
したところ、平均粒径0.3μmの微粉が得られたが、
1μm以上の大きさの粒子が数パーセント混入してお
り、粒度分布が広がった。また、反応率も低下した。
〔発明の効果〕
本発明は、導電性ペーストとして極めて好適な銅微粉を
安価に製造することができる効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施に好適に用いることのできる反応
器の縦断面図、第2図、第3図は本発明方法により製造
した銅微粒子の粒子の形状を示す顕微鏡写真、第4図は
比較例により製造した銅粉粒子の形状を示す30,00
0倍の顕微鏡写真である。 1……反応器、2……蒸発部 3……石英ボート、4……キャリアガス 5……反応部、6……ノズル 7……水素ガス、8……水冷部 9……銅微粉

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】塩化第1銅蒸気またはこれに不活性ガスを
    混合したガスと還元性ガスとの気相反応により金属銅粉
    を生成させる方法において、反応温度を900℃以上1
    083℃未満とし、反応部の後流側に強制冷却部を設け
    ることにより、球状の銅微粉を製造することを特徴とす
    る球状銅微粉の製造法。
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