JPH0623331A - 蒸気発生装置 - Google Patents

蒸気発生装置

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JPH0623331A
JPH0623331A JP20593092A JP20593092A JPH0623331A JP H0623331 A JPH0623331 A JP H0623331A JP 20593092 A JP20593092 A JP 20593092A JP 20593092 A JP20593092 A JP 20593092A JP H0623331 A JPH0623331 A JP H0623331A
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JP
Japan
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steam
liquid
tank
cleaning
cleaning liquid
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Application number
JP20593092A
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English (en)
Inventor
Masahide Uchino
正英 内野
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Japan Field Co Ltd
Original Assignee
Japan Field Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 比重の軽い液洗浄液と比重の重い蒸気洗浄液
を同時に混在して蒸気の発生を行うものに於いて、蒸気
発生槽の蒸気洗浄液をオーバーフロー槽にオーバーフロ
ーしながら循環することにより、蒸気洗浄液を比重の軽
い液洗浄液によって液面を被覆せず、良好な蒸気発生を
可能とする。 【構成】 加熱手段2を備えた蒸気発生槽3に、分割壁
5を介してオーバーフロー槽6を隣接する。このオーバ
ーフロー槽6と蒸気発生槽3とを、循環ポンプ8を介し
て接続管7により接続する。この接続管7を、オーバー
フロー槽6と蒸気発生槽3に於いて、液洗浄液の位置し
ない下底方向に接続する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、電子部品、機械部品、
プリント基板等の被洗浄物の、仕上げ用の蒸気洗浄を行
う蒸気を発生させるための、蒸気発生装置に係るもので
ある。
【0002】
【従来の技術】従来、液洗浄液を用いて浸漬洗浄、シャ
ワー洗浄等の洗浄作業を被洗浄物に施し、殆どの汚れを
被洗浄物から除去した後、この被洗浄物を蒸気洗浄する
ことにより、仕上げ洗浄を行う方法が知られている。
【0003】この蒸気洗浄を行う蒸気洗浄液は、従来、
フッ素系溶剤や塩素系溶剤を用いて行われていた。しか
し、これらの溶剤が、オゾン層を破壊することが判明
し、使用が全廃されるものとなっている。そこで、これ
らのフッ素系溶剤や塩素系溶剤に変わる蒸気洗浄方法と
して、完全フッ素化液体やHFC等を使用して行う方法
が開発されている。
【0004】また、被洗浄物の液洗浄液も、フッ素系溶
剤や塩素系溶剤を用いることができないため、水、炭化
水素系溶剤、シリコン系溶剤、テルペン系溶剤、親水性
溶剤等を一般的に用いている。
【0005】そして、完全フッ素化液体やHFC等を使
用して、被洗浄物の蒸気洗浄を行う場合、上記のごとき
液洗浄液の付着した被洗浄物を蒸気で洗浄すると、被洗
浄物に付着している液洗浄液と完全フッ素化液体やHF
Cの蒸気が凝縮した凝縮液とが混合する。そして、この
混合した混合溶剤を、蒸気発生槽、即ち、完全フッ素化
液やHFC等の蒸気洗浄液中に、そのまま混入する方法
が行われている。
【0006】また、他の方法では、液洗浄液と凝縮した
蒸気洗浄液の混合溶剤とを、蒸気発生槽へ直接導入する
事なく、一度、液分離槽に導入し、この液分離槽で混合
溶剤を冷却して、液洗浄液と蒸気洗浄液とに分離し、蒸
気発生槽へは蒸気洗浄液のみを戻す方法が行われてい
る。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上述のごとく、蒸気洗
浄を行う前に、被洗浄物の液洗浄を行う液洗浄液として
は、水、炭化水素系溶剤、シリコン系溶剤、テルペン系
溶剤、親水性溶剤等が一般的に用いられている。そし
て、これらの液洗浄液が、凝縮した完全フッ素化液体や
HFCと混在した場合、完全フッ素化液やHFC等の蒸
気洗浄液は、比重が上記の液洗浄液よりも大きく、ま
た、蒸気洗浄液と液洗浄液とは溶解することがないか
ら、分離してしまうものとなる。
【0008】その結果、蒸気洗浄液と液洗浄液との混合
溶剤を、蒸気発生槽にそのまま導入すると、完全フッ素
化液体やHFC等の蒸気洗浄液の液面を、上記の液洗浄
液が被覆してしまうものとなる。そのため、蒸気洗浄液
を加熱しても、液面を液洗浄液によって被覆された蒸気
洗浄液は、蒸気の発生が阻害され、被洗浄物の蒸気洗浄
に必要な蒸気を、蒸気洗浄部に充分供給できない欠点を
生じている。
【0009】また、蒸気洗浄液と液洗浄液との混合溶剤
を、一度、液分離槽に導入し、この液分離槽で液洗浄液
と蒸気洗浄液とに分離し、蒸気発生槽へ蒸気洗浄液のみ
を戻す方法にあっては、混合溶剤を冷却して、2液の分
離を行っている。そのため、液分離槽に導入される高温
の混合溶剤を冷却するために、多くのエネルギーを必要
とするし、この冷却には長い時間を必要とする。また、
この冷却した蒸気洗浄液を蒸気発生槽に戻すと、蒸気洗
浄液の温度を低下させるため、蒸気発生のために更に大
きなエネルギーを必要とするものとなる。このように従
来方法によると、工程が複雑になったり、コストが高価
なものとなる欠点を有している。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明は上述のごとき課
題を解決するため、液洗浄液の付着した被洗浄物を、液
洗浄液よりも比重が重く溶解しにくい蒸気洗浄液の蒸気
で蒸気洗浄し、被洗浄物に接触して凝縮した蒸気洗浄液
と液洗浄液とを、蒸気洗浄液に同時に導入するようにし
たものに於いて、加熱手段を備えた蒸気発生槽に、分割
壁を介してオーバーフロー槽を隣接し、このオーバーフ
ロー槽と蒸気発生槽とを、循環ポンプを介して接続管に
より接続し、この接続管をオーバーフロー槽と蒸気発生
槽に於いて、液洗浄液の位置しない下底方向に接続して
成るものである。
【0011】また、蒸気洗浄は、蒸気発生槽の上部に設
けた蒸気洗浄部で行い、被洗浄物に接触し凝縮した蒸気
洗浄液を、被洗浄物に付着した液洗浄液とともに、蒸気
発生槽に落下させるものであっても良い。
【0012】また、蒸気洗浄は、蒸気発生槽とは別個に
設け、蒸気管を介して連通した蒸気洗浄槽で行い、被洗
浄物に接触し凝縮した蒸気洗浄液を、被洗浄物に付着し
た液洗浄液とともに、導出管を介して蒸気発生槽に導出
するものであっても良い。
【0013】
【作用】本発明は上述のごとく構成したものであるか
ら、液洗浄液の付着した被洗浄物を、液洗浄液よりも比
重が重く溶解しにくい、蒸気洗浄液で蒸気洗浄し、凝縮
した蒸気洗浄液と液洗浄液とを、蒸気洗浄液に同時に導
入するようにしたものに於いて、蒸気洗浄液の上面を液
洗浄液で被覆することがなく、蒸気洗浄用の蒸気の発生
を阻害しないように出来るものである。
【0014】まず、加熱手段を備えた蒸気発生槽から洗
浄蒸気を発生させ、被洗浄物の蒸気洗浄を行うと、洗浄
蒸気は被洗浄物に接触して凝縮し、下方に落下して蒸気
発生槽に投入される。この蒸気発生槽に導入されてくる
凝縮した蒸気洗浄液と、被洗浄物に付着していた液洗浄
液とは、混合状態で蒸気発生槽に導入され、液洗浄液は
蒸気発生槽内に於いて、蒸気洗浄液の上部に比重の差で
浮上する。
【0015】この時、オーバーフロー槽と蒸気発生槽と
を、接続管を介して接続している循環ポンプを作動する
ことにより、オーバーフロー槽に導入されている蒸気洗
浄液が蒸気発生槽に流入する。すると、蒸気発生槽内の
蒸気洗浄液が増量されるため、液面に位置する溶剤がオ
ーバーフロー槽にオーバーフローされる。
【0016】このオーバーフロー槽にオーバーフローさ
れる溶剤は、蒸気洗浄液に比較し比重の軽い液洗浄液
と、比重の重い蒸気洗浄液となる。そして、オーバーフ
ロー槽にオーバーフローした混合溶剤は、オーバーフロ
ー槽内においても、比重の差により、下底方向には蒸気
洗浄液が、液面方向には液洗浄液が位置するものとな
る。
【0017】そして、このオーバーフロー槽内の下底方
向に接続する接続管から、循環ポンプを介して、蒸気発
生槽に混合溶剤を還流すれば、被洗浄物から分離導入さ
れ、蒸気洗浄液の液面に位置する液洗浄液が、オーバー
フローされてオーバーフロー槽に流入する。
【0018】このように、循環ポンプを介して、オーバ
ーフロー槽と蒸気発生槽との間を、常に溶剤を循環する
ことにより、比重の軽い液洗浄液は、蒸気洗浄液の液面
からオーバーフロー槽にオーバーフローされる。そのた
め、蒸気発生槽内の蒸気洗浄液は、比重の軽い液洗浄液
によって液面を被覆されることが殆ど無く、良好な蒸気
発生を可能とすることが出来るものである。
【0019】
【実施例】以下本発明の一実施例を第1図に於いて説明
すれば、(1)は洗浄槽本体で、ヒーター、スチームパイ
プ等の加熱手段(2)を備えた蒸気発生槽(3)に、完全フ
ッ素化液体またはHFCのから成る蒸気洗浄液(4)を充
填している。また、洗浄槽本体(1)は、蒸気発生槽(3)
と分割壁(5)を介して、オーバーフロー槽(6)を隣接し
ている。
【0020】そして、このオーバーフロー槽(6)の下底
方向に、接続管(7)の一端を接続し、この接続管(7)の
他端を、蒸気発生槽(3)の下底方向に接続している。こ
の場合、オーバーフロー槽(6)に接続する接続管(7)
は、オーバーフロー槽(6)の最下低方向に接続するのが
好ましく、蒸気発生槽(3)に接続する接続管(7)は、蒸
気発生槽(3)の深さの中間部よりも、下部方向に接続す
れば良い。また、この接続管(7)には、循環ポンプ(8)
を中間に設置し、オーバーフロー槽(6)の混合溶剤と、
蒸気発生槽(3)の溶剤とを、常に循環させる事ができる
ようになっている。
【0021】また、蒸気発生槽(3)の上部の洗浄槽本体
(1)には、蒸気洗浄部(10)を形成し、蒸気発生槽(3)
の上部に於いて、被洗浄物(11)の蒸気洗浄を行うこと
が出来るようになっている。
【0022】また、この蒸気洗浄部(10)の上方には、
洗浄槽本体(1)の内周面に冷却パイプ(12)を巻き回し
て、冷却水を流通させることにより、蒸気の凝縮部(1
3)を形成している。また、洗浄槽本体(1)の上部は、
蓋体(14)により密閉している。
【0023】上述のごとく構成したものに於いて、被洗
浄物の洗浄を行うには、まず、水、炭化水素系溶剤、シ
リコン系溶剤、テルペン系溶剤、親水性溶剤等の液洗浄
液にて、浸漬洗浄、シャワー洗浄等の液洗浄を行う。そ
して、この液洗浄液を表面に付着した被洗浄物(11)の
蒸気洗浄を行うには、次の方法が用いられる。
【0024】まず、蒸気発生槽(3)内の完全フッ素化液
体、HFC等の蒸気洗浄液(4)を、加熱手段(2)により
加熱し、洗浄蒸気(15)を発生させる。そして、この洗
浄蒸気(15)を被洗浄物(11)に接触させて凝縮するこ
とにより、被洗浄物(11)の蒸気洗浄を行う。
【0025】この被洗浄物(11)と接触し、凝縮した凝
縮液は、被洗浄物(11)に付着している液洗浄液ととも
に蒸気発生槽(3)に落下する。液洗浄液は、水、炭化水
素系溶剤、シリコン系溶剤、テルペン系溶剤、親水性溶
剤等が一般的に用いられ、これらの液洗浄液は、蒸気洗
浄液(4)である完全フッ素化液体、HFCよりも比重が
軽い。そのため、蒸気発生槽(3)に落下した液洗浄液
は、蒸気洗浄液(4)の上面を被覆するものとなる。
【0026】しかし、オーバーフロー槽(6)から蒸気発
生槽(3)へは、循環ポンプ(8)により、混合溶剤(大部
分は蒸気洗浄液(4))を常時循環しているから、蒸気発
生槽(3)の液量は常に増加し、液面部分をオーバーフロ
ー槽(6)にオーバーフローさせるものとなる。そのた
め、比重の軽い液洗浄液は、常時オーバーフロー槽(6)
方向にオーバーフローされ、蒸気発生槽(3)内の蒸気洗
浄液(4)は、液洗浄液によって液面を被覆されることが
なく、常に良好な状態での蒸気の発生を可能とする。
【0027】また、上記の実施例においては、蒸気洗浄
部(10)を蒸気発生槽(3)の上部に設け、この蒸気発生
槽(3)の上部で被洗浄物(11)の蒸気洗浄を行った。し
かし、他の異なる実施例においては、図2に示すごと
く、蒸気洗浄を、蒸気発生槽(3)とは別個に設けた蒸気
洗浄槽(16)において行う。
【0028】この場合、蒸気発生槽(3)の上部の蒸気発
生部(17)と、蒸気発生槽(3)の蒸気洗浄部(10)と
は、蒸気管(18)を介して連通し、蒸気発生槽(3)で発
生した洗浄蒸気(15)を蒸気洗浄槽(16)に導入する。
そして、この蒸気洗浄槽(16)内の蒸気洗浄部(10)
で、被洗浄物(11)と接触し、凝縮した蒸気洗浄液(4)
は、被洗浄物(11)に付着している液洗浄液と共に、導
出管(19)を介して蒸気発生槽(3)に導出され、ここに
於いて、先の実施例と同様にオーバーフローを繰り返し
ながら蒸気の発生を行うものである。
【0029】また、蒸気管(18)には蒸気制御弁(21)
を設け、導出管(19)には液制御弁(22)を設けてい
る。
【0030】上記の実施例では、蒸気発生槽(3)に蒸気
洗浄部(10)を設けるものに比較し、蒸気制御弁(21)
を閉止することにより、蒸気洗浄槽(16)への蒸気の供
給を完全に遮断することができる。そのため、蒸気洗浄
槽(16)に於いて被洗浄物(11)の乾燥を容易に行うこ
とができる。また、洗浄槽本体(1)に被洗浄物(11)の
出入を行う必要がないから、洗浄槽本体(1)を密閉状態
とすることができ、外部への溶剤の流出がなく、安全で
経済的な蒸気の発生を可能とする利点がある。しかし、
反面では装置を大型化する欠点もある。
【0031】
【発明の効果】本発明は上述のごとく構成したものであ
るから、循環ポンプを介して、オーバーフロー槽と蒸気
発生槽との間を、常に溶剤を循環することにより、比重
の軽い液洗浄液は、蒸気洗浄液の上部からオーバーフロ
ー槽にオーバーフローされ、蒸気発生槽内の蒸気洗浄液
は液洗浄液によって液面を被覆されることが殆ど無く、
良好な蒸気発生を可能とすることが出来る。
【0032】また、液分離槽を用いたり、混合溶剤を冷
却したりする必要がないから、高温の混合溶剤を冷却し
たり、冷却分離した後の蒸気洗浄液による、蒸気発生槽
の温度低下を補充したりするエネルギーが不要となり、
経済的で場所を取らない蒸気発生を可能とするものであ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】蒸気発生槽の上部に蒸気洗浄部を設けた実施例
の断面図。
【図2】蒸気発生槽とは別個に蒸気洗浄部を設けた実施
例の断面図。
【符号の説明】
2 加熱手段 3 蒸気発生槽 4 蒸気洗浄液 5 分割壁 6 オーバーフロー槽 7 接続管 8 循環ポンプ 10 蒸気洗浄部 11 被洗浄物 16 蒸気洗浄槽 18 蒸気管 19 導出管

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 液洗浄液の付着した被洗浄物を、液洗浄
    液よりも比重が重く溶解しにくい蒸気洗浄液の蒸気で蒸
    気洗浄し、被洗浄物に接触して凝縮した蒸気洗浄液と液
    洗浄液とを、蒸気洗浄液に同時に導入するようにしたも
    のに於いて、加熱手段を備えた蒸気発生槽に、分割壁を
    介してオーバーフロー槽を隣接し、このオーバーフロー
    槽と蒸気発生槽とを、循環ポンプを介して接続管により
    接続し、この接続管をオーバーフロー槽と蒸気発生槽に
    於いて、液洗浄液の位置しない下底方向に接続した事を
    特徴とする蒸気発生装置。
  2. 【請求項2】 蒸気洗浄は、蒸気発生槽の上部に設けた
    蒸気洗浄部で行い、被洗浄物に接触し凝縮した蒸気洗浄
    液を、被洗浄物に付着した液洗浄液とともに、蒸気発生
    槽に落下させるものである事を特徴とする請求項1の蒸
    気発生装置。
  3. 【請求項3】 蒸気洗浄は、蒸気発生槽とは別個に設
    け、蒸気管を介して連通した蒸気洗浄槽で行い、被洗浄
    物に接触し凝縮した蒸気洗浄液を、被洗浄物に付着した
    液洗浄液とともに、導出管を介して蒸気発生槽に導出す
    るものである事を特徴とする請求項1の蒸気発生装置。
JP20593092A 1992-07-09 1992-07-09 蒸気発生装置 Pending JPH0623331A (ja)

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JP20593092A JPH0623331A (ja) 1992-07-09 1992-07-09 蒸気発生装置

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0349636A (ja) * 1989-07-18 1991-03-04 Sanyo Electric Co Ltd 混練機
JPH03288580A (ja) * 1990-04-04 1991-12-18 Parker Arrester Kk 溶剤蒸気発生部付蒸気洗浄装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0349636A (ja) * 1989-07-18 1991-03-04 Sanyo Electric Co Ltd 混練機
JPH03288580A (ja) * 1990-04-04 1991-12-18 Parker Arrester Kk 溶剤蒸気発生部付蒸気洗浄装置

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