JPH06232512A - 半導体レーザ装置 - Google Patents

半導体レーザ装置

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JPH06232512A
JPH06232512A JP1847693A JP1847693A JPH06232512A JP H06232512 A JPH06232512 A JP H06232512A JP 1847693 A JP1847693 A JP 1847693A JP 1847693 A JP1847693 A JP 1847693A JP H06232512 A JPH06232512 A JP H06232512A
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Akihiro Matsumoto
晃広 松本
Takeshi Obayashi
健 大林
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 レーザ発光の閾値電流を低減して、消費電流
を低減できる半導体レーザ装置を提供する。 【構成】 この半導体レーザ装置は、活性層102がp
型クラッド層103,104とn型クラッド層101と
で挟まれている。p型クラッド層103は、活性層10
2に近接している高キャリア濃度部である。p型クラッ
ド層104は、p型クラッド層103よりも活性層10
2から離隔していると共に、p型クラッド層103より
もキャリア濃度が低い低キャリア濃度部である。p型ク
ラッド層103が活性層102からの電子の漏れ出しを
防止し、p型クラッド層104では電流の広がりが抑え
られる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、消費電力を低減でき
る半導体レーザ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体レーザ装置は、光ディスク装置の
光源として幅広く利用されている。そこで、現在、半導
体レーザ装置の消費電力を低減させるために、半導体レ
ーザ装置の駆動電流を低減させる研究が、盛んに行われ
ている。
【0003】従来、半導体レーザ装置としては、図8に
示すものがある。図8に示すように、この半導体レーザ
装置は、p型GaAs基板300上に成長させたn型電
流狭窄層301を有し、このn型電流狭窄層301から
上記p型GaAs基板300に至るV字型の溝302が
形成されている。さらに、上記半導体レーザ装置は、上
記n型電流狭窄層301およびV字溝302上に順に形
成したp型クラッド層303と、p型活性層304と、
n型クラッド層305と、n型コンタクト層306とを
有している。
【0004】この半導体レーザ装置は、p型活性層30
4の内、上記V字溝302に対向するストライプ部30
7が電流通路になっている。また、この半導体レーザ装
置のレーザ光発生の閾値電流は、上記ストライプ部30
7内に流れてレーザ発振に寄与する有効電流308と、
上記ストライプ部307外に流れてレーザ発振に寄与し
ないリーク電流309との和になる。
【0005】したがって、このリーク電流をできるだけ
少なくすることによって、半導体レーザ装置の閾値電流
を低く抑え、半導体レーザ装置の駆動電流を低減して、
消費電流を低減させることができる。
【0006】上記半導体レーザ装置は、上記リーク電流
を抑えるために、n型半導体層に比べて電流が広がりに
くいp型クラッド層303に接して、V字溝302の一
部を構成するn型電流狭窄層301を形成し、上記V字
溝302によって電流の流れを絞るようにしている。ま
た、上記p型クラッド層303のキャリア濃度が高いほ
ど、このp型クラッド層303での電流の広がりが大き
くなるので、上記p型クラッド層303のキャリア濃度
をできるだけ小さくするようにしている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記p型ク
ラッド層303のキャリア濃度をあまり低くすると、上
記p型活性層304から、上記p型クラッド層303に
電子が漏れ出し、ストライプ307内部のレーザ発振に
要する電流が増大し、レーザ発振の閾値電流の増大を招
くという問題がある。
【0008】そこで、本発明の目的は、上記p型クラッ
ド層での電流の広がりの抑制と、活性層から上記p型ク
ラッド層への電子の漏れ出し防止とを両立でき、レーザ
発光の閾値電流を低減して、消費電流を低減できる半導
体レーザ装置を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明の半導体レーザ装置は、活性層がp型クラ
ッド層とn型クラッド層とで挟まれた半導体レーザ装置
において、上記p型クラッド層は、上記活性層に近接し
ている高キャリア濃度部と、この高キャリア濃度部より
も上記活性層から離隔していると共に、上記高キャリア
濃度部よりもキャリア濃度が低い低キャリア濃度部とを
含んでいることを特徴としている。
【0010】また、上記p型クラッド層の少なくとも上
記活性層近傍のドーパントをカーボンとしたことが望ま
しい。
【0011】
【作用】上記p型クラッド層と上記n型クラッド層との
間に電圧が印加され、この電圧によって、上記p型クラ
ッド層から上記n型クラッド層に向かって電流が流れ
る。上記電流の電流密度が、上記活性層において所定の
値を越えるとレーザ発振が起こり、上記活性層でレーザ
光が発生する。
【0012】上記活性層に隣接するp型クラッド層が、
上記活性層から離隔し、かつ、上記高キャリア濃度部よ
りもキャリア濃度が低い低キャリア濃度部を有するの
で、この低キャリア濃度部の存在によって、上記p型ク
ラッド層内での電流の広がりが抑制され、電流密度の低
下が抑えられる。
【0013】また、上記活性層に近接した高キャリア濃
度部の存在によって、上記活性層から上記p型クラッド
層への電子の漏れ出しが防がれる。
【0014】従って、本発明によれば、上記p型クラッ
ド層での電流の広がりの抑制と、活性層から上記p型ク
ラッド層への電子の漏れ出し防止とが両立され、レーザ
光発振の閾値電流を低下させることができ、消費電流を
低減できる。
【0015】また、上記p型クラッド層の少なくとも上
記活性層近傍のドーパントをカーボンとした場合には、
上記p型クラッド層の結晶成長中に上記ドーパントが拡
散することを抑制できる。したがって、活性層に隣接し
たp型クラッド層の領域にキャリア濃度が局所的に高い
領域を有するキャリア濃度分布を容易に実現することが
できる。したがって、上記高キャリア濃度部の厚さを容
易に薄くできるようになり、上記p型クラッド層を容易
に薄くできるので、上記p型クラッド層内での電流の広
がりを特に低く抑制することができ、電流密度の低下を
特に抑えることができる。
【0016】
【実施例】以下、この発明を図示の実施例により詳細に
説明する。
【0017】図1に、本発明の半導体レーザ装置の第1
実施例の断面構造を示す。図1を参照しながら、まず、
この第1実施例の製造工程を説明する。図1に示すよう
に、n型GaAs基板100上に、分子ビームエピタキ
シー(MBE)成長法により、n型Al0.5Ga0.5Asク
ラッド層101と、ノンドープAl0.15Ga0.85As活
性層102と、高ドープのp型Al0.5Ga0.5As第1
クラッド層103と、低ドープのp型Al0.5Ga0.5
s第2クラッド層104と、GaAs保護層105と、
n型GaAs電流狭窄層106を順次成長させる。上記
高ドープのp型第1クラッド層103のドーパントはB
eであり、キャリア濃度は1×1018cm-3、層厚は
0.05μmである。また、上記低ドープのp型第2ク
ラッド層104のドーパントはBeであり、キャリア濃
度は2×1017cm-3、層厚は0.30μmである。
【0018】次に、フォトリソグラフィおよび化学エッ
チングによって、上記電流狭窄層106に、上記GaA
s保護層105まで達するストライプ状の溝107を形
成する。次に、液相エピタキシャル(LPE)成長法によ
って、上記溝107を埋めるp型Al0.5Ga0.5As第
3クラッド層108と、p型GaAsコンタクト層10
9とを順に成長させる。この成長時に、上記ストライプ
状の溝107の底部のGaAs保護層105は、メルト
バックによって消失する。
【0019】上記ストライプ状の溝107の図1におけ
る左右方向の中央部に対向する領域での、p型第1クラ
ッド層103およびp型第2クラッド層104の結晶成
長方向への距離に対するキャリア濃度分布を、図3に示
す。尚、上記距離の始点は、上記活性層102と上記p
型第1クラッド層103との界面としている。
【0020】図3において、距離0μm〜0.05μm
までは、高ドープのp型第1クラッド層103のp型キ
ャリア濃度を示しており、距離0.05μm〜0.35μ
mまでは、低ドープのp型第2クラッド層104のp型
キャリア濃度を示している。図3に示すように、活性層
102に近接する領域では、活性層102から離れた領
域よりもp型キャリア濃度が高く、活性層102から離
れた領域では、活性層102に近接する領域よりもp型
キャリア濃度が低い。
【0021】上記実施例は、図には示さないが、上記基
板100の表面にn型電極を設ける一方、上記p型Ga
Asコンタクト層109の表面にp型電極を設けてい
る。
【0022】上記n型電極とp型電極に電圧を印加する
と、上記p型クラッド層103,104と上記n型クラ
ッド層101との間に電圧が印加され、この電圧によっ
て、上記p型第1,第2クラッド層103,104から上
記n型クラッド層101に向かって電流が流れる。上記
電流の電流密度が、上記活性層102において所定の値
を越えるとレーザ発振が起こり、上記活性層102でレ
ーザ光が発生する。
【0023】上記実施例の半導体レーザ装置は、上記活
性層102に隣接するp型第1,第2クラッド層103,
104の内、低ドープのp型第2クラッド層104は、
上記高ドープのp型第1クラッド層103よりもキャリ
ア濃度が低いので、このp型第2クラッド層104内で
の電流の広がりが抑制され、電流密度の低下が抑えられ
る。
【0024】また、上記活性層102に近接し、上記低
ドープのp型第2クラッド層104よりもキャリア濃度
が高い高ドープのp型第1クラッド層103によって、
上記活性層102からp型第1,第2クラッド層103,
104への電子の漏れ出しを防ぐことができる。
【0025】したがって、上記実施例によれば、上記p
型クラッド層103,104での電流の広がりの抑制
と、活性層102から上記p型クラッド層103,10
4への電子の漏れ出し防止とを両立でき、レーザ光発振
の閾値電流を低下させることができ、消費電流を低減で
きる。
【0026】具体的には、上記実施例の半導体レーザ装
置において、端面コートなし、共振器長250μmで、
レーザ光波長780nmの場合、レーザ光発振の閾値電
流(上記n型電極とp型電極との間に流す電流)は20m
Aであった。これに対し、上記p型第1クラッド層10
3およびp型第2クラッド層104を共に、p型キャリ
ア濃度1×1018cm-3で均一にドープした場合には、
上記第1,第2クラッド層103,104での電流の広が
りが、上記実施例に比べて大きくなり、上記溝107に
対向する領域の活性層102(ストライプ部)の外への電
流の広がりが、上記実施例に比べて大きくなる。このた
め、閾値電流は、上記実施例に比べて2倍の40mAで
あった。
【0027】一方、上記第1及び第2クラッド層10
3,104をキャリア濃度2×1017cm-3で均一にド
ープした場合には、上記溝107に対向する領域の活性
層102(ストライプ部)の外への電流の広がりは、上
記実施例に比べて小さい。しかし、この場合、上記活性
層102から上記第1,第2クラッド層103,104
への電子の漏れ出しが、上記実施例に比べて大きくな
り、レーザ光発振の閾値電流は上記実施例に比べて大き
な値である35mAであった。
【0028】このように、上記実施例は、p型第1クラ
ッド層103のキャリア濃度を高濃度にし、p型第2ク
ラッド層104のキャリア濃度を低濃度にしたことによ
って、p型クラッド層のキャリア濃度が一様である場合
に比べて、レーザ光発振の閾値電流を大幅に低減するこ
とができた。
【0029】ここで、図4に、上記活性層102に隣接
するp型クラッド層の層厚と、リーク電流すなわち上記
溝107に対向する領域の活性層102(ストライプ部)
の外への電流の広がりとの関係特性を示す。図4におい
て、破線(1)は上記p型クラッド層をキャリア濃度1
×1018cm-3で均一にドープした場合のリーク電流特
性を示し、破線(2)は上記p型クラッド層をキャリア濃
度2×1017cm-3で均一にドープした場合のリーク電
流特性を示す。また、図4において、実線は、層厚0〜
0.05μmまでは、キャリア濃度1×1018cm-3
ドープしたp型クラッド層であり、層厚0.05〜0.3
5μmまでは、キャリア濃度2×1017cm-3にドープ
したp型クラッド層である場合のリーク電流特性を示
す。つまり、上記実線のクラッド層厚0.35μmにお
けるリーク電流は、上記実施例のリーク電流に相当す
る。図4に示すように、リーク電流は、p型クラッド層
の層厚が大きい程、大きい。また、実線は、キャリア濃
度1×1018cm-3の場合の濃度を示す一点鎖線(1)よ
りもキャリア濃度2×1017cm-3の場合の濃度を示す
一点鎖線(2)に近い特性になっている。つまり、上記実
施例によれば、p型クラッド層をキャリア濃度1×10
18cm-3で均一にドープした場合に比べて、リーク電流
をかなり低減できることがわかる。
【0030】尚、上記実施例において、上記p型第1ク
ラッド層103と上記p型第2クラッド層104とが構
成するp型クラッド層のp型キャリア濃度分布を、図5
に示す特性(a),(b),(c)のように、活性層102に隣
接する高濃度領域(距離0の近傍)から、活性層102か
ら離れた低濃度領域に向かって、連続的に変化させても
よい。この場合にも、上記実施例と同様に、上記p型ク
ラッド層内での電流の拡散を抑え、かつ、活性層からp
型クラッド層への電子の漏れ出しを防止することがで
き、閾値電流を低下させて、消費電流を削減することが
できる。また、上記実施例において、上記p型第1クラ
ッド層103と上記p型第2クラッド層104とが構成
するp型クラッド層のp型キャリア濃度分布を、図6に
示すようにしてもよい。つまり、上記p型クラッド層
は、上記活性層に隣接するノンドープ層を有し、さら
に、このノンドープ層に隣接する高キャリア濃度層およ
びこの高キャリア濃度層に隣接する低キャリア濃度層を
有するようにしてもよい。この場合にも、上記実施例と
同様に、レーザ光発振の閾値電流を低減でき、消費電流
を削減することができる。
【0031】また、上記実施例において、上記p型第1
クラッド層と上記p型第2クラッド層とが構成するp型
クラッド層のp型キャリア濃度分布を、図7に示すよう
にしてもよい。つまり、図7に示す特性(a),(b),(c)
のように、活性層102に隣接する高濃度領域(距離0
の近傍)は、低濃度から徐々に立ち上がる凸型ピーク形
状の濃度分布になっており、この高濃度領域から、活性
層102から離れた低濃度領域に向かってキャリア濃度
を連続的に変化させてもよい。この場合にも、上記実施
例と同様に、上記低濃度領域によってp型クラッド層内
での電流の拡散を抑え、かつ、上記高濃度領域によって
活性層からp型クラッド層への電子の漏れ出しを防止す
ることができ、閾値電流を低下させて、消費電流を削減
することができる。
【0032】また、上記実施例では、p型第1,第2ク
ラッド層のドーパントをBeにしたが、このBeに替え
てC(カーボン)をドーパントとした場合には、上記クラ
ッド層の結晶成長中に上記ドーパントが拡散することを
抑制できる。したがって、この場合、図2や図5に示す
ような、活性層に隣接した領域にキャリア濃度が局所的
に高い領域を有するキャリア濃度分布を容易に実現する
ことができる。したがって、この場合、たとえば、上記
キャリア濃度が局所的に高い領域を形成する上記p型第
1クラッド層103の厚みを、0.05μmよりも薄い
0.02μmにできる。したがって、高濃度のp型第1
クラッド層103の厚みを薄くでき、上記リーク電流の
さらなる低減が可能になる。上記実施例において、上記
p型第1クラッド層103の厚みを0.02μmにし、
p型第2クラッド層104の厚みを0.35μmにした
場合には、レーザ光発振の閾値電流を15mAにでき
た。
【0033】次に、図2に第2実施例を示す。最初に、
この第2実施例の製造工程を説明する。まず、n型Ga
As基板200上に、有機金属気相(MOCVD)成長法
によって、n型In0.5(Ga0.3Al0.7)0.5Pクラッド
層201とノンドープIn0.5Ga0.5P活性層202
と、高ドープのp型In0.5(Ga0.3Al0.7)0.5P第1
クラッド層203と、低ドープのp型In0.5(Ga0.3
Al0.7)0.5P第2クラッド層204と、高ドープのp
型In0.5(Ga0.3Al0.7)0.5P第3クラッド層205
と、p型In0.5Ga0.5P保護層206とを、順次成長
させる。上記高ドープのp型第1クラッド層203は、
ドーパントをZnにし、キャリア濃度を1×1018cm
-3にし、層厚を0.03μmにした。また、上記低ドー
プのp型第2クラッド層204は、ドーパントをZnに
し、キャリア濃度を2×1017cm-3にし、層厚を0.
25μmにした。また、上記高ドープの第3クラッド層
205は、ドーパントをZnにし、キャリア濃度を1×
1018cm-3にし、層厚を1.0μmにした。
【0034】次に、ストライプ形状のSiO2膜をマス
クとして、上記高ドープの第3クラッド層205を、化
学エッチングして、上記第3クラッド層205をメサ型
のストライプ形状にする。ここで、第1クラッド層20
3の層厚と第2クラッド層204の層厚との和は、上記
メサ型ストライプ形状の第3クラッド層205に対向す
る領域外において、0.28μmに設定されている。
【0035】次に、再び、MOCVD法によって、上記
メサ型ストライプ形状の第3クラッド層205の周囲、
かつ、上記第2クラッド層204上にn型GaAs電流
狭窄層208を形成する。次に、上記SiO2膜を除去
してから、n型GaAsコンタクト層209を、上記n
型電流狭窄層208および上記p型保護層206の上面
全体に、成長させる。
【0036】上記メサ型ストライプ形状の第3クラッド
層205の図2における左右方向の中央部に対向する領
域での、p型第1クラッド層203およびp型第2クラ
ッド層204の結晶成長方向への距離に対するキャリア
濃度分布は、第1実施例と同様に、図3に示すようにな
っている。図3に示すように、距離0μm〜0.05μ
mまでは、高ドープのp型第1クラッド層203が存在
しており、距離0.05μm〜0.35μmまでは、低ド
ープのp型第2クラッド層204が存在している。図3
に示すように、活性層102に近接する領域(距離0μ
m〜0.05μm)では、活性層102から離れた領域
(距離0.05μm〜0.35μm)よりもp型キャリア濃
度が高く、活性層202から離れた領域では、活性層2
02に近接する領域よりもp型キャリア濃度が低い。
【0037】上記実施例は、図には示さないが、上記基
板200の表面にn型電極を設ける一方、上記n型Ga
Asコンタクト層209の表面にp型電極を設けてい
る。
【0038】上記n型電極とp型電極に電圧を印加する
と、上記p型クラッド層203,204と上記n型クラ
ッド層201との間に電圧が印加され、この電圧によっ
て、上記p型第1,第2クラッド層203,204から
上記n型クラッド層201に向かって電流が流れる。上
記電流の電流密度が、上記活性層202において所定の
値を越えるとレーザ発振が起こり、上記活性層202で
レーザ光が発生する。上記実施例の半導体レーザ装置
は、上記活性層202に隣接するp型第1,第2クラッ
ド層203,204の内、低ドープのp型第2クラッド
層204は、上記高ドープのp型第1クラッド層203
よりもキャリア濃度が低いので、このp型第2クラッド
層204内での電流の広がりが抑制され、電流密度の低
下が抑えられる。
【0039】また、上記活性層202に近接し、上記低
ドープのp型第2クラッド層204よりもキャリア濃度
が高い高ドープのp型第1クラッド層203によって、
上記活性層202からp型第1,第2クラッド層20
3,204への電子の漏れ出しを防ぐことができる。
【0040】したがって、上記実施例によれば、上記p
型クラッド層203,204での電流の広がりの抑制
と、活性層202から上記p型クラッド層203,20
4への電子の漏れ出し防止とを両立でき、レーザ光発振
の閾値電流を低下させることができ、消費電流を低減で
きる。
【0041】具体的には、上記実施例の半導体レーザ装
置において、端面コートなし、共振器長250μmで、
レーザ光波長670nmの場合、レーザ光発振の閾値電
流(上記n型電極とp型電極との間に流す電流)は20m
Aであった。
【0042】尚、この第2実施例においても、第1実施
例と同様に、p型第1クラッド層とp型第2クラッド層
とにおけるp型キャリア濃度分布が、図5あるいは図6
あるいは図7のいづれに示す分布状態であっても、電流
の広がりの抑制と、活性層からの電子の漏れ出し防止と
を実現でき、閾値電流を低下させて、消費電流を低減で
きる。
【0043】また、この第2実施例では、p型第1,第
2クラッド層のドーパントをZnにしたが、このZnに
替えて、C(カーボン)をドーパントとした場合には、上
記クラッド層の結晶成長中に上記ドーパントが拡散する
ことを抑制できる。したがって、この場合、図2や図4
に示すような、活性層に隣接した領域にキャリア濃度が
局所的に高い領域を有するキャリア濃度分布を容易に実
現することができる。したがって、この場合、たとえ
ば、上記キャリア濃度が局所的に高い領域を形成する上
記p型第1クラッド層203の厚みを、0.03μmよ
りも薄い0.015μmにできる。したがって、高濃度
のp型第1クラッド層203の厚みを、さらに薄くで
き、上記リーク電流のさらなる低減が可能になる。上記
第2実施例において、上記p型第1クラッド層203の
厚みを0.015μmにし、p型第2クラッド層204
の厚みを0.35μmにした場合には、レーザ光発振の
閾値電流を15mAにできた。
【0044】尚、上記第1,第2実施例では、半導体レ
ーザの構造を、クラッド層および活性層で構成したDH
(ダブルヘテロ)構造にしたが、本発明はダブルヘテロ構
造の半導体レーザに限らず、GRIN−SCH(グレー
ディッド・インデックスセパレート・コンファインメン
ト)構造の半導体レーザにも適用できる。さらに、本発
明は、活性層が量子井戸からなるSQW(シングル・ク
ワンタム・ウェル)構造の半導体レーザおよびMQW(マ
ルチ・クワンタム・ウェル)構造の半導体レーザにも適
用できる。
【0045】また、上記第1,第2実施例では、電流狭
窄層によって、図1,図2に示すストライプ状の電流閉
じ込め構造を形成したが、電流閉じ込め構造としては、
図1,図2に示した構造に限らず、どのような電流閉じ
込め構造であってもよい。
【0046】また、上記第1,第2実施例では、半導体
層の成長法として、分子ビームエピタキシー成長法,有
機金属気相成長法を用いたが、半導体層の成長法とし
て、それ以外に、MOMBE(メタル・オーガニック・
モレキュラー・ビーム・エピタキシー)成長法や、AL
E(アトミック・レイヤー・エピタキシー)成長法や、C
BE(ケミカル・ビーム・エピタキシー)成長法等を用い
てもよい。
【0047】また、p型クラッド層のドーパントとし
て、Be,Zn,Cの他に、例えば、Mg,Si等を用い
てもよい。
【0048】
【発明の効果】以上より明らかなように、この発明の半
導体レーザ装置は、p型クラッド層が、活性層に近接し
ている高キャリア濃度部と、この高キャリア濃度部より
も上記活性層から離隔していると共に、上記高キャリア
濃度部よりもキャリア濃度が低い低キャリア濃度部とを
含んでいる。
【0049】したがって、上記低キャリア濃度部の存在
によって、上記p型クラッド層内での電流の広がりが抑
制され、電流密度の低下を抑えることができる。
【0050】また、上記活性層に近接した高キャリア濃
度部の存在によって、上記活性層から上記p型クラッド
層への電子の漏れ出しを防ぐことができる。
【0051】従って、本発明によれば、上記p型クラッ
ド層での電流の広がりの抑制と、活性層から上記p型ク
ラッド層への電子の漏れ出し防止とを両立でき、レーザ
光発振の閾値電流を低下させることができ、消費電流を
低減できる。
【0052】また、上記p型クラッド層の少なくとも上
記活性層近傍のドーパントをカーボンとした場合には、
上記p型クラッド層の結晶成長中に上記ドーパントが拡
散することを抑制できる。したがって、活性層に隣接し
たp型クラッド層の領域にキャリア濃度が局所的に高い
領域を有するキャリア濃度分布を容易に実現することが
できる。したがって、上記高キャリア濃度部の厚さを容
易に薄くできるようになり、上記p型クラッド層を容易
に薄くできるので、上記p型クラッド層内での電流の広
がりを特に低く抑制することができ、電流密度の低下を
特に抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の半導体レーザ装置の第1実施例の断
面図である。
【図2】 本発明の半導体レーザ装置の第2実施例の断
面図である。
【図3】 上記実施例のp型クラッド層のキャリア濃度
分布図である。
【図4】 p型クラッド層の厚さとリーク電流との関係
をキャリア濃度分布に応じて示したリーク電流特性図で
ある。
【図5】 上記実施例のp型クラッド層のキャリア濃度
分布図である。
【図6】 上記実施例のp型クラッド層のキャリア濃度
分布図である。
【図7】 上記実施例のp型クラッド層のキャリア濃度
分布図である。
【図8】 従来の半導体レーザ装置の断面図である。
【符号の説明】
100…n型GaAs基板、101…n型Al0.5Ga
0.5Asクラッド層、102…ノンドープAl0.15Ga
0.85As活性層、103…p型Al0.5Ga0.5As第1
クラッド層、104…p型Al0.5Ga0.5As第2クラ
ッド層、105…GaAs保護層、106…n型GaA
s電流狭窄層106、107…溝、108…p型Al
0.5Ga0.5As第3クラッド層108、109…p型G
aAsコンタクト層109、200…n型GaAs基
板、202…n型In0.5(Ga0.3Al0.70.5Pクラ
ッド層201、202…ノンドープIn0.5Ga0.5P活
性層202、203…p型In0.5(Ga0.3Al0.7
0.5P第1クラッド層、204…p型In0.5(Ga0.3
Al0.70.5P第2クラッド層、205…p型In0.5
(Ga0.3Al0.70.5P第3クラッド層、206…p
型In0.5Ga0.5P保護層、208…n型GaAs電流
狭窄層、209…n型GaAsコンタクト層。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 活性層がp型クラッド層とn型クラッド
    層とで挟まれた半導体レーザ装置において、 上記p型クラッド層は、 上記活性層に近接している高キャリア濃度部と、この高
    キャリア濃度部よりも上記活性層から離隔していると共
    に、上記高キャリア濃度部よりもキャリア濃度が低い低
    キャリア濃度部とを含んでいることを特徴とする半導体
    レーザ装置。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の半導体レーザ装置にお
    いて、上記p型クラッド層の少なくとも上記活性層近傍
    のドーパントをカーボンとしたことを特徴とする半導体
    レーザ装置。
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