JPH06222270A

JPH06222270A - コンデンサーレンズ

Info

Publication number: JPH06222270A
Application number: JP5009703A
Authority: JP
Inventors: Tatsuro Otaki; 達朗大瀧
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1993-01-25
Filing date: 1993-01-25
Publication date: 1994-08-12

Abstract

(57)【要約】【目的】液浸用並びに油浸用の双方に対応できる優れた
性能を有するコンデンサーレンズの提供。【構成】光源側から順に、正の屈折力を持つ前群Ｇ_Fと
正の屈折力を持つ後群Ｇ _Rとを有し、光源から光束を集
光して試料を照明するコンデンサーレンズにおいて、前
記後群Ｇ_Rは、最も試料側に配置されかつ光源側に凸面
を向けた正の屈折力を持つ液浸用の第１レンズＬ_aを有
し、光源側に凸面を向けた正の屈折力を持つ油浸用の第
２レンズＬ_bを第１レンズＬ_aと交換可能に設け、第１
レンズＬ_aと第２レンズＬ_bとの最適な焦点距離の範囲
と、各レンズ（Ｌ_a，Ｌ_b）が設定された時のコンデン
サーレンズの最適な開口数の範囲を見出した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、顕微鏡の照明光学系に
用いられるコンデンサーレンズに関するものであり、特
に倒立顕微鏡の照明光学系に用いられるコンデンサーレ
ンズに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図５は倒立顕微鏡の概略的な構成を示す
図であり、倒立顕微鏡の構成を簡単に説明すると、光源
１０からの光は、コレクターレンズ１１及びコンデンサ
ーレンズ１２を介して集光されて、シャーレＳ内の培養
液Ｗで培養されている試料Ｏを照明する。シャーレＳは
２次元的に移動可能なステージ１３上に載置されてお
り、シャーレＳ内の試料Ｏを透過した光は対物レンズ１
４及び反射鏡Ｍ₁を介して集光されて、空間像Ｉ₁が形
成される。そして、この空間像Ｉ₁をリレーするリレー
レンズ１５及び反射鏡Ｍ₂を介した光は、空間像Ｉ₂を
形成した後、光路折り曲げプリズムＰを介して接眼レン
ズ１６へ導かれ、接眼レンズ１６を通して空間像Ｉ
₂（試料Ｏの像）が拡大観察される。

【０００３】さて、図５に示す如き倒立顕微鏡ではシャ
ーレＳの内の培養液Ｗで培養している試料等を観察する
場合が多く、この場合において、倒立顕微鏡の照明系に
用いられるコンデンサーレンズ１２としては、例えば、
図６に示す如く、長い作動距離（被照明面からコンデン
サーレンズまでの距離）を有するコンデンサーレンズ系
ＬＳを培養液Ｗの液面から離して配置し、照明光源から
の光をコンデンサーレンズ系ＬＳを通して液内の試料Ｏ
を照明していた。

【０００４】また、試料Ｏをより高い倍率での観察を可
能とするために試料Ｏを大きな開口数のもとで照明する
油浸用コンデンサーレンズが知られており、このコンデ
ンサーレンズの構成については、例えば、特公昭６１−
１００５４号に開示されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、図６に示す
如き長い作動距離を有するコンデンサーレンズ系ＬＳを
用いて培養液Ｗ内の試料Ｏを照明する場合には外部から
の振動により培養液Ｗの液面が揺れて照明むらが発生
し、試料Ｏが非常に観察しずらくなるという問題が多々
あった。

【０００６】特に、試料Ｏを通る光線の僅かな位相差を
観察する倒立型位相差顕微鏡や倒立型微分干渉顕微鏡を
用いて培養液Ｗ内の試料Ｏを観察する際には、培養液Ｗ
の液面の僅かな揺れにより、この液面で位相差が発生す
る。このため、この液面での位相差が大きなノイズとな
り、培養液Ｗ内での試料Ｏの観察が困難となる問題があ
った。

【０００７】また、培養液Ｗ中の試料を細い硝子管等で
操作するマニピュレーションを行う際には、培養液Ｗの
表面張力により細い硝子管が液面と接触する部分での液
面が盛り上がり、この部分で位相差が発生するため、マ
ニピュレーションを行いながら、倒立型位相差顕微鏡や
倒立型微分干渉顕微鏡による試料Ｏの観察が非常にしず
らいという問題を抱えていた。

【０００８】また、図６に示す如き長い作動距離を有す
るコンデンサーレンズは、長い作動距離を確保するため
に焦点距離を長くせざるを得ないため、開口数を大きく
するのは光学設計上において困難が伴う。このため、開
口数の大きい高倍率の対物レンズを用いて培養液内の試
料を観察する場合には、開口数の大きい対物レンズ本来
の性能を十分に得ることは難しかった。

【０００９】さらに、より高い観察倍率のもとで試料を
観察しようとするには、さらに別途の油浸用のコンデン
サーレンズを用意せざるを得ない。従って、試料を高倍
率まで観察しようとすると、複数のコンデンサーレンズ
を用意せざるを得ずコンデンサーレンズ系だけでも非常
に高価になってしまう。そこで、本発明は上記の問題点
に鑑みてなされたものであり、液浸用並びに油浸用の双
方に対応できる優れた性能を有するコンデンサーレンズ
を提供することを目的としている。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記の目的を
達成するために、例えば図１に示す如く、光源側から順
に、正の屈折力を持つ前群Ｇ_Fと正の屈折力を持つ後群
Ｇ_Rとを有し、光源から光束を集光して試料を照明する
コンデンサーレンズにおいて、前記後群Ｇ_Rは、最も試
料側に配置されかつ光源側に凸面を向けた正の屈折力を
持つ液浸用の第１レンズＬ_aを有し、該第１レンズＬ_a
は、光源側に凸面を向けた正の屈折力を持つ油浸用の第
２レンズＬ_bと交換可能に設けられ、前記コンデンサー
レンズの前群Ｇ_Fの焦点距離をｆ_Fとし、前記第１レン
ズＬ _aの焦点距離をｆ_La、前記第２レンズＬ_bの焦点距
離をｆ_Lb、前記第１レンズＬ _aが設定された時のコンデ
ンサーレンズの開口数をＮＡ_a、前記第２レンズＬ_bが
設定された時のコンデンサーレンズの開口数をＮＡ_bと
するとき、以下の条件を満足するように構成したもので
ある。（１）０．４≦ｆ_Lb／ｆ_F≦ｆ_La／ｆ_F≦０．７（２）０．６≦ＮＡ_a／ＮＡ_b≦１

【００１１】

【作用】条件（１）は、液浸用の第１レンズＬ_aと油
浸用の第２レンズＬ_bとの一方がコンデンサーレンズの
後群中に設定された際に、各設定状態でのコンデンサー
レンズの収差を良好に補正しつつ、コンデンサーレンズ
の前側（光源側）焦点位置をコンデンサーレンズの外部
に出して不変としながら、後側（試料側）焦点位置をコ
ンデンサーレンズの外に出すための条件である。

【００１２】まず、条件（１）中の０．４≦ｆ_Lb／ｆ_F
の関係は、油浸用の第２レンズＬ_bの光源側の面にて球
面収差並びにコマ収差を良好に補正しつつ、コンデンサ
ーレンズの前側（光源側）焦点位置をコンデンサーレン
ズの外側（外部）の空間に出すための最適な条件であ
る。０．４≦ｆ_Lb／ｆ_Fの関係から外れると、コンデン
サーレンズの前側（光源側）焦点位置がコンデンサーレ
ンズ内部に入り込み、位相差顕微鏡用のリング絞りや開
口絞り等を配置するための十分なる空間を確保すること
ができない。

【００１３】条件（１）中のｆ_La／ｆ_F≦０．７の関係
は、液浸用の第１レンズＬ_aの光源側の面にて球面収差
並びにコマ収差を良好に補正しつつ、コンデンサーレン
ズの後側（試料側）焦点位置をコンデンサーレンズの外
側（外部）の空間に出すための最適な条件である。ｆ_La
／ｆ_F≦０．７の関係から外れると、コンデンサーレン
ズの後側（試料側）焦点位置がコンデンサーレンズ内部
に入り込み、コンデンサーレンズとして機能させること
ができない。無理にコンデンサーレンズの後側（試料
側）焦点位置をコンデンサーレンズの外部に出そうとす
ると、球面収差，コマ収差等の補正が困難となり、また
大きな開口数を得ることが困難となる。

【００１４】条件（１）中のｆ_Lb／ｆ_F≦ｆ_La／ｆ_Fの
関係は、液浸用の第１レンズＬ_aと油浸用の第２レンズ
Ｌ_bとの相対的な焦点距離の関係を規定するものであ
る。ｆ _Lb／ｆ_F≦ｆ_La／ｆ_Fの関係を外れると、前群を
共通としながら諸収差を良好に補正した際に、コンデン
サーレンズの前側（光源側）焦点位置を共通にすること
が困難となる。特に、コンデンサーレンズの前側（光源
側）焦点位置に絞り等を配置する場合には、各レンズを
それぞれ後群Ｇ_R中に設定した際、絞りの位置を移動さ
せる等の機構が必要となり、構成上の複雑化を招き好ま
しくない。

【００１５】次に、条件（２）は、液浸用の第１レンズ
Ｌ_aと油浸用の第２レンズＬ_bとの最適な開口数の比率
を規定するものである。条件（２）の下限を越えると、
液浸用の第１レンズＬ_aが設定された時のコンデンサー
レンズの開口数が小さくなり過ぎ、大きな開口数のもと
で試料を照明することが困難となる。このため、大きな
開口数を持つ（高倍率）対物レンズで試料を観察する際
には、この対物レンズの性能を十分に引き出すことは困
難となる。

【００１６】逆に、条件（２）の上限を越えると、油浸
用の第２レンズＬ_bが設定された時のコンデンサーレン
ズの開口数が小さくなり過ぎ、より大きな開口数のもと
で試料を照明することが困難となる。このため、より大
きな開口数を持つ（より高倍率）対物レンズで試料を観
察する際には、この対物レンズの性能を十分に引き出す
ことは困難となる。

【００１７】さらに、上記条件（１）及び（２）に加え
て、以下の条件（３）を満足することが望ましい。（３）０≦Ｄ_b／Ｄ_a≦０．４但し、Ｄ_a：コンデンサーレンズの前群Ｇ_Fの最も試料側のレ
ンズ面から液浸用の第１レンズＬ_aの最も光源側のレン
ズ面までの軸上距離、Ｄ_b：コンデンサーレンズの前群Ｇ_Fの最も試料側のレ
ンズ面から油浸用の第２レンズＬ_bの最も光源側のレン
ズ面までの軸上距離、である。

【００１８】条件（３）の下限を越えると、油浸用の第
２レンズＬ_bをコンデンサーレンズの後群Ｇ_R中に設定
しようとすると、レンズ同士が機械的に干渉する。逆に
条件（３）の上限を越えると、前群Ｇ_Fを共通としなが
ら、液浸用の第１レンズＬ_aが設定された時のコンデン
サーレンズの諸収差を良好に補正することが可能となる
ものの、コンデンサーレンズの前側（光源側）焦点位置
を共通にすることが困難となる。

【００１９】

【実施例】図１及び図２はそれぞれ本発明による第１及
び第２実施例のコンデンサーレンズの構成を示す図であ
り、図１及び図２における（ａ）はコンデンサーレンズ
の最も試料側において液浸用のレンズＬ_aを配置した時
の様子を示す図であり、（ｂ）はコンデンサーレンズの
最も試料側において油浸用のレンズＬ_bを配置した時の
様子を示す図である。

【００２０】図１及び図２に示す如く、第１及び第２実
施例のコンデンサーレンズは、正の屈折力の前群Ｇ_Fと
正の屈折力の後群Ｇ_Rとからなる２群構成を基本として
おり、後群Ｇ_Rは、互いに交換可能に設けられた液浸用
の第１レンズＬ_aと油浸用の第２レンズＬ_bとを有して
いる。まず、前群Ｇ_Fは、光源側から順に、両凸形状の
正レンズＬ₁₁とこの正レンズＬ₁₁に接合されて試料側に
凸面を向けた負メニスカスレンズＬ₁₂とからなる接合正
レンズＬ₁と、光源側に凸面を向けた正メニスカスレン
ズＬ₂とで構成される。

【００２１】ここで、まず溶液中の試料を照明する際に
は、液浸用の第１レンズとして光源側に凸面を向けた平
凸レンズＬ_aが後群Ｇ_R中の設定され、この液浸用の平
凸レンズＬ_aは、溶液Ｗ中に浸された時にも不要な元素
が溶液Ｗへ溶け出さない石英ガラス等で構成される。
尚、各実施例では、液浸用の第１レンズが単一のレンズ
で構成されているが、２つのレンズを接合した接合レン
ズで構成しても良い。

【００２２】一方、油中の試料を照明する際には、油浸
用の第２レンズとして光源側に凸面を向けた平凸レンズ
Ｌ_bが後群Ｇ_R中に設定され、この平凸レンズＬ_bは、
光源側により強い曲率の面を向けた正レンズＬ_b1と光源
側に凹面を向けた平凹レンズＬ_b2（負レンズ）との接合
で構成される。なお、第１及び第２実施例では液浸用の
平凸レンズＬ_bを接合レンズで構成しているがこれに限
ることなく、この平凸レンズＬ_bを単一レンズで構成し
ても良い。

【００２３】後群Ｇ_R中にそれそれ設定される液浸用の
平凸レンズＬ_aと油浸用の平凸レンズＬ_bの切り換え
は、例えば、レボルバーに液浸用の平凸レンズＬ_aと油
浸用の平凸レンズＬ_bを取り付け、レボルバーを回すこ
とにより、各レンズの一方を後群Ｇ_R中に設定するレボ
ルバー式の切り換え機構によって達成される。また、液
浸用の平凸レンズＬ_aと油浸用の平凸レンズＬ_bとのそ
れぞれを螺子部を有するリング状の保持部材で保持する
と共に、前群Ｇ_Fをリング状の保持部材と螺合する螺子
部を有するレンズ鏡筒で保持し、レンズ鏡筒にリング状
の保持部材を双方の螺子部を介して取り付けても良い。

【００２４】なお、図１及び図２に示す各実施例では、
液浸用の第１レンズＬ_aが後群Ｇ_R中に設定された時の
コンデンサーレンズの前側（光源側）焦点位置と，油浸
用の第２レンズＬ_bが後群Ｇ_R中に設定された時のコン
デンサーレンズの前側（光源側）焦点位置とが等しくな
るように構成されており、コンデンサーレンズの前側
（光源側）焦点位置には開口絞りＳＴが設けられてい
る。

【００２５】さて、以下の表１及び表２には、それぞれ
本発明における第１及び第２実施例の諸元を掲げる。以
下の表１及び表２においてｒ_iは曲率半径、ｄ_iはレン
ズ面間隔、ν_iはアッベ数、ｎ_iはｄ線（λ＝587nm ）
における屈折率、添字ｉは光源側からの順序を表し、添
字ａｉ中のｉは液浸用レンズＬ_aにおける光源側からの
順序を表し、添字ｂｉ中のｉは油浸用レンズＬ_bにおけ
る光源側からの順序を表している。また、ｆ_aは液浸用
レンズＬ_aが後群Ｇ_R中に設定された時のコンデンサー
レンズ全系の焦点距離、ｆ_bは油浸用レンズＬ_bが後群
Ｇ_R中に設定された時のコンデンサーレンズ全系の焦点
距離、ＮＡ_aは液浸用レンズＬ_aが後群Ｇ_R中に設定さ
れた時のコンデンサーレンズの試料側での開口数、ＮＡ
_bは油浸用レンズＬ_bが後群Ｇ_R中に設定された時のコ
ンデンサーレンズの試料側での開口数、ｆ_Fはコンデン
サーレンズの前群Ｇ_Fの焦点距離、ｄ₀は開口絞りＳＴ
から第１レンズ面までの距離、ｆ_Laは液浸用レンズＬ_a
の焦点距離、ｆ_Lbは油浸用レンズＬ_bの焦点距離、Ｄ_a
は前群の最も試料側のレンズ面から後群（液浸用レンズ
Ｌ_a）の最も物体側のレンズ面までの軸上距離、Ｄ_bは
前群の最も試料側のレンズ面から後群（油浸用レンズＬ
_b）の最も物体側のレンズ面までの軸上距離、ｎ_Wは水
の屈折率、ｎ_OIは油の屈折率、ν_Wは水のアッベ数、ν
_OIは油のアッベ数、ｄ_SGはスライドガラスＳＧの厚さ、
ｎ_SGはスライドガラスＳＧの屈折率、ν_SGはスライドガ
ラスＳＧのアッベ数を表している。

【００２６】

【表１】図１（ａ）に対応する諸元（液浸用レンズＬ_aを後群Ｇ_R中に設定した状態）ｆ_a＝15.0、ＮＡ_a＝0.9 、ｆ_F＝27.8、ｄ₀＝3.20、ｆ_La＝19.0 ｒ₁＝ 39.31 ｄ₁＝ 8.30 ｎ₁＝1.59319 ν₁＝67.9（Ｌ₁₁）ｒ₂＝ -26.23 ｄ₂＝ 1.00 ｎ₂＝1.86074 ν₂＝23.0（Ｌ₁₂）ｒ₃＝-141.00 ｄ₃＝ 0.10 ｒ₄＝ 19.30 ｄ₄＝ 4.70 ｎ₃＝1.77279 ν₃＝49.5（Ｌ₂）ｒ₅＝ 50.50 Ｄ_a＝ 5.70 ｒ_a1＝ 8.73 ｄ_a＝ 8.80 ｎ_a＝1.45847 ν_a＝67.7（Ｌ_a）ｒ_a2＝ ∞ ｄ_a2＝ 3.65 ｎ_W＝1.33306 ν_W＝54.0（Ｗ）図１（ｂ）に対応する諸元（油浸用レンズＬ_bを後群Ｇ_R中に設定した状態）ｆ_b＝10.5、ＮＡ_b＝1.35、ｆ_F＝27.8、ｄ₀＝3.20、ｆ_Lb＝13.4 ｒ₁＝ 39.31 ｄ₁＝ 8.30 ｎ₁＝1.59319 ν₁＝67.9（Ｌ₁₁）ｒ₂＝ -26.23 ｄ₂＝ 1.00 ｎ₂＝1.86074 ν₂＝23.0（Ｌ₁₂）ｒ₃＝-141.00 ｄ₃＝ 0.10 ｒ₄＝ 19.30 ｄ₄＝ 4.70 ｎ₃＝1.77279 ν₃＝49.5（Ｌ₂）ｒ₅＝ 50.50 Ｄ_b＝ 0.20 ｒ_b1＝ 8.55 ｄ_b1＝10.30 ｎ_b1＝1.65160 ν_b1＝58.5（Ｌ_b1）ｒ_b2＝ -36.78 ｄ_b2＝ 1.20 ｎ_b2＝1.74077 ν_b2＝27.6（Ｌ_b2）ｒ_b3＝ ∞ ｄ_b3＝ 0.72 ｎ_OI＝1.51690 ν_OI＝43.5（ＯＩ）ｄ_SG＝ 1.20 ｎ_SG＝1.52726 ν_SG＝55.0（ＳＧ）ｆ_La／ｆ_F＝0.683 ，ｆ_Lb／ｆ_F＝0.482 ，ＮＡ_a／ＮＡ_b＝0.667

【００２７】

【表２】図２（ａ）に対応する諸元（液浸用レンズＬ_aを後群Ｇ_R中に設定した状態）ｆ_a＝14.3、ＮＡ_a＝0.95、ｆ_F＝27.7、ｄ₀＝3.30、ｆ_La＝18.0 ｒ₁＝ 34.97 ｄ₁＝ 8.30 ｎ₁＝1.59319 ν₁＝67.9（Ｌ₁₁）ｒ₂＝ -28.44 ｄ₂＝ 1.00 ｎ₂＝1.86074 ν₂＝23.0（Ｌ₁₂）ｒ₃＝-247.00 ｄ₃＝ 0.10 ｒ₄＝ 18.67 ｄ₄＝ 4.70 ｎ₃＝1.77279 ν₃＝49.5（Ｌ₂）ｒ₅＝ 46.56 Ｄ_a＝ 4.60 ｒ_a1＝ 8.23 ｄ_a＝10.80 ｎ_a＝1.45847 ν_a＝67.7（Ｌ_a）ｒ_a2＝ ∞ ｄ_a2＝ 1.72 ｎ_W＝1.33306 ν_W＝54.0（Ｗ）図２（ｂ）に対応する諸元（油浸用レンズＬ_bを後群Ｇ_R中に設定した状態）ｆ_b＝10.5、ＮＡ_b＝1.35、ｆ_F＝27.7、ｄ₀＝3.30、ｆ_Lb＝13.2 ｒ₁＝ 34.97 ｄ₁＝ 8.30 ｎ₁＝1.59319 ν₁＝67.9（Ｌ₁₁）ｒ₂＝ -28.44 ｄ₂＝ 1.00 ｎ₂＝1.86074 ν₂＝23.0（Ｌ₁₂）ｒ₃＝-247.00 ｄ₃＝ 0.10 ｒ₄＝ 18.67 ｄ₄＝ 4.70 ｎ₃＝1.77279 ν₃＝49.5（Ｌ₂）ｒ₅＝ 46.56 Ｄ_b＝ 0.20 ｒ_b1＝ 8.43 ｄ_b1＝10.30 ｎ_b1＝1.65160 ν_b1＝58.5（Ｌ_b1）ｒ_b2＝ -36.74 ｄ_b2＝ 1.20 ｎ_b2＝1.75520 ν_b2＝27.6（Ｌ_b2）ｒ_b3＝ ∞ ｄ_b3＝ 0.52 ｎ_OI＝1.51690 ν_OI＝43.5 ｄ_SG＝ 1.20 ｎ_SG＝1.52726 ν_SG＝55.0（ＳＧ）ｆ_La／ｆ_F＝0.650 ，ｆ_Lb／ｆ_F＝0.477 ，ＮＡ_a／ＮＡ_b＝0.704 図１に示した第１実施例における図１（ａ）の収差図を
図３（ａ）に示し、図１に示した第１実施例における図
１（ｂ）の収差図を図３（ｂ）に示している。また、図
２に示した第２実施例における図２（ａ）の収差図を図
４（ａ）に示し、図２に示した第２実施例における図２
（ｂ）の収差図を図４（ｂ）に示している。

【００２８】図３及び図４の各収差図において、ＣはＣ
線（656nm)，ｄはｄ線（587nm)，ＦはＦ線（486nm)，ｇ
はｇ線（436nm)による収差曲線をそれぞれ示している。
各収差図から明らかな如く、液浸と油浸の双方において
球面収差が良好に補正されており、各実施例のコンデン
サーレンズとも良好なる性能を有していることが理解で
きる。

【００２９】

【発明の効果】以上の如く、本発明によれば、最も試料
側のレンズを液浸用レンズと油浸用レンズとに交換可能
で良好なる性能を有するコンデンサーレンズを実現でき
る。このため、コンデンサーレンズを液浸用あるいは油
浸用に設定した時にも、大きな開口数のもとで試料を良
好に照明できるため、複数のコンデンサーレンズを用意
しなくても対物レンズの性能を十分に引き出すことが可
能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）は液浸用レンズＬ_aが後群Ｇ_R中に設定
された時の第１実施例のレンズ構成を示す図であり、
（ｂ）は油浸用レンズＬ_bが後群Ｇ_R中に設定された時
の第１実施例のレンズ構成を示す図である。

【図２】（ａ）は液浸用レンズＬ_aが後群Ｇ_R中に設定
された時の第２実施例のレンズ構成を示す図であり、
（ｂ）は油浸用レンズＬ_bが後群Ｇ_R中に設定された時
の第２実施例のレンズ構成を示す図である。

【図３】（ａ）は液浸用レンズＬ_aが後群Ｇ_R中に設定
された時の第１実施例の収差図であり、（ｂ）は油浸用
レンズＬ_bが後群Ｇ_R中に設定された時の第１実施例の
収差図である。

【図４】（ａ）は液浸用レンズＬ_aが後群Ｇ_R中に設定
された時の第２実施例の収差図であり、（ｂ）は油浸用
レンズＬ_bが後群Ｇ_R中に設定された時の第２実施例の
収差図である。

【図５】倒立顕微鏡の概略的構成を示す図である。

【図６】従来のコンデンサーレンズの構成を示す図であ
る。

【主要部分の符号の説明】

Ｌ₁₁，Ｌ₁₂，Ｌ₁，Ｌ₂・・・・・・・レンズＬ_a・・・・・・・液浸用レンズＬ_b1，Ｌ_b2，Ｌ_b・・・・・・・油浸用レンズＧ_F・・・・・・・前群Ｇ_R・・・・・・・前群Ｏ・・・・・・・試料Ｗ・・・・・・・溶液ＯＩ・・・・・・・油

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】光源側から順に、正の屈折力を持つ前群Ｇ
_Fと正の屈折力を持つ後群Ｇ_Rとを有し、光源から光束
を集光して試料を照明するコンデンサーレンズにおい
て、前記後群Ｇ_Rは、最も試料側に配置されかつ光源側に凸
面を向けた正の屈折力を持つ液浸用の第１レンズＬ_aを
有し、該第１レンズＬ_aは、光源側に凸面を向けた正の屈折力
を持つ油浸用の第２レンズＬ_bと交換可能に設けられ、前記コンデンサーレンズの前群Ｇ_Fの焦点距離をｆ_Fと
し、前記第１レンズＬ _aの焦点距離をｆ_La、前記第２レ
ンズＬ_bの焦点距離をｆ_Lb、前記第１レンズＬ _aが設定
された時のコンデンサーレンズの開口数をＮＡ_a、前記
第２レンズＬ_bが設定された時のコンデンサーレンズの
開口数をＮＡ_bとするとき、以下の条件を満足すること
を特徴とするコンデンサーレンズ。（１）０．４≦ｆ_Lb／ｆ_F≦ｆ_La／ｆ_F≦０．７（２）０．６≦ＮＡ_a／ＮＡ_b≦１
【請求項２】前記第１レンズは平凸レンズで構成され、
前記第２レンズは正レンズと負レンズとが接合された接
合レンズで構成されることを特徴とする請求項１のコン
デンサーレンズ。
【請求項３】前記前群Ｇ_Fは、光源側から順に、両凸形
状の正レンズと、該正レンズに接合されかつ試料側に凸
面を向けた負メニスカスレンズと、光源側に凸面を向け
た正メニスカスレンズとを有することを特徴とする請求
項１または請求項２記載のコンデンサーレンズ。