JPH06216424A - 変形アクチュエータ - Google Patents
変形アクチュエータInfo
- Publication number
- JPH06216424A JPH06216424A JP50A JP2477493A JPH06216424A JP H06216424 A JPH06216424 A JP H06216424A JP 50 A JP50 A JP 50A JP 2477493 A JP2477493 A JP 2477493A JP H06216424 A JPH06216424 A JP H06216424A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coil spring
- piezoelectric element
- round bar
- hollow round
- displacement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 小型で、部品点数が少なく、しかも、大きな
変位を得る。 【構成】 圧電アクチュエータ１は、中空のコイルばね
３を備えており、コイルばね３の表面に帯状の圧電素子
５が巻回されている。帯状の圧電素子５は、ＰＺＴを材
料としており、コイルばね３を構成する中空丸棒の全長
に渡って、その表面に螺旋状に巻回されている。帯状の
圧電素子５の両端に電場がかけられると、圧電素子５が
その長手方向に変形し、コイルばね３の断面にねじりモ
ーメントＴが生じ、この結果、コイルばね３はその軸方
向に変位δを生じる。
変位を得る。 【構成】 圧電アクチュエータ１は、中空のコイルばね
３を備えており、コイルばね３の表面に帯状の圧電素子
５が巻回されている。帯状の圧電素子５は、ＰＺＴを材
料としており、コイルばね３を構成する中空丸棒の全長
に渡って、その表面に螺旋状に巻回されている。帯状の
圧電素子５の両端に電場がかけられると、圧電素子５が
その長手方向に変形し、コイルばね３の断面にねじりモ
ーメントＴが生じ、この結果、コイルばね３はその軸方
向に変位δを生じる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、電気、磁気等の力を
受けて変形する変形アクチュエータに関する。
受けて変形する変形アクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、結晶体に電場をかけると歪が生
じることはよく知られており、この現象（二次圧電効
果）を生ずる圧電素子は様々なアクチュエータとして利
用されている。ところで、圧電素子は微少な歪量（変
位）しか得られないことから、アクチュエータとして利
用するには、何等かの変位拡大の機構を備える必要があ
る。従来、こうした変位拡大機構としては、特開平４−
２５６４０号公報に示すように、てこの原理を応用した
機械式拡大機構のものと、パスカルの原理を応用した液
体式拡大機構のものとが知られている。
じることはよく知られており、この現象（二次圧電効
果）を生ずる圧電素子は様々なアクチュエータとして利
用されている。ところで、圧電素子は微少な歪量（変
位）しか得られないことから、アクチュエータとして利
用するには、何等かの変位拡大の機構を備える必要があ
る。従来、こうした変位拡大機構としては、特開平４−
２５６４０号公報に示すように、てこの原理を応用した
機械式拡大機構のものと、パスカルの原理を応用した液
体式拡大機構のものとが知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来の機械式拡大機構を備えたアクチュエータ、および液
体式拡大機構を備えたアクチュエータ共、圧電素子とは
別体で変位拡大機構を構成することから、その変位拡大
機構のスペースが必要となり、アクチュエータが大型化
する問題があった。また、変位拡大機構の分だけ部品点
数が増大する問題もあった。
来の機械式拡大機構を備えたアクチュエータ、および液
体式拡大機構を備えたアクチュエータ共、圧電素子とは
別体で変位拡大機構を構成することから、その変位拡大
機構のスペースが必要となり、アクチュエータが大型化
する問題があった。また、変位拡大機構の分だけ部品点
数が増大する問題もあった。
【０００４】さらに、両アクチュエータ共、応答性およ
びエネルギ損失等を考慮すると、設計上、それ程大きい
拡大率を得ることができないといった問題があった。例
えば、液体式拡大機構を備えたアクチュエータの場合、
液体室を構成する圧電素子側のピストンと出力側のピス
トンとの面積比が拡大率となるが、この面積比は、応答
性および流体損失等を考慮すると、無限に拡大率を稼ぐ
方向に設計することができず、その拡大率はせいぜい１
０倍程度であった。
びエネルギ損失等を考慮すると、設計上、それ程大きい
拡大率を得ることができないといった問題があった。例
えば、液体式拡大機構を備えたアクチュエータの場合、
液体室を構成する圧電素子側のピストンと出力側のピス
トンとの面積比が拡大率となるが、この面積比は、応答
性および流体損失等を考慮すると、無限に拡大率を稼ぐ
方向に設計することができず、その拡大率はせいぜい１
０倍程度であった。
【０００５】本発明は、こうした問題点に鑑みてなされ
たものであって、小型で、部品点数が少なく、しかも、
大きな変位を得ることができる変形アクチュエータを提
供することを目的とする。
たものであって、小型で、部品点数が少なく、しかも、
大きな変位を得ることができる変形アクチュエータを提
供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
べく、前記課題を解決するための手段として、以下に示
す構成をとった。
べく、前記課題を解決するための手段として、以下に示
す構成をとった。
【０００７】即ち、本発明の変形アクチュエータは、外
部から電気、磁気等の力を受けて変形を生じる歪素子を
備えた変形アクチュエータであって、前記歪素子を帯状
とした上で螺旋状に巻回して歪素子棒を形成し、該歪素
子棒をコイル形に巻回してなることを、その要旨として
いる。この構成の変形アクチュエータにおいて、歪素子
を電歪素子から構成してもよい。
部から電気、磁気等の力を受けて変形を生じる歪素子を
備えた変形アクチュエータであって、前記歪素子を帯状
とした上で螺旋状に巻回して歪素子棒を形成し、該歪素
子棒をコイル形に巻回してなることを、その要旨として
いる。この構成の変形アクチュエータにおいて、歪素子
を電歪素子から構成してもよい。
【０００８】
【作用】以上のように構成された本発明の変形アクチュ
エータでは、歪素子に電気、磁気等の力を与えると、歪
素子が変形する。歪素子棒には歪素子が螺旋状に巻回さ
れていることから、その歪素子の変形を受けて歪素子棒
にねじりモーメントが生じる。さらに、歪素子棒はコイ
ル形に巻回されていることから、そのねじりモーメント
を受けてコイルの軸方向に変位を生じる。即ち、歪素子
に電気、磁気等の力を与えると、そのコイルの軸方向に
変位を生じる。
エータでは、歪素子に電気、磁気等の力を与えると、歪
素子が変形する。歪素子棒には歪素子が螺旋状に巻回さ
れていることから、その歪素子の変形を受けて歪素子棒
にねじりモーメントが生じる。さらに、歪素子棒はコイ
ル形に巻回されていることから、そのねじりモーメント
を受けてコイルの軸方向に変位を生じる。即ち、歪素子
に電気、磁気等の力を与えると、そのコイルの軸方向に
変位を生じる。
【０００９】
【実施例】以上説明した本発明の構成・作用を一層明ら
かにするために、以下本発明の好適な実施例について説
明する。図１は、本発明の一実施例としての圧電アクチ
ュエータの正面図である。
かにするために、以下本発明の好適な実施例について説
明する。図１は、本発明の一実施例としての圧電アクチ
ュエータの正面図である。
【００１０】図１に示すように、圧電アクチュエータ１
は、中空のコイルばね３を備えており、コイルばね３の
表面に帯状の圧電素子５が巻回されている。帯状の圧電
素子５は、ＰＺＴ（ジルコンチタン酸鉛）を材料として
おり、コイルばね３を構成する中空丸棒の全長に渡っ
て、その表面に螺旋状に巻回されている。詳しくは、圧
電素子５は、その中空丸棒の軸方向に対して４５度の傾
きをもって所定の間隙を明けつつ螺旋状に巻かれてい
る。圧電素子５はその巻かれた状態でコイルばね３の表
面に接着剤で固着されており、さらに、その巻回されて
生じた間隙には絶縁材７が塗布されている。
は、中空のコイルばね３を備えており、コイルばね３の
表面に帯状の圧電素子５が巻回されている。帯状の圧電
素子５は、ＰＺＴ（ジルコンチタン酸鉛）を材料として
おり、コイルばね３を構成する中空丸棒の全長に渡っ
て、その表面に螺旋状に巻回されている。詳しくは、圧
電素子５は、その中空丸棒の軸方向に対して４５度の傾
きをもって所定の間隙を明けつつ螺旋状に巻かれてい
る。圧電素子５はその巻かれた状態でコイルばね３の表
面に接着剤で固着されており、さらに、その巻回されて
生じた間隙には絶縁材７が塗布されている。
【００１１】なお、図２に、コイルばね３を構成する中
空丸棒の断面図を示したが、同図からも中空丸棒の表面
に圧電素子５が巻回されていることがわかる。
空丸棒の断面図を示したが、同図からも中空丸棒の表面
に圧電素子５が巻回されていることがわかる。
【００１２】さらに、図１に示すように、帯状の圧電素
子５の一端５ａには、プラス（＋）の電極が、圧電素子
５の他端５ｂには、マイナス（−）の電極がそれぞれ接
続されており、両電極から圧電素子５に電場がかけられ
る。こうして圧電素子５に電場がかけられたときの圧電
アクチュエータ１の作用を次に説明する。
子５の一端５ａには、プラス（＋）の電極が、圧電素子
５の他端５ｂには、マイナス（−）の電極がそれぞれ接
続されており、両電極から圧電素子５に電場がかけられ
る。こうして圧電素子５に電場がかけられたときの圧電
アクチュエータ１の作用を次に説明する。
【００１３】帯状の圧電素子５に電場がかけられると、
圧電素子５がその長手方向に変形する。コイルばね３の
中空丸棒には圧電素子５が螺旋状に巻回されていること
から、その圧電素子５の変形を受けて中空丸棒にはその
巻き方向（中空丸棒の軸方向に対して４５度の角度）に
力が働く。この結果、コイルばね３の断面にはねじりモ
ーメントＴが生じ、中空丸棒はコイル形に巻回されてい
ることから、そのねじりモーメントＴを受けてコイルば
ね３はその軸方向に変位δを生じる。
圧電素子５がその長手方向に変形する。コイルばね３の
中空丸棒には圧電素子５が螺旋状に巻回されていること
から、その圧電素子５の変形を受けて中空丸棒にはその
巻き方向（中空丸棒の軸方向に対して４５度の角度）に
力が働く。この結果、コイルばね３の断面にはねじりモ
ーメントＴが生じ、中空丸棒はコイル形に巻回されてい
ることから、そのねじりモーメントＴを受けてコイルば
ね３はその軸方向に変位δを生じる。
【００１４】このコイルばね３の変位δは、次のように
して求められる。図３に示すコイルばね３の断面につい
て調べると、ねじれ角ｄθは次式にて示される。
して求められる。図３に示すコイルばね３の断面につい
て調べると、ねじれ角ｄθは次式にて示される。
【数１】 ただし、Ｇ：横弾性係数、Ｉp ：軸心に対する断面二次
極モーメント
極モーメント
【００１５】ここで、コイルばね３が中空丸棒であるこ
とからＩp は次式にて示される。
とからＩp は次式にて示される。
【数２】 ただし、ｄ1 ：コイルばね３を構成する中空丸棒の外
径、ｄ2 ：その内径
径、ｄ2 ：その内径
【００１６】一方、ばね１巻についての変位量ｄδは次
式にて示される。
式にて示される。
【数３】 ただし、Ｒ：平均有効半径
【００１７】数３に数１及び数２を代入して、ばね１巻
についての変位量ｄδを求める。
についての変位量ｄδを求める。
【数４】
【００１８】また、ばね１巻についての長さＬ＝２πＲ
であることから、ばね１巻についての変位量ｄδを求め
る。
であることから、ばね１巻についての変位量ｄδを求め
る。
【数５】
【００１９】したがって、コイルばね３の巻数はｎであ
るから、コイルばね３の全変位δは次式にて示される。
るから、コイルばね３の全変位δは次式にて示される。
【数６】 即ち、コイルばね３は、その断面にねじりモーメントＴ
を加えると、その軸方向に上記数式６で示される変位δ
が生じることがわかる。
を加えると、その軸方向に上記数式６で示される変位δ
が生じることがわかる。
【００２０】以上詳述してきた圧電アクチュエータ１
は、圧電素子５そのもので変位拡大機構を構成すること
から、従来例のような変位拡大機構を特別に設ける必要
もない。このため、アクチュエータ自身を小型化するこ
とができ、また、部品点数を削減することができる。さ
らに、圧電アクチュエータ１は、従来例に比べてはるか
に大きな変位を得ることができるが、どれ程大きな変位
を得ることができるかを例を挙げて次に説明する。
は、圧電素子５そのもので変位拡大機構を構成すること
から、従来例のような変位拡大機構を特別に設ける必要
もない。このため、アクチュエータ自身を小型化するこ
とができ、また、部品点数を削減することができる。さ
らに、圧電アクチュエータ１は、従来例に比べてはるか
に大きな変位を得ることができるが、どれ程大きな変位
を得ることができるかを例を挙げて次に説明する。
【００２１】本実施例の圧電アクチュエータ１では、コ
イルばね３の巻き数ｎが５で、有効半径Ｒおよびコイル
ばね３を構成する中空丸棒の外径ｄ1 が、それぞれ２０
［ｍｍ］、１０［ｍｍ］であり、さらに、圧電素子５の
コイルばね３への巻き幅が２０［ｍｍ］とすると、変位
δは以下のようにして求めることができる。
イルばね３の巻き数ｎが５で、有効半径Ｒおよびコイル
ばね３を構成する中空丸棒の外径ｄ1 が、それぞれ２０
［ｍｍ］、１０［ｍｍ］であり、さらに、圧電素子５の
コイルばね３への巻き幅が２０［ｍｍ］とすると、変位
δは以下のようにして求めることができる。
【００２２】コイルばね３の１巻当たりの圧電素子５の
巻き数は、その巻き幅が２０［ｍｍ］であることから、 ４０π／２０＝２π＝約６．３［巻］ となる。
巻き数は、その巻き幅が２０［ｍｍ］であることから、 ４０π／２０＝２π＝約６．３［巻］ となる。
【００２３】また、圧電素子５の中空丸棒への１巻当た
りの長さ（長手方向の長さ）は、巻き方向が中空丸棒の
軸方向に対して４５度の角度であることから、 ２π・ｄ1 ／２・√２＝２π・１０／２・√２ ＝１０π√２＝約４４［ｍｍ］ となる。
りの長さ（長手方向の長さ）は、巻き方向が中空丸棒の
軸方向に対して４５度の角度であることから、 ２π・ｄ1 ／２・√２＝２π・１０／２・√２ ＝１０π√２＝約４４［ｍｍ］ となる。
【００２４】圧電素子５の伸び率を０．００１とする
と、圧電素子５の中空丸棒への１巻当たりの長さの伸び
は、 ４４×０．００１＝０．０４４［ｍｍ］ となり、その伸びの際のねじれ角ｄθは、次のようにな
る。
と、圧電素子５の中空丸棒への１巻当たりの長さの伸び
は、 ４４×０．００１＝０．０４４［ｍｍ］ となり、その伸びの際のねじれ角ｄθは、次のようにな
る。
【数７】
【００２５】よって、圧電素子５の１巻当たりで得られ
るコイルばね３の変位は、 ｓｉｎ（０．５）×２×Ｒ＝０．３５［ｍｍ］ となる。また、コイル１巻当たりの圧電素子５の巻き数
は、約６．３［巻］であることから、コイル１巻当たり
で得られるコイルばね３の変位は、 ０．３５×６．３＝約２．２ となる。
るコイルばね３の変位は、 ｓｉｎ（０．５）×２×Ｒ＝０．３５［ｍｍ］ となる。また、コイル１巻当たりの圧電素子５の巻き数
は、約６．３［巻］であることから、コイル１巻当たり
で得られるコイルばね３の変位は、 ０．３５×６．３＝約２．２ となる。
【００２６】したがって、コイルばね３の巻き数は５で
あることから、圧電アクチュエータ１全体の変位δは、 約２．２×５＝約１１［ｍｍ］ となる。
あることから、圧電アクチュエータ１全体の変位δは、 約２．２×５＝約１１［ｍｍ］ となる。
【００２７】これに対して、従来例の場合、液体式拡大
機構を例に挙げると、その拡大率はせいぜい１０倍程度
であることから、圧電素子５の変位が例えば、５０［μ
ｍ］とすると、せいぜい５００［μｍ］（＝０．５［ｍ
ｍ］）の変位が得られるに過ぎない。従って、圧電アク
チュエータ１は、従来例に比べて２０倍余りも大きな変
位を得ることができる。
機構を例に挙げると、その拡大率はせいぜい１０倍程度
であることから、圧電素子５の変位が例えば、５０［μ
ｍ］とすると、せいぜい５００［μｍ］（＝０．５［ｍ
ｍ］）の変位が得られるに過ぎない。従って、圧電アク
チュエータ１は、従来例に比べて２０倍余りも大きな変
位を得ることができる。
【００２８】なお、こうした構成の圧電アクチュエータ
１は、例えば、自動車用エンジンのマウントに用いるこ
とができ、防震装置としての役目を果たす。また、自動
車用サスペンションのショックアブソーバとしても用い
ることができ、アクティブな制御を行なうことができ
る。
１は、例えば、自動車用エンジンのマウントに用いるこ
とができ、防震装置としての役目を果たす。また、自動
車用サスペンションのショックアブソーバとしても用い
ることができ、アクティブな制御を行なうことができ
る。
【００２９】前記実施例では、帯状の圧電素子５は、コ
イルばね３を構成する中空丸棒を芯にして巻回されてい
るが、これに換えて、図４に示すように、中空丸棒をな
くして帯状の圧電素子５そのもので中空丸棒、即ちコイ
ルばね３を構成するように構成してもよい。この構成に
より、前記実施例と同様な効果を奏することができる。
特に、圧電素子５を巻回する芯が不要となったことで、
部品点数をより削減することができる。
イルばね３を構成する中空丸棒を芯にして巻回されてい
るが、これに換えて、図４に示すように、中空丸棒をな
くして帯状の圧電素子５そのもので中空丸棒、即ちコイ
ルばね３を構成するように構成してもよい。この構成に
より、前記実施例と同様な効果を奏することができる。
特に、圧電素子５を巻回する芯が不要となったことで、
部品点数をより削減することができる。
【００３０】また、前記実施例においては、コイルばね
３を中空丸棒としたが、これに替えて、中実丸棒として
もよく、前記実施例と同一の効果を奏することができ
る。さらに、コイルばね３の断面を円形に替えて、楕円
形または多角形として、これらコイルばねに圧電素子５
を巻回する構成としてもよい。
３を中空丸棒としたが、これに替えて、中実丸棒として
もよく、前記実施例と同一の効果を奏することができ
る。さらに、コイルばね３の断面を円形に替えて、楕円
形または多角形として、これらコイルばねに圧電素子５
を巻回する構成としてもよい。
【００３１】前記実施例では、圧電素子５のコイルばね
３への巻回角度を、コイルばね３を構成する中空丸棒の
軸方向に対して４５度の角度としていたが、必ずしも、
この角度に限るものではない。４５度といった角度は、
コイルばね３の断面に最も効率的にねじりモーメントＴ
が発生する角度であるが、ねじりモーメントが発生する
角度であれば、４０度、３５度等の角度であってもよ
い。
３への巻回角度を、コイルばね３を構成する中空丸棒の
軸方向に対して４５度の角度としていたが、必ずしも、
この角度に限るものではない。４５度といった角度は、
コイルばね３の断面に最も効率的にねじりモーメントＴ
が発生する角度であるが、ねじりモーメントが発生する
角度であれば、４０度、３５度等の角度であってもよ
い。
【００３２】さらに、前記実施例では、歪素子として圧
電素子を用いていたが、これに替えて、磁場を受けて変
形する磁歪素子を用いる構成としてもよく、同様に、小
型化、部品点数の削減、変位の拡大を図ることができ
る。
電素子を用いていたが、これに替えて、磁場を受けて変
形する磁歪素子を用いる構成としてもよく、同様に、小
型化、部品点数の削減、変位の拡大を図ることができ
る。
【００３３】以上、本発明の実施例を詳述してきたが、
本発明は、こうした実施例に何等限定されるものではな
く、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々なる態
様にて実施することができるのは勿論のことである。
本発明は、こうした実施例に何等限定されるものではな
く、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々なる態
様にて実施することができるのは勿論のことである。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように本発明の変形アクチ
ュエータは、歪素子そのもので変位拡大機構を構成する
ことから、従来例のような変位拡大機構を特別に設ける
必要がない。このために、アクチュエータ自身を小型化
することができ、また、部品点数を削減することができ
る。さらに、従来例に比べて大きな変位を得ることがで
きる。
ュエータは、歪素子そのもので変位拡大機構を構成する
ことから、従来例のような変位拡大機構を特別に設ける
必要がない。このために、アクチュエータ自身を小型化
することができ、また、部品点数を削減することができ
る。さらに、従来例に比べて大きな変位を得ることがで
きる。
【図１】本発明の一実施例としての圧電アクチュエータ
の正面図である。
の正面図である。
【図２】コイルばね３を構成する中空丸棒の断面図であ
る。
る。
【図３】コイルばね３の変位δの算出に用いる説明図で
ある。
ある。
【図４】本発明の他の実施例を示すコイルばねの断面図
である。
である。
１…圧電アクチュエータ ３…コイルばね ５…圧電素子 ５ａ…一端 ５ｂ…他端 ７…絶縁材 Ｒ…有効半径 Ｔ…ねじりモーメント ｄδ…変位量 ｄθ…ねじれ角 δ…変位
Claims (2)
- 【請求項１】 外部から電気、磁気等の力を受けて変形
を生じる歪素子を備えた変形アクチュエータであって、 前記歪素子を帯状とした上で螺旋状に巻回して歪素子棒
を形成し、 該歪素子棒をコイル形に巻回してなる変形アクチュエー
タ。 - 【請求項２】 歪素子が電歪素子である請求項１記載の
変形アクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50A JPH06216424A (ja) | 1993-01-19 | 1993-01-19 | 変形アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50A JPH06216424A (ja) | 1993-01-19 | 1993-01-19 | 変形アクチュエータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06216424A true JPH06216424A (ja) | 1994-08-05 |
Family
ID=12147525
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP50A Pending JPH06216424A (ja) | 1993-01-19 | 1993-01-19 | 変形アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06216424A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003518752A (ja) * | 1999-12-21 | 2003-06-10 | １．．．リミテッド | 電気活性デバイス |
| US6713944B2 (en) | 2002-01-02 | 2004-03-30 | Omron Corporation | Actuator and method of manufacturing a strain element |
| US7251087B2 (en) | 2005-08-08 | 2007-07-31 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Lens driving apparatus and image pick-up apparatus including the same |
| JP2007226275A (ja) * | 2007-06-14 | 2007-09-06 | Fujifilm Corp | レンズ駆動装置 |
| JP2015084623A (ja) * | 2013-10-25 | 2015-04-30 | 富士通株式会社 | 巻き線機及び振動発電デバイスの製造方法 |
| JP2018096849A (ja) * | 2016-12-13 | 2018-06-21 | 三井化学株式会社 | 検知部材 |
| WO2021215260A1 (ja) * | 2020-04-20 | 2021-10-28 | ソニーグループ株式会社 | 圧電コイル及び電子機器 |
| WO2023007841A1 (ja) * | 2021-07-27 | 2023-02-02 | ソニーグループ株式会社 | センサ付き圧電コイル及び電子機器 |
| WO2023214477A1 (ja) * | 2022-05-02 | 2023-11-09 | ソニーグループ株式会社 | デバイス |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63318378A (ja) * | 1987-06-17 | 1988-12-27 | Diesel Kiki Co Ltd | 圧電型アクチュエ−タ |
-
1993
- 1993-01-19 JP JP50A patent/JPH06216424A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63318378A (ja) * | 1987-06-17 | 1988-12-27 | Diesel Kiki Co Ltd | 圧電型アクチュエ−タ |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003518752A (ja) * | 1999-12-21 | 2003-06-10 | １．．．リミテッド | 電気活性デバイス |
| US6713944B2 (en) | 2002-01-02 | 2004-03-30 | Omron Corporation | Actuator and method of manufacturing a strain element |
| US6983521B2 (en) | 2002-01-02 | 2006-01-10 | Omron Corporation | Method of manufacturing a strain element |
| US7251087B2 (en) | 2005-08-08 | 2007-07-31 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Lens driving apparatus and image pick-up apparatus including the same |
| JP2007226275A (ja) * | 2007-06-14 | 2007-09-06 | Fujifilm Corp | レンズ駆動装置 |
| JP2015084623A (ja) * | 2013-10-25 | 2015-04-30 | 富士通株式会社 | 巻き線機及び振動発電デバイスの製造方法 |
| JP2018096849A (ja) * | 2016-12-13 | 2018-06-21 | 三井化学株式会社 | 検知部材 |
| WO2021215260A1 (ja) * | 2020-04-20 | 2021-10-28 | ソニーグループ株式会社 | 圧電コイル及び電子機器 |
| WO2023007841A1 (ja) * | 2021-07-27 | 2023-02-02 | ソニーグループ株式会社 | センサ付き圧電コイル及び電子機器 |
| KR20240036070A (ko) | 2021-07-27 | 2024-03-19 | 소니그룹주식회사 | 센서 부착 압전 코일 및 전자 기기 |
| WO2023214477A1 (ja) * | 2022-05-02 | 2023-11-09 | ソニーグループ株式会社 | デバイス |
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