KR970018957A - 진동 액츄에이터 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 진동 소자는 그의 축에 수직인 그의 단면이 그 축을 따라 변화하도록 형성된 것이고, 다수의 봉-형상의 탄성 부재와, 서로 인접한 탄성 부재 사이에 장착되고 구동 신호를 수신함으로써 서로 상이한 다수의 진동을 발생시키도록 개작된 전기기계적 변환 소자를 포함하는 봉-형상 진동 소자 및, 진동 소자의 단부면에 접촉하고 상기 진동 소자에 대한 운동을 수행하도록 개작된 상대 운동 부재를 포함하는 진동 액츄에이터에 관한 것이다.

Description

진동 액츄에이터

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

도1는 본 발명의 진동 액츄에이터의 제1실시예를 도시한 단면도,

도2A 및 도2B는 제1실시예의 진동 소자의 투시도,

제3A은 제1실시예의 진동 소자의 측면도,

제3B, 도3C 및 도3D는 각각 도3A의 라이3B-3B, 3C-3C 및 3D-3D에 따르는 단면도,

도4A는 제1실시예의 초음파 액츄에이터에 사용될 비틀림 진동을 위한 압전소자에서 전극 배치 및 분극 방향을 도시한 개략도,

도4B는 제1실시예의 초음파 액츄에이터에 사용될, 세로 진동을 위한 압전 소자의, 전압 인가 하에서, 변형을 도시한 개략도.

Claims (14)

1. 진동 액츄에이터에 있어서, 다수의 봉-형상의 탄성 부재와, 서로 인접한 탄성 부재 사이에 장착되고 구동신호를 수신함으로써 서로 상이한 다수의 진동을 발생시키도록 개작된 전기기계적 변환 소자를 포함하는 봉-형상 진동소자와, 상기 진동 소자의 단부면에 접촉하고 상기 진동 소자에 대한 운동을 수행하도록 개작된 상대 운동 부재를 포함하며, 상기 진동 소자는 그의 축에 수직인 그의 단면이 축을 따라 변화하도록 형성된 것을 특징으로 하는 진동 액츄에이터.
2. 제1항에 있어서, 상기 다수의 진동이 상기 진동 소자의 축 주위의 비틀림 진동과 상기 진동 소자의 축을 따르는 세로 진동이고, 상기 진동 소자에서 발생된 비틀림 진동의 공진 주파수는 상기 진동 소자에서 발생된 세로 진동의 것과 대략 동일한 것임을 특징으로 하는 진동 액츄에이터.
3. 제2항에 있어서, 상기 진동 소자가 그의 적어도 한 위치에 있는 작은 직경부를 갖는 원통 형상으로 형성된 것임을 특징으로 하는 진동 액츄에이터.
4. 제3항에 있어서, 상기 비틀림 진동이 2차 진동일 때, 상기 세로 진동은 1차 진동이고, 작은 직경부는 상기 세로 진동의 하나의 마디 위치와 상기 비틀림 진동의 두 개의 마디 위치에 상응하는 총 세 개의 위치에 제공됨을 특징으로 하는 진공 액츄에이터.
5. 제3항에 있어서, 상기 비틀림 진동이 2차 진동일 때 상기 세로 진동은 1차 진동이고, 작은 직경부는 상기 세로 진동의 하나의 마디 위치에 상응하는 하나의 위치에 제공됨을 특징으로 하는 진공 액츄에이터.
6. 제3항에 있어서, 상기 세로 진동은 1차 진동이고 상기 비틀림 진동은 2차 진동이고, 작은 직경부는 상기 비틀림 진동의 두 개의 마디 위치에 상응하는 두 개의 위치에 제공됨을 특징으로 하는 진동 액츄에이터.
7. 제3항에 있어서, 상기 세로 진동은 2차 진동이고 상기 비틀림 진동은 3차 진동이고, 작은 직경부는 상기 세로진동의 두 개의 마디 위치와 상기 비틀림 진동의 세 개의 마디 위치에 상응하는 총 다섯개의 위치에 제공됨을 특징으로 하는 진동 액츄에이터.
8. 제2항에 있어서, 상기 진동 소자는 그 축에 수직인 최대 단면의 위치가 상기 세로 진동의 마디 위치와 상이하도록 형성된 것임을 특징으로 하는 진공 액츄에이터.
9. 제2항에 있어서, 상기 진동 소자는 그 축에 수직인 최대 단면의 위치가 상기 비틀림 진동의 마디 위치와 상이하도록 형성된 것임을 특징으로 하는 진공 액츄에이터.
10. 제1항에 있어서, 상기 다수의 진동 중의 적어도 하나의 상기 탄성 부재에서 다수개의 파복과 적어도 하나의 마디를 발생시키는 제1 진동이고, 상기 탄성 부재는 상기 제1진동의 서로 인접한 파복과 마디에 의해서 분할된 다수개의 부분 중에서 상기 상대 운동 부재와 접촉한 단부면을 포함하는 일부분의 관성 질량이 나머지 부분의 평균 관성 질량 보다 더 적게 되도록 형성된 것임을 특징으로 하는 진공 액츄에이터.
11. 제10항에 있어서, 상기 탄성 부재는 상기 제1 진동의 마디 위치 중의 적어도 하나의 원주를 따라 상기 탄성 부재의 축을 횡단하는 방향으로 홈을 구비한 것임을 특징으로 하는 진공 액츄에이터.
12. 제10항에 있어서, 상기 탄성 부재는 상기 단부면을 포함하는 부분을 구성하는 탄성 재료와 나머지 다른 부분을 구성하는 탄성 재료가 서로 상이한 비중을 가지도록 형성된 것임을 특징으로 하는 진동 액츄에이터.
13. 제10항에 있어서, 상기 탄성 부재는 관성 질량 부재가 상기 단부면을 포함하는 부분 또는 나머지 다른 부분에 장착되도록 형성된 것임을 특징으로 하는 진동 액츄에이터.
14. 제13항에 있어서, 상기 관성 질량 부재는 상기 탄성 부재 상에 장착된 볼트 및/또는 상기 볼트 부재 상에 조여진 너트 부재임을 특징으로 하는 진동 액츄에이터.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.