JPH06212423A

JPH06212423A - 板材の固定治具

Info

Publication number: JPH06212423A
Application number: JP42A
Authority: JP
Inventors: Tadakatsu Suzuki; 忠勝鈴木
Original assignee: KURAMOTO SEISAKUSHO KK
Current assignee: KURAMOTO SEISAKUSHO KK
Priority date: 1992-08-20
Filing date: 1992-08-20
Publication date: 1994-08-02

Abstract

(57)【要約】【構成】枠体１と、その対向縁の各々に配設する保持
ブロック体２およびバネブロック体３とを備えた板材４
の固定治具であって、保持ブロック体２は、板材縁部を
挿入保持する溝２１を有し、バネブロック体３は、枠体
１に固定するブロック体３１と、これに一端を取付固定
する弓形板バネ３２と、その他端を取付けて枠体に滑接
させたスライドブロック体３３とからなり、かつ、弓形
板バネ３２が、板材縁部を保持する切欠き溝３２１を有
し、弓形板バネ３２の変形弾反力によって板材を保持す
る。【効果】真空成膜、乾燥等において有用な固定治具が
提供される。従来に比べてはるかに小さな押えしろでの
板材保持が可能となる。このため、板材の有効利用面積
はより大きなものとなる。また、板材の着脱が容易とな
り、板材の回転、振動による揺れ、また、熱膨張の吸収
が容易であって、板材の脱落、損傷は生じない。板材そ
のもの加工精度もあまり要求されない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は板材の固定治具に関す
るものである。さらに詳しくは、この発明は、真空成
膜、乾燥、照射試験等において有用な、板材の簡便、迅
速な固定・脱着が可能で、しかも遠心力、振動等によっ
ても脱落することなく安定した板材の取付固定を可能と
する新しい板材の固定治具に関するものである。

【０００２】

【従来の技術とその課題】従来より、真空成膜、乾燥、
照射試験等においては、所定の大きさと厚みの板材を保
持固定するための固定治具が用いられてきており、その
目的に応じて、様々な改良が加えられてきてもいる。た
とえば、真空蒸着、スパッタリング、イオンプレーティ
ング等の真空成膜においては、被処理板材としてのガラ
ス、金属、セラミックス、樹脂等の板材を、多量に、か
つ均一に成膜するために、たとえば図１に示したよう
な、枠体（ア）のレール部（イ）に板材（ウ）の縁部を
挿入固定し、この固定した状態において真空装置内の所
定の部位に配設して成膜を行っている。また、レール部
（イ）を有する枠体（ア）に代えて、鋼鉄やステンレス
の針金で作製したバネを用いて板材を枠体等に固定する
方法も知られている。あるいは額縁のように枠体にはめ
込む方法もある。

【０００３】そして、これらの板材の固定治具は、板材
を迅速、簡便に着脱することができ、かつ、均一成膜の
ための回転時の遠心力や振動によっても脱落せず、損傷
もなく、しかも温度上昇にも耐えるように考慮されてい
る。しかしながら、実際には、従来の固定治具の場合に
は、板材の着脱が面倒であったり、振動や熱膨張による
脱落、損傷も避けられず、これらの欠点を少しでも改善
しようとすると、板材の加工精度の大幅な向上が要求さ
れるため、面倒で、コスト高になるという欠点があっ
た。

【０００４】また、真空成膜における板材の固定治具の
場合には、板材の加工寸法精度のバラつきや熱膨張係数
の相違を考慮することが必要であって、その固定には、
押えしろを充分に取ることが必要となり、この押えしろ
を大きく取ると逆に遠心力や振動による脱落、損傷が生
じやすい。そして大きな押えしろ分の板材有効利用面積
の損失が避けられない。

【０００５】より小さな押えしろとする場合には、寸法
精度の向上が難しく、寸法によっては熱膨張時の脱落、
損傷も生じやすくなる。実際、たとえば液晶用大型ガラ
ス板（３００×３００mm）をステンレス製の治具で固定
する場合には、３〜５mmもの押えしろを取るのが一般的
であった。押えしろをこれ以上小さくすることは不可能
で、また、このような大きな押えしろを取っても、その
安定固定は完全でなく、板材の脱落、損傷が生じてい
た。また、この大きな押えしろの存在によって有効利用
できる板材面積も制約されていたのである。

【０００６】針金を用いる治具の場合には、この押えし
ろによる問題は比較的軽減されるものの、耐久性に乏し
く、治具作製時の加工精度の向上が難しく、かつ、その
設計も制約される等の問題があった。そこで、この発明
は、以上の通りの従来の固定治具の欠点を解消し、押え
しろを１mm程度に小さくしても、３００〜４００℃の高
温雰囲気下の熱膨張にも充分に耐えることができ、板材
の寸法精度によらずに振動、熱膨張を吸収して、脱落、
損傷が生じることがなく、しかも着脱が簡便、迅速に可
能である新しい板材の固定治具を提供することを目的と
している。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この発明は、上記の課題
を解決するものとして、枠体と、その対向縁の各々に配
設する保持ブロック体およびバネブロック体とを備えた
板材の固定治具であって、保持ブロック体は、板材縁部
を挿入保持する溝を有し、バネブロック体は、枠体に固
定するブロック体と、これに一端を取付固定する弓形板
バネと、その他端を取付て枠体に滑接させたスライドブ
ロック体とからなりかつ、弓形板バネが、板材縁部を保
持する切欠き溝を有し、弓形板バネの変形弾反力によっ
て板材を保持する事を特徴とする板材の固定治具を提供
する。

【０００８】この固定治具によって、押えしろを前記の
通り１mm程度に小さくしても、真空成膜時の固定遠心力
や振動、さらには熱膨張によって板材が脱落や損傷する
ことなく安定して保持され、しかもその着脱も極めて容
易となる。板材の有効利用面積もより大きなものとな
る。板材の寸法精度のバラつきも吸収することが可能と
なる。

【０００９】以下、添付した図面にそって実施例を示
し、さらに詳しくこの発明について説明する。

【００１０】

【実施例】図２は、この発明の板材の固定治具を例示し
た部分拡大斜視図である。たとえば、この図２に例示し
たように、この発明の固定治具は、枠体（１）と、その
対向縁の各々に配設する保持ブロック体（２）およびバ
ネブロック体（３）とによって板材（４）を保持固定し
ている。

【００１１】保持ブロック体（２）は、板材（４）の縁
部を挿入保持するための溝（２１）を有し、ビス穴（２
２）を介してビスによって枠体（１）に固定する。もち
ろん、接着、溶接等によって枠体（１）に固定してもよ
い。板材（４）の大きさ、重量に応じて、この保持ブロ
ック体（２）は、所望の数を枠体（４）に配設固定する
ことができ、溝（２１）の大きさも、適宜とすることが
できる。そして、この溝（２１）の深さ、つまり板材
（４）の押えしろは、従来の治具に比べてはるかに小さ
な１mm程度とすることで充分となる。

【００１２】一方、バネブロック体（３）については、
枠体（１）に固定するブロック体（３１）と、これにそ
の一端を固定する弓形板バネ（３２）および、その他端
に取り付けたスライドブロック体（３３）とによって構
成する。ブロック体（３１）の取付固定方法と取付位置
については特に限定はなく、前記ブロック体（２）と同
様とすることができる。スライドブロック体（３３）
は、枠体（１）に沿って滑接するようにしている。この
場合、仮止め用の穴（３３１）を有していてもよい。

【００１３】ブロック体（３１）とスライドブロック体
（３３）にその両端を取付けた弓形バネ（３２）には、
板材（４）の縁部を挿入保持するための切欠き溝（３２
１）を形成する。このような構造のバネブロック体
（３）は、板材（４）の装着時および脱着時には、図中
の矢印Ａ方向に弾性変形され、板材（４）の保持固定時
には、その弾反力によって矢印Ｂ方向に板材（４）を押
しつける。このため、スライドブロック体（３３）は、
この弾性変形に応じて、図中の矢印Ｃ方向に滑接するこ
とになる。

【００１４】弓形板バネ（３２）としては、適宜な素材
のものが使用できるが、たとえば時計用不変鋼として知
られているエリンバー系合金を用いることができる。い
ずれにしても、この発明の治具においては、真空成膜に
使用する場合には、３００〜４００℃もの高温に加熱さ
れても安定に板材（４）を保持するものとする。

【００１５】そして、弓形板バネ（３２）によって、板
材（４）の回転や振動時の揺れ、あるいは熱膨張を吸収
し、わずかの押えしろによって板材（４）を安定に保持
固定する。図３（ａ）（ｂ）は、図２に例示したこの発
明の固定治具を真空成膜に使用する場合を示したもので
ある。蒸着源（５）を中心として、治具によって取付け
固定された板材が矢印Ｄ方向に回転するようにしてい
る。この場合、図３（ｂ）のように、板材（４）は、枠
体（１）と、前記の通りの保持ブロック体（２）および
バネブロック体（３）との治具によって保持固定してい
る。

【００１６】実際、液晶用大型ガラス板に、加熱温度４
００℃において治具を回転させながら１０分間イオンプ
レーティングによって透明導電膜を成膜する場合にも、
治具は安定に作動し、ガラス基板の脱落、損傷は全くな
く、安定した生産が可能であった。そして、押えしろは
約１mmで充分であるため、ガラス基板の有効利用も図ら
れた。

【００１７】もちろん、この発明の治具は、以上の例に
限定されることはなく、その利用も、真空成膜のほか、
乾燥、表面処理、照射試験等の板材の固定保持のための
任意の目的に有効である。

【００１８】

【発明の効果】以上詳しく説明した通り、この発明の板
材の固定治具によって、以下の優れた効果が実現され
る。１）従来に比べてはるかに小さな押えしろでの板材保持
が可能となる。このため、板材の有効利用面積はより大
きなものとなる。２）板材の着脱が容易となる。３）板材の回転、振動による揺れ、また、熱膨張の吸収
が容易であって、板材の脱落、損傷は生じない。４）板材そのもの加工精度はあまり要求されない。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来の治具を示した斜視図である。

【図２】この発明の治具を例示した斜視図である。

【図３】ａ、ｂは、各々、真空成膜へのこの発明の治具
の利用を示した斜視図である。

【符号の説明】

１枠体２保持ブロック体３バネブロック体４板材５蒸着源２１溝２２ビス穴３１ブロック体３２弓型板バネ３３スライドブロック体３２１切欠き溝３３１穴

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】枠体と、その対向縁の各々に配設する保
持ブロック体およびバネブロック体とを備えた板材の固
定治具であって、保持ブロック体は、板材縁部を挿入保
持する溝を有し、バネブロック体は、枠体に固定するブ
ロック体と、これに一端を取付固定する弓形板バネと、
その他端を取付けて枠体に滑接させたスライドブロック
体とからなり、かつ、弓形板バネが、板材縁部を保持す
る切欠き溝を有し、弓形板バネの変形弾反力によって板
材を保持することを特徴とする板材の固定治具。
【請求項２】請求項１の固定治具からなる回転体固定
治具。
【請求項３】弓形板バネがエリンバー系合金材からな
る請求項１または２の固定治具。
【請求項４】板材がガラス基板である請求項１、２ま
たは３の固定治具。
【請求項５】請求項１、２、３または４の固定治具か
らなる真空成膜用固定治具。