JP2545562Y2 - ウェーハ剥し治具 - Google Patents
ウェーハ剥し治具Info
- Publication number
- JP2545562Y2 JP2545562Y2 JP1991105053U JP10505391U JP2545562Y2 JP 2545562 Y2 JP2545562 Y2 JP 2545562Y2 JP 1991105053 U JP1991105053 U JP 1991105053U JP 10505391 U JP10505391 U JP 10505391U JP 2545562 Y2 JP2545562 Y2 JP 2545562Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- holding
- tip
- holding portion
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
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Landscapes
- Hand Tools For Fitting Together And Separating, Or Other Hand Tools (AREA)
- Folding Of Thin Sheet-Like Materials, Special Discharging Devices, And Others (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】プレートに貼付けられた半導体ウ
ェーハを剥す治具に関する。
ェーハを剥す治具に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウェーハは、一般的にワックス等
を介してプレートに貼付けられて研磨される。研磨後は
次工程の洗浄作業のために、プレートから半導体ウェー
ハを剥す必要があり、その剥す方法としては、ワックス
を有機溶剤で溶かして剥す方法（特公昭５６−４１１６
６号公報）、加熱してワックスを溶かして剥す方法（特
開昭６４−８６４１号公報）、自動装置により剥す方法
（実開昭６１−９４３４３号公報）、手動で真空吸引し
て剥す方法（実開平１−８９７４７号公報）等が公知で
ある。
を介してプレートに貼付けられて研磨される。研磨後は
次工程の洗浄作業のために、プレートから半導体ウェー
ハを剥す必要があり、その剥す方法としては、ワックス
を有機溶剤で溶かして剥す方法（特公昭５６−４１１６
６号公報）、加熱してワックスを溶かして剥す方法（特
開昭６４−８６４１号公報）、自動装置により剥す方法
（実開昭６１−９４３４３号公報）、手動で真空吸引し
て剥す方法（実開平１−８９７４７号公報）等が公知で
ある。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】上記の従来技術のう
ち、有機溶剤法、加熱法、自動法はいずれも大がかりな
装置と広い場所が必要であり、コスト高になる。又、手
動法は半導体ウェーハと貼付プレートの間に差し込む刃
の着脱が困難であり、又治具の持ち易さに難がある。
ち、有機溶剤法、加熱法、自動法はいずれも大がかりな
装置と広い場所が必要であり、コスト高になる。又、手
動法は半導体ウェーハと貼付プレートの間に差し込む刃
の着脱が困難であり、又治具の持ち易さに難がある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本考案は上記のような問
題点を解決するためになされたもので、挾持部と該挾持
部より長い把手部が一体であるプレートと挾持片が、そ
れぞれ補助プレートを介して軸に回動自在に支承され、
上記プレートの挾持部の先端と挾持片の先端が常時閉じ
るように、上記軸にねじりコイルバネが配設してあり、
上記プレートの挾持部の先端と挾持片の先端との間に薄
刃を着脱自在に挾持するとともに、プレートの挾持部と
把手部の間を逆反りに屈折させてなることを特徴とする
ウェーハ剥し治具を提供するものである。
題点を解決するためになされたもので、挾持部と該挾持
部より長い把手部が一体であるプレートと挾持片が、そ
れぞれ補助プレートを介して軸に回動自在に支承され、
上記プレートの挾持部の先端と挾持片の先端が常時閉じ
るように、上記軸にねじりコイルバネが配設してあり、
上記プレートの挾持部の先端と挾持片の先端との間に薄
刃を着脱自在に挾持するとともに、プレートの挾持部と
把手部の間を逆反りに屈折させてなることを特徴とする
ウェーハ剥し治具を提供するものである。
【０００５】本考案の一具体例を添付図面に基いて説明
する。
する。
【０００６】図１は本考案のウェーハ剥し治具の平面
図、図２はその正面図、図３は図２のＡ−Ａ断面図、図
２（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）は本考案に係るウェーハ剥
し治具を用いた剥し作業の手順を示す工程図である。
図、図２はその正面図、図３は図２のＡ−Ａ断面図、図
２（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）は本考案に係るウェーハ剥
し治具を用いた剥し作業の手順を示す工程図である。
【０００７】プレート１は大別すると挾持部１ａと把手
部１ｂとからなり、把手部１ｂは手で持ち易いように挾
持部１ａから逆反りの角度が付けられ、洋食用大さじ状
になっている。そして挾持部１ａの先端よりも若干離れ
た位置に補助プレート１ｃを取付けてある。
部１ｂとからなり、把手部１ｂは手で持ち易いように挾
持部１ａから逆反りの角度が付けられ、洋食用大さじ状
になっている。そして挾持部１ａの先端よりも若干離れ
た位置に補助プレート１ｃを取付けてある。
【０００８】挾持片２にも、軸孔がプレート１の補助プ
レート１ｃの軸孔と合致する位置に、補助プレート２ａ
が取付けてある。次に該補助プレート１ｃと補助プレー
ト２ａの軸孔に、ねじりコイルバネ４の中空に通された
軸を嵌合し、該軸を支点にして、挾持部１ａの先端と挾
持片２の挾持部２ｂが常時閉じるようにねじりコイルバ
ネ４の向きが決められる。
レート１ｃの軸孔と合致する位置に、補助プレート２ａ
が取付けてある。次に該補助プレート１ｃと補助プレー
ト２ａの軸孔に、ねじりコイルバネ４の中空に通された
軸を嵌合し、該軸を支点にして、挾持部１ａの先端と挾
持片２の挾持部２ｂが常時閉じるようにねじりコイルバ
ネ４の向きが決められる。
【０００９】上記の状態から、挾持片２の挾持部２ｂと
反対側の端と、プレート１の屈折部を指と指で挟み力を
入れると、軸３を支点にして、挾持部１ａと挾持部２ｂ
が開き、その状態で薄刃５を差し込み、固定し、指の力
を抜くと、薄刃５が挾持される。
反対側の端と、プレート１の屈折部を指と指で挟み力を
入れると、軸３を支点にして、挾持部１ａと挾持部２ｂ
が開き、その状態で薄刃５を差し込み、固定し、指の力
を抜くと、薄刃５が挾持される。
【００１０】薄刃５の交換は上記の作業を行えば、短時
間に且つ容易に出来る。
間に且つ容易に出来る。
【００１１】挾持部１ａと挾持部２ｂには、前記薄刃に
市販のカミソリ刃を用いる場合、装着出来るように係止
用突起１０を設けるのがよく、この突起１０が嵌合する
凹部を相手側挾持部に設けてもよい。
市販のカミソリ刃を用いる場合、装着出来るように係止
用突起１０を設けるのがよく、この突起１０が嵌合する
凹部を相手側挾持部に設けてもよい。
【００１２】図４（Ａ）〜（Ｃ）は上記のようなされた
ウェーハ剥し治具を用いて、半導体ウェーハ６を貼付プ
レート７から剥す作業の手順を示している。
ウェーハ剥し治具を用いて、半導体ウェーハ６を貼付プ
レート７から剥す作業の手順を示している。
【００１３】薄刃５を除く各部品の材質は、ウエーハは
金属汚染をきらうので、防錆のためにステンレス鋼が望
ましい。薄刃５は市販のカミソリ刃がそのまゝ使用出
来、カミソリ刃の摩滅粉をきらう場合には、市販のカミ
ソリ刃状に製作したセラミックス製の使用が望ましい。
金属汚染をきらうので、防錆のためにステンレス鋼が望
ましい。薄刃５は市販のカミソリ刃がそのまゝ使用出
来、カミソリ刃の摩滅粉をきらう場合には、市販のカミ
ソリ刃状に製作したセラミックス製の使用が望ましい。
【００１４】
【作用】挾持片の挾持部と反対側の端と、プレートの屈
折部を指と指で挟んで力を入れると、常時閉じている挾
持部の先端が、軸を支点にして開く。そこで、薄刃を開
いたプレート挾持部の先端と挾持片の先端との間に入れ
て固定し、挟んでいる指の力を抜くと、ねじりコイルバ
ネの力で挾持部の先端が閉じて使用可能な状態になる。
上記のような操作で、短時間で且つ容易に薄刃の着脱が
出来る。
折部を指と指で挟んで力を入れると、常時閉じている挾
持部の先端が、軸を支点にして開く。そこで、薄刃を開
いたプレート挾持部の先端と挾持片の先端との間に入れ
て固定し、挟んでいる指の力を抜くと、ねじりコイルバ
ネの力で挾持部の先端が閉じて使用可能な状態になる。
上記のような操作で、短時間で且つ容易に薄刃の着脱が
出来る。
【００１５】プレートの挾持部と把手部は洋食用大さじ
状に屈折しているので、持ち易く、半導体ウェーハと貼
付プレートの間に、薄刃をスムーズに差し入れることが
でき、剥し作業の作業性が上る。
状に屈折しているので、持ち易く、半導体ウェーハと貼
付プレートの間に、薄刃をスムーズに差し入れることが
でき、剥し作業の作業性が上る。
【００１６】
【考案の効果】本考案のウェーハ剥し治具を用いて行な
うウェーハ剥し作業では次のような大きな効果がある。
うウェーハ剥し作業では次のような大きな効果がある。
【００１７】１．大がかりな装置や広い場所を必要とし
ないので、コスト安である。
ないので、コスト安である。
【００１８】２．剥し作業の場所を問わない。
【００１９】３．薄刃の取替が短時間で且つ容易に出来
る。
る。
【００２０】４．持ち易く、又半導体ウェーハと貼付プ
レートの間に薄刃を差し込み易い形状の治具であるの
で、作業性が上る。
レートの間に薄刃を差し込み易い形状の治具であるの
で、作業性が上る。
【図１】本考案の一例を示す平面図、
【図２】図１の正面図、
【図３】図２のＡ−Ａ線に沿った断面図、
【図４】本考案ウェーハ剥し治具の使用態様の手順を示
す工程図。
す工程図。
１ プレート １ａ 挾持部 １ｂ 把手部 １ｃ 補助プレート ２ 挾持片 ２ａ 補助プレート ２ｂ 挾持部 ３ 軸 ４ ねじりコイルバネ ５ 薄刃 ６ 半導体ウェーハ ７ 貼付プレート
Claims (2)
- 【請求項１】 挾持部１ａと該挾持部より長い把手部１
ｂが一体であるプレート１と挾持片２が、それぞれ補助
プレート１ｃ及び２ａを介して軸３に回動自在に支承さ
れ、上記プレート１の挾持部１ａの先端と挾持片２の先
端が常時閉じるように、上記軸３にねじりコイルバネ４
が配設してあり、上記プレート１の挟持部１ａの先端と
挾持片２の先端との間に薄刃５を着脱自在に挾持すると
ともに、プレート１の挾持部と把手部１ｂの間を逆反り
に屈折させてなることを特徴とするウェーハ剥し治具。 - 【請求項２】 前記挾持部１ａ及び２ｂの少なくとも一
方に前記薄刃５の係止用突起１０を突設してなる請求項
１に記載のウェーハ剥し治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991105053U JP2545562Y2 (ja) | 1991-12-19 | 1991-12-19 | ウェーハ剥し治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991105053U JP2545562Y2 (ja) | 1991-12-19 | 1991-12-19 | ウェーハ剥し治具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0553240U JPH0553240U (ja) | 1993-07-13 |
| JP2545562Y2 true JP2545562Y2 (ja) | 1997-08-25 |
Family
ID=14397248
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1991105053U Expired - Fee Related JP2545562Y2 (ja) | 1991-12-19 | 1991-12-19 | ウェーハ剥し治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2545562Y2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0164499U (ja) * | 1987-10-17 | 1989-04-25 | ||
| JPH0622223B2 (ja) * | 1988-06-21 | 1994-03-23 | 三菱化成株式会社 | 薄片の剥離方法及び剥離装置 |
-
1991
- 1991-12-19 JP JP1991105053U patent/JP2545562Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0553240U (ja) | 1993-07-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |